JP2008252045A - プラズマ処置装置用電極 - Google Patents
プラズマ処置装置用電極 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008252045A JP2008252045A JP2007095032A JP2007095032A JP2008252045A JP 2008252045 A JP2008252045 A JP 2008252045A JP 2007095032 A JP2007095032 A JP 2007095032A JP 2007095032 A JP2007095032 A JP 2007095032A JP 2008252045 A JP2008252045 A JP 2008252045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sic
- plasma
- cvd
- plasma processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置に備えられ、高周波電圧が印加されることでプラズマ生成容器内にプラズマを生成するための電極であって、少なくともプラズマに曝される表面部分が、化学気相成長法(chemical vapor deposition)によって作成されたSiCからなり、SiC中の不純物濃度が3.0×1015(個/cm3)以上かつ1.0×1019(個/cm3)以下であることを特徴とするプラズマ処置装置用電極を提供する。
【選択図】図2
Description
11 処理室
12 下部電極機構
13 上部電極機構
14 制御装置
16 第1の高周波電源
16A 第1の整合器
17 電源部
18 第2の高周波電源
18A 第2の整合器
22 下部電極
24 フォーカスリング
32 上部電極
33 ガス放射孔
34 支持部材
42 CVD−SiC
44 基体
52 SiC片
54 プラチナ電極
56、58 電極端子
Claims (4)
- プラズマ処理装置に備えられ、高周波電圧が印加されることでプラズマ生成容器内にプラズマを生成するための電極であって、
少なくとも前記プラズマに曝される表面部分が、化学気相成長法(chemical vapor deposition)によって作成されたSiCからなり、
前記SiC中の不純物濃度が3.0×1015(個/cm3)以上かつ1.0×1019(個/cm3)以下であることを特徴とするプラズマ処置装置用電極。 - 前記SiCは、周波数10(MHz)の高周波電圧が印加された場合の体積固有抵抗が、1.0×10−6(Ω・cm)以上かつ1.0×103(Ω・cm)以下であることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処置装置用電極。
- 前記CVD−SiC中の不純物は窒素であり、前記CVD−SiC中の窒素濃度が3.0×1015(個/cm3)以上かつ1.0×1019(個/cm3)以下であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のプラズマ処置装置用電極。
- 前記CVD−SiCは、化学気相成長法による結晶成長過程において、SiCの原料ガスに窒素ガスを混合させた混合ガスを用いて作成されることを特徴とする請求項3記載のプラズマ処置装置用電極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007095032A JP2008252045A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | プラズマ処置装置用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007095032A JP2008252045A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | プラズマ処置装置用電極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008252045A true JP2008252045A (ja) | 2008-10-16 |
Family
ID=39976594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007095032A Pending JP2008252045A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | プラズマ処置装置用電極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008252045A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5331263B1 (ja) * | 2013-06-17 | 2013-10-30 | 株式会社アドマップ | 炭化珪素材料、炭化珪素材料の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05304114A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-16 | Hitachi Chem Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
JP2001316821A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-11-16 | Shipley Co Llc | 低抵抗率炭化珪素 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007095032A patent/JP2008252045A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05304114A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-16 | Hitachi Chem Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
JP2001316821A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-11-16 | Shipley Co Llc | 低抵抗率炭化珪素 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5331263B1 (ja) * | 2013-06-17 | 2013-10-30 | 株式会社アドマップ | 炭化珪素材料、炭化珪素材料の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102335248B1 (ko) | 플라즈마 프로세싱 챔버 내의 엘라스토머 시일의 수명을 연장시키는 크기로 형성된 에지 링 | |
US10273190B2 (en) | Focus ring and method for producing focus ring | |
JP5227264B2 (ja) | プラズマ処理装置,プラズマ処理方法,プログラム | |
TWI505354B (zh) | Dry etching apparatus and dry etching method | |
TWI425883B (zh) | Plasma processing device | |
US9293353B2 (en) | Faraday shield having plasma density decoupling structure between TCP coil zones | |
TWI290809B (en) | Procedure and device for the production of a plasma | |
JP2008511175A (ja) | プラズマチャンバ内部で使用するためのイットリア絶縁体リング | |
CN101889329A (zh) | 长寿命可消耗氮化硅-二氧化硅等离子处理部件 | |
US20040040931A1 (en) | Plasma processing method and plasma processor | |
US20190006156A1 (en) | Plasma Processing Apparatus | |
JP6277015B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
CN105283944A (zh) | 用于边缘关键尺寸均匀性控制的工艺套件 | |
TW201344841A (zh) | 具有減低能量損失的靜電夾盤 | |
WO2014093033A1 (en) | Apparatus for providing plasma to a process chamber | |
TWI811421B (zh) | 用於處理腔室的塗層材料 | |
JP2009043969A (ja) | 半導体ウエハ外周部の加工方法及びその装置 | |
JP6470313B2 (ja) | 基板をプラズマ処理するための方法及び装置 | |
JP2007246983A (ja) | 成膜装置 | |
JP2008252045A (ja) | プラズマ処置装置用電極 | |
US20230203659A1 (en) | Pedestal for substrate processing chambers | |
CN102098862A (zh) | 一种下电极装置及应用该下电极装置的等离子体处理设备 | |
US6830653B2 (en) | Plasma processing method and apparatus | |
US20130160948A1 (en) | Plasma Processing Devices With Corrosion Resistant Components | |
TW202111856A (zh) | 靜電吸盤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20101124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110107 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110726 |