JP2008251882A - 受光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 熱拡散時間が短縮化されるとともに、不純物の拡散のばらつきを抑制することができる受光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 受光素子(100)の製造方法は、第1導電型の半導体層(5)の受光領域(5a)の外周部に第2導電型または無導電型の不純物を注入する工程と、不純物を注入する工程後に、半導体層(5)の再結晶化温度未満の温度を有しかつ第2導電型の元素を含む雰囲気内で、受光領域(5a)に熱拡散させる処理を施す熱拡散工程と、を含む。
【選択図】 図2
【解決手段】 受光素子(100)の製造方法は、第1導電型の半導体層(5)の受光領域(5a)の外周部に第2導電型または無導電型の不純物を注入する工程と、不純物を注入する工程後に、半導体層(5)の再結晶化温度未満の温度を有しかつ第2導電型の元素を含む雰囲気内で、受光領域(5a)に熱拡散させる処理を施す熱拡散工程と、を含む。
【選択図】 図2
Description
本発明は、受光素子の製造方法に関する。
n型半導体層にp型不純物を拡散させてpn接合を有する受光素子を作製する技術が知られている。例えば、p型不純物を含む高温雰囲気にn型半導体をさらし、p型不純物をn型半導体層に拡散させる技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の技術では、p型不純物の拡散速度が小さくなってしまう。したがって、熱拡散時間が長くなってしまうおそれがある。また、p型不純物の拡散にばらつきが生じるおそれがある。
本発明は、熱拡散時間が短縮化されるとともに、不純物の拡散のばらつきを抑制することができる受光素子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る受光素子の製造方法は、第1導電型の半導体層の受光領域の外周部に第2導電型または無導電型の不純物を注入する工程と、不純物を注入する工程後に半導体層の再結晶化温度未満の温度を有しかつ第2導電型の元素を含む雰囲気内で受光領域に熱拡散させる工程と、を含むことを特徴とするものである。
本発明に係る受光素子の製造方法においては、注入工程において不純物が注入された領域の少なくとも一部に結晶格子の乱れ等による結晶欠陥が生じる。また、熱拡散工程における雰囲気の温度が半導体層の結晶格子を再度規則正しい状態に戻す再結晶化温度未満であることから、不純物が注入された領域においては結晶欠陥が生じたままである。この場合、不純物が注入された領域から受光領域への拡散速度が向上する。結晶欠陥が生じた部分において不純物が拡散しやすくなるからである。それにより、半導体層に第2導電型の半導体領域が形成される時間が短縮化される。また、受光領域に不純物が拡散しやすくなることから、第2導電型の半導体領域において第2導電型の不純物濃度にバラツキが発生することが抑制される。
熱拡散させる工程における第2導電型の元素の拡散深さは、不純物を注入する工程における注入エネルギーおよび注入量に基づいて制御されてもよい。また、第2導電型の元素は、B、As、P、SbおよびBeのうちの少なくとも1つであってもよい。
半導体層は、InPからなるものであってもよい。また、受光領域の径は、100μm以下であってもよい。また、第1導電型は、n型であり、第2導電型は、p型であってもよい。また、不純物を注入する工程は、半導体層の複数の受光領域の外周部に第2導電型または無導電型の不純物を注入する工程であり、不純物を注入する工程における注入エネルギーおよび注入量が各受光領域に対して設定されてもよい。
本発明によれば、熱拡散時間が短縮化されるとともに、不純物の拡散のばらつきを抑制することができる受光素子の製造方法を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
(第1の実施形態)
図1および図2は、本発明の第1の実施形態に係る受光素子の製造方法について説明するためのフロー図である。まず、図1(a)に示すように、半導体積層体10を準備する。半導体積層体10は、n型InPからなる半導体基板1上に、InGaAsからなる光吸収層2、n型InPからなる電界降下層3、n型InPからなる増倍層4およびn型InPからなるウィンドウ層5が積層された構造を有する。
図1および図2は、本発明の第1の実施形態に係る受光素子の製造方法について説明するためのフロー図である。まず、図1(a)に示すように、半導体積層体10を準備する。半導体積層体10は、n型InPからなる半導体基板1上に、InGaAsからなる光吸収層2、n型InPからなる電界降下層3、n型InPからなる増倍層4およびn型InPからなるウィンドウ層5が積層された構造を有する。
次に、図1(b)に示すように、ウィンドウ層5上にレジスト21を形成する。レジスト21には、後述する受光領域5aの外周部に沿って孔22が形成されている。それにより、ウィンドウ層5の受光領域5aの外周部が露出している。本実施形態においては、孔22は、略リング形状を有する。
次いで、図1(c)に示すように、孔22を介してウィンドウ層5に対してイオンを注入する。この場合、注入するイオンとして、B(ホウ素)、As(ヒ素)、P(リン)、Sb(アンチモン)、Be(ベリリウム)等のp型不純物またはi型不純物を用いることができる。注入エネルギーは、例えば10keV〜500keV程度である。注入量は、例えば1×1011cm−2〜1×1016cm−2程度である。ビーム電流は、例えば10±5μA程度である。
図1(c)のイオン注入後、図1(d)に示すように、孔22下のウィンドウ層5にイオン注入領域23が形成される。イオン注入領域23は、p型またはi型の特性を有する。イオン注入領域23においては、イオン注入のエネルギーに起因して、少なくとも一部に結晶欠陥が生じている。次に、図2(a)に示すように、レジスト21を除去し、ウィンドウ層5の受光領域5aを除く領域上に、SiN等からなる保護膜24およびレジスト25を順に形成する。この場合、ウィンドウ層5の受光領域5aが露出する。
次いで、図2(b)に示すように、受光領域5aに対して熱拡散処理を施す。この熱拡散処理においては、受光領域5aに対してp型不純物を拡散させる。この場合のp型不純物としては、Cd(カドミウム)、Zn(亜鉛)等を用いることができる。具体的には、受光領域5aを、Cd、Zn等を含みウィンドウ層5の再結晶温度未満の温度を有する雰囲気にさらす。InPの再結晶化温度は700℃程度であることから、図2(b)においては例えば雰囲気温度を600℃程度に設定することができる。
図2(b)の熱拡散処理によって、受光領域5aにp型半導体領域26が形成される。本実施形態においては熱拡散における雰囲気温度がウィンドウ層5の再結晶化温度未満であることから、イオン注入領域23においては、結晶欠陥が生じたままである。この場合、イオン注入領域23から受光領域5aへの拡散速度が向上する。これは、結晶欠陥が生じた部分において不純物が拡散しやすくなるからである。それにより、p型半導体領域26の形成時間が短縮化される。また、受光領域5aにp型不純物が拡散しやすくなることから、p型半導体領域26においてp型不純物濃度にバラツキが発生することが抑制される。
次に、図2(c)に示すように、受光領域5a上にSiN等の絶縁体からなる保護膜27を形成し、受光領域5aの外周にAu/Zn/Au等の導電体からなるp側電極28を形成し、半導体基板1下にAuGe/Au等の導電体からなるn側電極30を形成する。以上の工程により、アバランシェフォトダイオード型の受光素子100が完成する。受光素子100は、保護膜27側から光が入射する表面入射型の受光素子である。
なお、イオン注入工程におけるp型またはi型不純物の注入エネルギーおよび注入量と熱拡散における雰囲気中のp型不純物の濃度と拡散温度とに基づいて、熱拡散工程におけるp型不純物の拡散深さが決定される。したがって、イオン注入工程におけるp型またはi型不純物の注入エネルギーと熱拡散における雰囲気中のp型不純物の濃度と拡散温度とを制御することによって、p型半導体領域26の厚みを制御することができる。
例えば、図3に示すウェハ40に複数の受光素子100を作製する場合、各受光素子100に対してイオン注入工程におけるp型またはi型不純物の注入エネルギーと熱拡散における雰囲気中のp型不純物の濃度と拡散温度とを制御することによって、各受光素子100のp型半導体領域26の厚みを制御することができる。また、ウェハ40を複数の領域に区画し、各領域の複数の受光素子100に対して同一の注入エネルギー、p型不純物濃度および拡散温度に設定してもよい。
本実施形態においては、ウィンドウ層5が第1導電型の半導体層に相当し、イオン注入工程におけるp型またはi型の不純物が第2導電型または無導電型の不純物に相当し、p型不純物が第2導電型の元素に相当する。
(第2の実施形態)
図4および図5は、本発明の第2の実施形態に係る受光素子の製造方法について説明するためのフロー図である。まず、図4(a)に示すように、半導体積層体110を準備する。半導体積層体110は、n型InPからなるn型半導体層101上に、i型もしくはn型InGaAsからなる光吸収層102およびn型InPからなるn型半導体層103が積層された構造を有する。
図4および図5は、本発明の第2の実施形態に係る受光素子の製造方法について説明するためのフロー図である。まず、図4(a)に示すように、半導体積層体110を準備する。半導体積層体110は、n型InPからなるn型半導体層101上に、i型もしくはn型InGaAsからなる光吸収層102およびn型InPからなるn型半導体層103が積層された構造を有する。
次に、図5(b)に示すように、n型半導体層103上にレジスト121を形成する。レジスト121には、後述する受光領域103aの外周部に沿って孔122が形成されている。それにより、n型半導体層103の受光領域103aの外周部が露出している。本実施形態においては、孔122は、略リング形状を有する。
次いで、図4(c)に示すように、孔122を介してn型半導体層103に対してイオンを注入する。この場合、注入するイオンとして、B(ホウ素)、As(ヒ素)、P(リン)、Sb(アンチモン)、Be(ベリリウム)等のp型不純物またはi型不純物を用いることができる。注入エネルギーは、例えば10keV〜500keV程度である。注入量は、例えば1×1011cm−2〜1×1016cm−2程度である。ビーム電流は、例えば10±5μA程度である。
図4(c)のイオン注入後、図4(d)に示すように、孔122下のn型半導体層103にイオン注入領域123が形成される。イオン注入領域123は、p型またはi型の特性を有する。イオン注入領域123においては、イオン注入のエネルギーおよび注入量に起因して、少なくとも一部に結晶欠陥が生じている。次に、図5(a)に示すように、レジスト121を除去し、n型半導体層103の受光領域103aを除く領域上に、SiN等からなる保護膜124およびレジスト125を順に形成する。この場合、n型半導体層103の受光領域103aが露出する。
次いで、図5(b)に示すように、受光領域103aに対して熱拡散処理を施す。この熱拡散処理においては、受光領域103aに対してp型不純物を拡散させる。この場合のp型不純物としては、Cd、Zn等を用いることができる。具体的には、受光領域103aを、Cd、Zn等を含みn型半導体層103の再結晶温度未満の温度を有する雰囲気にさらす。InPの再結晶化温度は700℃程度であることから、図5(b)においては例えば雰囲気温度を600℃程度に設定することができる。
図5(b)の熱拡散処理によって、受光領域103aにp型半導体領域126が形成される。本実施形態においては熱拡散における雰囲気温度がn型半導体層103の再結晶化温度未満であることから、イオン注入領域123においては結晶欠陥が生じたままである。この場合、イオン注入領域123から受光領域103aへの拡散速度が向上する。結晶欠陥が生じた部分において不純物が拡散しやすくなるからである。それにより、p型半導体領域126の形成時間が短縮化される。また、受光領域103aにp型不純物が拡散しやすくなることから、p型半導体領域126においてp型不純物濃度にバラツキが発生することが抑制される。
次に、図5(c)に示すように、受光領域103a上にSiN等の絶縁体からなる保護膜127を形成し、受光領域103aの外周にAu/Zn/Au等の導電体からなるp側電極128を形成し、半導体基板101下にAuGe/Au等の導電体からなるn側電極130を形成する。以上の工程により、PIN型フォトダイオード型の受光素子100aが完成する。受光素子100aは、保護膜127側から光が入射する表面入射型の受光素子である。
本実施形態においては、n型半導体層103が第1導電型の半導体層に相当し、イオン注入工程におけるp型またはi型の不純物が第2導電型または無導電型の不純物に相当し、p型不純物が第2導電型の元素に相当する。
実施例においては、上記実施形態に係る受光素子を作製し、その特性について調べた。
(実施例)
実施例においては、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。イオン注入工程において、p型不純物としてBeを用い、注入エネルギーを140keVに設定し、注入量を5.0×1013cm−2に設定し、ビーム電流を10±5μAに設定した。また、熱拡散工程において、p型不純物としてCdを用い、雰囲気温度を600℃に設定し、拡散時間を15分に設定した。
実施例においては、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。イオン注入工程において、p型不純物としてBeを用い、注入エネルギーを140keVに設定し、注入量を5.0×1013cm−2に設定し、ビーム電流を10±5μAに設定した。また、熱拡散工程において、p型不純物としてCdを用い、雰囲気温度を600℃に設定し、拡散時間を15分に設定した。
(比較例)
比較例においては、第1の実施形態に係る受光素子100と同様の構造を有する受光素子を作製した。ただし、比較例においては、イオン注入工程を行わなかった。
比較例においては、第1の実施形態に係る受光素子100と同様の構造を有する受光素子を作製した。ただし、比較例においては、イオン注入工程を行わなかった。
(分析)
実施例および比較例に係る受光素子に逆バイアスを印加した場合の電圧−電流特性について調べた。図6(a)は実施例に係る受光素子における電圧−電流特性の測定結果である。図6(b)は比較例に係る受光素子における電圧−電流特性の測定結果である。図6(a)および図6(b)において、横軸は逆バイアスを示し、縦軸は電流を印加電圧で微分した値を示す。
実施例および比較例に係る受光素子に逆バイアスを印加した場合の電圧−電流特性について調べた。図6(a)は実施例に係る受光素子における電圧−電流特性の測定結果である。図6(b)は比較例に係る受光素子における電圧−電流特性の測定結果である。図6(a)および図6(b)において、横軸は逆バイアスを示し、縦軸は電流を印加電圧で微分した値を示す。
図6(a)および図6(b)に示すように、各受光素子においては、逆バイアスの増加に伴って電流が増加した。これは、空乏層の拡大に起因して外部への光電流が大きくなったからであると考えられる。この電流の微分値は、所定の逆バイアスにおいて極大値を示した。空乏層がpn接合地点に到達したからであると考えられる。また、実施例に係る受光素子においては、比較例に係る受光素子に比較して極大点における逆バイアスが低下した。これは、実施例に係る受光素子においてはp型半導体領域の深さが大きくなって空乏層がpn接合地点に到達しやすくなったからであると考えられる。
ここで、InPにおける不純物の拡散係数は、1×10−15cm2/s〜1×10−8cm2/s程度である。上記分析結果によれば、実施例に係る受光素子においては、p型不純物の拡散距離はこの拡散係数から想定される拡散距離より大きくなった。したがって、イオン注入を設けることによって、熱拡散処理におけるp型不純物の拡散側負度が向上したことがわかった。
1 半導体基板
2 光吸収層
3 電界降下層
4 増倍層
5 ウィンドウ層
5a 受光領域
10 半導体積層体
23 イオン注入領域
26 p型半導体領域
27 保護膜
100 受光素子
2 光吸収層
3 電界降下層
4 増倍層
5 ウィンドウ層
5a 受光領域
10 半導体積層体
23 イオン注入領域
26 p型半導体領域
27 保護膜
100 受光素子
Claims (7)
- 第1導電型の半導体層の受光領域の外周部に第2導電型または無導電型の不純物を注入する工程と、
前記不純物を注入する工程後に、前記半導体層の再結晶化温度未満の温度を有しかつ前記第2導電型の元素を含む雰囲気内で、前記受光領域に熱拡散させる工程と、を含むことを特徴とする受光素子の製造方法。 - 前記熱拡散させる工程における前記第2導電型の元素の拡散深さは、前記不純物を注入する工程における注入エネルギーおよび注入量に基づいて制御されることを特徴とする請求項1記載の受光素子の製造方法。
- 前記第2導電型の元素は、B、As、P、SbおよびBeのうちの少なくとも1つであることを特徴とする請求項1または2記載の受光素子の製造方法。
- 前記半導体層は、InPからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の受光素子の製造方法。
- 前記受光領域の径は、100μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の受光素子の製造方法。
- 前記第1導電型は、n型であり、
前記第2導電型は、p型であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の受光素子の製造方法。 - 前記不純物を注入する工程は、前記半導体層の複数の受光領域の外周部に第2導電型または無導電型の不純物を注入する工程であり、
前記不純物を注入する工程における注入エネルギーおよび注入量が各受光領域に対して設定されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の受光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007092027A JP2008251882A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 受光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007092027A JP2008251882A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 受光素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP (1) | JP2008251882A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010035845A1 (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 富士フイルム株式会社 | アゾ顔料、アゾ顔料の製造方法、及びアゾ顔料を含む分散物、着色組成物 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007092027A patent/JP2008251882A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2010035845A1 (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 富士フイルム株式会社 | アゾ顔料、アゾ顔料の製造方法、及びアゾ顔料を含む分散物、着色組成物 |
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