JP2008246485A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2008246485A5
JP2008246485A5 JP2008151200A JP2008151200A JP2008246485A5 JP 2008246485 A5 JP2008246485 A5 JP 2008246485A5 JP 2008151200 A JP2008151200 A JP 2008151200A JP 2008151200 A JP2008151200 A JP 2008151200A JP 2008246485 A5 JP2008246485 A5 JP 2008246485A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
perfluoride
exhaust gas
acidic substance
supplied
decomposition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008151200A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2008246485A (ja
JP5468216B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2008151200A priority Critical patent/JP5468216B2/ja
Priority claimed from JP2008151200A external-priority patent/JP5468216B2/ja
Publication of JP2008246485A publication Critical patent/JP2008246485A/ja
Publication of JP2008246485A5 publication Critical patent/JP2008246485A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5468216B2 publication Critical patent/JP5468216B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2008151200A 2008-06-10 2008-06-10 過弗化物処理装置および過弗化物処理方法 Expired - Lifetime JP5468216B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008151200A JP5468216B2 (ja) 2008-06-10 2008-06-10 過弗化物処理装置および過弗化物処理方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008151200A JP5468216B2 (ja) 2008-06-10 2008-06-10 過弗化物処理装置および過弗化物処理方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002158505A Division JP4214717B2 (ja) 2002-05-31 2002-05-31 過弗化物処理装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2008246485A JP2008246485A (ja) 2008-10-16
JP2008246485A5 true JP2008246485A5 (enExample) 2010-07-01
JP5468216B2 JP5468216B2 (ja) 2014-04-09

Family

ID=39972059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008151200A Expired - Lifetime JP5468216B2 (ja) 2008-06-10 2008-06-10 過弗化物処理装置および過弗化物処理方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5468216B2 (enExample)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6343120B2 (ja) 2013-03-19 2018-06-13 昭和電工株式会社 過弗化物の処理装置、過弗化物の処理方法およびプログラム
JP6085203B2 (ja) * 2013-03-19 2017-02-22 昭和電工株式会社 過弗化物の処理装置および過弗化物の処理方法
JP6129631B2 (ja) * 2013-04-22 2017-05-17 昭和電工株式会社 過弗化物の処理装置
JP6097625B2 (ja) 2013-04-22 2017-03-15 昭和電工株式会社 弗化カルシウムの製造方法および弗化カルシウムの製造装置
US12534390B2 (en) 2023-07-14 2026-01-27 Claros Technologies Inc. Methods and systems of nitrate removal in aqueous systems for improved PFAS destruction
US20250019265A1 (en) 2023-07-14 2025-01-16 Claros Technologies Inc. Methods and Systems of Oxidative Pretreatment of Aqueous Solutions Containing PFAS

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3266759B2 (ja) * 1995-06-14 2002-03-18 株式会社日立製作所 有機ハロゲン化合物の処理方法及びその処理装置
JPH10216479A (ja) * 1997-01-31 1998-08-18 Mitsui Chem Inc 三弗化窒素ガスの除害方法
JP3217034B2 (ja) * 1997-11-14 2001-10-09 株式会社日立製作所 過弗化物の処理方法及びその処理装置
JPH11218318A (ja) * 1998-02-03 1999-08-10 Air Liquide Japan Ltd 排ガス処理設備
JP3796618B2 (ja) * 1998-11-24 2006-07-12 日立造船株式会社 フロン燃焼排ガスの浄化方法
JP3994605B2 (ja) * 1999-11-26 2007-10-24 株式会社日立製作所 Ｐｆｃガスの処理方法及び処理装置
JP2001219031A (ja) * 2000-02-08 2001-08-14 Air Liquide Japan Ltd パーフルオロ化合物の分解方法及び分解装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008246485A5 (enExample)
US7105037B2 (en) Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation
CN101641462B (zh) 烟气冷却和净化系统
RU2645188C2 (ru) Установка для обработки предметов
CN102865583B (zh) 一种含盐有机废水浸没式焚烧急冷处理装置及方法
CN103424004A (zh) 用于电弧炉的集成气体冷却系统
JP6103957B2 (ja) 排ガス処理設備
JP2008039376A (ja) 熱処理装置
SE0602488L (sv) Förfarande och anläggning för framställning av syntesgas från biomassa
CN105972701A (zh) 一种工业用空气净化装置
RU2675913C1 (ru) Способ очистки наружной поверхности теплообменных труб аппаратов воздушного охлаждения
JP2006312121A (ja) 過フッ化物処理方法および過フッ化物処理装置
CN100593681C (zh) 热处理装置
CN105026524B (zh) 气体纯化设备和气体纯化方法
JP2016144776A5 (enExample)
CN103322787A (zh) 一种气流干燥尾气处理装置以及方法
SK50402013U1 (sk) Spôsob spätného získavania konvertorového plynu a zariadenie na uskutočňovanie tohto spôsobu
JP2010119935A (ja) 排ガス処理装置及び半導体装置の製造方法
CN210736524U (zh) 一种tft-lcd玻璃窑炉烟道冷却装置
CN104108736B (zh) 氟化钙的制造方法和氟化钙的制造装置
CN204973581U (zh) 一种消失模尾气净化处理系统
JP2014158991A (ja) 吸着された揮発性有機化合物の脱着装置
CN106178897A (zh) 焚烧炉废气处理系统
TWI727553B (zh) 大量處理氣體淨化系統及相關方法
WO2013169139A1 (en) Method and arrangement for treating exhaust gas