JP2008233149A - 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 - Google Patents
電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008233149A JP2008233149A JP2007068114A JP2007068114A JP2008233149A JP 2008233149 A JP2008233149 A JP 2008233149A JP 2007068114 A JP2007068114 A JP 2007068114A JP 2007068114 A JP2007068114 A JP 2007068114A JP 2008233149 A JP2008233149 A JP 2008233149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- film
- shielding film
- interlayer insulating
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【課題】ショートや剥がれなどの他の不具合を発生させずに光リーク電流の発生を抑制し、遮光効果を向上させ、高品位な表示を可能とする電気光学装置、及び、そのような電気光学装置を備えた電子機器、並びに、電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】電気光学装置は、基板上に、チャネル領域を有する半導体層を含んで構成された薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタの下方に下地絶縁膜を介して設けられる下側遮光膜と、薄膜トランジスタの上方に第1層間絶縁膜を介して設けられる上側遮光膜と、画素の開口領域において、第1層間絶縁膜に、端部が下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成された凹部と、を備え、上側遮光膜が凹部の側面に沿って形成される。
【選択図】図1
【解決手段】電気光学装置は、基板上に、チャネル領域を有する半導体層を含んで構成された薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタの下方に下地絶縁膜を介して設けられる下側遮光膜と、薄膜トランジスタの上方に第1層間絶縁膜を介して設けられる上側遮光膜と、画素の開口領域において、第1層間絶縁膜に、端部が下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成された凹部と、を備え、上側遮光膜が凹部の側面に沿って形成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた液晶プロジェクタ等の電子機器、並びにこのような電気光学装置の製造方法に関する。
液晶装置等の電気光学装置は、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下、TFTという)等を画素選択用のスイッチング素子として用いるアクティブマトリクス駆動形式を採ることが多い。TFTのチャネル領域に入射光が照射されると、光による励起で光リーク電流が発生してTFTの特性が劣化し、表示面における画質の不均一やコントラスト比の低下、フリッカ特性の劣化等の原因となる。
TFTは通常、画素の非開口領域に配置されているが、入射光自体が基板に垂直な成分だけではないために、TFTに光が入射する。そのような入射光は、配線で乱反射或いは多重反射して、TFTに照射されるものである。近年の電気光学装置は入射光強度が高いために、このようなTFTへの光の入射を抑えることが重要である。
そのため、TFTの上層側に積層される層間絶縁膜の上や、TFTの下地をなす層間絶縁膜の下に遮光膜(以下、TFTの上方,下方の遮光膜をそれぞれ上側遮光膜,下側遮光膜と呼ぶ)を設け、チャネル領域やその周辺領域を遮光する構造が採られている。しかし、装置内部での多重反射からTFTのチャネル領域を効果的に遮光するには、遮光膜を極力チャネル近傍に設けなければならない。
特許文献1には、TFTの上層側の層間絶縁膜における半導体層とは反対側の表面には、チャネル領域のうち少なくともその領域の縁部を遮光可能な領域において、半導体層に向かって局所的に窪んだ凹部を形成し、しかも少なくとも凹部内に上側の遮光膜を形成した構造とすることが開示されている。
特開2006−010859号公報
しかしながら、特許文献1では、上層側の層間絶縁膜に、半導体層に向かって局所的に窪んだ凹部を形成すると、上側遮光膜も半導体層側に窪み、上側遮光膜と半導体層間の層間絶縁膜が薄くなりショートや剥がれが生じ易くなるという問題がある。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ショートや剥がれなどの他の不具合を発生させずに光リーク電流の発生を抑制し、遮光効果を向上させ、高品位な表示を可能とする電気光学装置、及び、そのような電気光学装置を備えた電子機器、並びに、電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明による電気光学装置は、基板上に、チャネル領域を有する半導体層を含んで構成された薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタの下方に下地絶縁膜を介して設けられる下側遮光膜と、前記薄膜トランジスタの上方に第1層間絶縁膜を介して設けられる上側遮光膜と、画素の開口領域において、前記第1層間絶縁膜に、端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成された凹部と、を備え、前記上側遮光膜が前記凹部の側面に沿って形成されることを特徴とする。
このような構成においては、先行技術では上側遮光膜と半導体層若しくはその近辺との距離を縮めるように上層側の層間絶縁膜に凹部を形成したのに対し、本発明では、開口領域において、上層側の層間絶縁膜に凹部を形成して、光が開口領域から上側及び下側遮光膜へ入り込むのを抑えて、遮光効果を向上させる。
本発明の装置において、前記開口領域において前記第1層間絶縁膜をエッチング加工することによって、前記凹部が形成され、前記上側遮光膜の端部と前記下側遮光膜の端部間の間隔がエッチング分だけ狭く形成されることを特徴とする。
このような構成においては、凹部は、寸法形状の制御性がよいエッチングにより形成するのが好適である。その点、機械的に研磨除去する処理では、深さ方向の寸法誤差が大きくなり、クラックが発生するおそれがある。
本発明の装置において、前記上側遮光膜は、画素電極に電気的に接続される蓄積容量の少なくとも一方の電極を兼ねることを特徴とする。
このような構成においては、上側遮光膜が蓄積容量の電極としても機能することで基板上の積層構造を簡単化するのに寄与する。蓄積容量は、例えば2つの電極が誘電体膜を介して対向配置されてなり、画素電極からの電流リークを防止するために、電極の一方は画素電極と電気的に接続され、他方は定電位となるように定電位配線に接続される。
本発明による電子機器は、上述のいずれかの電気光学装置を備えたことを特徴とする。
このような構成においては、上述した本発明の電気光学装置を備えてなるので、他の不具合を発生させずに光リーク電流の発生を抑制し、高品位の表示が可能な各種電子機器を実現できる。
本発明による電気光学装置の製造方法は、基板上に下側遮光膜を形成する下側遮光膜形成工程と、前記下側遮光膜上に下地絶縁膜を形成する下地絶縁膜形成工程と、前記下地絶縁膜上に半導体層を含む薄膜トランジスタを形成するトランジスタ形成工程と、前記薄膜トランジスタの上方に第1層間絶縁膜を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、前記第1層間絶縁膜上に上側遮光膜を形成する上側遮光膜形成工程と、を備え、前記上側遮光膜形成工程は、画素の開口領域において、前記第1層間絶縁膜に凹部をその端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成した後、前記上側遮光膜を前記凹部の側面に沿って形成することを特徴とする。
このような方法においては、先行技術は上側遮光膜と半導体層若しくはその近辺との距離を縮めるように上層側の層間絶縁膜に凹部を形成したのに対し、本発明では、開口領域において上層側の層間絶縁膜に凹部を形成して、光が開口領域から上側及び下側遮光膜間へ入り込むのを抑えて、遮光効果を向上させる。
本発明の方法において、前記上側遮光膜形成工程は、前記トランジスタ形成工程の後に、前記半導体層の上に前記第1層間絶縁膜を形成し、その後に前記開口領域における前記第1層間絶縁膜の端部をマスキング及びエッチングを行って階段状に削り、その後に前記第1層間絶縁膜の端部の階段状部分の上に上側遮光膜の第1の電極,誘電体膜及び第2の電極を積層して形成することによって、前記第1層間絶縁膜の開口領域において前記凹部の端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成し、かつ前記上側遮光膜を前記凹部の側面に沿って形成することを特徴とする。
このような方法においては、上側遮光膜の第1の電極を積層する前に、第1層間絶縁膜を削るため第1層間絶縁膜を削るための専用のマスクが必要となるが、半導体層部分を囲む範囲を比較的絞って凹部を形成することができる。
本発明の方法において、前記上側遮光膜形成工程は、前記トランジスタ形成工程の後に、前記半導体層の上に前記第1層間絶縁膜を形成し、更に前記第1層間絶縁膜の上に前記上側遮光膜の第1の電極を形成した後、前記開口領域における前記第1層間絶縁膜及び前記上側遮光膜の第1の電極の積層された端部をマスキング及びエッチングを行って階段状に削り、その後に前記第1層間絶縁膜及び前記上側遮光膜の第1の電極の積層された端部の階段状部分の上に前記上側遮光膜の誘電体膜及び第2の電極を形成することによって、前記第1層間絶縁膜の開口領域において前記凹部の端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成し、かつ前記上側遮光膜の誘電体膜及び第2の電極を前記凹部の側面に沿って形成することを特徴とする。
このような方法においては、上側遮光膜の第1の電極をエッチングにて削るときに用いるマスクをそのまま兼用して深く削ることによって第1の電極と共に第1層間絶縁膜に凹部を形成することができ、専用のマスクなしで開口領域周辺の凹部形成を実現することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
本発明の電気光学装置に係る一実施形態について、図1から図9を参照して説明する。
<電気光学装置の全体構成>
最初に、本実施形態に係る液晶装置全体の構成を、図1及び図2を参照して説明する。ここに、図1は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示しており、図2は図1のI−I’線断面を示している。
最初に、本実施形態に係る液晶装置全体の構成を、図1及び図2を参照して説明する。ここに、図1は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示しており、図2は図1のI−I’線断面を示している。
図1において、液晶装置は、対向配置されたTFTアレイ基板(以下、単にTFT基板という)10と対向基板20との間に液晶層50が挟持された構造をしている。即ち、本発明の一具体例として、この液晶装置には駆動回路内蔵型TFTアクティブマトリクス駆動方式が採用されている。画像が表示される画像表示領域10aは、表示領域を囲む遮光膜53によって規定され、TFT基板10と対向基板20とは、画像表示領域10aの周囲において、シール材52により接着されている。画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域には、データ線駆動回路101、及び、配線105によって相互接続された2つの走査線駆動回路104が配設される。更に、周辺領域には、TFT基板10の一辺に沿って、外部接続端子102が複数配列するように形成されている。
また、対向基板20の4つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材106が配置されている。他方、TFT基板10にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、TFT基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。
図2において、TFT基板10側には、画素スイッチング用TFTや走査線、データ線等の配線の上層に画素電極9aが設けられている。そして、画素電極9aの直上に配向膜16が形成されている。一方、対向基板20側には、ストライプ状の遮光膜23を介して対向電極21が形成されている。対向電極21の上層には、配向膜22が形成されている。液晶層50は、TFT基板10及び対向基板20の周縁をシール材52により封止して形成した空間に、液晶を封入して形成される。液晶層50における液晶配向は、画素電極9aと対向電極21との間に印加される電界に応じて変化するが、電界が印加されていない状態では、配向膜16及び配向膜22によって規定される配向状態をとるようになっている。
尚、このような液晶装置においては、光が入射する対向基板20側及び透過光が射出されるTFT基板10側の夫々に、例えばTN(Twisted Nematic)モード、STN(Super Twisted Nematic)モード、VA(Vertically Aligned)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード等の動作モードや、ノーマリーホワイトモード/ノーマリーブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などを配置してもよい。また、TFT基板10上には、これらのデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
<液晶装置の主要部の構成>
次に、本実施形態に係る液晶装置の主要部の構成について、図3から図6を参照して説明する。
次に、本実施形態に係る液晶装置の主要部の構成について、図3から図6を参照して説明する。
図3は、本実施形態に係る液晶装置のうち、画素部の等価回路を表している。図4及び図5は、TFT基板上の画素部に係る部分構成を表す平面図である。なお、図4及び図5は、それぞれ、後述する積層構造のうち下層部分(図4)と上層部分(図5)に相当する。図6は、図4及び図5を重ね合わせた場合のII−II’線における断面図である。なお、図6においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材の縮尺比率を適宜に変えてある。
<画素部の原理的構成>
図3に示したように、画像表示領域10aにおいては、複数の走査線11a及び複数のデータ線6aが相交差して配列しており、その線間に、走査線11a,データ線6aの各一により選択される画素部が設けられている。各画素部は、TFT30、画素電極9a及び蓄積容量70を含んで構成されている。TFT30は、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを選択画素に印加するために設けられ、ゲートが走査線11aに接続され、ソースがデータ線6aに接続され、ドレインが画素電極9aに接続されている。画素電極9aは、後述の対向電極21との間で液晶容量を形成し、入力される画像信号S1、S2、…、Snを一定期間保持するようになっている。蓄積容量70の一方の電極は、画素電極9aと並列してTFT30のドレインに接続され、他方の電極は、定電位となるように、電位固定の容量配線400に接続されている。
図3に示したように、画像表示領域10aにおいては、複数の走査線11a及び複数のデータ線6aが相交差して配列しており、その線間に、走査線11a,データ線6aの各一により選択される画素部が設けられている。各画素部は、TFT30、画素電極9a及び蓄積容量70を含んで構成されている。TFT30は、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを選択画素に印加するために設けられ、ゲートが走査線11aに接続され、ソースがデータ線6aに接続され、ドレインが画素電極9aに接続されている。画素電極9aは、後述の対向電極21との間で液晶容量を形成し、入力される画像信号S1、S2、…、Snを一定期間保持するようになっている。蓄積容量70の一方の電極は、画素電極9aと並列してTFT30のドレインに接続され、他方の電極は、定電位となるように、電位固定の容量配線400に接続されている。
この液晶装置は、例えばTFTアクティブマトリクス駆動方式を採り、走査線駆動回路104(図1参照)から各走査線11aに走査信号G1、G2、…、Gmを線順次に印加すると共に、それによってTFT30がオン状態となる水平方向の選択画素部の列に対し、データ線駆動回路101(図1参照)からの画像信号S1、S2、…、Snを、データ線6aを通して印加するようになっている。これにより、画像信号が選択画素に対応する画素電極9aに供給される。即ち、画素電極9aにより画素毎の表示領域(以下では、“画素領域”と呼ぶ)が画定される。TFT基板10は、液晶層50を介して対向基板20と対向配置されているので(図2参照)、以上のようにして区画配列された画素部毎に液晶層50に電界を印加することにより、両基板間の透過光量が画素毎に制御され、画像が階調表示される。また、このとき各画素部に保持された画像信号は、蓄積容量70によりリークが防止される。
このように、アクティブマトリクス方式では、画素部毎に電荷を保持することで画質を維持しているため、画素部における電荷の流出(即ち、リーク電流)はできるだけ低く抑える必要がある。ところが、TFT30は一般的なポリシリコンTFTとして構成されており、光吸収等に起因するリーク電流を、わずかながら発生させる可能性がある。本実施形態では、このようなTFT30を本発明の「薄膜トランジスタ」の一具体例としている。
<画素部の具体的構成>
次に、上述の動作を実現する画素部の具体的構成について、図4から図6を参照して説明する。
図4から図6では、上述した画素部の各回路要素が、パターン化され、積層された導電膜としてTFT基板10上に構築されている。本実施形態のTFT基板10は、石英基板からなり、ガラス基板や石英基板等からなる対向基板20と対向配置されている。また、各回路要素は、下から順に、走査線11aを含む第1層、ゲート電極3aを含む第2層、蓄積容量70の固定電位側容量電極を含む第3層、データ線6a等を含む第4層、容量配線400等を含む第5層、画素電極9a等を含む第6層からなる。また、第1層−第2層間には下地絶縁膜12、第2層−第3層間には第1層間絶縁膜41、第3層−第4層間には第2層間絶縁膜42、第4層−第5層間には第3層間絶縁膜43、第5層−第6層間には第4層間絶縁膜44がそれぞれ設けられ、前述の各要素間が短絡することを防止している。なお、このうち、第1層から第3層が下層部分として図4に示され、第4層から第6層が上層部分として図5に示されている。
次に、上述の動作を実現する画素部の具体的構成について、図4から図6を参照して説明する。
図4から図6では、上述した画素部の各回路要素が、パターン化され、積層された導電膜としてTFT基板10上に構築されている。本実施形態のTFT基板10は、石英基板からなり、ガラス基板や石英基板等からなる対向基板20と対向配置されている。また、各回路要素は、下から順に、走査線11aを含む第1層、ゲート電極3aを含む第2層、蓄積容量70の固定電位側容量電極を含む第3層、データ線6a等を含む第4層、容量配線400等を含む第5層、画素電極9a等を含む第6層からなる。また、第1層−第2層間には下地絶縁膜12、第2層−第3層間には第1層間絶縁膜41、第3層−第4層間には第2層間絶縁膜42、第4層−第5層間には第3層間絶縁膜43、第5層−第6層間には第4層間絶縁膜44がそれぞれ設けられ、前述の各要素間が短絡することを防止している。なお、このうち、第1層から第3層が下層部分として図4に示され、第4層から第6層が上層部分として図5に示されている。
(第1層の構成―走査線等―)
第1層は、走査線11aで構成される。走査線11aは、図4のX方向に沿って延びる本線部と、データ線6a或いは容量配線400が延在する図4のY方向に延びる突出部とからなる形状にパターニングされている。このような走査線11aは、例えば導電性ポリシリコンからなり、その他にもチタン(Ti)、クロム(Cr)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド又はこれらの積層体等により形成することができる。本実施形態における走査線11aは、できるだけ画素領域の間の領域を覆うことで、TFT30を下側から遮光する下側遮光膜としても機能する。なお、画素領域の周囲の領域は、TFT基板10と対向基板20との間に設けられた遮光膜によって遮光領域に規定されている。遮光領域では、液晶装置における入射光(図6参照)のうち直進成分が遮られる。
第1層は、走査線11aで構成される。走査線11aは、図4のX方向に沿って延びる本線部と、データ線6a或いは容量配線400が延在する図4のY方向に延びる突出部とからなる形状にパターニングされている。このような走査線11aは、例えば導電性ポリシリコンからなり、その他にもチタン(Ti)、クロム(Cr)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド又はこれらの積層体等により形成することができる。本実施形態における走査線11aは、できるだけ画素領域の間の領域を覆うことで、TFT30を下側から遮光する下側遮光膜としても機能する。なお、画素領域の周囲の領域は、TFT基板10と対向基板20との間に設けられた遮光膜によって遮光領域に規定されている。遮光領域では、液晶装置における入射光(図6参照)のうち直進成分が遮られる。
(第2層の構成―TFT等―)
第2層は、TFT30及び中継電極719で構成されている。本発明の「薄膜トランジスタ」の一例たるTFT30は、例えばLDD構造とされ、ゲート電極3a、半導体層1a、ゲート電極3aと半導体層1aを絶縁するゲート絶縁膜2を備えている。ゲート絶縁膜2は、例えば、HTO(High Temperature Oxide)等の熱酸化されたシリコン酸化膜からなる。ゲート電極3aは、例えば導電性ポリシリコンで形成される。半導体層1aは、例えばポリシリコンからなり、チャネル領域1a’、低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1c、並びに高濃度ソース領域1d及び高濃度ドレイン領域1eからなる。
第2層は、TFT30及び中継電極719で構成されている。本発明の「薄膜トランジスタ」の一例たるTFT30は、例えばLDD構造とされ、ゲート電極3a、半導体層1a、ゲート電極3aと半導体層1aを絶縁するゲート絶縁膜2を備えている。ゲート絶縁膜2は、例えば、HTO(High Temperature Oxide)等の熱酸化されたシリコン酸化膜からなる。ゲート電極3aは、例えば導電性ポリシリコンで形成される。半導体層1aは、例えばポリシリコンからなり、チャネル領域1a’、低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1c、並びに高濃度ソース領域1d及び高濃度ドレイン領域1eからなる。
TFT30は、半導体層1a、特にチャネル領域1a’に光が照射されると、光励起によりリーク電流が生じる。そこで、本実施形態では、TFT30の半導体層1a、チャネル領域1a’を効果的に遮光するために、開口領域(画素領域にほぼ同じ)において第1層間絶縁膜41に凹部35を形成して、光が開口領域から上側遮光膜70及び下側遮光膜11a間へ入り込むのを抑えるように構成している(図6参照)。凹部35は、その端部が、開口領域において、第1層間絶縁膜41上に下側遮光膜11aの端部と平面的な位置関係で重なるように形成されている。しかも、上側遮光膜70の少なくとも一部(少なくとも容量電極300)が凹部35の側面に沿って形成されている。なお、上側遮光膜70は蓄積容量で構成され、下側遮光膜11aは走査線で構成されていることは、前述した通りである。凹部35は、例えばエッチング加工により形成されている。
尚、TFT30は、LDD構造を有することが好ましいが、低濃度ソース領域1b、低濃度ドレイン領域1cに不純物打ち込みを行わないオフセット構造であってもよいし、ゲート電極3aをマスクとして不純物を高濃度に打ち込んで高濃度ソース領域及び高濃度ドレイン領域を形成する自己整合型であってもよい。また、中継電極719は、例えばゲート電極3aと同一膜として形成される。
TFT30のゲート電極3aは、下地絶縁膜12に形成されたコンタクトホール12cvを介して走査線11aに電気的に接続されている。下地絶縁膜12は、例えば、HTO等のシリコン酸化膜、或いはNSG(ノンシリケートガラス)膜からなり、第1層と第2層との層間を絶縁する他、TFT基板10の全面に形成されることで、基板表面の研磨による荒れや汚れ等が惹き起こすTFT30の素子特性の変化を防止する機能を有している。
(第3層の構成―蓄積容量等―)
第3層は、蓄積容量70で構成されている。蓄積容量70は、容量電極300と下部電極71とが誘電体膜75を介して対向配置された構成となっている。このうち、容量電極300は、容量配線400に電気的に接続されている。下部電極71は、TFT30の高濃度ドレイン領域1e及び画素電極9aの夫々に電気的に接続されている。
第3層は、蓄積容量70で構成されている。蓄積容量70は、容量電極300と下部電極71とが誘電体膜75を介して対向配置された構成となっている。このうち、容量電極300は、容量配線400に電気的に接続されている。下部電極71は、TFT30の高濃度ドレイン領域1e及び画素電極9aの夫々に電気的に接続されている。
下部電極71と高濃度ドレイン領域1eとは、第1層間絶縁膜41に開孔されたコンタクトホール83を介して接続されている。また、下部電極71と画素電極9aとは、コンタクトホール881、882、804、及び中継電極719、第2中継電極6a2、第3中継電極402により各層を中継し、コンタクトホール89において電気的に接続されている。
このような容量電極300には、例えば、Ti、Cr、W、Ta、Mo等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの、或いは好ましくはタングステンシリサイドからなる。これにより、容量電極300は、TFT30に上側から入射しようとする光を遮る機能を有している。また、下部電極71には、例えば導電性のポリシリコンが用いられる。誘電体膜75は、例えば、膜厚5〜200nm程度の比較的薄いHTO膜、LTO(Low Temperature Oxide)膜等の酸化シリコン膜、或いは窒化シリコン膜等からなる。
また、第1層間絶縁膜41は、例えば、NSGによって形成されている。その他、第1層間絶縁膜41には、PSG(リンシリケートガラス)、BSG(ボロンシリケートガラス)、BPSG(ボロンリンシリケートガラス)等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等を用いることができる。
尚、蓄積容量70は、図4からもわかるように、遮光領域内に収まるように形成され、TFT30を上面側から遮光しており、本発明の「上側遮光膜」の一例として機能する。
(第4層の構成―データ線等―)
第4層は、データ線6aで構成されている。データ線6aは、下から順にアルミニウム層41A、窒化チタン層41TN、及び窒化シリコン層401の3層膜として形成されている。窒化シリコン層401は、下層のアルミニウム層41Aと窒化チタン層41TNを覆うように少し大きなサイズにパターニングされている。また、第4層には、データ線6aと同一膜として、容量配線用中継層6a1及び第2中継電極6a2が形成されている。これらは、図5に示したように、夫々が分断されるように形成されている。
第4層は、データ線6aで構成されている。データ線6aは、下から順にアルミニウム層41A、窒化チタン層41TN、及び窒化シリコン層401の3層膜として形成されている。窒化シリコン層401は、下層のアルミニウム層41Aと窒化チタン層41TNを覆うように少し大きなサイズにパターニングされている。また、第4層には、データ線6aと同一膜として、容量配線用中継層6a1及び第2中継電極6a2が形成されている。これらは、図5に示したように、夫々が分断されるように形成されている。
このうち、データ線6aは、第1層間絶縁膜41及び第2層間絶縁膜42を貫通するコンタクトホール81を介して、TFT30の高濃度ソース領域1dと電気的に接続されている。
また、容量配線用中継層6a1は、第2層間絶縁膜42に開孔されたコンタクトホール801を介して容量電極300と電気的に接続され、容量電極300と容量配線400との間を中継している。容量配線用中継層6a2は、前述したように、第1層間絶縁膜41及び第2層間絶縁膜42を貫通するコンタクトホール882を介して中継電極719さらにコンタクトホール881を介して下部電極71に電気的に接続されている。このような第2層間絶縁膜42は、例えばNSGからなり、その他、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。
(第5層の構成―容量配線等―)
第5層は、容量配線400及び第3中継電極402により構成されている。容量配線400は、画像表示領域10aの周囲にまで延設され、定電位源と電気的に接続されることで、固定電位とされている。また、容量配線400は、第3層間絶縁膜43に開孔されたコンタクトホール803を介して、容量配線用中継層6a1と電気的に接続されている。このような容量配線400は、例えばアルミニウム、窒化チタンを積層した二層構造となっている。
第5層は、容量配線400及び第3中継電極402により構成されている。容量配線400は、画像表示領域10aの周囲にまで延設され、定電位源と電気的に接続されることで、固定電位とされている。また、容量配線400は、第3層間絶縁膜43に開孔されたコンタクトホール803を介して、容量配線用中継層6a1と電気的に接続されている。このような容量配線400は、例えばアルミニウム、窒化チタンを積層した二層構造となっている。
容量配線400は、図5に示すように、X方向、Y方向に延在する格子状に形成され、X方向に延在する部分には、第3中継電極402の形成領域を確保するために切り欠きが設けられている。容量配線400は、遮光膜としても機能し、下層のデータ線6a、走査線11a、TFT30等を覆うように、これらの回路要素よりも幅広に形成されており、遮光領域を最終に規定する形状となっている。
また、第5層には、容量配線400と同一膜として、第3中継電極402が形成されている。第3中継電極402は、前述のように、コンタクトホール804及びコンタクトホール89を介して、第2中継電極6a2−画素電極9a間を中継している。
こうした第5層の下には、全面に第3層間絶縁膜43が形成されている。第3層間絶縁膜43は、例えばNSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。
(第6層の構成―画素電極等―)
第5層の全面には第4層間絶縁膜44が形成され、更にその上に、第6層として画素電極9aが形成されている。第4層間絶縁膜44には、画素電極9a−第3中継電極402間を電気的に接続するためのコンタクトホール89が開孔されている。このような第4層間絶縁膜44は、例えばNSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。
第5層の全面には第4層間絶縁膜44が形成され、更にその上に、第6層として画素電極9aが形成されている。第4層間絶縁膜44には、画素電極9a−第3中継電極402間を電気的に接続するためのコンタクトホール89が開孔されている。このような第4層間絶縁膜44は、例えばNSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス、窒化シリコンや酸化シリコン等によって形成することができる。
画素電極9a(図5中、破線9a’で輪郭が示されている)は、縦横に区画配列された画素領域の各々に配置されている。画素電極9aの形成領域は、画素領域に略対応しており、その周囲の遮光領域にデータ線6a及び走査線11aが格子状に配列するように形成されている(図4及び図5参照)。このような画素電極9aは、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明導電膜からなる。更に、画素電極9a上には配向膜16が形成されている。以上が、TFT基板10側の画素部の構成である。
他方、対向基板20には、その対向面の全面に対向電極21が設けられており、更にその上(図6では対向電極21の下側)に配向膜22が設けられている。対向電極21は、画素電極9aと同様、例えばITO膜等の透明導電性膜からなる。なお、対向基板20と対向電極21の間には、TFT30における光リーク電流の発生等を防止するため、少なくともTFT30と正対する領域を覆うように遮光膜23が設けられている。
以上のように構成されたTFT基板10と対向基板20の間には、液晶層50が設けられている。液晶層50は、基板10及び20の周縁部をシール材により封止して形成した空間に液晶を封入して形成される。液晶層50は、画素電極9aと対向電極21との間に電界が印加されていない状態において、ラビング処理等の配向処理が施された配向膜16及び配向膜22によって、所定の配向状態をとるようになっている。
<TFTの遮光構造の製造方法>
本発明の液晶装置に係るTFTの遮光構造の製造方法について説明する。
液晶装置の製造方法は、基板10上に下側遮光膜としての走査線11aを形成する下側遮光膜形成工程と、走査線11a上に下地絶縁膜12を形成する下地絶縁膜形成工程と、下地絶縁膜12上に半導体層を含む薄膜トランジスタとしてのTFT30を形成するトランジスタ形成工程と、TFTの上方に第1層間絶縁膜41を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、層間絶縁膜41上に上側遮光膜としての蓄積容量(下部電極71、誘電体膜75及び容量電極300)70を形成する上側遮光膜形成工程と、を備えている。そして、上側遮光膜形成工程は、開口領域において、前記第1層間絶縁膜41に凹部35の端部を例えばエッチング加工によって平面的な位置関係において走査線11aの端部と重なるように形成した後、蓄積容量70の少なくとも一部(少なくとも容量電極300)を凹部35の側面に沿って形成する。
本発明の液晶装置に係るTFTの遮光構造の製造方法について説明する。
液晶装置の製造方法は、基板10上に下側遮光膜としての走査線11aを形成する下側遮光膜形成工程と、走査線11a上に下地絶縁膜12を形成する下地絶縁膜形成工程と、下地絶縁膜12上に半導体層を含む薄膜トランジスタとしてのTFT30を形成するトランジスタ形成工程と、TFTの上方に第1層間絶縁膜41を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、層間絶縁膜41上に上側遮光膜としての蓄積容量(下部電極71、誘電体膜75及び容量電極300)70を形成する上側遮光膜形成工程と、を備えている。そして、上側遮光膜形成工程は、開口領域において、前記第1層間絶縁膜41に凹部35の端部を例えばエッチング加工によって平面的な位置関係において走査線11aの端部と重なるように形成した後、蓄積容量70の少なくとも一部(少なくとも容量電極300)を凹部35の側面に沿って形成する。
<TFTの遮光に関する構成及びその製造方法の2つの実施例>
次に、TFT30を遮光するためのTFTの上層部分及び下層部分の構成について、図7乃至図11を参照してより詳細に説明する。図7は、開口領域においてTFT30の上層側に設けられる第1層間絶縁膜41での凹部、換言すれば第1層間絶縁膜41上に形成される上側遮光膜としての蓄積容量70の掘り下げ位置A又はBを示している。つまり、図7は、エッチング加工によって開口領域における第1層間絶縁膜41に凹部35を形成した場合に、第1層間絶縁膜41に形成される凹部35の形成方法の2つの実施例のそれぞれに対応した下部電極71の掘り下げ位置A及びBを示している。
次に、TFT30を遮光するためのTFTの上層部分及び下層部分の構成について、図7乃至図11を参照してより詳細に説明する。図7は、開口領域においてTFT30の上層側に設けられる第1層間絶縁膜41での凹部、換言すれば第1層間絶縁膜41上に形成される上側遮光膜としての蓄積容量70の掘り下げ位置A又はBを示している。つまり、図7は、エッチング加工によって開口領域における第1層間絶縁膜41に凹部35を形成した場合に、第1層間絶縁膜41に形成される凹部35の形成方法の2つの実施例のそれぞれに対応した下部電極71の掘り下げ位置A及びBを示している。
図8は第1層間絶縁膜41に形成される凹部35の第1の形成方法を示すもので、図7のIII−III’線における断面及びその付近の開口領域の断面図を示している。図9は図8における第1層間絶縁膜41の凹部35に対応する下部電極71の掘り下げ位置Aのエッチング加工を説明する図である。
図8及び図9に示すように、上側遮光膜形成工程としての蓄積容量形成工程は、トランジスタ形成工程の後に、TFT30の上に第1層間絶縁膜41を形成し、その後に開口領域における層間絶縁膜41の端部を、マスクとしてのレジスト410を用いてエッチング加工して階段状に削り(図9の斜線部分がエッチングにて削る部分)、その後に第1層間絶縁膜41の端部の階段状部分の上に蓄積容量70の下部電極71,誘電体膜75及び容量電極300を積層して形成することによって、第1層間絶縁膜41の開口領域において凹部35の端部を平面的な位置関係において走査線11aの端部と重なるように形成し、かつ蓄積容量70を凹部35の側面に沿って形成する。図8及び図9において、符号dは、エッチング加工によって第1層間絶縁膜41が掘り下げられた高さ分であり、図8において、符号Hは、上側遮光膜(蓄積容量70)の端部と下側遮光膜(走査線11a)の端部間の間隔を示している。
このような製造方法においては、蓄積容量70の下部電極71を積層する前に、層間絶縁膜41を削るために層間絶縁膜を削るための専用のマスク410が必要となるが、図7の符号Aに示すように半導体層部分1aを囲む範囲を比較的狭い範囲に絞って凹部35を形成することができる。
図10は第1層間絶縁膜41に形成される凹部35の第2の形成方法を示すもので、図7のIII−III’線における断面及びその付近の開口領域の断面図を示している。図11は図10における第1層間絶縁膜41の凹部35に対応する下部電極71の掘り下げ位置Bのエッチング加工を説明する図である。
図10及び図11に示すように、上側遮光膜形成工程としての蓄積容量形成工程は、トランジスタ形成工程の後に、TFT30の上に第1層間絶縁膜41を形成し、更に第1層間絶縁膜41の上に蓄積容量70の下部電極71を形成した後、開口領域における第1層間絶縁膜41及び蓄積容量70の下部電極71の積層された端部を、マスクとしてのレジスト710を用いてエッチング加工して階段状に削り(図11の斜線部分がエッチングにて削る部分)、その後に第1層間絶縁膜41及び蓄積容量70の下部電極71の積層された端部の階段状部分の上に蓄積容量70の誘電体膜75及び容量電極300を形成することによって、層間絶縁膜41の開口領域において凹部35の端部を平面的な位置関係において走査線11aの端部と重なるように形成し、かつ蓄積容量70の誘電体膜75及び容量電極300を凹部35の側面に沿って形成する。図10及び図11において、符号dは、エッチング加工によって第1層間絶縁膜41が掘り下げられた高さ分であり、図10において、符号Hは、上側遮光膜(蓄積容量70)の端部と下側遮光膜(走査線11a)の端部間の間隔を示している。
このような方法においては、蓄積容量70の下部電極71をエッチング加工にて削るときに用いるマスク710をそのまま兼用して深く削ることによって下部電極71の切削と共に層間絶縁膜41の一部を切削して凹部35を形成することができ、専用のマスクなしで開口領域周辺の凹部形成を実現することができる。
<電子機器>
以上に説明した液晶装置は、例えばプロジェクタに適用される。ここでは、上記実施形態の液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。
図12は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。
以上に説明した液晶装置は、例えばプロジェクタに適用される。ここでは、上記実施形態の液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。
図12は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。
図12において、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド内に配置された4枚のミラー1106及び2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶装置100R、100B及び100Gに入射される。液晶装置100R、100B及び100Gの構成は上述した液晶装置と同等であり、それぞれにおいて画像信号処理回路から供給されるR、G、Bの原色信号が変調される。これらの液晶装置によって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。B光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ1122、リレーレンズ1123及び出射レンズ1124からなるリレーレンズ系1121を介して導かれる。ダイクロイックプリズム1112では、各色の画像が合成され、カラー画像として射出される。カラー画像は、投射レンズ1114を介して、スクリーン1120等に投写される。
なお、上記実施形態の液晶装置は、プロジェクタ以外の直視型や反射型のカラー表示装置に適用することもできる。その場合、対向基板20上における画素電極9aに対向する領域に、RGBのカラーフィルタをその保護膜と共に形成すればよい。或いは、TFT基板10上のRGBに対向する画素電極9a下にカラーレジスト等でカラーフィルタ層を形成することも可能である。更に、以上の各場合において、対向基板20上に画素と1対1に対応するマイクロレンズを設けるようにすれば、入射光の集光効率が向上し、表示輝度を向上させることができる。更にまた、対向基板20上に、何層もの屈折率の相違する干渉層を堆積することで、光の干渉を利用してRGB色を作り出すダイクロイックフィルタを形成してもよい。このダイクロイックフィルタ付き対向基板によれば、より明るい表示が可能となる。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及びこれを備えた電子機器、並びに、そのような電気光学装置の製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれる。
以上では、液晶装置及び液晶プロジェクタを例に挙げて本発明について説明したが、本発明の電気光学装置は、TFTを用いて表示用電極を駆動する装置であればよく、液晶装置の他にも、例えば、電子ペーパなどの電気泳動装置や、電子放出素子を用いた表示装置(Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display)等として実現することができる。また、本発明の電子機器は、このような本発明の電気光学装置を備えることで実現され、上述したプロジェクタの他に、テレビジョン受像機や、ビューファインダ型或いはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等の各種の電子機器として実現可能である。
1a…半導体層、2…ゲート絶縁膜、3a…ゲート電極、10…基板、11a…走査線(下側遮光膜)、12…下地絶縁膜、30…TFT(薄膜トランジスタ)、41…第1層間絶縁膜、70…蓄積容量(上側遮光膜)、71…下部電極、75…誘電体膜、300…容量電極、410,710…レジスト(マスク)。
Claims (7)
- 基板上に、
チャネル領域を有する半導体層を含んで構成された薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタの下方に下地絶縁膜を介して設けられる下側遮光膜と、
前記薄膜トランジスタの上方に第1層間絶縁膜を介して設けられる上側遮光膜と、
画素の開口領域において、前記第1層間絶縁膜に、端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成された凹部と、
を備え、
前記上側遮光膜が前記凹部の側面に沿って形成されることを特徴とする電気光学装置。 - 前記開口領域において前記第1層間絶縁膜をエッチング加工することによって、前記凹部が形成され、前記上側遮光膜の端部と前記下側遮光膜の端部間の間隔がエッチング分だけ狭く形成されることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記上側遮光膜は、画素電極に電気的に接続される蓄積容量の少なくとも一方の電極を兼ねることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
- 基板上に下側遮光膜を形成する下側遮光膜形成工程と、
前記下側遮光膜上に下地絶縁膜を形成する下地絶縁膜形成工程と、
前記下地絶縁膜上に半導体層を含む薄膜トランジスタを形成するトランジスタ形成工程と、
前記薄膜トランジスタの上方に第1層間絶縁膜を形成する第1層間絶縁膜形成工程と、
前記第1層間絶縁膜上に上側遮光膜を形成する上側遮光膜形成工程と、
を備え、
前記上側遮光膜形成工程は、
画素の開口領域において、前記第1層間絶縁膜に凹部をその端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成した後、前記上側遮光膜を前記凹部の側面に沿って形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記上側遮光膜形成工程は、
前記トランジスタ形成工程の後に、前記半導体層の上に前記第1層間絶縁膜を形成し、その後に前記開口領域における前記第1層間絶縁膜の端部をマスキング及びエッチングを行って階段状に削り、その後に前記第1層間絶縁膜の端部の階段状部分の上に上側遮光膜の第1の電極,誘電体膜及び第2の電極を積層して形成することによって、
前記第1層間絶縁膜の開口領域において前記凹部の端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成し、かつ前記上側遮光膜を前記凹部の側面に沿って形成することを特徴とする請求項5に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記上側遮光膜形成工程は、
前記トランジスタ形成工程の後に、前記半導体層の上に前記第1層間絶縁膜を形成し、更に前記第1層間絶縁膜の上に前記上側遮光膜の第1の電極を形成した後、前記開口領域における前記第1層間絶縁膜及び前記上側遮光膜の第1の電極の積層された端部をマスキング及びエッチングを行って階段状に削り、その後に前記第1層間絶縁膜及び前記上側遮光膜の第1の電極の積層された端部の階段状部分の上に前記上側遮光膜の誘電体膜及び第2の電極を形成することによって、前記第1層間絶縁膜の開口領域において前記凹部の端部が前記下側遮光膜の端部と平面的な位置関係で重なるように形成し、かつ前記上側遮光膜の誘電体膜及び第2の電極を前記凹部の側面に沿って形成することを特徴とする請求項5に記載の電気光学装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007068114A JP2008233149A (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007068114A JP2008233149A (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008233149A true JP2008233149A (ja) | 2008-10-02 |
Family
ID=39906062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007068114A Withdrawn JP2008233149A (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008233149A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010072512A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 |
JP2015228033A (ja) * | 2015-07-17 | 2015-12-17 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
CN108873461A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-23 | Oppo(重庆)智能科技有限公司 | 液晶显示面板、液晶显示装置及制备液晶显示面板的方法 |
JP2022505740A (ja) * | 2018-11-09 | 2022-01-14 | イー インク コーポレイション | 電気光学ディスプレイ |
WO2022111143A1 (zh) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示模组及显示装置 |
-
2007
- 2007-03-16 JP JP2007068114A patent/JP2008233149A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010072512A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 |
JP2015228033A (ja) * | 2015-07-17 | 2015-12-17 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
CN108873461A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-23 | Oppo(重庆)智能科技有限公司 | 液晶显示面板、液晶显示装置及制备液晶显示面板的方法 |
CN108873461B (zh) * | 2018-07-19 | 2021-04-27 | Oppo(重庆)智能科技有限公司 | 液晶显示面板、液晶显示装置及制备液晶显示面板的方法 |
JP2022505740A (ja) * | 2018-11-09 | 2022-01-14 | イー インク コーポレイション | 電気光学ディスプレイ |
US11450287B2 (en) | 2018-11-09 | 2022-09-20 | E Ink Corporation | Electro-optic displays |
JP7250921B2 (ja) | 2018-11-09 | 2023-04-03 | イー インク コーポレイション | 電気光学ディスプレイ |
WO2022111143A1 (zh) * | 2020-11-25 | 2022-06-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示模组及显示装置 |
US11960163B2 (en) | 2020-11-25 | 2024-04-16 | Hefei Boe Display Technology Co., Ltd. | Display module and display apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100626910B1 (ko) | 전기 광학 장치 및 전자기기 | |
KR100716489B1 (ko) | 전기광학장치 및 전자기기, 그리고 전기광학장치의제조방법 | |
JP2005222019A (ja) | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP2006276118A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 | |
JP2004046091A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4650153B2 (ja) | 電気光学装置、電子機器及び電気光学装置の製造方法 | |
JP2007003903A (ja) | 電気光学装置及びこれを備えた電子機器 | |
JP4599655B2 (ja) | 電気光学装置及びプロジェクタ | |
JP2004226954A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 | |
JP3743291B2 (ja) | 電気光学装置及びプロジェクタ | |
JP2004045752A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4655943B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに導電層の接続構造 | |
JP4069906B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2008233149A (ja) | 電気光学装置及び電子機器、並びに電気光学装置の製造方法 | |
JP2006317901A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 | |
JP4123245B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2006139092A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3982183B2 (ja) | 電気光学装置及び投射型表示装置 | |
JP2007057847A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器及び接続構造 | |
JP3700679B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4442245B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3965935B2 (ja) | 電気光学装置及び投射型表示装置 | |
JP5158131B2 (ja) | 電気光学装置およびプロジェクタ | |
JP2004109988A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4000827B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100601 |