JP2008229596A - 液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】より少ない数のパルス波形を組み合わせて、より広範囲の補償を実現できる液体噴射装置（特にはフィルタ製造装置）を提供すること。
【解決手段】一方が選択される一対のパルス波形は、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形と、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である。別の一対のパルス波形は、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形と、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である。更に別の一対のパルス波形は、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形と、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である。
【選択図】図８

Description

本発明は、ノズル開口から液体滴を吐出させる液体噴射装置、とりわけ、基板上の複数の画素の各々に対して液体滴を複数回吐出することによってフィルタを製造するフィルタの製造装置に関する。

近年の情報産業の発達により、情報端末や携帯電話等に使用される表示装置として液晶ディスプレイの需要が増大している。例えば、携帯電話における最近の液晶ディスプレイでは、カラー化が進んでいる。従って、液晶ディスプレイのカラーフィルタの需要が大幅に増大し、カラーフィルタを安く大量に供給する要請が強くなっている。この要請に応ずるべく、従来から用いられているインクジェット方式を採用する記録ヘッドによって、カラーフィルタとなるべき基板に対してインク滴を吐出し、基板にそのインク滴からなる画素を形成する技術が用いられている。このようにインクジェット方式を用いて基板に画素を形成するカラーフィルタの製造方法は、安価であるという特徴を有する。

カラーフィルタの製造方法の具体例としては、例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の光の三原色に対応する色のインク滴が、それぞれ所定のパターンで対象となる基板に着弾される。これにより、インク滴からなる画素が形成される。

このようなカラーフィルタの製造方法では、複数のノズルの形状の誤差等によって、吐出されるインク滴の液滴量に誤差が生じる場合がある。従って、このようなインクジェット方式の記録ヘッドによるカラーフィルタの製造方法では、各ノズルから吐出されるインク滴の液滴量の誤差を補完するために、分散方式が採用されている。分散方式とは、１つの画素に対して、記録ヘッドにおける異なる複数のノズルを用いて、各ノズルからインク滴を吐出するという方法である。

このような分散方式を採用するカラーフィルタの製造方法では、同一画素が、異なる複数のノズルから吐出される複数のインク滴を重ねることで形成される。このため、インク滴を重ねる回数分だけ、記録ヘッドが基板上で走査される必要がある。つまり、このようなカラーフィルタの製造方法では、記録ヘッドが走査する回数分のサイクルタイムが必要となって、生産性が上がらないという問題点がある。

本件出願人による特開２００３−２１７１４号公報は、そのような問題点を考慮して、高速でしかもムラの少ない複数の画素を基板に形成できるフィルタの製造方法を開示している。
特開２００３−２１７１４号公報

特開２００３−２１７１４号公報（特許文献１）に開示された方法は、吐出タイミングでの波形の選択パターンによって（特許文献１の図１４参照）、各ノズルの吐出重量誤差について９０％〜１１０％という範囲での補償を可能としている（補償後の誤差は、１．２５〜２．５％程度：特許文献１の段落００６２参照）。

当該方法では、９０％〜１１０％の補正を可能とするために、３種類の駆動波形（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ３）を８サイクル分有する吐出駆動信号が用いられている。すなわち、３×９＝２７個分のパルス波形によって、９０％〜１１０％という範囲での補償を実現しているのである。

本件発明者は、複数の駆動信号を用意しておく態様について、あるいは、単一の駆動信号において対の関係のパルス波形からいずれか一方のみが選択される態様について、より少ない数のパルス波形によって、より広範囲の補償を実現できないか、鋭意検討を重ねてきた。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、より少ない数のパルス波形を含む複数の駆動信号複数を組み合わせて、より広範囲の補償を実現できる液体噴射装置（特にはフィルタ製造装置）を提供することを目的とする。あるいは、より少ない数の対のパルス波形を含む単一の駆動信号を用いて、より広範囲の補償を実現できる液体噴射装置（特にはフィルタ製造装置）を提供することを目的とする。

本発明は、ノズル開口を有するヘッド部材と、ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、を備えた液体噴射装置であって、第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、を有しており、第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第２の３パルス波形と、を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
ことを特徴とする液体噴射装置である。

本発明によれば、２つの吐出駆動信号に含まれるパルス波形の数は６であって、比較的少ないけれども、ノズル開口の液体滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができる。

第１単位差分重量と第２単位差分重量とは、同一の値であってもよいし、異なる値であってもよい。補償の対象とする各ノズルの吐出重量誤差範囲をプラスマイナス同程度にしたい場合には、第１単位差分重量（プラス側）が第２単位差分重量（マイナス側）よりも大きな値とされる。また、圧力変動手段として積層型の圧電素子アクチュエータが用いられる場合には、内部の電極断線などによってマイナス側の重量誤差を生じる傾向が強いため、第１単位差分重量（プラス側）が第２単位差分重量（マイナス側）よりも大きな値とされることが好ましい。

好適な一例では、第１吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第１の４パルス波形を有しており、第２吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第２の４パルス波形を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とについても、その一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の８倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の８倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である。

さらに好適な一例では、第１吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第１の５パルス波形を有しており、第２吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第２の５パルス波形を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とについて、その一方のみを駆動パルスの一部として選択的に選択するようになっており、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の１６倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の１６倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である。

また、本発明は、ノズル開口を有するヘッド部材と、ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、を備えた液体噴射装置であって、第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、を有しており、第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であることを特徴とする液体噴射装置である。

本発明によれば、２つの吐出駆動信号に含まれるパルス波形の数は４であって、大変に少ないけれども、ノズル開口の液体滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができる。

また、本発明は、ノズル開口を有するヘッド部材と、ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、を備えた液体噴射装置であって、第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、第１の４パルス波形と、第１の５パルス波形と、第１の６パルス波形と、を有しており、第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第２の３パルス波形と、第２の４パルス波形と、第２の５パルス波形と、第２の６パルス波形と、を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であることを特徴とする液体噴射装置である。

本発明によれば、２つの吐出駆動信号に含まれるパルス波形の数は１２であって、比較的少ないけれども、ノズル開口の液体滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができる。

あるいは、本発明は、ノズル開口を有するヘッド部材と、ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、を備えた液体噴射装置であって、第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、第１の４パルス波形と、第１の５パルス波形と、第１の６パルス波形と、を有しており、第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第２の３パルス波形と、第２の４パルス波形と、第２の５パルス波形と、第２の６パルス波形と、を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の３倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の３倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であることを特徴とする液体噴射装置である。

本発明によれば、２つの吐出駆動信号に含まれるパルス波形の数は１２であって、比較的少ないけれども、ノズル開口の液体滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができる。

また、本発明は、ノズル開口を有するヘッド部材と、ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと吐出駆動信号とに基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、を備えた液体噴射装置であって、吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、第２の３パルス波形と、を有しており、駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であることを特徴とする液体噴射装置である。

本発明によれば、吐出駆動信号に含まれるパルス波形の数は６であって、比較的少ないけれども、ノズル開口の液体滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができる。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は、フィルタ１１が配列された基板１３の構成例を示す平面図であり、図２は、図１の基板１３から製造されるフィルタ１１の一部の構成例を示す平面図である。

基板１３は、後述するフィルタ１１の基材である。本実施の形態の基板１３は、長手方向の一辺が例えば４７０ｍｍであり、もう一辺が例えば３７０ｍｍである。また、基板１３は、透明基板であり、適度の機械的強度を有する一方で、光透過性が高い。具体的には、基板１３としては、例えば透明ガラス基板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれらの表面処理品等が適用できる。

本実施の形態のフィルタ１１は、複数色の画素が形成されたカラーフィルタである。具体的には、図２に示すように、カラーフィルタ１１には、例えば赤色の画素ＰＲ、青色の画素ＰＢ及び緑色の画素ＰＧが形成されている。以下の説明では、これらの画素ＰＲ、ＰＢ及びＰＧを総称して、画素Ｐとも呼ぶ。

このカラーフィルタ１１は、表示装置として例えば液晶ディスプレイに使用される、画素ＰＲ、ＰＢ及びＰＧがデルタ状に配置されたデルタタイプである。もっとも、カラーフィルタ１１は、画素ＰＲ、ＰＢ及びＰＧがストライプタイプやモザイクタイプに配置されていても良い。デルタタイプのカラーフィルタ１１では、基板１３の表面上に形成された画素ＰＲ、ＰＢ及びＰＧのすべてがデルタ状に配置されており、デルタタイプのカラーフィルタ１１を採用する液晶ディスプレイは、一般的に動画を表示するのに適している。

図３は、本発明の好ましい実施の形態としてのフィルタ製造装置（液体噴射装置の一例）によってカラーフィルタ１１が製造される様子を示す平面図である。図３の紙面は、基板１３を示している。紙面に垂直な方向に、基板１３に対して所定の間隔を保持するように、ヘッド７が設けられている。このヘッド７（記録ヘッド）には、基板１３と対向する面に、インク滴を吐出する例えば１８０個のノズルＮ１〜Ｎ１８０（図５では符号９１）が設けられている。

このヘッド７は、いわゆるインクジェット方式を採用する記録ヘッドである。ヘッド７は、基板１３に対して、ヘッド走査方向ＨＤに相対的に走査できるようになっている。すなわち、このヘッド７は、基板１３に対してヘッド走査方向ＨＤに相対的に走査されつつ、基板１３に対してインク滴を吐出し、当該基板１３に当該インク滴でなる画素ＰＲを形成するように構成されている。

また、記録ヘッド７は、画素配列方向ＧＨにも相対的に移動することができ、画素ＰＲと同様に画素ＰＢ及び画素ＰＧをもそれぞれ形成できるようになっている。

次に、本発明の一実施の形態であるカラーフィルタ１１の製造装置２０００について説明する。

図４は、カラーフィルタ製造装置２０００の構成の概略を示している。コンピュータ３４は、ベース１２側の制御盤８０に接続されている。制御盤８０は、ベース１２の中に配置されており、その制御盤８０に対して第１移動手段１４（リニアモータ）、第２移動手段１６（リニアモータ）及びθ軸用のモータ４４が接続されている。また、記録ヘッド７の移動に関連するモータ６２，６４，６６，６８が、制御盤８０に接続されている。第１移動手段１４及びθ軸モータ４４は、制御盤８０からの指令により作動して、カラーフィルター製造用の基板１３を搭載したテーブル４６を記録ヘッド７に対して相対的にＹ軸方向に移動し、かつ、θ方向にインデックスする。

第２移動手段１６と記録ヘッド７の移動に関連する４つのモータ６２，６４，６６，６８とは、制御盤８０からの指令により作動して、例えば記録ヘッド７をテーブル４６の上の基板１３に対して姿勢制御したり、移動させるようになっている。また、基板給排出手段であるロボット７４は、コンピュータ３４の指令により動作制御され得る。

次に、記録ヘッド７の構造例について、図４及び図５を参照して説明する。記録ヘッド７は、例えば、ピエゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドである。図５（Ａ）に示すように、本体９０のインク吐出面２０Ｐに、複数のノズル９１が形成されている。これらのノズル９１に対して、それぞれピエゾ素子ＰＺＴが設けられている。

図５（Ｂ）に示すように、各ピエゾ素子ＰＺＴは、ノズル９１及びインク室９３に対応して配置されている。このピエゾ素子ＰＺＴに対して、図５（Ｃ）に示すように、印加電圧Ｖｈを有するパルス波形が印加されると、図５（Ｄ），図５（Ｅ）及び図５（Ｆ）に示すように、ピエゾ素子ＰＺＴが矢印Ｑ方向に伸縮して、インクが加圧されて所定量のインク滴がノズル９１から吐出されるようになっている。

図４の記録ヘッド７は、インク供給部９７に接続されている。インク供給部９７から、図５（Ｂ）のインク室９３にインクが供給される。インク供給部９７には、温度計９６と粘度計９５とが接続されている。温度計９６及び粘度計９５は、インク供給部９７内に収容されているインクの温度および粘度を計測し、そられの計測値を当該インクの状態に関するフィードバック信号Ｓ１，Ｓ２としてインク管理コントローラ９８に供給するようになっている。

インク管理コントローラ９８は、インクの状態に関する前記フィードバック信号Ｓ１，Ｓ２に基づいて、コンピュータ３４に対して、インクの温度や粘度の状態を制御用の情報として与える。コンピュータ３４は、制御盤８０を通して、ピエゾ素子駆動回路１０１に対してピエゾ素子駆動信号Ｓ３を送る。ピエゾ素子駆動回路１０１は、このピエゾ素子駆動信号Ｓ３に基づいて、図５（Ｂ）のピエゾ素子ＰＺＴに対して、その時のインクの温度や粘度に応じて決定される波形パルス（例えば印加電圧Ｖｈの大きさがその時のインクの温度や粘度に応じて決定されてもよいし、波形パルスの波形自体が変更されてもよい）を供給する。これにより、インクの温度や粘度に応じて、ノズル９１から所望量のインク滴を吐出することができる。

もっとも、波形パルス（例えば印加電圧Ｖｈを有する）をこのように全ノズルに一律に適用できるのは、各ノズル（ノズル開口）のインク滴吐出特性に「ばらつき」が無い場合に限られ、通常は、各ノズルのインク滴吐出特性の「ばらつき」を補償するべく、各ノズル毎に、与えられる波形パルスが調整されることが必要となる。本実施の形態では、その目的のために、それぞれ３種類の波形パルスを有する２つの吐出駆動信号を用意している。

図６は、本実施の形態で用いられる２つの吐出駆動信号を示す概略図である。ここでは、１つの画素を形成するために、１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴が３回吐出されるものとする（１３．３３ｎｇ×３＝４０ｎｇのインクによって１画素が形成される）。

第１吐出駆動信号ＣＯＭ１と第２吐出駆動信号ＣＯＭ２とは、同一の周期を有する周期信号であり、図６にはそれぞれの一周期が図示されている。第１吐出駆動信号ＣＯＭ１は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形である、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と、を有している。もっとも、その他に印字内微振動パルス等が設けられていてもよい（これは、以降の実施の形態に共通して言えることである）。

第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇに０．２０ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた１３．５３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇに０．４０ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた１３．７３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇに０．８０ｎｇ（第１単位差分重量の４倍）を加えた１４．１３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

一方、第２吐出駆動信号ＣＯＭ２は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形であって第１吐出駆動信号ＣＯＭ１の各駆動パルスの吐出量とも異なる、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３と、を有している。もっとも、その他に印字内微振動パルス等が設けられていてもよい（これは、以降の実施の形態に共通して言えることである）。

第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇから０．２０ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた１３．１３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇから０．４０ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた１２．９３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇから０．８０ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた１２．５３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．２０ｎｇであるが、これは１３．３３ｎｇの１．５％に相当する。

図７は、図４のピエゾ素子駆動回路１０１（駆動信号発生手段及び駆動パルス生成手段）の電気的な構成例を示す回路図である。ピエゾ素子駆動回路１０１は、第１吐出駆動信号生成回路１５ａ、第２吐出駆動信号生成回路１５ｂ、ピエゾ素子ＰＺＴ、アナログスイッチ・ドライバ２９、ロジック２７、第１ラッチ２３ａ、第２ラッチ２３ｂ、第３ラッチ２３ｃ、第４ラッチ２３ｄ、第１シフトレジスタ１９ａ、第２シフトレジスタ１９ｂ、第３シフトレジスタ１９ｃ、第４シフトレジスタ１９ｄを有する。

第１吐出駆動信号生成回路１５ａは、図６に示す第１吐出駆動信号ＣＯＭ１を生成するようになっており、第２吐出駆動信号生成回路１５ｂは、図６に示す第２吐出駆動信号ＣＯＭ２を生成するようになっている。

ロジック２７は、この場合４ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ４に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ４は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ１が１（吐出）である時、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、４ビット目の選択信号Ｄ４の１／０によって、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３との一方が、駆動パルスの一部として選択される。

すなわち、ロジック２７及びアナログ・スイッチドライバ２９は、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっている。

なお、第１吐出駆動信号生成回路１５ａ及び第２吐出駆動信号生成回路１５ｂには、所定のラッチ信号ＬＡＴＣＨが入力される。このラッチ信号ＬＡＴＣＨは、記録ヘッド７の例えば１８０個のノズルの各々に対応するピエゾ素子ＰＺＴに対する選択階調データＤ１〜Ｄ４をラッチしたり、ピエゾ素子ＰＺＴに各パルス波形（駆動パルス）を所望のタイミングで印加するためのトリガ信号としても利用される。また、図中、ＳＣＬＫはクロック信号であるが、それについての詳細な説明は省略する。

以上のような本実施の形態によれば、図８に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ＋０．２０ｎｇ（１．５％：ＣＯＭ１−１）＋０．４０ｎｇ（３％：ＣＯＭ１−２）＋０．８０ｎｇ（６％：ＣＯＭ１−３）＝４１．４ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ−０．２０ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．４０ｎｇ（ＣＯＭ２−２）−０．８０ｎｇ（ＣＯＭ２−３）＝３８．６ｎｇの重量のインク滴を吐出することができるのである。

従って、図８に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−４．３％（（１００−４．３）％×１０３．５％≒９９％）〜＋４．７％（（１００＋４．７）％×９６．５％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能なのである。

すなわち、本実施の形態によれば、２つの吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２に含まれるパルス波形の数は６であって、比較的少ないけれども、ノズル開口のインク滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができるのである。

ここで、フィルタの製造方法の一例について説明する。図９は、フィルタの製造方法の一例を示すフローチャートである。

まず、ステップＳＴ１において、前記基準パルスを用いて、図３の記録ヘッド７の全てのノズルＮ１〜Ｎ１８０からそれぞれ吐出されるインク滴の重量（液滴量）を測定する。

次に、ステップＳＴ２において、各ノズル毎に、画素Ｐを形成するインク滴の合計液滴量がほぼ所定の設計重量となるように、図８に示された対応関係に基づいて採用されるべきパルス波形を特定し、それに応じた選択階調データＤ１〜Ｄ４が設定される。

そして、ステップＳＴ３において、実際の描画ルーチンが実施される。ここで、ステップＳＴ２にて設定された選択階調データＤ１〜Ｄ４に基づく階調制御により、吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２から適切なパルス波形が選択されて駆動パルスが形成されて各ノズルに対応するピエゾ素子ＰＺＴに適用されるため、吐出されるインク重量に関する誤差を極めて小さく抑えることができるのである。

図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）及び図１１（Ａ）〜図１１（Ｄ）は、それぞれカラーフィルタ１１の製造工程の一例を示す断面図である。以下では、記録ヘッド７のノズルＮ１からのインク滴によって画素が基板１３に形成される例を説明する。

図１０（Ａ）に示すように、基板１３にはバンク３９等によって受容層３１が形成されている。記録ヘッド７は、基板１３に対して相対的にヘッド走査方向ＨＤに移動されながら、図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）に示すように、受容層３１に３滴のインク滴を吐出する。基板１３に着弾したこれらのインク（滴）Ｉは、図１０（Ｄ）に示すように、中央部がややふくらんで受容層３１に収容される。このインク（滴）Ｉは、例えば図１１（Ａ）に示すように乾燥工程によって乾燥され、ほぼ一定の厚みとなる。その後、基板１３に、画素Ｐを覆うように、保護膜３５が成膜される。

保護膜３５上には、図１１（Ｃ）に示すように、透明電極３７が形成される。その後で、この透明電極３７は、図１１（Ｄ）に示すように、画素Ｐの上部に位置する場所を残して除去される。このようにして、図２のカラーフィルタ１１が完成する。

図１２に示す第２の実施の形態では、前記実施の形態と比較して、以下のように変更される。

第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇに０．４０ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた１３．７３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇに０．８０ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた１４．１３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇに１．６０ｎｇ（第１単位差分重量の４倍）を加えた１４．９３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇから０．４０ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた１２．９３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇから０．８０ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた１２．５３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１３．３３ｎｇから１．６０ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた１１．７３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

すなわち、本実施の形態では、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．４０ｎｇであり、これは１３．３３ｎｇの３．０％に相当する。

以上のような第２の実施の形態によれば、図１２に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ＋０．４０ｎｇ（３％：ＣＯＭ１−１）＋０．８０ｎｇ（６％：ＣＯＭ１−２）＋１．６０ｎｇ（１２％：ＣＯＭ１−３）＝４２．８ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ−０．４０ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．８０ｎｇ（ＣＯＭ２−２）−１．６０ｎｇ（ＣＯＭ２−３）＝３７．２ｎｇの重量のインク滴を吐出することができるのである。

従って、図１２に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±２％以内に抑えようとした時でも、−８．４％（（１００−８．４）％×１０７．０％≒９８％）〜＋９．６％（（１００＋９．６）％×９３．０％≒１０２％）という広い範囲で補償することが可能である。

図１３に示す第３の実施の形態では、前記第１の実施の形態と比較して、以下のように変更される。

本実施の形態では、１つの画素を形成するために、１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴が２回吐出されるものとする（１０．００ｎｇ×２＝２０ｎｇのインクによって１画素が形成される）。

本実施の形態においても、第１吐出駆動信号ＣＯＭ１と第２吐出駆動信号ＣＯＭ２とは同一の周期を有する周期信号であるが、本実施の形態の第１吐出駆動信号ＣＯＭ１は、一周期中において、それぞれが吐出量の異なるパルス波形であって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、を有している一方、第１の３パルス波形は有していない。

そして、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇに０．１０ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた１０．１０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇに０．２０ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた１０．２０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

一方、第２吐出駆動信号ＣＯＭ２は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形であって第１吐出駆動信号ＣＯＭ１の各駆動パルスの吐出量とも異なる、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、を有している一方、第２の３パルス波形は有していない。

そして、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇから０．１０ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた９．９０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇから０．２０ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた９．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．１０ｎｇであるが、これは１０．００ｎｇの１．０％に相当する。

本実施の形態では、ロジック２７は、この場合３ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ３に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ３は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ１が１（吐出）である時、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。

以上のような第３の実施の形態によれば、図１３に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、２０ｎｇ＋０．１０ｎｇ（１％：ＣＯＭ１−１）＋０．２０ｎｇ（２％：ＣＯＭ１−２）＝２０．３０ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、２０ｎｇ−０．１０ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．２０ｎｇ（ＣＯＭ２−２）＝１９．７０ｎｇの重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１３に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−２．４％（（１００−２．４）％×１０１．５％≒９９％）〜＋２．６％（（１００＋２．６）％×９８．５％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能である。

図１４に示す第４の実施の形態では、前記第１の実施の形態と比較して、以下のように変更される。

本実施の形態では、１つの画素を形成するために、１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴が４回吐出されるものとする（１０．００ｎｇ×４＝４０ｎｇのインクによって１画素が形成される）。

本実施の形態においても、第１吐出駆動信号ＣＯＭ１と第２吐出駆動信号ＣＯＭ２とは同一の周期を有する周期信号であるが、本実施の形態の第１吐出駆動信号ＣＯＭ１は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形である、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と、を有している。

そして、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇに０．２０ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた１０．２０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇに０．４０ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた１０．４０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇに０．８０ｎｇ（第１単位差分重量の４倍）を加えた１０．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇに１．６０ｎｇ（第１単位差分重量の８倍）を加えた１１．６０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

一方、第２吐出駆動信号ＣＯＭ２は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形であって第１吐出駆動信号ＣＯＭ１の各駆動パルスの吐出量とも異なる、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３と、第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４と、を有している。

そして、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇから０．２０ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた９．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇから０．４０ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた９．６０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇから０．８０ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた９．２０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である１０．００ｎｇから１．６０ｎｇ（第２単位差分重量の８倍）を減じた８．４０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．２０ｎｇであるが、これは１０．００ｎｇの２．０％に相当する。

本実施の形態では、ロジック２７は、この場合５ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ５に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ５は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ１が１（吐出）である時、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、４ビット目の選択信号Ｄ４の１／０によって、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、５ビット目の選択信号Ｄ５の１／０によって、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４との一方が、駆動パルスの一部として選択される。

以上のような第４の実施の形態によれば、図１３に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ＋０．２０ｎｇ（２％：ＣＯＭ１−１）＋０．４０ｎｇ（４％：ＣＯＭ１−２）＋０．８０ｎｇ（８％：ＣＯＭ１−３）＋１．６０ｎｇ（１６％：ＣＯＭ１−４）＝４３．００ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ−０．２０ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．４０ｎｇ（ＣＯＭ２−２）−０．８０ｎｇ（ＣＯＭ２−３）−１．６０ｎｇ（ＣＯＭ２−４）＝３７．００ｎｇの重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１４に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して１０．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−７．９％（（１００−７．９）％×１０７．５％≒９９％）〜＋９．１％（（１００＋９．１）％×９２．５％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能である。

図１５に示す第５の実施の形態では、前記実施の形態と比較して、以下のように変更される。

本実施の形態では、１つの画素を形成するために、８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴が５回吐出されるものとする（８．００ｎｇ×５＝４０ｎｇのインクによって１画素が形成される）。

本実施の形態においては、第１吐出駆動信号ＣＯＭ１と第２吐出駆動信号ＣＯＭ２とは同一の周期を有する周期信号であるが、本実施の形態の第１吐出駆動信号ＣＯＭ１は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形である、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と、を有している。

そして、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに０．２０ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた８．２０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに０．４０ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた８．４０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに０．８０ｎｇ（第１単位差分重量の４倍）を加えた８．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに１．６０ｎｇ（第１単位差分重量の８倍）を加えた９．６０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに３．２０ｎｇ（第１単位差分重量の１６倍）を加えた１１．２０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

一方、第２吐出駆動信号ＣＯＭ２は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形であって第１吐出駆動信号ＣＯＭ１の各駆動パルスの吐出量とも異なる、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３と、第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４と、第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５と、を有している。

そして、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから０．２０ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた７．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから０．４０ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた７．６０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから０．８０ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた７．２０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから１．６０ｎｇ（第２単位差分重量の８倍）を減じた６．４０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから３．２０ｎｇ（第２単位差分重量の１６倍）を減じた４．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．２０ｎｇであるが、これは８．００ｎｇの２．５％に相当する。

本実施の形態では、ロジック２７は、この場合６ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ６に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ６は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ１が１（吐出）である時、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、４ビット目の選択信号Ｄ４の１／０によって、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、５ビット目の選択信号Ｄ５の１／０によって、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、６ビット目の選択信号Ｄ６の１／０によって、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５との一方が、駆動パルスの一部として選択される。

以上のような第５の実施の形態によれば、図１５に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ＋０．２０ｎｇ（２．５％：ＣＯＭ１−１）＋０．４０ｎｇ（５％：ＣＯＭ１−２）＋０．８０ｎｇ（１０％：ＣＯＭ１−３）＋１．６０ｎｇ（２０％：ＣＯＭ１−４）＋３．２０ｎｇ（４０％：ＣＯＭ１−５）＝４６．２０ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、１０ｎｇ−０．２０ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．４０ｎｇ（ＣＯＭ２−２）−０．８０ｎｇ（ＣＯＭ２−３）−１．６０ｎｇ（ＣＯＭ２−４）−３．２０ｎｇ（ＣＯＭ２−５）＝３３．８０ｎｇの重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１５に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−１４．２％（（１００−１４．２）％×１１５．５％≒９９％）〜＋１９．５％（（１００＋１９．５）％×８４．５％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能である。

図１６に示す第６の実施の形態では、前記第５の実施の形態と比較して、以下のように変更される。

本実施の形態では、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに０．２３ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた８．２３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに０．４６ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた８．４６ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに０．９３ｎｇ（第１単位差分重量の４倍）を加えた８．９３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに１．８６ｎｇ（第１単位差分重量の８倍）を加えた９．８６ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇに３．７１ｎｇ（第１単位差分重量の１６倍）を加えた１１．７１ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

そして、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから０．２０１７ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた７．８３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから０．３４ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた７．６６ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから０．６７ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた７．３３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから１．３４ｎｇ（第２単位差分重量の８倍）を減じた６．６６ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である８．００ｎｇから２．６９ｎｇ（第２単位差分重量の１６倍）を減じた５．３１ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量＝０．２３ｎｇであるが、これは８．００ｎｇの２．９％を意味し、第２単位差分重量＝０．１７ｎｇであるが、これは８．００ｎｇの２．１％を意味する。このように、第１単位差分重量＞第２単位差分重量としたのは、図１６に示すように、補償の対象とする各ノズルの吐出重量誤差範囲（偏差）をプラスマイナス同程度にするためである。

以上のような第６の実施の形態によれば、図１６に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ＋０．２３ｎｇ（２．９％：ＣＯＭ１−１）＋０．４６ｎｇ（５．８％：ＣＯＭ１−２）＋０．９３ｎｇ（１１．６％：ＣＯＭ１−３）＋１．８６ｎｇ（２３．２％：ＣＯＭ１−４）＋３．７１ｎｇ（４６．４％：ＣＯＭ１−５）＝４７．１９ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ−０．１７ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．３４ｎｇ（ＣＯＭ２−２）−０．６７ｎｇ（ＣＯＭ２−３）−１．３４ｎｇ（ＣＯＭ２−４）−２．６９ｎｇ（ＣＯＭ２−５）＝３４．７９ｎｇの重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１６に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して８．００ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−１６．０％（（１００−１６．０）％×１１８％≒９９％）〜＋１６．１％（（１００＋１６．１）％×８７％≒１０１％）という広い範囲で、プラスマイナス同程度に、補償することが可能である。

なお、第６の実施の形態は、４０ｎｇ／５＝８．００ｎｇとされるべき「所定の設計重量」について、これを８．０３ｎｇにシフトさせたと考えることもできる。そのように考えると、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．２０ｎｇとなる。

このような考え方を更に発展させて、「所定の設計重量」を積極的にシフトさせた第７の実施の形態が、図１７を用いて説明される。

本実施の形態では、１つの画素を形成するために、インク滴が４回または５回吐出されて、４０ｎｇのインクによって１画素が形成されるものとする。そして、「所定の設計重量」は、４０ｎｇ／４である１０．００ｎｇでなく、４０ｎｇ／５である８．００ｎｇでもなく、この場合９．１４ｎｇとされた。

本実施の形態においても、第１吐出駆動信号ＣＯＭ１と第２吐出駆動信号ＣＯＭ２とは同一の周期を有する周期信号であり、本実施の形態の第１吐出駆動信号ＣＯＭ１は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形である、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と、を有している。

そして、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇに０．２３ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた９．３７ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇに０．４６ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた９．６０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇに０．９２ｎｇ（第１単位差分重量の４倍）を加えた１０．０６ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇに１．８３ｎｇ（第１単位差分重量の８倍）を加えた１０．９７ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇに３．６６ｎｇ（第１単位差分重量の１６倍）を加えた１２．８０ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

そして、本実施の形態の第２吐出駆動信号ＣＯＭ２は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形であって第１吐出駆動信号ＣＯＭ１の各駆動パルスの吐出量とも異なる、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３と、第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４と、第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５と、を有している。

第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇから０．２０１７ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた８．９１ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇから０．４５ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた８．６９ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇから０．９１ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた８．２３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所−定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇから１．８３ｎｇ（第２単位差分重量の８倍）を減じた７．３１ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である９．１４ｎｇから３．６５ｎｇ（第２単位差分重量の１６倍）を減じた５．４９ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量は９．１４ｎｇの２．５％であり、第２単位差分重量も９．１４ｎｇの２．５％である。

本実施の形態では、ロジック２７は、この場合７ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ７に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ７は、意味をなさない。次に、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５との一方が選択されるのか、双方共に選択されないのか、が決定される。選択信号Ｄ２が０（非吐出）であれば、７ビット目以後の選択信号Ｄ７は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ３が１（吐出）である時、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、４ビット目の選択信号Ｄ４の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、５ビット目の選択信号Ｄ５の１／０によって、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、６ビット目の選択信号Ｄ６の１／０によって、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、７ビット目の選択信号Ｄ７の１／０によって、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５との一方が、駆動パルスの一部として選択される（選択信号Ｄ２が０（非吐出）であれば意味をなさない）。

以上のような第７の実施の形態によれば、図１７に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、５２．８ｎｇ（＋１５．５％（９．１４ｎｇ×５＝４５．７ｎｇに対して））の重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小では、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５とについて双方共に駆動パルスとして採用しないことにより、３３．１４ｎｇ（−２７．５％（９．１４ｎｇ×５＝４５．７ｎｇに対して））の重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１７に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して９．１４ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−２５．０％（（１００−２５．０）％×（５２．８／４０）≒９９％）〜＋２１．８％（（１００＋２１．８）％×（３３．１４／４０）≒１０１％）という広い範囲で、プラスマイナス同程度に、補償することが可能である。

図１８に示す第８の実施の形態では、前記第１の実施の形態と比較して、以下のように変更される。

本実施の形態では、１つの画素を形成するために、６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴が６回吐出されるものとする（６．７ｎｇ×６≒４０ｎｇのインクによって１画素が形成される）。

本実施の形態においては、第１吐出駆動信号ＣＯＭ１と第２吐出駆動信号ＣＯＭ２とは同一の周期を有する周期信号であるが、本実施の形態の第１吐出駆動信号ＣＯＭ１は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形である、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と、第１の６パルス波形ＣＯＭ１−６と、を有している。そして、これらの６つのパルス波形ＣＯＭ１−１乃至ＣＯＭ１−６は、いずれも、仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形である。

一方、本実施の形態の第２吐出駆動信号ＣＯＭ２は、一周期中において、それぞれ吐出量の異なるパルス波形であって第１吐出駆動信号ＣＯＭ１の各駆動パルスの吐出量とも異なる、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３と、第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４と、第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５と、第２の６パルス波形ＣＯＭ２−６と、を有している。

第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１は、仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇから０．４ｎｇ（第２単位差分重量）を減じた６．３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇから０．８ｎｇ（第２単位差分重量の２倍）を減じた５．９ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇから１．６ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を減じた５．１ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４は、仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇに０．４ｎｇ（第１単位差分重量）を加えた７．１ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇに０．８０ｎｇ（第１単位差分重量の２倍）を加えた７．５ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

第２の６パルス波形ＣＯＭ２−６は、やはり仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形ではなく、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇに１．６０ｎｇ（第２単位差分重量の４倍）を加えた８．３ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形である。

なお、本実施の形態では、第１単位差分重量＝第２単位差分重量＝０．４０ｎｇであるが、これは６．７ｎｇの６．０％に相当する。

本実施の形態では、ロジック２７は、この場合７ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ７に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ７は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ１が１（吐出）である時、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、４ビット目の選択信号Ｄ４の１／０によって、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、５ビット目の選択信号Ｄ５の１／０によって、第１の４パルス波形ＣＯＭ１−４と第２の４パルス波形ＣＯＭ２−４との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、６ビット目の選択信号Ｄ６の１／０によって、第１の５パルス波形ＣＯＭ１−５と第２の５パルス波形ＣＯＭ２−５との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、７ビット目の選択信号Ｄ７の１／０によって、第１の６パルス波形ＣＯＭ１−６と第２の６パルス波形ＣＯＭ２−６との一方が、駆動パルスの一部として選択される。

以上のような第８の実施の形態によれば、図１８に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４２．８ｎｇ（＋７．０％（６．７ｎｇ×６＝４０ｎｇに対して））の重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小では、３７．２ｎｇ（−７．０％（６．７ｎｇ×６＝４０ｎｇに対して））の重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１８に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−７．４％（（１００−７．４）％×１０７％≒９９％）〜＋８．６％（（１００＋８．６）％×９３％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能である。

図１９に示す第９の実施の形態では、前記第８の実施の形態と比較して、以下のように変更される。

すなわち、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３が、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇから１．２ｎｇ（第１単位差分重量の３倍）を減じた５．５ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形とされ、第２の６パルス波形ＣＯＭ２−６
が、仮想的な設計上のノズル開口に対して所定の設計重量である６．７ｎｇに１．２０ｎｇ（第２単位差分重量の３倍）を加えた７．９ｎｇのインク滴を吐出可能なパルス波形とされる。

以上のような第９の実施の形態によれば、図１９に示すように、各吐出駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２の一周期中において、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４２．４ｎｇ（＋６．０％（６．７ｎｇ×６＝４０ｎｇに対して））の重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小では、３７．６ｎｇ（−６．０％（６．７ｎｇ×６＝４０ｎｇに対して））の重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図１９に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して６．７ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−６．６％（（１００−６．６）％×１０６％≒９９％）〜＋７．４％（（１００＋７．４）％×９４％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能である。

図２０は、第１０の実施の形態で用いられる吐出駆動信号の一周期を示す概略図である。ここでは、単一の吐出駆動信号が用いられる。また、第１の実施の形態と同様に、１つの画素を形成するために、１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴が３回吐出されるものとする（１３．３３ｎｇ×３＝４０ｎｇのインクによって１画素が形成される）。

図２０に示すように、吐出駆動信号ＣＯＭは、一周期中において、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１と、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２と、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３と、を有している。この実施の形態では、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３、第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３という順序で設けられている。もっとも、その他に印字内微振動パルス等が設けられていてもよい。

第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１、第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２、第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３及び第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３の各波形（特に、それらが吐出するインク滴の重量）については、第１の実施の形態で説明したものと全く同じである。

吐出駆動信号ＣＯＭは、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第３の１パルス波形と、第２の３パルス波形と、を有しており、
駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
図２１は、本実施の形態に対応するピエゾ素子駆動回路１０１（駆動信号発生手段及び駆動パルス生成手段）の電気的な構成例を示す回路図である。ピエゾ素子駆動回路１０１は、吐出駆動信号生成回路１５、ピエゾ素子ＰＺＴ、アナログスイッチ・ドライバ２９’、ロジック２７、第１ラッチ２３ａ、第２ラッチ２３ｂ、第３ラッチ２３ｃ、第４ラッチ２３ｄ、第１シフトレジスタ１９ａ、第２シフトレジスタ１９ｂ、第３シフトレジスタ１９ｃ、第４シフトレジスタ１９ｄを有する。

吐出駆動信号生成回路１５は、図２０に示す吐出駆動信号ＣＯＭを生成するようになっている。

ロジック２７は、この場合４ビットからなる選択信号（選択階調データ）Ｄ１〜Ｄ４に基づいて、アナログスイッチ・ドライバ２９を動作させる。具体的には、まず、１ビット目の選択信号Ｄ１の１／０によって、インク滴の吐出／非吐出が決定される。選択信号Ｄ１が０（非吐出）であれば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ４は、意味をなさない。一方、選択信号Ｄ１が１（吐出）である時、２ビット目の選択信号Ｄ２の１／０によって、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１との一方が、駆動パルスの一部として選択される（例えば「１」の時にＣＯＭ１−１が選択され、「０」の時にＣＯＭ２−１が選択される）。同様に、３ビット目の選択信号Ｄ３の１／０によって、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２との一方が、駆動パルスの一部として選択される。同様に、４ビット目の選択信号Ｄ４の１／０によって、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３との一方が、駆動パルスの一部として選択される。具体的な態様例としては、例えば、２ビット目以後の選択信号Ｄ２〜Ｄ４の各々について、２ビットのパルス選択データが生成される。すなわち、選択信号Ｄ２に基づいて（１、０）または（０、１）が生成され、選択信号Ｄ３に基づいて（１、０）または（０、１）が生成され、選択信号Ｄ４に基づいて（１、０）または（０、１）が生成され、それらパルス選択データの各ビットデータに応じて各パルス波形が選択され得る。

すなわち、ロジック２７及びアナログ・スイッチドライバ２９は、第１の１パルス波形ＣＯＭ１−１と第２の１パルス波形ＣＯＭ２−１とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形ＣＯＭ１−２と第２の２パルス波形ＣＯＭ２−２とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形ＣＯＭ１−３と第２の３パルス波形ＣＯＭ２−３とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっている。

なお、ラッチ信号ＬＡＴＣＨ等については、図７と同様であるので、詳細な説明は省略する。

以上のような本実施の形態によれば、吐出駆動信号ＣＯＭの一周期中において、図８に示したのと同様に、最大で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ＋０．２０ｎｇ（１．５％：ＣＯＭ１−１）＋０．４０ｎｇ（３％：ＣＯＭ１−２）＋０．８０ｎｇ（６％：ＣＯＭ１−３）＝４１．４ｎｇの重量のインク滴を吐出することができ、一方、最小で、仮想的な設計上のノズル開口から、４０ｎｇ−０．２０ｎｇ（ＣＯＭ２−１）−０．４０ｎｇ（ＣＯＭ２−２）−０．８０ｎｇ（ＣＯＭ２−３）＝３８．６ｎｇの重量のインク滴を吐出することができる。

従って、図８に示すように、仮想的な設計上のノズル開口に対して１３．３３ｎｇ（所定の設計重量）のインク滴を吐出可能に設計されたパルス波形を基準パルスとして、当該基準パルスによって実際に吐出されたインク滴の重量を各ノズル毎に測定して得られるノズル毎重量偏差に関して、実際に吐出されるインク滴の重量誤差を±１％以内に抑えようとした時でも、−４．３％（（１００−４．３）％×１０３．５％≒９９％）〜＋４．７％（（１００＋４．７）％×９６．５％≒１０１％）という広い範囲で補償することが可能である。

すなわち、本実施の形態によれば、吐出駆動信号ＣＯＭに含まれるパルス波形の数は６であって、比較的少ないけれども、ノズル開口のインク滴の重量誤差について、より広範囲の補償を実現することができる。

さて、本発明は、更に、上記の各実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。

例えば、記録ヘッド７は、基板１３に対して移動されなくても良い。すなわち、固定された記録ヘッド７に対して基板１３が移動しても良い。すなわち、記録ヘッド７は、基板１３に対して相対的に走査されれば良い。

また、各吐出駆動信号の順番は、排他的に使用するパルス波形の組合せを維持しつつ、交互に入れ替えることも可能である。

また、ＲＧＢ３色からなるカラーフィルタを例として説明したが、これに限られない。モノカラー、または２色、あるいは他の複数色のカラーフィルターに本発明が適用することもできる。

上記の各実施の形態のフィルタ製造装置は、液晶表示用のカラーフィルタの製造に限定されず、例えば、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示素子の製造装置としても利用可能である。ＥＬ表示素子は、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陽極と陰極とで挟んだ構成を有し、この薄膜に電子及び正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子である。このようなＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料のうち、赤・緑および青色の発光色を呈する材料を、本発明の製造方法を用いてＴＦＴ等の素子基板上にインクジェットパターニングすることで、自発光フルカラーＥＬ表示素子を製造することができる。

そして、本実施の形態のフィルタ製造装置を用いて製造されるＥＬ表示素子は、セグメント表示や全面同時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等といったローインフォメーション分野への応用、または、点、線、面形状をもった光源としても使用することができる。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじめ、ＴＦＴ素子等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で応答性に優れたフルカラー表示素子を得ることができる。

また、上記各実施の形態の記録ヘッド７は、Ｒ、Ｇ、Ｂの内の１つの種類のインクを吐出することができるようになっているが、この内の２種類或いは３種類のインクを同時に吐出することも可能である。

なお、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであって、液体の例としては、インクの他に、グルー、マニキュア、液体電極材料、生体有機物液体等が用いられ得る。

フィルタが配列された基板の構成例を示す平面図。 図１の基板から製造されるフィルタの一部の構成例を示す平面図。 カラーフィルタが製造される様子の一例を示す平面図。 コンピュータと制御盤及び各種制御対象等を示す図。 記録ヘッドの構成例を示す概略図。 第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号の例を示す図。 図４のピエゾ素子駆動回路の電気的な構成例を示す回路図。 図６の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 フィルタの製造方法の一例を示すフローチャート。 カラーフィルタの製造工程の一例を示す断面図。 カラーフィルタの製造工程の一例を示す断面図。 本発明の第２の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第３の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第４の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第５の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第６の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第７の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第８の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第９の実施の形態の第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号が用いられる場合における、ノズル毎重量誤差を補償するためのパルス波形選択テーブルの一例を示す表。 本発明の第１０の実施の形態で用いられる吐出駆動信号を示す図。 第１０の実施の形態に対応するピエゾ素子駆動回路の電気的な構成例を示す回路図。

符号の説明

７ ヘッド（記録ヘッド）
１１ カラーフィルタ（フィルタ）
１３ 基板
９１ ノズル
Ｉ インク滴
Ｐ 画素
ＰＢ 画素
ＰＧ 画素
ＰＲ 画素

Claims (11)

1. ノズル開口を有するヘッド部材と、
   ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、
   第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、
   吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、
   を備えた液体噴射装置であって、
   第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、
   第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、を有しており、
   第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第２の３パルス波形と、を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
   第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする液体噴射装置。
2. 第１単位差分重量と第２単位差分重量とは、同一の値である
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 第１単位差分重量と第２単位差分重量とは、異なる値である
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
4. 第１吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第１の４パルス波形を有しており、
   第２吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第２の４パルス波形を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とについても、その一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
   第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の８倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の８倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液体噴射装置。
5. 第１吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第１の５パルス波形を有しており、
   第２吐出駆動信号は、一周期中において、更に、第２の５パルス波形を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とについて、その一方のみを駆動パルスの一部として選択的に選択するようになっており、
   第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の１６倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の１６倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
6. ノズル開口を有するヘッド部材と、
   ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、
   第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、
   吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、
   を備えた液体噴射装置であって、
   第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、
   第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、を有しており、
   第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
   第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする液体噴射装置。
7. ノズル開口を有するヘッド部材と、
   ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、
   第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、
   吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、
   を備えた液体噴射装置であって、
   第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、
   第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、第１の４パルス波形と、第１の５パルス波形と、第１の６パルス波形と、を有しており、
   第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第２の３パルス波形と、第２の４パルス波形と、第２の５パルス波形と、第２の６パルス波形と、を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
   第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする液体噴射装置。
8. ノズル開口を有するヘッド部材と、
   ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、
   第１吐出駆動信号及び第２吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、
   吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号に基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、
   を備えた液体噴射装置であって、
   第１吐出駆動信号と第２吐出駆動信号とは、同一の周期を有する周期信号であり、
   第１吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、第１の４パルス波形と、第１の５パルス波形と、第１の６パルス波形と、を有しており、
   第２吐出駆動信号は、一周期中において、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第２の３パルス波形と、第２の４パルス波形と、第２の５パルス波形と、第２の６パルス波形と、を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
   第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の３倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の４パルス波形と第２の４パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の５パルス波形と第２の５パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の６パルス波形と第２の６パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量に第1単位差分重量の３倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする液体噴射装置。
9. ノズル開口を有するヘッド部材と、
   ノズル開口部分の液体の圧力を変動させる圧力変動手段と、
   吐出駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、
   吐出データに基づいて複数の階調データから選択される選択階調データと吐出駆動信号とに基づいて、駆動パルスを生成する駆動パルス生成手段と、
   を備えた液体噴射装置であって、
   吐出駆動信号は、一周期中において、第１の１パルス波形と、第１の２パルス波形と、第２の１パルス波形と、第２の２パルス波形と、第１の３パルス波形と、第２の３パルス波形と、を有しており、
   駆動パルス生成手段は、第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択し、第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とについてその一方のみを駆動パルスの一部として選択するようになっており、
   第１の１パルス波形と第２の１パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の２パルス波形と第２の２パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の２倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の２倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形であり、
   第１の３パルス波形と第２の３パルス波形とは、それぞれ排他的に、仮想的な設計ノズル開口に対して、所定の設計重量に第１単位差分重量の４倍を加えた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形、または、所定の設計重量から第２単位差分重量の４倍を減じた重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である
   ことを特徴とする液体噴射装置。
10. 第１単位差分重量と第２単位差分重量とは、同一の値である
    ことを特徴とする請求項９に記載の液体噴射装置。
11. 第１単位差分重量と第２単位差分重量とは、異なる値である
    ことを特徴とする請求項９に記載の液体噴射装置。

Images