JP2008226628A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2008226628A5
JP2008226628A5 JP2007062686A JP2007062686A JP2008226628A5 JP 2008226628 A5 JP2008226628 A5 JP 2008226628A5 JP 2007062686 A JP2007062686 A JP 2007062686A JP 2007062686 A JP2007062686 A JP 2007062686A JP 2008226628 A5 JP2008226628 A5 JP 2008226628A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma
shielding
processing
processing apparatus
processed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007062686A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5239178B2 (ja
JP2008226628A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007062686A priority Critical patent/JP5239178B2/ja
Priority claimed from JP2007062686A external-priority patent/JP5239178B2/ja
Publication of JP2008226628A publication Critical patent/JP2008226628A/ja
Publication of JP2008226628A5 publication Critical patent/JP2008226628A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5239178B2 publication Critical patent/JP5239178B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007062686A 2007-03-12 2007-03-12 プラズマ処理装置 Active JP5239178B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007062686A JP5239178B2 (ja) 2007-03-12 2007-03-12 プラズマ処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007062686A JP5239178B2 (ja) 2007-03-12 2007-03-12 プラズマ処理装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2008226628A JP2008226628A (ja) 2008-09-25
JP2008226628A5 true JP2008226628A5 (ko) 2010-04-30
JP5239178B2 JP5239178B2 (ja) 2013-07-17

Family

ID=39844996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007062686A Active JP5239178B2 (ja) 2007-03-12 2007-03-12 プラズマ処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5239178B2 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9288886B2 (en) * 2008-05-30 2016-03-15 Colorado State University Research Foundation Plasma-based chemical source device and method of use thereof
JP5814074B2 (ja) * 2011-10-27 2015-11-17 富士フイルム株式会社 高分子膜の製造方法および高分子膜
JP5677328B2 (ja) * 2012-01-16 2015-02-25 三菱電機株式会社 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
JP6155455B2 (ja) * 2012-06-29 2017-07-05 京セラ株式会社 大気圧プラズマ発生用電極および大気圧プラズマ発生装置、ならびにそれを用いた大気圧プラズマ加工物の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3184682B2 (ja) * 1993-09-30 2001-07-09 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置
JP3180092B2 (ja) * 1997-12-03 2001-06-25 松下電工株式会社 プラズマ処理システム及びプラズマ処理方法
JP3666789B2 (ja) * 1999-04-30 2005-06-29 株式会社小松製作所 プラズマ切断方法、装置及びプラズマ切断トーチへのガス供給系統
JP2002151473A (ja) * 2000-11-13 2002-05-24 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置及びその組立方法
US6777638B2 (en) * 2002-11-14 2004-08-17 The Esab Group, Inc. Plasma arc torch and method of operation for reduced erosion of electrode and nozzle
JP2004253647A (ja) * 2003-02-20 2004-09-09 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置
JP2005074414A (ja) * 2003-08-28 2005-03-24 Mecaworld Co Ltd 大気圧プラズマ発生装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6577110B2 (ja) レーザ加工方法及びレーザ加工装置
JP2008226628A5 (ko)
JP2004351449A (ja) プラズマ切断装置及びそれの制御装置
WO2018029845A1 (ja) プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法
US20140042124A1 (en) Film removing method, nozzle for removing film, and film removing device
KR20180070981A (ko) 레이저 가공 장치
US9833860B1 (en) System and method for plasma arc transfer for plasma cutting
JP5103956B2 (ja) プラズマ処理装置
JP5846956B2 (ja) エアガン装置
JP2019217621A (ja) 放電加工装置
JP2019526454A (ja) スケール除去装置
JP6816260B2 (ja) プラズマ発生装置
JP2004169933A5 (ko)
JP5239178B2 (ja) プラズマ処理装置
JP6127267B2 (ja) レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP6360045B2 (ja) プラズマ処理装置
JP2008053367A5 (ko)
JP5607105B2 (ja) Nc旋盤における旋削用工具の冷却方法並びに旋削工具の冷却機構を備えたnc旋盤
JP2006179876A5 (ko)
KR20160128304A (ko) 대기압 플라스마 발생 장치, 쌍피처리체 작업기
JP2015074026A (ja) 開先加工方法、開先加工用プログラム、制御システム及びプラズマ切断装置
JP6630734B2 (ja) プラズマ照射方法、およびプラズマ照射システム
JP2015112705A (ja) ワーク加工装置及びワーク切断方法
JP2004301371A (ja) 炉加熱用の蓄熱式燃焼装置
JP2009137000A (ja) ワイヤカット放電加工機とその加工液ノズル装置