JP2008224276A - 薄膜磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】抵抗値のばらつきを抑制し、オフセット電圧を低減する薄膜磁気センサ及びその製造方法を提案する。
【解決手段】所定のパターンを有するフォトマスクを用いて形成され、少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子を含んだ第1の抵抗ブリッジ回路と、前記フォトマスクを用いて形成され、前記少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子に対応する第3及び第4の磁気抵抗素子を含んだ前記第1の抵抗ブリッジ回路に対応する第2の抵抗ブリッジ回路とを備え、前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路を積層して構成され、前記第1及び第4の磁気抵抗素子の合成によって第1の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第2及び第3の磁気抵抗素子の合成によって第2の合成磁気抵抗素子が形成されていることを特徴とする薄膜磁気センサ及びその製造方法を提供する。
【選択図】図4
【解決手段】所定のパターンを有するフォトマスクを用いて形成され、少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子を含んだ第1の抵抗ブリッジ回路と、前記フォトマスクを用いて形成され、前記少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子に対応する第3及び第4の磁気抵抗素子を含んだ前記第1の抵抗ブリッジ回路に対応する第2の抵抗ブリッジ回路とを備え、前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路を積層して構成され、前記第1及び第4の磁気抵抗素子の合成によって第1の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第2及び第3の磁気抵抗素子の合成によって第2の合成磁気抵抗素子が形成されていることを特徴とする薄膜磁気センサ及びその製造方法を提供する。
【選択図】図4
Description
本発明は、抵抗ブリッジ回路を有する薄膜磁気センサ及びその製造方法に関し、特に抵抗ブリッジ回路の抵抗値のばらつきを抑制し、オフセット電圧を低減する薄膜磁気センサ及びその製造方法に関する。
従来の技術として、磁気抵抗効果を有する強磁性体薄膜を折り返し形状に形成した2つの強磁性膜パターンを備えた2つの磁界検出層を絶縁層で挟んで基板上に積層するとともに、2つの磁界検出層の間に電気的接続を行うことによって4つの強磁性膜パターンを有する抵抗ブリッジ回路を備えた磁気抵抗素子が知られている(例えば、特許文献1)。
この磁気抵抗素子によると、磁界検出層の面積を小さく抑えながら、必要な抵抗値を実現することができ、かつ磁界検出層の面積を小さく抑えることによって、レジスト塗布厚分布等に起因するパターン変換誤差を抑制して強磁性膜パターンの抵抗値のばらつきを抑え、オフセット電圧の低減を可能にしている。
特開平8−130338号公報
しかし、従来の磁気抵抗素子によると、フォトマスクに画かれたパターンの誤差やパターンを転写する際のレンズの歪み等に起因する誤差は避けられないので、抵抗値のばらつきの抑制に限界があった。
従って、本発明の目的は、抵抗値のばらつきを抑制できる薄膜磁気センサ及びその製造方法を提案することにある。
本発明は上記目的を達成するため、所定のパターンを有するフォトマスクを用いて形成され、少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子を含んだ第1の抵抗ブリッジ回路と、前記フォトマスクを用いて形成され、前記少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子に対応する第3及び第4の磁気抵抗素子を含んだ前記第1の抵抗ブリッジ回路に対応する第2の抵抗ブリッジ回路とを備え、前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路を積層して構成され、前記第1及び第4の磁気抵抗素子の合成によって第1の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第2及び第3の磁気抵抗素子の合成によって第2の合成磁気抵抗素子が形成されていることを特徴とする薄膜磁気センサを提供する。
本発明によれば、抵抗値のばらつきを抑制できる薄膜磁気センサ及びその製造方法を提供することができる。
以下に、本発明の薄膜磁気センサの実施の形態を図面を参考にして詳細に説明する。
[第1の実施の形態]
(磁気センサの構成)
図1は、本発明の第1の実施の形態に関する磁気センサの概略構成図の一例であり、図2は、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサの回路図の一例である。
(磁気センサの構成)
図1は、本発明の第1の実施の形態に関する磁気センサの概略構成図の一例であり、図2は、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサの回路図の一例である。
薄膜磁気センサとしての磁気センサ1は、シリコン等で形成された基板2と、基板2上に形成された第1の合成磁気抵抗素子としての第1MR(Magneto Resistance)素子10、第2の合成磁気抵抗素子としての第2MR素子11、第3の合成磁気抵抗素子としての第3MR素子12及び第4の合成磁気抵抗素子としての第4MR素子13と、他の基板や装置等とはんだ等を用いて接続されるパッドP1、P2、P3及びP4とで構成されている。
この第1MR素子10、第2MR素子11、第3MR素子12及び第4MR素子13は、基板2上にニッケル鉄(NiFe)、ニッケルコバルト(NiCo)、またはニッケル鉄コバルト(NiFeCo)等の強磁性体を後述する製造方法によって積層することによって作成され、例えば、第1MR素子10の積層された第1の磁気抵抗素子としての第1層MR素子膜4a及び第6の磁気抵抗素子としての第2層MR素子膜7aは、コンタクト部14aで配線6aによって電気的に接続されており、各MR素子膜は、検出方向がそれぞれ相隣接する他のMR素子膜と互いに角度が90度異なるように配置されている。なお、各MR素子膜は、1つのMR素子膜が必要な抵抗値の半分の値を持ち、積層しそれぞれを接続することで、所望の抵抗値を有するものとする。なお、第1層MR素子膜4aから4dは、第1の抵抗ブリッジ回路、第2層MR素子膜7aから7dは、第2の抵抗ブリッジ回路を形成している。なお、各実施の形態において、磁気センサを例に用いて説明するが、抵抗ブリッジ回路を有するセンサであれば、光や圧力等を検出するセンサでも良く、これに限定されない。
また、図2に示すように、例えば、第1層のMR素子膜のパターンを時計回りに第1の磁気抵抗素子としての(A)、第2の磁気抵抗素子としての(B)、第3の磁気抵抗素子としての(C)及び第4の磁気抵抗素子としての(D)とし、第2層は、基板2またはフォトマスクを時計回りに90度回転させて、第1層のパターン(A)には、第6の磁気抵抗素子としてのパターン(D)が、第1層のパターン(B)には、第7の磁気抵抗素子としてのパターン(A)が、第1層のパターン(C)には、第8の磁気抵抗素子としてのパターン(B)が、第1層のパターン(D)には、第5の磁気抵抗素子としてのパターン(C)がそれぞれ積層されるように、パターンを転写する。
また、第1MR素子10のコンタクト部14bは、第1層MR素子膜4aと配線6bとが電気的に接続しており、他のMR素子も同様に各パッドに繋がる配線6bと対応する各MR素子膜とが電気的に接続されている。
また、パッド及び配線は、基板2上にアルミ(Al)等の配線用材を真空蒸着することにより形成されるが、これに限定されない。
これら第1MR素子10、第2MR素子11、第3MR素子12及び第4MR素子13は、抵抗ブリッジ回路を形成しており、パッドP2は接地され、パッドP4に電圧Vが印加されており、磁界が磁気センサ1に作用するとP1にはV2が、P3にはV3が出力され、図2のP1とP3間の電位差は、V3−V2となる。
図3(a)は、本発明の第1の実施の形態に係るコンタクト部14aの断面図の一例であり、磁気センサ1のコンタクト部14aは、基板2と、基板2上に設けられたフィールド酸化膜3と、第1層MR素子膜4aと、第1層MR素子膜4aと第2層MR素子膜7aを絶縁する層間絶縁膜5と、第1層MR素子膜4aと第2層MR素子膜7aとを電気的に接続する配線6aと、第2層MR素子膜7aと、磁気センサ1を保護する保護膜8とで構成されている。
図3(b)は、本発明の第1の実施の形態に係るコンタクト部14bの断面図の一例であり、配線6bは、第1層MR素子膜4aとのみ電気的に接続され、パッドP1を介して、第2MR素子11に接続されている。
(第1の実施の形態の動作)
以下に、本発明の第1の実施の形態の動作を図1から図5を参照しながら詳細に説明する。
以下に、本発明の第1の実施の形態の動作を図1から図5を参照しながら詳細に説明する。
(磁気抵抗センサの製造方法)
図4は、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサの製造方法に関する概略図の一例である。磁気センサ1は、一例として、フォトリソグラフィを用いて次の製造工程を経て製造される。
図4は、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサの製造方法に関する概略図の一例である。磁気センサ1は、一例として、フォトリソグラフィを用いて次の製造工程を経て製造される。
(1)第1層MR素子膜のパターニング
まずフィールド酸化膜3が、基板2上に形成され、続いて第1層MR素子膜4aがスパッタリング等により成膜される。MR素子のパターンが描かれたフォトマスクが露光装置にセットされ、MR素子のパターンが基板2上に転写される。
まずフィールド酸化膜3が、基板2上に形成され、続いて第1層MR素子膜4aがスパッタリング等により成膜される。MR素子のパターンが描かれたフォトマスクが露光装置にセットされ、MR素子のパターンが基板2上に転写される。
第1層MR素子膜4aは、ニッケル鉄(NiFe)、ニッケルコバルト(NiCo)、またはニッケル鉄コバルト(NiFeCo)等の強磁性体を用いて成膜される。
(2)層間絶縁膜形成及び配線
層間絶縁膜5が、第1層MR素子膜4aが成膜された基板2上に形成される。続いてフォトリソ工程によって第1MR素子の接続部となるコンタクト部14bが形成される。その後、アルミ(Al)等によって配線6bとパッドP1〜4とが第1層MR素子膜4aに電気的に接続するように配線される(第1の工程)。
層間絶縁膜5が、第1層MR素子膜4aが成膜された基板2上に形成される。続いてフォトリソ工程によって第1MR素子の接続部となるコンタクト部14bが形成される。その後、アルミ(Al)等によって配線6bとパッドP1〜4とが第1層MR素子膜4aに電気的に接続するように配線される(第1の工程)。
(3)及び(4)基板の90度回転と第2層MR素子のパターニング
第2層MR素子膜7aが、スパッタリング等で成膜される。その後、第2層MR素子膜7aのパターニングのとき、基板を90度回転させてパターニングを行う。これは、下記の理由による。
第2層MR素子膜7aが、スパッタリング等で成膜される。その後、第2層MR素子膜7aのパターニングのとき、基板を90度回転させてパターニングを行う。これは、下記の理由による。
図5(a)、(b)及び(c)は、本発明の第1の実施の形態に係る変換誤差に関する概略図の一例である。フォトリソグラフィは、フォトマスクに画かれたパターンを基板2上に転写するとき、局所的な変換誤差が生じ、縦横寸法に差が生じる。
例えば、局所的な変換誤差は、基板2上に塗布されたレジストの塗布厚の差によって生じる。また、別の誤差としては、フォトマスク上に画かれたパターンの製造誤差がある。
フォトマスク上に画かれたパターンは、一例として、MR素子膜の線幅を9μm、厚さを20nmで作成することを予定していたとする。
しかし、実際は、上記の理由により、その幅等に誤差が生じる。その誤差は、場所によって異なるので、一例として、図5の(a)のE及びF部分を拡大した(b)及び(c)のように表される。
(b)は、(a)のEの一部分を拡大した図であり、幅が0.1μm予定した幅よりも狭く、厚みが0.1nm予定した厚みよりも厚かったとする。
同様に(c)は、(a)のFの一部分を拡大した図であり、幅が0.2μm予定した幅よりも広く、厚みが0.3nm予定した厚みよりも厚かったとする。
一般的に電気抵抗は、同じ線の長さLで考えるなら、線の断面積の関数になる。しかし、高さHは、nmの単位であり、幅はμmの単位であるから、この場合、高さHは定数として、断面積は幅のみの関数として考えて良い。よって図5において、高さHは、同じHを用いている。
通常の磁気抵抗素子は、図5の(a)ように、第1層に抵抗ブリッジ回路を形成するように基板2上に転写されるが、(b)及び(c)に示したように変換誤差等に起因する断面積の差が生じる。
この断面積S1及びS2は、異なっているので、各MR素子膜が持つ抵抗値にばらつきが生じる。
一般に、磁気センサにおける抵抗ブリッジ回路は、パッドP4とP2に電圧Vを印加したとき、P1とP2で検出される電圧(オフセット電圧)をゼロにするように、各抵抗値を設定する。そうすることによって、各MR素子膜が電界の影響を受けたことによる抵抗値の変化の検出が容易になるからである。
しかし、抵抗値にばらつきがある場合、オフセット電圧はゼロにならないので、例えば、製造した各磁気センサのオフセット電圧を測定して、抵抗値や接続される装置を調整しなければならなかった。
しかし、図4(3)のように、基板2を90度回転させ図4(4)によって、隣のMR素子膜のパターンを積層することによって、隣り合う積層されたMR素子膜の抵抗値が平均化されるので、隣り合う積層されたMR素子膜の抵抗値のばらつきが低減し、オフセット電圧が低減される。
例えば、図5の(c)に(b)を積層して接続すると、断面積の平均は、(9μm+0.05μm)×Hnmとなり(高さHは一定としている)、予定していた9μm×Hnmに値が近づくのみならず、各MR素子膜の断面積が平均化され、抵抗値も平均化されるので、オフセット電圧が低減する。
なお、フォトマスクを90度回転させることで、同様の効果を期待することができるが、フォトマスクのパターンを転写する際に使用されるレンズの歪みに起因する誤差があるので、抵抗値の低減には限界があるが、フォトマスクを90度回転させる製造方法をとっても良いし、これに限定されない。
また、基板(フォトマスク)を90度回転させられることが可能なように、チップレイアウト、パターンレイアウト、アライメントの基準点の配置が行われる。
転写されたMR素子のパターンは、強磁性体を用いてMR素子膜が形成される。
また、第1層MR素子膜4aと第2層MR素子膜7aが、コンタクト部14aにおいてそれぞれ電気的に接続されるよう配線される(第3から第6工程)。
第1層MR素子膜4aと第2層MR素子膜7aとAl配線の接続方法は、どの構造であっても良くこれに限定されない。
(5)保護膜形成
保護膜8が、工程(4)で作成された第2層目のMR素子膜上に形成され、磁気センサ1が完成する。なお、各パッドの表面は、外部の装置等とワイヤで接続されるので、層間絶縁膜5及び保護膜8は形成されない。
保護膜8が、工程(4)で作成された第2層目のMR素子膜上に形成され、磁気センサ1が完成する。なお、各パッドの表面は、外部の装置等とワイヤで接続されるので、層間絶縁膜5及び保護膜8は形成されない。
こうして完成した磁気センサ1は、電界が作用しないとき、各MR素子の抵抗値のばらつきが抑制されるので、パッドP1とP3間のオフセット電圧が低減される。
(第1の実施の形態の効果)
上記した第1の実施の形態によると、縦横寸法の誤差を含むMR素子膜を90度回転させて積層することによって、抵抗値のばらつきを抑制できるので、オフセット電圧を低減することがきる。
上記した第1の実施の形態によると、縦横寸法の誤差を含むMR素子膜を90度回転させて積層することによって、抵抗値のばらつきを抑制できるので、オフセット電圧を低減することがきる。
[第2の実施の形態]
図6(a)は、本発明の第2の実施の形態に係る磁気センサの概略図の一例であり、(b)は、本発明の第2の実施の形態に係るAとBの拡大図の一例である。なお、以下の説明において、第1の実施の形態と同一の構成及び機能を有する部分については共通の符号を付している。
図6(a)は、本発明の第2の実施の形態に係る磁気センサの概略図の一例であり、(b)は、本発明の第2の実施の形態に係るAとBの拡大図の一例である。なお、以下の説明において、第1の実施の形態と同一の構成及び機能を有する部分については共通の符号を付している。
第1の実施の形態における磁気センサ1は、抵抗値のばらつきを抑制するために、MR素子膜を積層したが、積層せずに(b)に示すように同一平面上に配置するようにしても良い。
この磁気センサ1は、第1の実施の形態と同様に各抵抗値が平均化され、パッドP1とP3に発生するオフセット電圧を低減することができる。
[第3の実施の形態]
図7(a)は、本発明の第3の実施の形態に係る磁気センサの概略図の一例であり、(b)は、本発明の第3の実施の形態に係るMR素子の拡大図の一例である。
図7(a)は、本発明の第3の実施の形態に係る磁気センサの概略図の一例であり、(b)は、本発明の第3の実施の形態に係るMR素子の拡大図の一例である。
第1及び第2の実施の形態における磁気センサ1は、それを構成するMR素子が、4つの場合であったが、本実施の形態における磁気センサ1は2つの磁気センサをアルミ等の配線6cによって電気的に接続して、感度を向上させたものである。
(b)は、8つあるMR素子のうちの1つを拡大したものであり、第1の実施の形態における磁気センサと同様に第1層MR素子膜4eと第2層MR素子膜7eとを積層し、アルミ等の配線6cによって各パッドP5〜16と積層したMR素子膜を電気的に接続した構造となっている。
この磁気センサ1は、第1の実施の形態と同様に製造され、各抵抗値のばらつきが抑制されるので、オフセット電圧を低減することができる。
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されず、本発明の技術思想を逸脱あるいは変更しない範囲内で種々の変形が可能である。
1・・・磁気センサ、2・・・基板、3・・・フィールド酸化膜、4a〜4e・・・第1層MR素子膜、5・・・層間絶縁膜、6a〜6c・・・配線、7a〜7e・・・第2層MR素子膜、8・・・保護膜、10・・・第1MR素子、11・・・第2MR素子、12・・・第3MR素子、13・・・第4MR素子、14a、14b・・・コンタクト部、B1〜B4・・・基準点、H・・・高さ、L・・・長さ、P1〜P16・・・パッド、S1、S2・・・断面積、V、V2、V3・・・電圧
Claims (3)
- 所定のパターンを有するフォトマスクを用いて形成され、少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子を含んだ第1の抵抗ブリッジ回路と、
前記フォトマスクを用いて形成され、前記少なくとも第1及び第2の磁気抵抗素子に対応する第3及び第4の磁気抵抗素子を含んだ前記第1の抵抗ブリッジ回路に対応する第2の抵抗ブリッジ回路とを備え、
前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路を積層して構成され、前記第1及び第4の磁気抵抗素子の合成によって第1の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第2及び第3の磁気抵抗素子の合成によって第2の合成磁気抵抗素子が形成されていることを特徴とする薄膜磁気センサ。 - 所定のパターンを有するフォトマスクを用いて形成され、第1より第4の磁気抵抗素子を含んだ第1の抵抗ブリッジ回路と、
前記フォトマスクを用いて形成され、前記第1より第4の磁気抵抗素子に対応する第5より第8の磁気抵抗素子を含んだ前記第1の抵抗ブリッジ回路に対応する第2の抵抗ブリッジ回路とを備え、
前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路に90度の相対回転を与えて前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路を積層して構成され、前記第1及び第6の磁気抵抗素子の合成によって第1の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第2及び第7の磁気抵抗素子の合成によって第2の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第3及び第8の磁気抵抗素子の合成によって第3の合成磁気抵抗素子が形成され、前記第4及び第5の磁気抵抗素子の合成によって第4の合成磁気抵抗素子が形成されていることを特徴とする薄膜磁気センサ。 - 所定のパターンを有するフォトマスクを用いて形成され、第1より第4の磁気抵抗素子を含んだ第1の抵抗ブリッジ回路を作成する第1の工程と、
前記フォトマスクを用いて形成され、前記第1より第4の磁気抵抗素子に対応する第5より第8の磁気抵抗素子を含んだ前記第1の抵抗ブリッジ回路に対応する第2の抵抗ブリッジ回路を作成する第2の工程と、
前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路に90度の相対回転を与えて前記第1及び第2の抵抗ブリッジ回路を積層して構成され、前記第1及び第6の磁気抵抗素子の合成によって形成された第1の合成磁気抵抗素子を作成する第3の工程と、
前記第2及び第7の磁気抵抗素子の合成によって形成された第2の合成磁気抵抗素子を作成する第4の工程と、
前記第3及び第8の磁気抵抗素子の合成によって形成された第3の合成磁気抵抗素子を作成する第5の工程と、
前記第4及び第5の磁気抵抗素子の合成によって形成された第4の合成磁気抵抗素子を作成する第6の工程とを含むことを特徴とする薄膜磁気センサの製造方法。
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JP (1) | JP2008224276A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103630855A (zh) * | 2013-12-24 | 2014-03-12 | 江苏多维科技有限公司 | 一种高灵敏度推挽桥式磁传感器 |
CN113960508A (zh) * | 2020-07-21 | 2022-01-21 | Tdk株式会社 | 磁传感器 |
-
2007
- 2007-03-09 JP JP2007059864A patent/JP2008224276A/ja not_active Withdrawn
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