JP2008222461A - カーボンナノチューブの製造装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上記課題は、炭素を主成分とする陽極と陰極との間でアーク放電を行わせて、カーボンナノチューブを製造する装置であって、陽極と陰極とを相対移動させる電極移動手段と、陽極と陰極との距離を変化させるギャップ調整装置と、陰極表面に堆積したカーボンナノチューブ含有堆積物の酸化度合いを調整できる堆積物酸化装置と、カーボンナノチューブ含有堆積物の堆積状態および酸化度合いを検出する合成状態検出装置と、前記合成状態検出装置からの出力信号によりギャップ調整装置および/又は堆積物酸化装置を制御する合成状態制御機構を設けたことを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置によって解決される。
【選択図】 図1
Description
この断面形状を測定するには、画像処理にて形状を計測する光切断法、レーザライン変位計など、公知の非接触形状計測方法を用いることができる。より簡便な測定方法として、レーザ変位計にて堆積部近傍の陰極表面と堆積部との変位差を利用してもよい。
同図に示すように、この装置は、陽極が中空棒状の炭素電極、陰極が陽極よりかなり大径の円柱状炭素電極が用いられている。陰極は、その軸を中心として回転し、陽極はその周囲に接近して設けられている。陽極は、陰極の軸方向に移動し、かつ昇降して陰極周面とのギャップを調整しうるようになっている。この昇降装置が電極間のギャップ調整装置に該当する。
堆積物酸化装置は、10vol%の酸素を混合した窒素ガスを用い、マスフローコントローラにてガス流量を任意に調整できるように構成されている。
2 炭素陰極
3 中空孔
4 アーク
5 カーボンナノチューブ含有堆積物
6 ガス
7 堆積物酸化装置
8 合成状態検出装置
Claims (7)
- 炭素を主成分とする陽極と陰極との間でアーク放電を行わせて、カーボンナノチューブを製造する装置であって、陽極と陰極とを相対移動させる電極移動手段と、陽極と陰極との距離を変化させるギャップ調整装置と、陰極表面に堆積したカーボンナノチューブ含有堆積物の酸化度合いを調整できる堆積物酸化装置と、カーボンナノチューブ含有堆積物の堆積状態および酸化度合いを検出する合成状態検出装置と、前記合成状態検出装置からの出力信号によりギャップ調整装置および/又は堆積物酸化装置を制御する合成状態制御機構を設けたことを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置
- 前記合成状態検出装置が、陰極およびカーボンナノチューブ含有堆積物の輝度または輝度差にて検出する装置であることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造装置
- 前記合成状態検出装置がカーボンナノチューブ含有堆積物の形状を検出する装置であることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造装置
- 前記合成状態検出装置がカーボンナノチューブ含有堆積物の表面温度もしくは陰極とカーボンナノチューブ含有堆積物の表面温度差にて検出することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造装置
- 前記堆積物酸化装置が、陰極に堆積して高温状態にあるカーボンナノチューブ含有堆積物に、大気もしくは酸素を混合した気体を吹き付けることによりカーボンナノチューブ含有堆積物を酸化させる装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のカーボンナノチューブの製造装置
- 炭素を主成分とする陽極と陰極とを用い、陽極と陰極とを相対移動させて陰極表面にカーボンナノチューブ含有堆積物を帯状に形成していく方法において、該堆積物の堆積状態および酸化度合いを検出して、それにより陽極と陰極との間の距離および/又はカーボンナノチューブ含有堆積物の酸化度合いを調整することを特徴とするアーク放電法によるカーボンナノチューブの製造方法
- 陽極に、中空孔を設けた円筒状陽極を用い、前記中空孔に純アルゴンまたはアルゴンを80vol%以上含むガスを供給することを特徴とする請求項6に記載のカーボンナノチューブの製造方法
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