JP2008221051A - Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus - Google Patents

Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus Download PDF

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Yoichi Miyasaka
洋一 宮阪
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet discharge apparatus or the like capable of efficiently performing inspection of a discharge performance of functional-liquid droplet discharge heads. <P>SOLUTION: The liquid droplet discharge apparatus 1 for performing drawing on a workpiece W by discharging functional liquid droplets while moving the ink-jet type functional-liquid droplet discharge heads 30 has; a main scanning movement means 35 for moving the functional-liquid droplet discharge heads 30 in the main scanning direction; a pair of workpiece stages 10 disposed in a juxtaposed and fixed manner in the main scanning direction and in each of which the workpiece is set; and a main discharge inspection means 11 disposed in a clearance between the pair of workpiece stages 10 and for inspecting a discharge performance of the functional-liquid droplet discharge heads 30. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge device that performs drawing by discharging functional droplets from a functional droplet discharge head to a workpiece, and a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

従来、この種の液滴吐出装置として、ワークに機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、それぞれワークを搭載する一対のX軸テーブル(ワークステージ)と、一対のX軸テーブルに隣接し、機能液滴吐出ヘッドのクリーニング等を行なうヘッド機能回復装置と、一対のX軸テーブルおよびヘッド機能回復装置を跨いで設けられ、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させるY軸テーブルと、を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。この液滴吐出装置では、一対のX軸テーブルおよびヘッド機能回復装置が、副走査方向に並べて配設されており、機能液滴吐出ヘッドは、Y軸テーブルにより副走査方向に移動すると共に、ヘッド機能回復装置をホーム位置として、一方のX軸テーブル、他方のX軸テーブルの順に臨むよう構成されている。
特開2004−121957号公報
Conventionally, as this type of liquid droplet ejection apparatus, a functional liquid droplet ejection head that ejects functional liquid droplets onto a workpiece, a pair of X-axis tables (work stages) each mounting a workpiece, and a pair of X-axis tables A head function recovery device that performs cleaning of the functional liquid droplet ejection head, a Y axis table that is provided across the pair of X axis tables and the head function recovery device, and moves the functional liquid droplet ejection head in the sub-scanning direction; (For example, refer to Patent Document 1). In this droplet discharge device, a pair of X-axis table and head function recovery device are arranged side by side in the sub-scanning direction, and the functional droplet discharge head moves in the sub-scanning direction by the Y-axis table and the head With the function recovery device as a home position, one X-axis table and the other X-axis table are faced in this order.
JP 2004-121957 A

ところで、機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液滴を、ワークに精度良く着弾させるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査手段を設ける場合がある。このとき、ヘッド機能回復装置によりクリーニングされた機能液滴吐出ヘッドの吐出検査を行なうべく、ヘッド機能回復装置と一方のX軸テーブルとの間に、吐出検査手段を設けることが想定される。
しかしながら、各ワークへの描画毎に、吐出性能の検査を行なう場合、上記のような構成では、ヘッド機能回復装置から遠い他方のX軸テーブルにおいて、ワークの描画が終了すると、一方のX軸テーブルを跨いで、吐出検査手段に移動しなければならない。このため、各ワークの描画毎に、吐出性能の検査を行なうとタクトタイムが長くなってしまう問題がある。
By the way, in order to cause the functional liquid droplets ejected from the functional liquid droplet ejection head to land on the work with high accuracy, there is a case in which ejection inspection means for inspecting the ejection performance of the functional liquid droplet ejection head is provided. At this time, in order to perform a discharge inspection of the functional liquid droplet discharge head cleaned by the head function recovery device, it is assumed that a discharge inspection means is provided between the head function recovery device and one X-axis table.
However, when the ejection performance is inspected for each drawing on each workpiece, in the configuration as described above, when drawing of the workpiece is completed in the other X-axis table far from the head function recovery device, one X-axis table Must be moved to the discharge inspection means. For this reason, there is a problem that the tact time becomes long if the ejection performance is inspected for each drawing of each workpiece.

本発明は、効率よく機能液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行うことができる液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。   It is an object of the present invention to provide a droplet discharge device capable of efficiently inspecting the discharge performance of a functional droplet discharge head, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動手段と、主走査方向に並べて固定的に配設され、それぞれにワークがセットされる一対のワークステージと、一対のワークステージの間隙に配設され、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する主吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする。   The liquid droplet ejection apparatus according to the present invention is a liquid droplet ejection apparatus that performs drawing by ejecting functional liquid droplets from a functional liquid droplet ejection head while moving the inkjet functional liquid droplet ejection head relative to the workpiece. Main scanning moving means for moving the droplet discharge head in the main scanning direction, a pair of work stages that are fixedly arranged side by side in the main scanning direction, and a work set on each of them, and a gap between the pair of work stages And a main discharge inspection means for inspecting the discharge performance of the functional liquid droplet discharge head.

この構成によれば、各ワークステージ間に主吐出検査手段が設けられているため、各ワークの描画毎に、吐出性能の検査を効率良く行うことができる。すなわち、一方のワークステージにセットされたワークの描画処理が終了すると、他方のワークステージにセットされたワークに描画処理を行なうべく、ワークステージ間を移動するが、このとき、主吐出検査手段により機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することができるため、描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。   According to this configuration, since the main discharge inspection means is provided between the work stages, the discharge performance can be efficiently inspected for each drawing of each work. That is, when the drawing process of the work set on one work stage is completed, the work set on the other work stage is moved between work stages in order to perform the drawing process. Since the ejection performance of the functional liquid droplet ejection head can be inspected, the tact time in the drawing process can be shortened.

この場合、一対のワークステージに対し、一方でワークに描画を行っている間に他方でワークの除給材を行う除給材手段を、更に備えたことが、好ましい。   In this case, it is preferable that a pair of work stages is further provided with a discharge material means for performing the workpiece discharge material on the other side while drawing on the work on the one side.

この構成によれば、一方のワークの描画中に、他方のワークの除給材を行うことができるため、ワークへの描画処理におけるタクトタイムを更に短縮することができる。   According to this configuration, since one of the workpieces can be discharged while the other workpiece is being drawn, the tact time in the drawing process on the workpiece can be further shortened.

この場合、主吐出検査手段による吐出性能の検査は、各ワークに対する機能液滴吐出ヘッドの描画処理に先立って行なわれることが、好ましい。   In this case, it is preferable that the ejection performance inspection by the main ejection inspection unit is performed prior to the drawing process of the functional liquid droplet ejection head for each workpiece.

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの描画前に、吐出性能の検査を行なうことができるため、検査結果が吐出不良、例えば、機能液滴の着弾位置が位置ずれした場合は、これを補正した状態で、次回の描画処理に臨むことが可能となる。これにより、処理後のワークの歩止りを向上させることができる。   According to this configuration, since the ejection performance can be inspected before the drawing of the functional liquid droplet ejection head, if the inspection result is ejection failure, for example, the landing position of the functional liquid droplet is misaligned, In the corrected state, the next drawing process can be started. Thereby, the yield of the workpiece | work after a process can be improved.

この場合、一対のワークステージの間隙に配設され、各ワークに対する描画処理に先立って機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受ける中間部フラッシング手段を、更に備えたことが、好ましい。   In this case, it is preferable to further include an intermediate portion flushing means that is disposed in the gap between the pair of work stages and receives the waste discharge from the functional liquid droplet discharge head prior to the drawing process for each work.

この構成によれば、各ワークの描画毎に、機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出を行うことができるため、機能液滴吐出ヘッドからの機能液滴の吐出を安定させた状態で、ワークへ描画処理を行なうことが可能となる。これにより、ワークに対し、良好に描画処理を行なうことができる。また、短時間で捨て吐出から描画処理に移行することができる。   According to this configuration, every time a workpiece is drawn, it can be discharged from the functional liquid droplet ejection head, so that the functional liquid droplet is ejected from the functional liquid droplet ejection head in a stable state. Processing can be performed. Thereby, a drawing process can be favorably performed on the workpiece. In addition, it is possible to shift from discarding discharge to drawing processing in a short time.

この場合、中間部フラッシング手段は、主吐出検査手段の主走査方向両側に配設された一対の中間部フラッシングユニットで構成されていることが、好ましい。   In this case, it is preferable that the intermediate portion flushing means is composed of a pair of intermediate portion flushing units disposed on both sides in the main scanning direction of the main discharge inspection means.

この構成によれば、ワークステージ間を機能液滴吐出ヘッドが移動する場合、一方の中間部フラッシングユニット、主吐出検査手段、他方の中間部フラッシングユニットの順に機能液滴吐出ヘッドが臨むこととなる。このとき、主吐出検査手段により吐出検査を行なう前に、捨て吐出を行なうことで、機能液滴の吐出を安定させた状態で吐出検査に臨むことができ、良好な吐出検査を行うことができる。   According to this configuration, when the functional liquid droplet ejection head moves between the work stages, the functional liquid droplet ejection head faces the intermediate part flushing unit, the main ejection inspection unit, and the other intermediate part flushing unit in this order. . At this time, by performing the discard discharge before performing the discharge inspection by the main discharge inspection means, the discharge inspection can be performed in a state where the discharge of the functional liquid droplets is stabilized, and a good discharge inspection can be performed. .

この場合、各ワークステージの主走査方向外側にそれぞれ配設され、機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受ける一対の端部フラッシングユニットを、更に備えたことが、好ましい。   In this case, it is preferable to further include a pair of end flushing units that are disposed on the outer side in the main scanning direction of each work stage and receive waste discharge from the functional liquid droplet discharge head.

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが、ワーク上を往復して描画処理を行なう場合、往動作時および復動作時において、機能液滴吐出ヘッドがワークへ臨む前に、捨て吐出を行なうことができ、機能液滴の吐出を安定させた状態でワークに描画することができる。   According to this configuration, when the functional liquid droplet ejection head performs a drawing process by reciprocating on the workpiece, it is discarded before the functional liquid droplet ejection head faces the work during the forward operation and the backward operation. It is possible to draw on the work in a state where the ejection of the functional liquid droplets is stabilized.

この場合、一方のワークステージの主走査方向外側に配設され、直上部に臨んだ機能液滴吐出ヘッドに対しキャッピング、機能液吸引およびワイピングを行うクリーニング手段を、更に備えたことが、好ましい。   In this case, it is preferable to further include a cleaning unit that is disposed on the outer side in the main scanning direction of one work stage and performs capping, functional liquid suction, and wiping on the functional liquid droplet ejection head facing directly above.

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドをクリーニングすることができるため、機能液滴吐出ヘッドが吐出不良となっても、機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行うことができる。   According to this configuration, since the functional liquid droplet ejection head can be cleaned, the functional liquid droplet ejection head can be recovered even if the functional liquid droplet ejection head becomes defective.

この場合、一方のワークステージとクリーニング手段との間隙に配設され、クリーニング手段によるクリーニング後の機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する副吐出検査手段を、更に備えたことが、好ましい。   In this case, it is preferable to further include a sub-discharge inspection unit that is disposed in a gap between one work stage and the cleaning unit and inspects the discharge performance of the functional liquid droplet discharge head after being cleaned by the cleaning unit.

この構成によれば、クリーニング手段により機能液滴吐出ヘッドがクリーニングされた後、機能液滴吐出ヘッドがワークテーブルに移動する際に、吐出性能の検査を行うことができる。   According to this configuration, after the functional liquid droplet ejection head is cleaned by the cleaning unit, the ejection performance can be inspected when the functional liquid droplet ejection head moves to the work table.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。   A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming unit made of functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.

本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。   An electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film forming unit using functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.

この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機EL装置の発光材料(Electro-Luminescence発光層・正孔注入層)は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料(フィルタエレメント)、電子放出装置(Field Emission Display, FED)の蛍光材料(蛍光体)、PDP(plasma Display Panel)装置の蛍光材料(蛍光体)、電気泳動表示装置の泳動体材料(泳動体)等であって、機能液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置(Flat Panel Display, FPD)としては、有機EL装置、液晶表示装置、電子放出装置、PDP装置、電気泳動表示装置等がある。   According to this configuration, a high-quality electro-optical device can be efficiently manufactured. In addition, as a functional material, the light emitting material (Electro-Luminescence light emitting layer / hole injection layer) of the organic EL device, the filter material (filter element) of the color filter used for the liquid crystal display device, the electron emission device (Field Emission) Display, FED) fluorescent material (phosphor), fluorescent material (phosphor) of PDP (plasma display panel) device, electrophoretic material (electrophore) of electrophoretic display device, etc. A liquid material that can be discharged by an inkjet head). Examples of the electro-optical device (Flat Panel Display, FPD) include an organic EL device, a liquid crystal display device, an electron emission device, a PDP device, and an electrophoretic display device.

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。   An electronic apparatus according to an aspect of the invention includes the electro-optical device manufactured by the above-described method for manufacturing the electro-optical device or the above-described electro-optical device.

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。   In this case, examples of the electronic device include a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display, and various electric products.

以下、添付の図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を、複数の機能液滴吐出ヘッドに導入し、ワーク上に機能液による成膜部を形成して、カラーフィルタ等を製造するものである。   Hereinafter, a droplet discharge device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in the production line of flat panel displays such as liquid crystal display devices, and introduces functional liquids such as special inks and luminescent resin liquids into a plurality of functional droplet discharge heads. A color filter or the like is manufactured by forming a film forming portion with a functional liquid on a workpiece.

図1に示すように、液滴吐出装置1は、ワークWに対し描画処理を行なう描画装置2と、描画装置2を内部に収容すると共に、クリーンルームを構成するチャンバ装置3と、チャンバ装置3の側壁に設けられた除給材開口(図示省略)を介して、ワークWの除給材を行う除給材装置(除給材手段)4と、で構成されている。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a drawing device 2 that performs a drawing process on a workpiece W, a drawing device 2 that is housed therein, a chamber device 3 that constitutes a clean room, and a chamber device 3. A discharge material device (discharge material means) 4 that performs a discharge material for the workpiece W through a discharge material opening (not shown) provided on the side wall.

描画装置2は、石定盤上に配置されており、ワークWがセットされると共に主走査方向に並べて配設された一対のワークステージ10と、一対のワークステージ10の間に配設され、複数の機能液滴吐出ヘッド30の吐出性能を検査する吐出検査ユニット(主吐出検査手段)11と、吐出検査ユニット11と一対のワークステージ10との間に配設されると共に、一対のワークステージ10の主走査方向両外側に配設された4つのフラッシングユニット12と、主走査方向の最外側に配設されたメンテナンスユニット(クリーニング手段)13と、これらを跨ぐように設けられ、R色・G色・B色の機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド30を搭載した描画ユニット14と、を備えており、図示しない制御コンピュータにより装置全体が統括制御されている。また、描画装置2には、描画後のワークWの上方を主走査方向に移動して、R色・G色・B色の機能液の混色を検査する混色検査ユニット11と、ワークWの上部に配置され、ワークに形成されたアライメントマークを撮像する4つのアライメントカメラ16(図2参照)と、ワークWの除材時において、ワークWの除電を行なう除電ユニット(図示省略:除電手段)と、が更に設けられている。   The drawing apparatus 2 is disposed on a stone surface plate, and is disposed between a pair of work stages 10 on which a work W is set and disposed side by side in the main scanning direction, and the pair of work stages 10. A discharge inspection unit (main discharge inspection means) 11 for inspecting the discharge performance of the plurality of functional liquid droplet discharge heads 30 is disposed between the discharge inspection unit 11 and the pair of work stages 10, and a pair of work stages. The four flushing units 12 disposed on both outer sides of the main scanning direction 10 and the maintenance unit (cleaning means) 13 disposed on the outermost side in the main scanning direction are provided so as to straddle them. A drawing unit 14 equipped with a plurality of functional liquid droplet ejection heads 30 for ejecting functional liquid droplets of G color and B color. There has been overall control. Also, the drawing apparatus 2 includes a mixed color inspection unit 11 that moves in the main scanning direction over the workpiece W after drawing, and inspects the mixed color of the R, G, and B functional liquids, and an upper portion of the workpiece W. And four alignment cameras 16 (see FIG. 2) that image the alignment marks formed on the workpiece, and a static elimination unit (not shown: static elimination means) that neutralizes the workpiece W when removing the workpiece W. Are further provided.

図3に示すように、各ワークステージ10は、ワークWがセットされる吸着テーブル20と、吸着テーブル20をθ方向に回転させるθテーブル21と、吸着テーブル20を昇降させるZ軸テーブル22と、を有しており、θテーブル21およびZ軸テーブル22は、制御コンピュータにより駆動制御されている。これにより、上記の各アライメントカメラ16による撮像結果に基づいて、制御コンピュータによりθテーブル21を回転させることで、セットされたワークWのθ補正を行うと共に、Z軸テーブル22を上下に微小移動させて、セットされたワークWの表面と機能液滴吐出ヘッド30のノズル面との距離(ワークギャップ)を微調整する。なお、一対のワークステージ10上にセットされたθ補正後の各ワークWは、副走査方向に位置ずれしており、この場合、制御コンピュータは、一方のワークWから他方のワークWへ描画処理の移行時において、後述する複数のヘッドユニット25を、位置ずれした分、副走査方向に移動させて位置補正した後、描画処理を行うよう制御する。   As shown in FIG. 3, each work stage 10 includes a suction table 20 on which a work W is set, a θ table 21 that rotates the suction table 20 in the θ direction, a Z-axis table 22 that moves the suction table 20 up and down, The θ table 21 and the Z-axis table 22 are driven and controlled by a control computer. Accordingly, the θ correction of the set work W is performed by rotating the θ table 21 by the control computer based on the imaging result of each alignment camera 16, and the Z-axis table 22 is slightly moved up and down. Then, the distance (work gap) between the surface of the set work W and the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head 30 is finely adjusted. Each θ-corrected workpiece W set on the pair of workpiece stages 10 is displaced in the sub-scanning direction. In this case, the control computer performs drawing processing from one workpiece W to the other workpiece W. At the time of shifting, control is performed so that a plurality of head units 25 (to be described later) are moved in the sub-scanning direction by the amount of positional deviation, position correction is performed, and drawing processing is performed.

図1ないし図4に示すように、描画ユニット14は、複数のヘッドユニット25と、複数のヘッドユニット25を搭載すると共に、搭載した複数のヘッドユニット25を主走査方向および副走査方向に移動させるヘッド移動手段26と、各ヘッドユニットに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含む複数のヘッド付帯装置27と、複数のヘッド付帯装置27を主走査方向に移動させる付帯移動手段28と、を有しており、制御コンピュータは、ヘッド移動手段26および付帯移動手段28を制御して、複数のヘッドユニット25の移動に伴って、複数のヘッド付帯装置27が追従するよう移動させている。   As shown in FIGS. 1 to 4, the drawing unit 14 includes a plurality of head units 25 and a plurality of head units 25, and moves the mounted head units 25 in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Head moving means 26, a plurality of head auxiliary devices 27 including a functional liquid supply system and a head electrical system connected to each head unit by piping and wiring, and an auxiliary moving means for moving the plurality of head auxiliary devices 27 in the main scanning direction The control computer controls the head moving means 26 and the accompanying moving means 28 to move the plurality of head attached devices 27 so as to follow as the plurality of head units 25 move. ing.

各ヘッドユニット25は、ワークWに対し、機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド30と、複数の機能液滴吐出ヘッド30を位置決めして装着するキャリッジプレートと、から構成されている。つまり、複数の機能液滴吐出ヘッド30は、キャリッジプレートを介してヘッド移動手段26に搭載されている。   Each head unit 25 includes a plurality of functional liquid droplet ejection heads 30 that eject functional liquid droplets to the workpiece W, and a carriage plate that positions and mounts the plurality of functional liquid droplet ejection heads 30. . That is, the plurality of functional liquid droplet ejection heads 30 are mounted on the head moving unit 26 via the carriage plate.

ヘッド移動手段26は、複数のヘッドユニット25を主走査方向に移動させる主走査移動手段35と、複数のヘッドユニット25を主走査方向に直交する副走査方向に移動させる副走査移動手段36と、を有しており、複数のヘッドユニット25を主走査方向および副走査方向に移動自在に搭載している。   The head moving unit 26 includes a main scanning moving unit 35 that moves the plurality of head units 25 in the main scanning direction, a sub scanning moving unit 36 that moves the plurality of head units 25 in the sub scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and A plurality of head units 25 are mounted movably in the main scanning direction and the sub-scanning direction.

図4に示すように、主走査移動手段35は、ガントリー構造となっており、一対のワークステージ10を挟んで主走査方向に延在するように設けられた一対の主ガイドレール40と、一対の主ガイドレール40上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の主スライダ41と、一対の主スライダ41上に架設された主ブリッジフレーム42と、を備えており、一対の主スライダ41は、図示しないリニアモータを駆動源として、付帯移動手段28に比して高精度に移動可能な構成となっている。なお、主走査移動手段35は、ワークWの描画速度に比して、各ワークW間の移動速度が高速となるよう構成されている。   As shown in FIG. 4, the main scanning moving means 35 has a gantry structure, and a pair of main guide rails 40 provided so as to extend in the main scanning direction with the pair of work stages 10 interposed therebetween, and a pair of main guide rails 40. The main guide rail 40 includes a pair of main sliders 41 that move slidably in the main scanning direction, and a main bridge frame 42 that is installed on the pair of main sliders 41. As a driving source, a linear motor (not shown) is configured to be able to move with higher precision than the incidental moving means 28. The main scanning moving unit 35 is configured such that the moving speed between the works W is higher than the drawing speed of the work W.

副走査移動手段36は、主ブリッジフレーム42に配設されており、各ヘッドユニット25は、副走査移動手段36を介して主ブリッジフレーム42に搭載されている。これにより、複数のヘッドユニット25は、副走査方向に移動可能な構成となっている。   The sub-scanning movement unit 36 is disposed on the main bridge frame 42, and each head unit 25 is mounted on the main bridge frame 42 via the sub-scanning movement unit 36. Thereby, the plurality of head units 25 are configured to be movable in the sub-scanning direction.

各ヘッド付帯装置27は、各機能液滴吐出ヘッド30に機能液を供給するためのサブタンク等を含む機能液供給系と、各機能液滴吐出ヘッド30に機能液滴を吐出するための吐出駆動波形を印加するためのヘッド基板等を含むヘッド電装系と、から構成されており、各ヘッドユニット25の重量に比して、重くなるよう構成されている。ヘッドユニット25とヘッド付帯装置27との間は、機能液供給チューブ45により配管接続されていると共に、配線ケーブル46により配線接続されており、複数の機能液滴吐出ヘッド30に、機能液供給チューブ45を介して機能液が供給されると共に、配線ケーブル46を介して吐出駆動波形が印加されている。   Each head-attached device 27 includes a functional liquid supply system including a sub-tank for supplying functional liquid to each functional liquid droplet ejection head 30, and ejection driving for ejecting functional liquid droplets to each functional liquid droplet ejection head 30. And a head electrical system including a head substrate for applying a waveform, and is configured so as to be heavier than the weight of each head unit 25. The head unit 25 and the head accessory device 27 are connected to each other by a functional liquid supply tube 45 and are also connected to each other by a wiring cable 46. The functional liquid supply tubes are connected to the plurality of functional liquid droplet ejection heads 30. A functional liquid is supplied via 45 and a discharge drive waveform is applied via the wiring cable 46.

付帯移動手段28は、ヘッドユニット25およびヘッド付帯装置27間の配管・配線の物理的接続状態を維持する離間距離を保ちつつ、ヘッド移動手段26に追従して移動するよう構成されている。付帯移動手段28も、上記の主走査移動手段35と同様にガントリー構造となっており、ヘッド移動手段26の移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。このため、ヘッド移動手段26および付帯移動手段28は、互いに干渉することなく移動することができる。付帯移動手段28は、一方の主ガイドレール40の副走査方向外側に配設されると共に他方の主ガイドレール40の上部に給材用間隙48を存して配設された一対の副ガイドレール50と、一対の副ガイドレール50上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の副スライダ51と、一対の副スライダ51上に架設された副ブリッジフレーム52と、を備えており、一対の副スライダ51は、一対の主スライダ41と同様のリニアモータを駆動源として、主走査方向に移動するよう構成されている。また、副ブリッジフレーム52は、その両脚部にそれぞれ防振部材55が介設されており、ヘッド付帯装置27の移動に伴う振動を吸収している。   The accessory moving means 28 is configured to move following the head moving means 26 while maintaining a separation distance that maintains the physical connection state of the piping and wiring between the head unit 25 and the head accessory device 27. The accessory moving means 28 also has a gantry structure similar to the main scanning moving means 35 described above, and is configured to move above the movement locus of the head moving means 26. For this reason, the head moving means 26 and the accompanying moving means 28 can move without interfering with each other. The accessory moving means 28 is disposed outside the one main guide rail 40 in the sub-scanning direction, and is a pair of sub guide rails disposed above the other main guide rail 40 with a supply gap 48 therebetween. 50, a pair of sub-sliders 51 that move slidably on the pair of sub-guide rails 50 in the main scanning direction, and a sub-bridge frame 52 installed on the pair of sub-sliders 51. The sub slider 51 is configured to move in the main scanning direction using a linear motor similar to that of the pair of main sliders 41 as a drive source. Further, the sub-bridge frame 52 is provided with a vibration isolating member 55 at each of its leg portions, and absorbs vibration accompanying the movement of the head accessory device 27.

図3に示すように、吐出検査ユニット11は、各機能液滴吐出ヘッド30からの検査吐出を受けるよう副走査方向に帯状に延在する検査シート57と、検査シート57を吐出位置と撮像位置との間で昇降させるシート昇降機構(図示省略)と、検査シート57に吐出・着弾した機能液滴を撮像する検査用カメラ58と、撮像位置まで降下させた検査シート57に検査用カメラ58を臨ませ、これを副走査方向に移動させるカメラ移動機構(図示省略)と、を有している。そして、吐出検査ユニット11による吐出性能の検査は、ワークWへの描画処理に先立って行なわれるよう構成されている。これにより、描画処理前に吐出性能の検査を行うことができるため、吐出不良等の場合は、適宜メンテナンスユニット13に臨ませて、吐出不良等を解消することができる。   As shown in FIG. 3, the ejection inspection unit 11 includes an inspection sheet 57 extending in a strip shape in the sub-scanning direction so as to receive inspection ejection from each functional liquid droplet ejection head 30, and the ejection position and imaging position of the inspection sheet 57. A sheet raising / lowering mechanism (not shown) that moves up and down, an inspection camera 58 that images the functional liquid droplets discharged and landed on the inspection sheet 57, and an inspection camera 58 that is lowered to the imaging position. And a camera moving mechanism (not shown) for moving it in the sub-scanning direction. The discharge performance inspection by the discharge inspection unit 11 is configured to be performed prior to the drawing process on the workpiece W. Thereby, since the discharge performance can be inspected before the drawing process, in the case of a discharge failure or the like, the discharge failure or the like can be solved by appropriately approaching the maintenance unit 13.

吐出検査ユニット11により機能液滴吐出ヘッド30の吐出性能を検査する場合、先ず、吐出位置に臨んだ検査シート57に対し、その上方から各機能液滴吐出ヘッド30により機能液滴を吐出して、検査シート57に機能液滴を着弾させた後、シート昇降機構により、検査シート57を撮像位置まで降下させる。撮像位置に臨んだ検査シート57に対し、今度は、カメラ移動機構により、検査用カメラ58を退避位置から主走査方向に移動させて、検査シート57の直上位置に臨ませる。この後、検査用カメラ58を副走査方向に移動させながら、検査シート57に着弾した機能液滴を撮像し、この撮像結果から、各機能液滴吐出ヘッド30の吐出状態を検査する。このとき、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド30がある場合には、ヘッドユニット25をメンテナンスユニット13に臨ませて、吐出不良を解消し、再び吐出状態を検査する。そして、検査後は、検査シート57の検査済み部分が巻き取られ、新たに繰り出された未描画部分に対して、同様に吐出検査が行われるようになっている。   When the ejection performance of the functional liquid droplet ejection head 30 is inspected by the ejection inspection unit 11, first, functional liquid droplets are ejected from above by the functional liquid droplet ejection heads 30 on the inspection sheet 57 facing the ejection position. After the functional liquid droplets are landed on the inspection sheet 57, the inspection sheet 57 is lowered to the imaging position by the sheet lifting mechanism. Next, the inspection camera 58 is moved from the retracted position in the main scanning direction by the camera moving mechanism to the inspection sheet 57 that has reached the imaging position, so that the inspection sheet 57 is directly above the inspection sheet 57. Thereafter, while moving the inspection camera 58 in the sub-scanning direction, the functional liquid droplets landed on the inspection sheet 57 are imaged, and the ejection state of each functional liquid droplet ejection head 30 is inspected from the imaging result. At this time, if there is a defective liquid droplet ejection head 30, the head unit 25 faces the maintenance unit 13 to eliminate the ejection failure, and the ejection state is inspected again. After the inspection, the inspected portion of the inspection sheet 57 is wound up, and the discharge inspection is similarly performed on the newly drawn undrawn portion.

各フラッシングユニット12は、複数の機能液滴吐出ヘッド30から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド30は、ワークWへの描画前に、各フラッシングユニット12に捨て吐出を行って、機能液滴の吐出を安定させる。4つのフラッシングユニット12は、一対のワークステージ10間に配設された一対の中間部フラッシングユニット12と、一対のワークステージ10の主走査方向外側に配設された一対の端部フラッシングユニット12と、から構成されている。このため、描画処理前にヘッドユニット25から捨て吐出を行うことにより、吐出状態を安定させることができるため、適切にワークWに描画を行うことが可能となる。また、吐出検査前にも、ヘッドユニット25から捨て吐出を行うことで吐出状態を安定させることができるため、良好な吐出検査を行うことができる。   Each flushing unit 12 receives functional droplets discharged and discharged from the plurality of functional droplet discharge heads 30, and the plurality of functional droplet discharge heads 30 are each flushing unit 12 before drawing on the workpiece W. In this case, the functional liquid droplets are stably discharged. The four flushing units 12 include a pair of intermediate flushing units 12 disposed between the pair of work stages 10 and a pair of end flushing units 12 disposed on the outer side in the main scanning direction of the pair of work stages 10. , Is composed of. For this reason, since the discharge state can be stabilized by discarding and discharging from the head unit 25 before the drawing process, it is possible to appropriately draw on the workpiece W. In addition, since the discharge state can be stabilized by performing the discharge from the head unit 25 before the discharge inspection, a good discharge inspection can be performed.

図4に示すように、メンテナンスユニット13は、各機能液滴吐出ヘッド30内で増粘した機能液を除去するための吸引を行うと共に、各機能液滴吐出ヘッド30を保管するために各機能液滴吐出ヘッド30にキャッピングする吸引装置64と、吸引装置64の副走査方向外側に配設され、機能液滴吐出ヘッド30のノズル面を副走査方向に移動して払拭するワイピング装置65と、を備えている。メンテナンスユニット13は、主走査方向の最外端に配置され、主走査方向に移動するヘッドユニット25のホーム位置となっており、ホーム位置に臨んだヘッドユニット25の直下にメンテナンスユニット13が配置されている。   As shown in FIG. 4, the maintenance unit 13 performs suction for removing the functional liquid thickened in each functional liquid droplet ejection head 30, and stores each functional liquid droplet ejection head 30 with each function. A suction device 64 for capping the droplet discharge head 30; a wiping device 65 that is disposed outside the suction device 64 in the sub-scanning direction and moves the nozzle surface of the functional droplet discharge head 30 in the sub-scanning direction; It has. The maintenance unit 13 is disposed at the outermost end in the main scanning direction and serves as the home position of the head unit 25 that moves in the main scanning direction. The maintenance unit 13 is disposed directly below the head unit 25 that faces the home position. ing.

吸引装置64は、複数のヘッドユニット25に対応するよう複数の個別吸引ユニット68からなっており、各機能液滴吐出ヘッド30の吸引を行う場合、吸引装置64は、メンテナンスユニット13に臨んだ複数のヘッドユニット25に対し、各個別吸引ユニット68をそれぞれ上方に移動させて、個別にヘッドユニット25の吸引を行うことが可能なよう構成されている。なお、各機能液滴吐出ヘッド30に対し、キャッピングを行う場合は、全ての個別吸引ユニット68を上方に移動させて、全ての機能液滴吐出ヘッド30をキャッピングする。   The suction device 64 includes a plurality of individual suction units 68 so as to correspond to the plurality of head units 25, and when suctioning each functional liquid droplet ejection head 30, the suction device 64 faces the maintenance unit 13. The individual suction units 68 are moved upward with respect to the head unit 25 so that the head unit 25 can be sucked individually. When capping each functional liquid droplet ejection head 30, all the individual suction units 68 are moved upward to cap all the functional liquid droplet ejection heads 30.

ワイピング装置65により各機能液滴吐出ヘッド30のノズル面をワイピングする場合は、ワイピング装置65が副走査方向に移動可能となるよう吸引装置64が下方に移動する。この後、ワイピング装置65が、副走査方向に移動して、各機能液滴吐出ヘッド30のノズル面をワイピングする。   When the wiping device 65 wipes the nozzle surface of each functional liquid droplet ejection head 30, the suction device 64 moves downward so that the wiping device 65 can move in the sub-scanning direction. Thereafter, the wiping device 65 moves in the sub-scanning direction to wipe the nozzle surface of each functional liquid droplet ejection head 30.

混色検査ユニット15は、一方の副ガイドレール50の副走査方向外側に設けられ、主走査方向に延在する混色用ガイドレール70と、混色用ガイドレール70上を主走査方向に移動する混色用スライダ71と、混色用スライダ71上に立設された平面視逆「L」字状の片持ちフレーム72と、セットされたワークWの上方に位置するよう片持ちフレーム72に取り付けられた混色用カメラ73と、を備えており、付帯移動手段28が移動する移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。混色検査ユニット15は、描画後のワークWの混色を検査すべく、混色用カメラ73を主走査方向に移動させて、ワークWの上方から撮像し、検査結果に基づいて、混色によるワークWの良品・不良品を選別する。   The color mixing inspection unit 15 is provided on the outer side in the sub scanning direction of one of the sub guide rails 50, and is used for color mixing that extends in the main scanning direction and moves on the color mixing guide rail 70 in the main scanning direction. The slider 71, the inverted “L” -shaped cantilever frame 72 standing on the color mixture slider 71, and the color mixture mounted on the cantilever frame 72 so as to be positioned above the set work W And a camera 73, and is configured to move above the movement trajectory along which the accompanying moving means 28 moves. The color mixing inspection unit 15 moves the color mixing camera 73 in the main scanning direction in order to inspect the color mixing of the workpiece W after drawing, and picks up an image from above the work W. Based on the inspection result, the color mixing inspection unit 15 Select non-defective / defective products.

除電ユニットは、除材時において、各ワークステージ10上にセットされたワークWを除電するものであり、軟X線を照射する軟X線照射手段により、ワークWに対し、軟X線を照射することで、ワークWの除電を行っている。   The neutralization unit neutralizes the workpiece W set on each workpiece stage 10 during material removal, and irradiates the workpiece W with soft X-rays by means of soft X-ray irradiation means that irradiates soft X-rays. By doing so, the work W is neutralized.

除給材装置4は、ワークWの除給材を行う単一の移載ロボット75と、移載ロボット75を主走査方向に移動させて、一対のワークステージ10に交互に臨ませるロボット移動手段76と、を有しており、制御コンピュータにより、移載ロボット75およびロボット移動手段76が制御されている。ロボット移動手段76は、主走査方向に延在するよう配設された一対の移動レール77と、移動レール77上を主走査方向に移動する移動スライダ78と、を有しており、移動スライダ78上に移載ロボット75が搭載されている。移載ロボット75は、チャンバ装置3に形成された除給材開口を介して、一方のワークWの描画中に、他方のワークWの除給材を行っている。   The material removal device 4 includes a single transfer robot 75 that performs material removal of the workpiece W, and a robot moving unit that moves the transfer robot 75 in the main scanning direction and alternately faces the pair of work stages 10. The transfer robot 75 and the robot moving means 76 are controlled by the control computer. The robot moving means 76 has a pair of moving rails 77 arranged so as to extend in the main scanning direction, and a moving slider 78 that moves on the moving rail 77 in the main scanning direction. A transfer robot 75 is mounted on the top. The transfer robot 75 performs the supply of the other workpiece W during the drawing of one of the workpieces W through the discharge member opening formed in the chamber device 3.

ここで、図5を参照して、液滴吐出装置1によるワークWへの一連の描画処理について説明する。まず、一方のワークステージ10にセットされたワークWの描画中において(図5(a)参照)、除給材装置4により、他方のワークステージ10にワークWをセットすると共に(図5(b)参照)、アライメントカメラ16により、ワークWに形成されたアライメントマークを撮像して、ワークWのθ補正を行う(図5(c)参照)。これにより、一方のワークWの描画中に、他方のワークWのθ補正を終了させておくことで、タイムロスなく次のワークWの描画処理へ移行することができる。この場合、θ補正後の他方のワークWは、描画中の一方のワークWに対し、副走査方向に位置ずれした状態でセットされており、アライメントカメラ16の撮像結果に基づいて、位置ずれ量が測定される。   Here, a series of drawing processes on the workpiece W by the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIG. First, during the drawing of the workpiece W set on one workpiece stage 10 (see FIG. 5A), the workpiece W is set on the other workpiece stage 10 by the discharger device 4 (FIG. 5B). )), An alignment mark formed on the workpiece W is imaged by the alignment camera 16, and θ correction of the workpiece W is performed (see FIG. 5C). As a result, during the drawing of one workpiece W, the θ correction of the other workpiece W is ended, so that it is possible to proceed to the drawing processing of the next workpiece W without time loss. In this case, the other workpiece W after θ correction is set in a state of being displaced in the sub-scanning direction with respect to the one workpiece W being drawn, and based on the imaging result of the alignment camera 16, the amount of displacement is set. Is measured.

そして、一方のワークWの描画処理が終了間際になると、すなわち、一対のワークステージ10間に向かって、複数のヘッドユニット25の最終パス描画が行われると、この複数のヘッドユニット25の描画動作に追従して、混色検査ユニット15により描画後のワークWの混色が検査される(図5(c)参照)。この後、一方のワークWの描画が終了すると、複数のヘッドユニット25は、一方のワークWから他方のワークWへ描画処理を移行する(図5(d)参照)。このとき、各ワークW間におけるヘッドユニット25の移動速度は、ワークWへの描画速度に比して高速となるよう、制御コンピュータにより主走査移動手段35が制御される。これにより、安定的な吐出が不必要な非描画区間において、ヘッドユニット25を高速に移動させることでタクトタイムを短縮することができる。また、制御コンピュータは、副走査移動手段36を制御して、上記の位置ずれ量分、複数のヘッドユニット25を副走査方向に移動させることで、ワークWに対し、ヘッドユニット25を適切に臨ませることができる。   When the drawing process of one work W is about to end, that is, when the final path drawing of the plurality of head units 25 is performed between the pair of work stages 10, the drawing operation of the plurality of head units 25 is performed. Following this, the mixed color inspection unit 15 inspects the mixed color of the workpiece W after drawing (see FIG. 5C). Thereafter, when drawing of one workpiece W is completed, the plurality of head units 25 shift drawing processing from one workpiece W to the other workpiece W (see FIG. 5D). At this time, the main scanning moving means 35 is controlled by the control computer so that the moving speed of the head unit 25 between the works W is higher than the drawing speed on the work W. Thus, the tact time can be shortened by moving the head unit 25 at a high speed in a non-drawing section where stable ejection is not necessary. In addition, the control computer controls the sub-scanning moving unit 36 to move the plurality of head units 25 in the sub-scanning direction by the amount of the above-described positional deviation, so that the head unit 25 is appropriately exposed to the workpiece W. I can do it.

次に、他方のワークWの描画中において、描画後の一方のワークWは、除電ユニットにより除電を行った後、除給材装置4により除材されると共に、新たなワークWを一方のワークステージ10上に給材する。   Next, during drawing of the other workpiece W, one of the workpieces W after drawing is discharged by the discharging unit, and then removed by the discharger device 4, and a new workpiece W is transferred to the one workpiece. Feed the material on the stage 10.

以上の構成によれば、各ワークステージ10間に吐出検査ユニット11が設けられているため、各ワークWの描画毎に、吐出性能の検査を効率良く行うことができる。すなわち、一方のワークステージ10にセットされたワークWの描画処理が終了すると、他方のワークステージ10にセットされたワークWに描画処理を行なうべく、ワークステージ10間を移動するが、このとき、吐出検査ユニット11により機能液滴吐出ヘッド30の吐出性能を検査することができるため、描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。なお、吐出検査ユニット(副吐出検査手段)11をメンテナンスユニット13とフラッシングユニット12との間に更に設けてもよい。これによれば、メンテナンス後の各機能液滴吐出ヘッド30の吐出検査を直ぐに行うことができる。   According to the above configuration, since the discharge inspection unit 11 is provided between the work stages 10, the discharge performance can be efficiently inspected for each drawing of the work W. That is, when the drawing process of the work W set on one work stage 10 is completed, the work W set on the other work stage 10 is moved between the work stages 10 to perform the drawing process. Since the ejection performance of the functional liquid droplet ejection head 30 can be inspected by the ejection inspection unit 11, the tact time in the drawing process can be shortened. A discharge inspection unit (sub-discharge inspection means) 11 may be further provided between the maintenance unit 13 and the flushing unit 12. According to this, the ejection inspection of each functional liquid droplet ejection head 30 after the maintenance can be performed immediately.

次に、本実施形態の液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。   Next, color filters, liquid crystal display devices, organic EL devices, plasma displays (PDP devices), electron emission devices (FEDs) are electro-optical devices (flat panel displays) manufactured using the droplet discharge device of this embodiment. The structure and the manufacturing method thereof will be described by taking an active matrix substrate and the like formed on these display devices as an example. Note that an active matrix substrate refers to a substrate over which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

まず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図6は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図7は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ500(フィルタ基体500A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図7(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 6 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter base body 500A) of the present embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S101), a black matrix 502 is formed on a substrate (W) 501 as shown in FIG. The black matrix 502 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, resin black, or the like. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 502 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 502 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス502上に重畳する状態でバンク503を形成する。即ち、まず図7(b)に示すように、基板501およびブラックマトリクス502を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層504を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム505で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図7(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド30により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
Subsequently, in the bank formation step (S102), a bank 503 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 502. That is, first, as shown in FIG. 7B, a resist layer 504 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 501 and the black matrix 502. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 505 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 7C, the resist layer 504 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 504 to form a bank 503. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 503 and the black matrix 502 below the partition 507b partition each pixel region 507a, and in the subsequent colored layer forming step, the functional liquid droplet ejection head 30 forms colored layers (film forming portions) 508R, 508G, When forming 508B, the landing area of the functional droplet is defined.

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体500Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
The filter substrate 500A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material for the bank 503, a resin material whose surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 501 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 507a surrounded by the bank 503 (partition wall portion 507b) in the colored layer forming step described later. Variations in landing position can be automatically corrected.

次に、着色層形成工程(S103)では、図7(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド30によって機能液滴を吐出して区画壁部507bで囲まれた各画素領域507a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド30を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 7D, functional droplets are ejected by the functional droplet ejecting head 30 to enter each pixel region 507a surrounded by the partition wall portion 507b. Let it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 30 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層508R、508G、508Bを形成する。着色層508R、508G、508Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図7(e)に示すように、基板501、区画壁部507b、および着色層508R、508G、508Bの上面を覆うように保護膜509を形成する。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three colored layers 508R, 508G, and 508B are formed. When the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S104), and as shown in FIG. 7E, the substrate 501, the partition wall portion 507b, and the colored layers 508R, 508G, and 508B are moved. A protective film 509 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 501 where the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the protective film 509 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 509, the color filter 500 moves to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図8は、上記のカラーフィルタ500を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置520に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ500は図7に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 8 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 500 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 520, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 500 is the same as that shown in FIG. 7, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

この液晶装置520は、カラーフィルタ500、ガラス基板等からなる対向基板521、および、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層522により概略構成されており、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
The liquid crystal device 520 is roughly configured by a color filter 500, a counter substrate 521 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 522 made of an STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, The filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the counter substrate 521 and the color filter 500 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 522 side), and the polarizing plates located on the counter substrate 521 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層側)には、図8において左右方向に長尺な短冊状の第1電極523が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極523のカラーフィルタ500側とは反対側の面を覆うように第1配向膜524が形成されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
On the protective film 509 (liquid crystal layer side) of the color filter 500, a plurality of strip-shaped first electrodes 523 elongated in the left-right direction in FIG. 8 are formed at a predetermined interval, and the color of the first electrode 523 is A first alignment film 524 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 500 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 526 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 523 of the color filter 500 are formed on the surface of the counter substrate 521 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 527 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 526 on the liquid crystal layer 522 side. The first electrode 523 and the second electrode 526 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層522内に設けられたスペーサ528は、液晶層522の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材529は液晶層522内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極523の一端部は引き回し配線523aとしてシール材529の外側まで延在している。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The spacer 528 provided in the liquid crystal layer 522 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 522 constant. The sealing material 529 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 522 from leaking to the outside. Note that one end of the first electrode 523 extends to the outside of the sealing material 529 as a lead-out wiring 523a.
A portion where the first electrode 523 and the second electrode 526 intersect with each other is a pixel, and the color layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ500に、第1電極523のパターニングおよび第1配向膜524の塗布を行ってカラーフィルタ500側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板521に、第2電極526のパターニングおよび第2配向膜527の塗布を行って対向基板521側の部分を作成する。その後、対向基板521側の部分にスペーサ528およびシール材529を作り込み、この状態でカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材529の注入口から液晶層522を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 523 and application of the first alignment film 524 are performed on the color filter 500 to create a portion on the color filter 500 side. Patterning of the electrode 526 and application of the second alignment film 527 are performed to create a portion on the counter substrate 521 side. Thereafter, a spacer 528 and a sealing material 529 are formed in the portion on the counter substrate 521 side, and the portion on the color filter 500 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 522 is injected from the inlet of the sealing material 529, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の液滴吐出装置は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板521側の部分にカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる前に、シール材529で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材529の印刷を、機能液滴吐出ヘッド30で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜524,527の塗布を機能液滴吐出ヘッド30で行うことも可能である。   In the droplet discharge device of the embodiment, for example, the spacer material (functional liquid) constituting the cell gap is applied, and before the portion on the color filter 500 side is bonded to the portion on the counter substrate 521 side, the sealing material 529 is applied. The liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to the region surrounded by. Further, the printing of the sealing material 529 can be performed by the functional liquid droplet ejection head 30. Furthermore, the first and second alignment films 524 and 527 can be applied by the functional liquid droplet ejection head 30.

図9は、本実施形態において製造したカラーフィルタ500を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
FIG. 9 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the color filter 500 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 530 is significantly different from the liquid crystal device 520 in that the color filter 500 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 530 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 532 made of STN liquid crystal between a color filter 500 and a counter substrate 531 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 531 and the color filter 500, respectively.

カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層532側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極533が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極533の液晶層532側の面を覆うように第1配向膜534が形成されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer 532 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 533 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 533 is formed. A first alignment film 534 is formed so as to cover the surface on the layer 532 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 536 extending in a direction orthogonal to the first electrode 533 on the color filter 500 side are formed on the surface of the counter substrate 531 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 537 is formed so as to cover the surface of the second electrode 536 on the liquid crystal layer 532 side.

液晶層532には、この液晶層532の厚さを一定に保持するためのスペーサ538と、液晶層532内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材539が設けられている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The liquid crystal layer 532 is provided with a spacer 538 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 532 constant and a sealing material 539 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 532 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 520 described above, a portion where the first electrode 533 and the second electrode 536 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located at the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図10は、本発明を適用したカラーフィルタ500を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
FIG. 10 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a color filter 500 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 550, the color filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.

この液晶装置550は、カラーフィルタ500と、これに対向するように配置された対向基板551と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ500の上面側(観測者側)に配置された偏光板555と、対向基板551の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
The liquid crystal device 550 includes a color filter 500, a counter substrate 551 disposed so as to face the color filter 500, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 500. The polarizing plate 555 and the polarizing plate (not shown) arranged on the lower surface side of the counter substrate 551 are roughly configured.
A liquid crystal driving electrode 556 is formed on the surface of the protective film 509 of the color filter 500 (the surface on the counter substrate 551 side). The electrode 556 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 560 described later is formed. An alignment film 557 is provided so as to cover the surface of the electrode 556 opposite to the pixel electrode 560.

対向基板551のカラーフィルタ500と対向する面には絶縁層558が形成されており、この絶縁層558上には、走査線561および信号線562が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線561と信号線562とに囲まれた領域内には画素電極560が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極560上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 558 is formed on the surface of the counter substrate 551 facing the color filter 500, and the scanning lines 561 and the signal lines 562 are formed on the insulating layer 558 in a state of being orthogonal to each other. A pixel electrode 560 is formed in a region surrounded by the scanning lines 561 and the signal lines 562. In an actual liquid crystal device, an alignment film is provided on the pixel electrode 560, but the illustration is omitted.

また、画素電極560の切欠部と走査線561と信号線562とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ563が組み込まれて構成されている。そして、走査線561と信号線562に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ563をオン・オフして画素電極560への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 563 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 560 and the scanning line 561 and the signal line 562. . The thin film transistor 563 is turned on / off by application of signals to the scanning line 561 and the signal line 562 so that energization control to the pixel electrode 560 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置520,530,550は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Note that the liquid crystal devices 520, 530, and 550 in the above examples are transmissive, but a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device is provided by providing a reflective layer or a transflective layer. You can also

次に、図11は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置600と称する)の要部断面図である。   Next, FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.

この表示装置600は、基板(W)601上に、回路素子部602、発光素子部603および陰極604が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
The display device 600 is schematically configured with a circuit element portion 602, a light emitting element portion 603, and a cathode 604 laminated on a substrate (W) 601.
In the display device 600, light emitted from the light emitting element portion 603 to the substrate 601 side is transmitted through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 603 is opposite to the substrate 601. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 604, the light passes through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and is emitted to the observer side.

回路素子部602と基板601との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜606が形成され、この下地保護膜606上(発光素子部603側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜607が形成されている。この半導体膜607の左右の領域には、ソース領域607aおよびドレイン領域607bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域607cとなっている。   A base protective film 606 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 602 and the substrate 601, and an island-shaped semiconductor film 607 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 606 (on the light emitting element portion 603 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 607, a source region 607a and a drain region 607b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no positive ions are implanted is a channel region 607c.

また、回路素子部602には、下地保護膜606および半導体膜607を覆う透明なゲート絶縁膜608が形成され、このゲート絶縁膜608上の半導体膜607のチャネル領域607cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極609が形成されている。このゲート電極609およびゲート絶縁膜608上には、透明な第1層間絶縁膜611aと第2層間絶縁膜611bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜611a、611bを貫通して、半導体膜607のソース領域607a、ドレイン領域607bにそれぞれ連通するコンタクトホール612a,612bが形成されている。   In the circuit element portion 602, a transparent gate insulating film 608 covering the base protective film 606 and the semiconductor film 607 is formed, and a position corresponding to the channel region 607c of the semiconductor film 607 on the gate insulating film 608 is formed. For example, a gate electrode 609 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. On the gate electrode 609 and the gate insulating film 608, a transparent first interlayer insulating film 611a and a second interlayer insulating film 611b are formed. Further, contact holes 612a and 612b are formed through the first and second interlayer insulating films 611a and 611b and communicating with the source region 607a and the drain region 607b of the semiconductor film 607, respectively.

そして、第2層間絶縁膜611b上には、ITO等からなる透明な画素電極613が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極613は、コンタクトホール612aを通じてソース領域607aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
A transparent pixel electrode 613 made of ITO or the like is patterned and formed in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 611b, and the pixel electrode 613 is connected to the source region 607a through the contact hole 612a. .
A power supply line 614 is disposed on the first interlayer insulating film 611a, and the power supply line 614 is connected to the drain region 607b through the contact hole 612b.

このように、回路素子部602には、各画素電極613に接続された駆動用の薄膜トランジスタ615がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 615 connected to the pixel electrodes 613 are formed in the circuit element portion 602, respectively.

上記発光素子部603は、複数の画素電極613上の各々に積層された機能層617と、各画素電極613および機能層617の間に備えられて各機能層617を区画するバンク部618とにより概略構成されている。
これら画素電極613、機能層617、および、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
The light emitting element portion 603 includes a functional layer 617 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 613, and a bank portion 618 provided between each pixel electrode 613 and the functional layer 617 to partition each functional layer 617. It is roughly structured.
The pixel electrode 613, the functional layer 617, and the cathode 604 provided on the functional layer 617 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 613 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 618 is formed between the pixel electrodes 613.

バンク部618は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層618a(第1バンク層)と、この無機物バンク層618a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層618b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部618の一部は、画素電極613の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
The bank unit 618 is laminated on the inorganic bank layer 618a (first bank layer) 618a (first bank layer) formed of an inorganic material such as SiO, SiO 2 or TiO 2 , and is made of an acrylic resin, a polyimide resin, or the like. It is composed of an organic bank layer 618b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank unit 618 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 613.
An opening 619 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618.

上記機能層617は、開口部619内において画素電極613上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層617aと、この正孔注入/輸送層617a上に形成された発光層617bとにより構成されている。なお、この発光層617bに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
The functional layer 617 includes a hole injection / transport layer 617a formed in a stacked state on the pixel electrode 613 in the opening 619, and a light emitting layer 617b formed on the hole injection / transport layer 617a. Has been. Note that another functional layer having other functions may be further formed adjacent to the light emitting layer 617b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 617a has a function of transporting holes from the pixel electrode 613 side and injecting them into the light emitting layer 617b. The hole injection / transport layer 617a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層617bは、赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)のいずれかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層617bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層617aを再溶解させることなく発光層617bを形成することができる。   The light emitting layer 617b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material that is insoluble in the hole injection / transport layer 617a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 617b. By using the light emitting layer 617b, the light emitting layer 617b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 617a.

そして、発光層617bでは、正孔注入/輸送層617aから注入された正孔と、陰極604から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 617b is configured such that the holes injected from the hole injection / transport layer 617a and the electrons injected from the cathode 604 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極604は、発光素子部603の全面を覆う状態で形成されており、画素電極613と対になって機能層617に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極604の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 604 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 603, and plays a role of flowing current to the functional layer 617 in a pair with the pixel electrode 613. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 604.

次に、上記の表示装置600の製造工程を図12〜図20を参照して説明する。
この表示装置600は、図12に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、および対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
Next, the manufacturing process of said display apparatus 600 is demonstrated with reference to FIGS.
As shown in FIG. 12, the display device 600 includes a bank part forming step (S111), a surface treatment step (S112), a hole injection / transport layer forming step (S113), a light emitting layer forming step (S114), It is manufactured through an electrode formation step (S115). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程(S111)では、図13に示すように、第2層間絶縁膜611b上に無機物バンク層618aを形成する。この無機物バンク層618aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層618aの一部は画素電極613の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層618aを形成したならば、図14に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 13, an inorganic bank layer 618a is formed on the second interlayer insulating film 611b. The inorganic bank layer 618a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film by a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 618 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 613.
When the inorganic bank layer 618a is formed, an organic bank layer 618b is formed on the inorganic bank layer 618a as shown in FIG. The organic bank layer 618b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like in the same manner as the inorganic bank layer 618a.
In this way, the bank portion 618 is formed. Accordingly, an opening 619 opening upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618. The opening 619 defines a pixel region.

表面処理工程(S112)では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層618aの第1積層部618aaおよび画素電極613の電極面613aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極613であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618sおよび有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド30を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The region to be subjected to the lyophilic treatment is the first laminated portion 618aa of the inorganic bank layer 618a and the electrode surface 613a of the pixel electrode 613. These regions are made lyophilic by plasma treatment using, for example, oxygen as a treatment gas. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 613.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 618s of the organic bank layer 618b and the upper surface 618t of the organic bank layer 618b, and the surface is fluorinated (treated to be liquid repellent) by plasma treatment using tetrafluoromethane as a processing gas, for example. )
By performing this surface treatment process, when forming the functional layer 617 using the functional liquid droplet ejection head 30, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functional droplets from overflowing from the opening 619.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体600Aが得られる。この表示装置基体600Aは、図1に示した液滴吐出装置1の各ワークステージ10に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)および発光層形成工程(S114)が行われる。   Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on each work stage 10 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. Is called.

図15に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド30から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部619内に吐出する。その後、図16に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面613a)613上に正孔注入/輸送層617aを形成する。   As shown in FIG. 15, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid droplet ejection head 30 to each opening 619 that is a pixel region. Discharge inside. Thereafter, as shown in FIG. 16, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, and a hole injection / transport layer 617a is formed on the pixel electrode (electrode surface 613a) 613.

次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層617aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 617a, the hole injection / transport layer 617a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in.
However, since the hole injection / transport layer 617a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 617a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 617a. There is a possibility that the injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b cannot be adhered to each other, or the light emitting layer 617b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 617a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in the formation of the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 617a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such treatment, the surface of the hole injection / transport layer 617a is easily adapted to the nonpolar solvent. In the subsequent step, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 617a.

そして次に、図17に示すように、各色のうちのいずれか(図17の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部619)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層617a上に広がって開口部619内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部618の上面618t上に着弾した場合でも、この上面618tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部619内に転がり込み易くなっている。   Next, as shown in FIG. 17, the second composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 17) is used as a functional droplet as a pixel region ( A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 617a and fills the opening 619. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 618t of the bank portion 618, the upper composition 618t is subjected to the liquid repellent treatment as described above. Things are easy to roll into the opening 619.

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図18に示すように、正孔注入/輸送層617a上に発光層617bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層617bが形成されている。   Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 18, the hole injection / transport layer 617a A light emitting layer 617b is formed thereon. In the case of this figure, a light emitting layer 617b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド30を用い、図19に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層617bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)および緑色(G))に対応する発光層617bを形成する。なお、発光層617bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 30, as shown in FIG. 19, the same steps as in the case of the light emitting layer 617b corresponding to blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 617b corresponding to green (G) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 617b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. In addition, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極613上に機能層617、即ち、正孔注入/輸送層617aおよび発光層617bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。   As described above, the functional layer 617, that is, the hole injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b are formed on the pixel electrode 613. And it transfers to a counter electrode formation process (S115).

対向電極形成工程(S115)では、図20に示すように、発光層617bおよび有機物バンク層618bの全面に陰極604(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極604は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 20, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 617b and the organic bank layer 618b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 604 is configured by, for example, laminating a calcium layer and an aluminum layer.
On top of the cathode 604, an Al film, an Ag film as an electrode, and a protective layer such as SiO 2 or SiN for preventing oxidation thereof are appropriately provided.

このようにして陰極604を形成した後、この陰極604の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置600が得られる。   After forming the cathode 604 in this way, the display device 600 is obtained by performing other processes such as a sealing process for sealing the upper part of the cathode 604 with a sealing member and a wiring process.

次に、図21は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置700と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置700を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、およびこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
Next, FIG. 21 is an exploded perspective view of a main part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the display device 700 is shown with a part thereof cut away.
The display device 700 is schematically configured to include a first substrate 701, a second substrate 702, and a discharge display portion 703 formed between them, which are disposed to face each other. The discharge display unit 703 includes a plurality of discharge chambers 705. Among the plurality of discharge chambers 705, the three discharge chambers 705 of the red discharge chamber 705R, the green discharge chamber 705G, and the blue discharge chamber 705B are arranged to form one pixel.

第1基板701の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極706が形成され、このアドレス電極706と第1基板701の上面とを覆うように誘電体層707が形成されている。誘電体層707上には、各アドレス電極706の間に位置し、且つ各アドレス電極706に沿うように隔壁708が立設されている。この隔壁708は、図示するようにアドレス電極706の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極706と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
Address electrodes 706 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 701, and a dielectric layer 707 is formed so as to cover the address electrodes 706 and the upper surface of the first substrate 701. On the dielectric layer 707, partition walls 708 are provided so as to be positioned between the address electrodes 706 and along the address electrodes 706. The partition 708 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 706 as shown, and one not shown extending in the direction orthogonal to the address electrode 706.
A region partitioned by the partition 708 is a discharge chamber 705.

放電室705内には蛍光体709が配置されている。蛍光体709は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室705Rの底部には赤色蛍光体709Rが、緑色放電室705Gの底部には緑色蛍光体709Gが、青色放電室705Bの底部には青色蛍光体709Bが各々配置されている。   A phosphor 709 is disposed in the discharge chamber 705. The phosphor 709 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence, and the red phosphor 709R is disposed at the bottom of the red discharge chamber 705R, and the green discharge chamber 705G. A green phosphor 709G and a blue phosphor 709B are arranged at the bottom and the blue discharge chamber 705B, respectively.

第2基板702の図中下側の面には、上記アドレス電極706と直交する方向に複数の表示電極711が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層712、およびMgOなどからなる保護膜713が形成されている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
On the lower surface of the second substrate 702 in the drawing, a plurality of display electrodes 711 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 706. A dielectric layer 712 and a protective film 713 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 701 and the second substrate 702 are bonded so that the address electrodes 706 and the display electrodes 711 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 706 and the display electrode 711 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 706 and 711 are energized, the phosphor 709 emits light in the discharge display portion 703, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極706、表示電極711、および蛍光体709を、図2に示した液滴吐出装置を用いて形成することができる。以下、第1基板701におけるアドレス電極706の形成工程を例示する。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1の各ワークステージ10に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド30により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
In the present embodiment, the address electrode 706, the display electrode 711, and the phosphor 709 can be formed using the droplet discharge device shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 706 on the first substrate 701 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 701 placed on each work stage 10 of the droplet discharge device 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 30. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極706が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 706 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極706の形成を例示したが、上記表示電極711および蛍光体709についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド30から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
By the way, although the formation of the address electrode 706 has been exemplified in the above, the display electrode 711 and the phosphor 709 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 711, as in the case of the address electrode 706, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
Further, in the case of forming the phosphor 709, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the functional liquid droplet ejection head 30, and corresponding. Land in the color discharge chamber 705.

次に、図22は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置800と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を断面として示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、およびこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Next, FIG. 22 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the display device 800 is shown as a cross section.
The display device 800 is schematically configured to include a first substrate 801, a second substrate 802, and a field emission display portion 803 formed therebetween, which are disposed to face each other. The field emission display unit 803 includes a plurality of electron emission units 805 arranged in a matrix.

第1基板801の上面には、カソード電極806を構成する第1素子電極806aおよび第2素子電極806bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bで仕切られた部分には、ギャップ808を形成した導電性膜807が形成されている。すなわち、第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807により複数の電子放出部805が構成されている。導電性膜807は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ808は、導電性膜807を成膜した後、フォーミング等で形成される。   On the upper surface of the first substrate 801, a first element electrode 806a and a second element electrode 806b constituting the cathode electrode 806 are formed so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 807 having a gap 808 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 806a and the second element electrode 806b. That is, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 constitute a plurality of electron emission portions 805. The conductive film 807 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 808 is formed by forming after forming the conductive film 807.

第2基板802の下面には、カソード電極806に対峙するアノード電極809が形成されている。アノード電極809の下面には、格子状のバンク部811が形成され、このバンク部811で囲まれた下向きの各開口部812に、電子放出部805に対応するように蛍光体813が配置されている。蛍光体813は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部812には、赤色蛍光体813R、緑色蛍光体813Gおよび青色蛍光体813Bが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 809 that faces the cathode electrode 806 is formed on the lower surface of the second substrate 802. A lattice-shaped bank portion 811 is formed on the lower surface of the anode electrode 809, and a phosphor 813 is disposed in each downward opening 812 surrounded by the bank portion 811 so as to correspond to the electron emission portion 805. Yes. The phosphor 813 emits fluorescence of any one of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 812 has a red phosphor 813R, a green phosphor 813G, and a blue color. The phosphors 813B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第1基板801と第2基板802とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置800では、導電性膜(ギャップ808)807を介して、陰極である第1素子電極806aまたは第2素子電極806bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極809に形成した蛍光体813に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 801 and the second substrate 802 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 800, electrons that jump out of the first element electrode 806 a or the second element electrode 806 b that are cathodes through the conductive film (gap 808) 807 are formed on the phosphor 813 formed on the anode electrode 809 that is an anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極806a、第2素子電極806b、導電性膜807およびアノード電極809を、液滴吐出装置を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体813R,813G,813Bを、液滴吐出装置を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, the conductive film 807, and the anode electrode 809 can be formed using a droplet discharge device, and each color The phosphors 813R, 813G, and 813B can be formed using a droplet discharge device.

第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807は、図23(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図23(b)に示すように、予め第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bを形成(液滴吐出装置によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜807を形成(液滴吐出装置によるインクジェット法)する。そして、導電性膜807を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板801および第2基板802に対する親液化処理や、バンク部811,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 have the planar shape shown in FIG. 23A, and when these are formed, as shown in FIG. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 are previously formed. Next, after the first element electrode 806a and the second element electrode 806b are formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using a droplet discharge device), and the solvent is dried to form a film. Then, a conductive film 807 is formed (an inkjet method using a droplet discharge device). Then, after forming the conductive film 807, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 801 and the second substrate 802 and a lyophobic process on the bank portions 811 and BB.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. Various electro-optical devices can be efficiently manufactured by using the above-described droplet discharge device for manufacturing various electro-optical devices (devices).

本実施形態に係る液滴吐出装置の外観模式図である。It is an external appearance schematic diagram of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の上面模式図である。It is an upper surface schematic diagram of the droplet discharge device concerning this embodiment. 副走査方向から見た液滴吐出装置の模式図である。It is a schematic diagram of the droplet discharge device viewed from the sub-scanning direction. 主走査方向から見た液滴吐出装置の模式図である。It is a schematic diagram of the droplet discharge device viewed from the main scanning direction. 液滴吐出装置の一連の描画処理における説明図である。It is explanatory drawing in a series of drawing processes of a droplet discharge apparatus. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. (a)〜(e)は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第2の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第3の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機EL装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機EL装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入/輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入/輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置(PDP装置)である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置(FED装置)である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図(a)およびその形成方法を示す平面図(b)である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

符号の説明Explanation of symbols

1…液滴吐出装置 2…描画装置 4…除給材装置 10…ワークステージ 11…吐出検査ユニット 12…フラッシングユニット 13…メンテナンスユニット 15…混色検査ユニット 16…アライメントカメラ 30…機能液滴吐出ヘッド 35…主走査移動手段 36…副走査移動手段 75…移載ロボット 76…ロボット移動手段   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge device 2 ... Drawing apparatus 4 ... Discharge material apparatus 10 ... Work stage 11 ... Discharge inspection unit 12 ... Flushing unit 13 ... Maintenance unit 15 ... Color mixing inspection unit 16 ... Alignment camera 30 ... Functional droplet discharge head 35 ... Main scanning movement means 36 ... Sub-scanning movement means 75 ... Transfer robot 76 ... Robot movement means

Claims (11)

ワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動手段と、
前記主走査方向に並べて固定的に配設され、それぞれにワークがセットされる一対のワークステージと、
前記一対のワークステージの間隙に配設され、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する主吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
In a liquid droplet ejection apparatus that performs drawing by ejecting functional liquid droplets from the functional liquid droplet ejection head while moving the functional liquid droplet ejection head of the ink jet system with respect to the work,
Main scanning moving means for moving the functional liquid droplet ejection head in the main scanning direction;
A pair of work stages that are fixedly arranged side by side in the main scanning direction, and a work is set on each of the work stages;
A droplet discharge apparatus comprising: a main discharge inspection unit that is disposed in a gap between the pair of work stages and inspects the discharge performance of the functional droplet discharge head.
前記一対のワークステージに対し、一方でワークに描画を行っている間に他方でワークの除給材を行う除給材手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。   The liquid droplet according to claim 1, further comprising a discharger means for discharging a workpiece on the other side while drawing on the workpiece on the one side with respect to the pair of workpiece stages. Discharge device. 前記主吐出検査手段による前記吐出性能の検査は、各ワークに対する前記機能液滴吐出ヘッドの描画処理に先立って行なわれることを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。   3. The droplet discharge apparatus according to claim 1, wherein the inspection of the discharge performance by the main discharge inspection unit is performed prior to drawing processing of the functional droplet discharge head for each workpiece. 前記一対のワークステージの間隙に配設され、各ワークに対する描画処理に先立って、前記機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受ける中間部フラッシング手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出装置。   The intermediate portion flushing means, which is disposed in a gap between the pair of work stages and receives waste discharge from the functional liquid droplet discharge head prior to a drawing process for each work, is further provided. 4. The droplet discharge device according to any one of items 3 to 3. 前記中間部フラッシング手段は、前記主吐出検査手段の主走査方向両側に配設された一対の中間部フラッシングユニットで構成されていることを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出装置。   5. The droplet discharge device according to claim 4, wherein the intermediate portion flushing means includes a pair of intermediate portion flushing units disposed on both sides in the main scanning direction of the main discharge inspection means. 前記各ワークステージの主走査方向外側にそれぞれ配設され、前記機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受ける一対の端部フラッシングユニットを、更に備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出装置。   6. The apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising a pair of end flushing units that are disposed outside the respective work stages in the main scanning direction and receive waste discharge from the functional liquid droplet discharge head. A droplet discharge device according to claim 1. 一方の前記ワークステージの主走査方向外側に配設され、直上部に臨んだ前記機能液滴吐出ヘッドに対しキャッピング、機能液吸引およびワイピングを行うクリーニング手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴吐出装置。   The apparatus further comprises a cleaning unit that is disposed outside the one work stage in the main scanning direction and performs capping, functional liquid suction, and wiping on the functional liquid droplet ejection head facing directly above. Item 7. A droplet discharge device according to any one of Items 1 to 6. 一方の前記ワークステージと前記クリーニング手段との間隙に配設され、前記クリーニング手段によるクリーニング後の機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する副吐出検査手段を、更に備えたことを特徴とする請求項7に記載の液滴吐出装置。   The apparatus further comprises sub-discharge inspection means that is disposed in a gap between one of the work stages and the cleaning means and inspects the discharge performance of the functional liquid droplet discharge head after cleaning by the cleaning means. Item 8. The droplet discharge device according to Item 7. 請求項1ないし8のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。   9. A method for manufacturing an electro-optical device, wherein the droplet discharge device according to claim 1 is used to form a film forming portion with functional droplets on the workpiece. 請求項1ないし8のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device using the droplet discharge device according to any one of claims 1 to 8, wherein a film forming portion is formed by functional droplets on the workpiece. 請求項9に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項10に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device according to claim 9 or the electro-optical device according to claim 10.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010134315A (en) * 2008-12-08 2010-06-17 Seiko Epson Corp Liquid discharge apparatus
CN102189061A (en) * 2010-03-01 2011-09-21 精工爱普生株式会社 Liquid droplet discharging apparatus

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