JP2008221184A - Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus - Google Patents
Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008221184A JP2008221184A JP2007067067A JP2007067067A JP2008221184A JP 2008221184 A JP2008221184 A JP 2008221184A JP 2007067067 A JP2007067067 A JP 2007067067A JP 2007067067 A JP2007067067 A JP 2007067067A JP 2008221184 A JP2008221184 A JP 2008221184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- functional
- liquid droplet
- functional liquid
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。 The present invention relates to a droplet discharge device that performs drawing by discharging functional droplets from a functional droplet discharge head to a workpiece, and a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.
従来、この種の液滴吐出装置に組み込まれるヘッドユニットとして、ワークに対し、機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドと、各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給系と、各機能液滴吐出ヘッドを駆動させるヘッド電装系と、を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このヘッドユニットを組み込んだ液滴吐出装置は、ヘッドユニットを副走査方向に移動させると共に、ワークを搭載するワークステージを主走査方向に移動させて、ワークに描画を行なうよう構成されている。
ところで、上記の構成において、液滴吐出装置は、ヘッドユニットに対し、ワークステージを主走査方向に移動させているが、これは、ヘッドユニットの総重量が重く(例えば、7kg程度)、加減速時において、主走査方向にスムーズに移動させることができないためである。この点において、生産性の配慮から、ワークステージに対し、ヘッドユニットを移動させようとする場合には、このヘッドユニットを、描画に必須の複数の機能液滴吐出ヘッドと、それ以外のもの(機能液供給系やヘッド電装系等)を搭載したヘッド付帯装置とに分け、複数の機能液滴吐出ヘッドとヘッド付帯装置との間を配管・配線接続し、複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させて、ワークに描画を行なうことが考えられている。 By the way, in the above configuration, the droplet discharge device moves the work stage in the main scanning direction with respect to the head unit. This is because the total weight of the head unit is heavy (for example, about 7 kg), and acceleration / deceleration is performed. This is because it cannot be moved smoothly in the main scanning direction. In this regard, in consideration of productivity, when the head unit is to be moved relative to the work stage, the head unit is provided with a plurality of functional liquid droplet ejection heads essential for drawing and the other ( It is divided into a head accessory device equipped with a functional liquid supply system and a head electrical system, etc., and a plurality of functional liquid droplet ejection heads are connected to the head accessory device by piping and wiring connection. It is considered to perform drawing on the work by moving in the scanning direction.
このとき、配管内を流れる機能液には、流路抵抗が付加されるが、複数の機能液滴吐出ヘッドに接続された各配管の長さが異なってしまうと、各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出する際に、吐出抵抗が異なってしまい、複数の機能液滴吐出ヘッドから均一に機能液滴を吐出できない問題がある。一方、配線を介して機能液滴を吐出するために印加される吐出駆動波形は、各配線の長さが異なってしまうと、配線長さに伴うノイズが発生してしまい、各機能液滴吐出ヘッドの吐出特性が異なってしまう問題がある。 At this time, flow resistance is added to the functional liquid flowing in the pipe, but if the length of each pipe connected to the plurality of functional liquid droplet ejection heads is different, each functional liquid droplet ejection head When functional droplets are ejected, there is a problem that the ejection resistance is different, and the functional droplets cannot be ejected uniformly from a plurality of functional droplet ejection heads. On the other hand, the ejection drive waveform applied to eject the functional liquid droplets via the wiring generates noise associated with the wiring length if the length of each wiring is different. There is a problem that the ejection characteristics of the head differ.
本発明は、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出特性を画一化することができる液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to provide a droplet discharge device capable of unifying the discharge characteristics of a plurality of functional droplet discharge heads, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.
本発明の液滴吐出装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向に移動させながら機能液滴を吐出して、ワークに対し描画を行なう液滴吐出装置において、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、複数の機能液滴吐出ヘッドに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含むヘッド付帯装置を搭載すると共に、配管・配線の物理的接続状態を維持しつつ複数の機能液滴吐出ヘッドの移動に併せてヘッド付帯装置を主走査方向に移動させる付帯移動手段と、を備え、複数の機能液滴吐出ヘッドと機能液供給系とを接続する複数の配管が同一長さとなるように、機能液供給系が配設されると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドとヘッド電装系とを接続する複数の配線が同一長さとなるように、ヘッド電装系が配設されていることを特徴とする。 A liquid droplet ejection apparatus according to the present invention is a liquid droplet ejection apparatus that performs drawing on a workpiece by ejecting functional liquid droplets while moving a plurality of ink jet type functional liquid droplet ejection heads in the main scanning direction. A head moving means for mounting a functional liquid droplet ejection head and moving a plurality of functional liquid droplet ejection heads in the main scanning direction, a functional liquid supply system connected to the plurality of functional liquid droplet ejection heads by piping and wiring, and head electrical equipment A head accessory device including a system, and an accessory moving means for moving the head accessory device in the main scanning direction in accordance with the movement of the plurality of functional liquid droplet ejection heads while maintaining the physical connection state of the piping and wiring; The functional liquid supply system is disposed such that the plurality of pipes connecting the plurality of functional liquid droplet ejection heads and the functional liquid supply system have the same length, and the plurality of functional liquid droplet ejection heads As the plurality of wires have the same length which connects the head electrical system, characterized in that the head electrical system is arranged.
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドに接続される各配管および各配線を同一の長さとすることで、配管内を流れる機能液の流路抵抗を同一とすることができると共に、配線長さに伴う吐出特性の変化を防止することができる。このため、各機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液滴の吐出特性を一様とすることができるため、ワークに対し良好な描画が可能となる。 According to this configuration, by making each pipe and each wiring connected to the plurality of functional liquid droplet ejection heads have the same length, the flow resistance of the functional liquid flowing in the pipe can be made the same, It is possible to prevent a change in ejection characteristics due to the wiring length. For this reason, since the ejection characteristics of the functional liquid droplets ejected from the respective functional liquid droplet ejection heads can be made uniform, good drawing can be performed on the workpiece.
この場合、ヘッド移動手段と付帯移動手段とは、ワークの上方に配設されると共に、副走査方向において相互平行に配設されていることが、好ましい。 In this case, it is preferable that the head moving means and the accompanying moving means are arranged above the workpiece and arranged in parallel with each other in the sub-scanning direction.
この構成によれば、各配管・配線の状態を一様に保ちつつ、ヘッド移動手段の移動に追従させて、付帯移動手段を移動させることができる。このため、複数の機能液滴吐出ヘッドおよびヘッド付帯装置間の配管・配線を、断管・断線させることなく、ヘッド移動手段および付帯移動手段を移動させることができる。 According to this configuration, it is possible to move the incidental moving means by following the movement of the head moving means while keeping the state of each pipe / wiring uniform. For this reason, the head moving means and the accompanying moving means can be moved without disconnecting or disconnecting the piping / wiring between the plurality of functional liquid droplet ejection heads and the head accompanying apparatus.
この場合、ワークから見て、ヘッド移動手段および複数の機能液滴吐出ヘッドによる移動軌跡は、付帯移動手段およびヘッド付帯装置による移動軌跡の外側に位置していることが、好ましい。 In this case, it is preferable that the movement trajectory by the head moving means and the plurality of functional liquid droplet ejection heads is located outside the movement trajectory by the auxiliary moving means and the head auxiliary device when viewed from the workpiece.
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドおよびヘッド付帯装置を互いに干渉させることなく、ヘッド移動手段および付帯移動手段を移動させることができる。 According to this configuration, the head moving means and the accompanying moving means can be moved without causing the plurality of functional liquid droplet ejection heads and the head accompanying apparatus to interfere with each other.
この場合、ワークに描画された描画結果の良否を検査する検査カメラと、検査カメラを主走査方向に移動させるカメラ移動手段と、をさらに備え、ワークから見て、カメラ移動手段および検査カメラによる移動軌跡は、ヘッド移動手段、複数の機能液滴吐出ヘッド、付帯移動手段およびヘッド付帯装置による移動軌跡の外側に位置していることが、好ましい。 In this case, the apparatus further includes an inspection camera for inspecting the quality of the drawing result drawn on the work, and a camera moving means for moving the inspection camera in the main scanning direction. It is preferable that the locus is located outside the movement locus by the head moving means, the plurality of functional liquid droplet ejection heads, the accompanying moving means, and the head accompanying device.
この構成によれば、ヘッド移動手段、複数の機能液滴吐出ヘッド、付帯移動手段およびヘッド付帯装置に干渉させることなく、カメラ移動手段により検査カメラを移動させることができ、また、検査カメラによりワークの描画結果の良否を検査することができる。これにより、ワークの歩溜りを向上させることができる。 According to this configuration, the inspection camera can be moved by the camera moving means without interfering with the head moving means, the plurality of functional liquid droplet ejection heads, the auxiliary moving means, and the head auxiliary device, and the work can be performed by the inspection camera. The quality of the drawing result can be inspected. Thereby, the yield of a workpiece | work can be improved.
この場合、ワークが、少なくともR・G・Bの3色の機能液により描画が為されるカラーフィルタ基板であり、検査カメラが、描画後のワークを撮像して機能液の混色の有無を検査する混色検査カメラであることが、好ましい。 In this case, the work is a color filter substrate on which drawing is performed with functional liquids of at least three colors of R, G, and B, and the inspection camera images the work after drawing and inspects for the presence of color mixing of the functional liquids. It is preferable that the color-mixing inspection camera does.
この構成によれば、ワークの混色検査を行うことができるため、混色によるワークの良品・不良品を選別することができる。 According to this configuration, since the mixed color inspection of the workpiece can be performed, it is possible to select a non-defective product or a defective product of the workpiece due to the mixed color.
この場合、主走査方向に並べて固定的に配設され、それぞれにワークがセットされる一対のワークステージと、一対のワークステージに対し、一方でワークに描画を行っている間に他方でワークの除給材を行う除給材手段と、を更に備えたことが、好ましい。 In this case, a pair of work stages arranged in a fixed manner in the main scanning direction, each of which is set with a work, and a pair of work stages on one hand while the work is being drawn on the other, It is preferable to further include a discharging material means for performing the discharging material.
この構成によれば、一方のワークの描画中に、他方のワークの除給材を行うことができるため、ワークへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。 According to this configuration, since one of the workpieces can be discharged while the other workpiece is being drawn, the tact time in the drawing process on the workpiece can be reduced.
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。 A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming unit made of functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。 An electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film forming unit using functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機EL装置の発光材料(Electro-Luminescence発光層・正孔注入層)は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料(フィルタエレメント)、電子放出装置(Field Emission Display, FED)の蛍光材料(蛍光体)、PDP(plasma Display Panel)装置の蛍光材料(蛍光体)、電気泳動表示装置の泳動体材料(泳動体)等であって、機能液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置(Flat Panel Display, FPD)としては、有機EL装置、液晶表示装置、電子放出装置、PDP装置、電気泳動表示装置等がある。 According to this configuration, a high-quality electro-optical device can be efficiently manufactured. In addition, as a functional material, the light emitting material (Electro-Luminescence light emitting layer / hole injection layer) of the organic EL device, the filter material (filter element) of the color filter used for the liquid crystal display device, the electron emission device (Field Emission) Display, FED) fluorescent material (phosphor), fluorescent material (phosphor) of PDP (plasma display panel) device, electrophoretic material (electrophore) of electrophoretic display device, etc. A liquid material that can be discharged by an inkjet head). Examples of the electro-optical device (Flat Panel Display, FPD) include an organic EL device, a liquid crystal display device, an electron emission device, a PDP device, and an electrophoretic display device.
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。 An electronic apparatus according to an aspect of the invention includes the electro-optical device manufactured by the above-described method for manufacturing the electro-optical device or the above-described electro-optical device.
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。 In this case, examples of the electronic device include a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display, and various electric products.
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を、複数の機能液滴吐出ヘッドに導入し、ワーク上に機能液による成膜部を形成して、カラーフィルタ等を製造するものである。 Hereinafter, a droplet discharge device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in the production line of flat panel displays such as liquid crystal display devices, and introduces functional liquids such as special inks and luminescent resin liquids into a plurality of functional droplet discharge heads. A color filter or the like is manufactured by forming a film forming portion with a functional liquid on a workpiece.
図1に示すように、液滴吐出装置1は、ワークWに対し描画処理を行なう描画装置2と、描画装置2を内部に収容すると共に、クリーンルームを構成するチャンバ装置3と、チャンバ装置3の側壁に設けられた除給材開口(図示省略)を介して、ワークWの除給材を行う除給材装置4と、で構成されている。
As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a
描画装置2は、石定盤上に配置されており、ワークWがセットされると共に主走査方向に並べて配設された一対のワークステージ10と、一対のワークステージ10の間に配設され、複数の機能液滴吐出ヘッド30の吐出性能を検査する吐出検査ユニット11と、吐出検査ユニット11と一対のワークステージ10との間に配設されると共に、一対のワークステージ10の主走査方向両外側に配設された4つのフラッシングユニット12と、主走査方向の最外側に配設されたメンテナンスユニット13と、これらを跨ぐように設けられ、R色・G色・B色の機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド30を搭載した描画ユニット14と、を備えており、図示しない制御コンピュータにより装置全体が統括制御されている。また、描画装置2には、描画後のワークWの上方を主走査方向に移動して、R色・G色・B色の機能液の混色を検査する混色検査ユニット15と、ワークWの上部に配置され、ワークに形成されたアライメントマークを撮像する4つのアライメントカメラ16(図2参照)と、ワークWの除材時において、ワークWの除電を行なう除電ユニット(図示省略)と、が更に設けられている。
The
図3に示すように、各ワークステージ10は、ワークWがセットされる吸着テーブル20と、吸着テーブル20をθ方向に回転させるθテーブル21と、吸着テーブル20を昇降させるZ軸テーブル22と、を有しており、θテーブル21およびZ軸テーブル22は、制御コンピュータにより駆動制御されている。これにより、上記の各アライメントカメラ16による撮像結果に基づいて、制御コンピュータによりθテーブル21を回転させることで、セットされたワークWのθ補正を行うと共に、Z軸テーブル22を上下に微小移動させて、セットされたワークWの表面と機能液滴吐出ヘッド30のノズル面との距離(ワークギャップ)を微調整する。なお、一対のワークステージ10上にセットされたθ補正後の各ワークWは、副走査方向に位置ずれしており、この場合、制御コンピュータは、一方のワークWから他方のワークWへ描画処理の移行時において、後述する複数のヘッドユニット25を、位置ずれした分、副走査方向に移動させて位置補正した後、描画処理を行うよう制御している。
As shown in FIG. 3, each
図1ないし図4に示すように、描画ユニット14は、複数のヘッドユニット25と、複数のヘッドユニット25を搭載すると共に、搭載した複数のヘッドユニット25を主走査方向および副走査方向に移動させるヘッド移動手段26と、各ヘッドユニットに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含む複数のヘッド付帯装置27と、複数のヘッド付帯装置27を主走査方向に移動させる付帯移動手段28と、を有しており、制御コンピュータは、ヘッド移動手段26および付帯移動手段28を制御して、複数のヘッドユニット25の移動に伴って、複数のヘッド付帯装置27が追従するよう移動させている。このとき、描画動作の開始時におけるヘッド移動手段26および付帯移動手段28の駆動開始は、付帯移動手段28が先行して移動した後、ヘッド移動手段26が移動するよう構成され、また、駆動停止は、ヘッド移動手段26が先行して停止した後、付帯移動手段28が停止するよう構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 4, the
各ヘッドユニット25は、ワークWに対し、機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド30と、複数の機能液滴吐出ヘッド30を位置決めして装着するキャリッジプレートと、から構成されている。つまり、複数の機能液滴吐出ヘッド30は、キャリッジプレートを介してヘッド移動手段26に搭載されている。
Each
ヘッド移動手段26は、複数のヘッドユニット25を主走査方向に移動させる主走査移動手段35と、複数のヘッドユニット25を主走査方向に直交する副走査方向に移動させる副走査移動手段36と、を有しており、複数のヘッドユニット25を主走査方向および副走査方向に移動自在に搭載している。
The
図4に示すように、主走査移動手段35は、ガントリー構造となっており、一対のワークステージ10を挟んで主走査方向に延在するように設けられた一対の主ガイドレール40と、一対の主ガイドレール40上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の主スライダ41と、一対の主スライダ41上に架設され、副走査方向に延在するよう設けられた主ブリッジフレーム42と、を備えており、一対の主スライダ41は、図示しないリニアモータを駆動源として、付帯移動手段28に比して高精度に移動可能な構成となっている。なお、主走査移動手段35は、ワークWの描画速度に比して、各ワークW間の移動速度が速くなるよう構成されている。
As shown in FIG. 4, the main scanning moving means 35 has a gantry structure, and a pair of
副走査移動手段36は、主ブリッジフレーム42に配設されており、各ヘッドユニット25は、副走査移動手段36を介して主ブリッジフレーム42に搭載されている。これにより、複数のヘッドユニット25は、副走査方向に移動可能な構成となっている。
The
各ヘッド付帯装置27は、各機能液滴吐出ヘッド30に機能液を供給するためのサブタンク等を含む機能液供給系と、各機能液滴吐出ヘッド30に機能液滴を吐出するための吐出駆動波形を印加するためのヘッド基板等を含むヘッド電装系と、から構成されており、ヘッドユニット25の重量に比して、重くなるよう構成されている。各ヘッドユニット25と各ヘッド付帯装置27との間は、機能液供給チューブ45により配管接続されていると共に、配線ケーブル46により配線接続されており、複数の機能液滴吐出ヘッド30に、機能液供給チューブ45を介して機能液が供給されると共に、配線ケーブル46を介して吐出駆動波形が印加されている。このとき、複数の機能液供給チューブ45は、それぞれ同一の長さとなるよう構成され、また、複数の配線ケーブル46は、それぞれ同一の長さとなるよう構成されている。
Each head-attached
付帯移動手段28は、複数のヘッドユニット25および複数のヘッド付帯装置27間の配管・配線の物理的接続状態を維持する離間距離を保ちつつ、ヘッド移動手段26に追従して移動するよう構成されている。付帯移動手段28も、上記の主走査移動手段と同様にガントリー構造となっており、ヘッド移動手段26の移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。このため、ヘッド移動手段26および付帯移動手段28は、互いに干渉することなく移動することができる。付帯移動手段28は、一方の主ガイドレール40の副走査方向外側に配設されると共に他方の主ガイドレール40の上部に除給材用間隙48を存して配設された一対の副ガイドレール50と、一対の副ガイドレール上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の副スライダ51と、一対の副スライダ51上に架設され、副走査方向に延在するように設けられた副ブリッジフレーム52と、を備えており、一対の副スライダ51は、一対の主スライダ41と同様のリニアモータを駆動源として、主走査方向に移動するよう構成されている。また、副ブリッジフレーム52は、副走査方向において、主ブリッジフレーム42と平行となるよう配設されており、その両脚部には、それぞれ防振部材55が介設され、複数のヘッド付帯装置27の移動に伴う振動を吸収している。
The auxiliary moving means 28 is configured to move following the head moving means 26 while maintaining a separation distance that maintains the physical connection state of the piping and wiring between the plurality of
図3に示すように、吐出検査ユニット11は、各機能液滴吐出ヘッド30からの検査吐出を受けるよう副走査方向に帯状に延在する検査シート57と、検査シート57を吐出位置と撮像位置との間で昇降させるシート昇降機構(図示省略)と、検査シート57に吐出・着弾した機能液滴を撮像する検査用カメラ58と、撮像位置まで降下させた検査シート57に検査用カメラ58を臨ませ、これを副走査方向に移動させるカメラ移動機構(図示省略)と、を有している。そして、吐出検査ユニット11による吐出性能の検査は、ワークWへの描画処理に先立って行なわれるよう構成されている。
As shown in FIG. 3, the
吐出検査ユニット11により機能液滴吐出ヘッド30の吐出性能を検査する場合、先ず、吐出位置に臨んだ検査シート57に対し、その上方から各機能液滴吐出ヘッド30により機能液滴を吐出して、検査シート57に機能液滴を着弾させた後、シート昇降機構により、検査シート57を撮像位置まで降下させる。撮像位置に臨んだ検査シート57に対し、今度は、カメラ移動機構により、検査用カメラ58を退避位置から主走査方向に移動させて、検査シート57の直上位置に臨ませる。この後、検査用カメラ58を副走査方向に移動させながら、検査シート57に着弾した機能液滴を撮像し、この撮像結果から、各機能液滴吐出ヘッド30の吐出状態を検査する。このとき、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド30がある場合には、ヘッドユニット25をメンテナンスユニット13に臨ませて、吐出不良を解消し、再び吐出状態を検査する。そして、検査後は、検査シート57の検査済み部分が巻き取られ、新たに繰り出された未描画部分に対して、同様に吐出検査が行われるようになっている。
When the ejection performance of the functional liquid
各フラッシングユニット12は、複数の機能液滴吐出ヘッド30から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド30は、ワークWへの描画前に、各フラッシングユニット12に捨て吐出を行って、機能液滴の吐出を安定させる。4つのフラッシングユニット12は、一対のワークステージ10間に配設された一対の中間部フラッシングユニット12と、一対のワークステージ10の主走査方向外側に配設された一対の端部フラッシングユニット12と、から構成されている。このため、描画処理前にヘッドユニット25から捨て吐出を行うことにより、吐出状態を安定させることができるため、適切にワークWに描画を行うことが可能となる。また、吐出検査前にも、ヘッドユニット25から捨て吐出を行うことで吐出状態を安定させることができるため、良好な吐出検査を行うことができる。
Each
図4に示すように、メンテナンスユニット13は、各機能液滴吐出ヘッド30内で増粘した機能液を除去するための吸引を行うと共に、各機能液滴吐出ヘッド30を保管するために各機能液滴吐出ヘッド30にキャッピングする吸引装置64と、吸引装置64の副走査方向外側に配設され、機能液滴吐出ヘッド30のノズル面を副走査方向に移動して払拭するワイピング装置65と、を備えている。メンテナンスユニット13は、主走査方向の最外端に配置され、主走査方向に移動するヘッドユニット25のホーム位置となっており、ホーム位置に臨んだヘッドユニット25の直下にメンテナンスユニット13が配置されている。
As shown in FIG. 4, the
吸引装置64は、複数のヘッドユニット25に対応するよう複数の個別吸引ユニット68からなっており、各機能液滴吐出ヘッド30の吸引を行う場合、吸引装置64は、メンテナンスユニット13に臨んだ複数のヘッドユニット25に対し、各個別吸引ユニット68をそれぞれ上方に移動させて、個別にヘッドユニット25の吸引を行うことが可能なよう構成されている。なお、各機能液滴吐出ヘッド30に対し、キャッピングを行う場合は、全ての個別吸引ユニット68を上方に移動させて、全ての機能液滴吐出ヘッド30をキャッピングする。
The
ワイピング装置65により、各機能液滴吐出ヘッド30のノズル面をワイピングする場合は、ワイピング装置65が副走査方向に移動可能となるよう吸引装置64が下方に移動する。この後、ワイピング装置65が、副走査方向に移動して、各機能液滴吐出ヘッド30のノズル面をワイピングする。
When wiping the nozzle surface of each functional liquid
混色検査ユニット15は、一方の副ガイドレール50の副走査方向外側に設けられ、主走査方向に延在する混色用ガイドレール70と、混色用ガイドレール70上を主走査方向に移動する混色用スライダ71と、混色用スライダ71上に立設された断面逆「L」字状の片持ちフレーム72と、セットされたワークWの上方に位置するよう片持ちフレーム72に取り付けられた混色用カメラ73と、を備えており、付帯移動手段28が移動する移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。このため、混色検査ユニット15は、複数のヘッドユニット25、ヘッド移動手段26、複数のヘッド付帯装置27および付帯移動手段28に干渉することなく、混色検査が可能なよう構成されており、混色用カメラ73を主走査方向に移動させて、ワークWの上方から撮像し、検査結果に基づいて、混色によるワークWの良品・不良品を選別する。
The color
除電ユニットは、除材時において、各ワークステージ10上にセットされたワークWを除電するものであり、軟X線を照射する軟X線照射手段により、ワークWに対し、軟X線を照射することで、ワークWの除電を行っている。
The neutralization unit neutralizes the workpiece W set on each
除給材装置4は、ワークWの除給材を行う単一の移載ロボット75と、移載ロボット75を主走査方向に移動させて、一対のワークステージ10に交互に臨ませるロボット移動手段76と、を有しており、制御コンピュータにより、移載ロボット75およびロボット移動手段76が制御されている。ロボット移動手段76は、主走査方向に延在するよう配設された一対の移動レール77と、移動レール77上を主走査方向に移動する移動スライダ78と、を有しており、移動スライダ78上に移載ロボット75が搭載されている。移載ロボット75は、チャンバ装置に形成された除給材開口および除給材用間隙48を介して、一方のワークWの描画中に、他方のワークWの除給材を行っている。
The
ここで、図5を参照して、液滴吐出装置1によるワークWへの一連の描画処理について説明する。まず、一方のワークステージ10にセットされたワークWの描画中において(図5(a)参照)、除給材装置4により、他方のワークステージ10にワークWをセットすると共に(図5(b)参照)、アライメントカメラ16により、ワークWに形成されたアライメントマークを撮像して、ワークWのθ補正を行う(図5(c)参照)。これにより、一方のワークWの描画中に、他方のワークWのθ補正を終了させておくことで、タイムロスなく次のワークWの描画処理へ移行することができる。この場合、θ補正後の他方のワークWは、描画中の一方のワークWに対し、副走査方向に位置ずれした状態でセットされており、アライメントカメラ16の撮像結果に基づいて、位置ずれ量が測定される。
Here, a series of drawing processes on the workpiece W by the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIG. First, during the drawing of the workpiece W set on one workpiece stage 10 (see FIG. 5A), the workpiece W is set on the
そして、一方のワークWの描画処理が終了間際になると、すなわち、一対のワークステージ10間に向かって、複数のヘッドユニット25の最終パス描画が行われると、この複数のヘッドユニット25の描画動作に追従して、混色検査ユニット15により描画後のワークWの混色が検査される(図5(c)参照)。この後、一方のワークWの描画が終了すると、複数のヘッドユニット25は、一方のワークWから他方のワークWへ描画処理を移行する(図5(d)参照)。このとき、各ワークW間におけるヘッドユニット25の移動速度は、ワークWへの描画速度に比して高速となるよう、制御コンピュータにより主走査移動手段35が制御される。これにより、安定的な吐出が不必要な非描画区間において、ヘッドユニット25を高速に移動させることでタクトタイムを短縮することができる。また、制御コンピュータは、副走査移動手段36を制御して、上記の位置ずれ量分、複数のヘッドユニット25を副走査方向に移動させることで、ワークWに対し、ヘッドユニット25を適切に臨ませることができる。
When the drawing process of one work W is about to end, that is, when the final path drawing of the plurality of
次に、他方のワークWの描画中において、描画後の一方のワークWは、除電ユニットにより除電を行った後、除給材装置4により除材されると共に、新たなワークWを一方のワークステージ10上に給材する。
Next, during drawing of the other workpiece W, one of the workpieces W after drawing is discharged by the discharging unit, and then removed by the
以上の構成によれば、複数の機能液供給チューブ45をそれぞれ同一長さとし、複数の配線ケーブル46をそれぞれ同一長さとすることで、機能液供給チューブ45内を流れる機能液の流路抵抗を同一とすることができると共に、配線ケーブル46長さに伴う吐出特性の変化を防止することができる。このため、複数の機能液滴吐出ヘッド30から吐出される機能液滴の吐出特性を一様とすることができるため、ワークWに対し良好な描画が可能となる。なお、本実施形態では、ヘッド移動手段26および付帯移動手段28を共通のリニアモータで駆動するようにしているが、それぞれ別の駆動源で駆動させるようにしても良い。また、付帯移動手段28は、石定盤上に配設したが、チャンバ装置3に支持されるような構成にしてもよい。さらに、付帯移動手段28は、複数のヘッド付帯装置27を片持ちで支持して、移動させるようにしてもよい。
According to the above configuration, the plurality of functional liquid supply tubes 45 have the same length, and the plurality of wiring cables 46 have the same length, so that the flow resistance of the functional liquid flowing in the functional liquid supply tube 45 is the same. In addition, it is possible to prevent a change in discharge characteristics accompanying the length of the wiring cable 46. For this reason, since the ejection characteristics of the functional liquid droplets ejected from the plurality of functional liquid droplet ejection heads 30 can be made uniform, good drawing can be performed on the workpiece W. In this embodiment, the head moving means 26 and the accompanying moving means 28 are driven by a common linear motor, but may be driven by different drive sources. Further, the incidental moving means 28 is disposed on the stone surface plate, but may be configured to be supported by the
次に、本実施形態の液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。 Next, color filters, liquid crystal display devices, organic EL devices, plasma displays (PDP devices), electron emission devices (FEDs) are electro-optical devices (flat panel displays) manufactured using the droplet discharge device of this embodiment. The structure and the manufacturing method thereof will be described by taking an active matrix substrate and the like formed on these display devices as an example. Note that an active matrix substrate refers to a substrate over which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.
まず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図6は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図7は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ500(フィルタ基体500A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図7(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 6 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter
First, in the black matrix forming step (S101), a
続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス502上に重畳する状態でバンク503を形成する。即ち、まず図7(b)に示すように、基板501およびブラックマトリクス502を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層504を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム505で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図7(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド30により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
Subsequently, in the bank formation step (S102), a
Further, as shown in FIG. 7C, the resist
The
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体500Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
The
In the present embodiment, as the material for the
次に、着色層形成工程(S103)では、図7(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド30によって機能液滴を吐出して区画壁部507bで囲まれた各画素領域507a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド30を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 7D, functional droplets are ejected by the functional
その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層508R、508G、508Bを形成する。着色層508R、508G、508Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図7(e)に示すように、基板501、区画壁部507b、および着色層508R、508G、508Bの上面を覆うように保護膜509を形成する。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the
Then, after forming the
図8は、上記のカラーフィルタ500を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置520に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ500は図7に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
FIG. 8 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the
この液晶装置520は、カラーフィルタ500、ガラス基板等からなる対向基板521、および、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層522により概略構成されており、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
The
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the
カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層側)には、図8において左右方向に長尺な短冊状の第1電極523が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極523のカラーフィルタ500側とは反対側の面を覆うように第1配向膜524が形成されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
On the protective film 509 (liquid crystal layer side) of the
On the other hand, a plurality of strip-shaped
液晶層522内に設けられたスペーサ528は、液晶層522の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材529は液晶層522内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極523の一端部は引き回し配線523aとしてシール材529の外側まで延在している。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The
A portion where the
通常の製造工程では、カラーフィルタ500に、第1電極523のパターニングおよび第1配向膜524の塗布を行ってカラーフィルタ500側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板521に、第2電極526のパターニングおよび第2配向膜527の塗布を行って対向基板521側の部分を作成する。その後、対向基板521側の部分にスペーサ528およびシール材529を作り込み、この状態でカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材529の注入口から液晶層522を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
In a normal manufacturing process, patterning of the
実施形態の液滴吐出装置は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板521側の部分にカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる前に、シール材529で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材529の印刷を、機能液滴吐出ヘッド30で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜524,527の塗布を機能液滴吐出ヘッド30で行うことも可能である。
In the droplet discharge device of the embodiment, for example, the spacer material (functional liquid) constituting the cell gap is applied, and before the portion on the
図9は、本実施形態において製造したカラーフィルタ500を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
FIG. 9 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the
The
The
カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層532側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極533が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極533の液晶層532側の面を覆うように第1配向膜534が形成されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
On the
A plurality of strip-shaped
液晶層532には、この液晶層532の厚さを一定に保持するためのスペーサ538と、液晶層532内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材539が設けられている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The
Similarly to the
図10は、本発明を適用したカラーフィルタ500を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
FIG. 10 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a
In the
この液晶装置550は、カラーフィルタ500と、これに対向するように配置された対向基板551と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ500の上面側(観測者側)に配置された偏光板555と、対向基板551の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
The
A liquid
対向基板551のカラーフィルタ500と対向する面には絶縁層558が形成されており、この絶縁層558上には、走査線561および信号線562が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線561と信号線562とに囲まれた領域内には画素電極560が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極560上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
An insulating
また、画素電極560の切欠部と走査線561と信号線562とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ563が組み込まれて構成されている。そして、走査線561と信号線562に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ563をオン・オフして画素電極560への通電制御を行うことができるように構成されている。
In addition, a
なお、上記の各例の液晶装置520,530,550は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
Note that the
次に、図11は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置600と称する)の要部断面図である。 Next, FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.
この表示装置600は、基板(W)601上に、回路素子部602、発光素子部603および陰極604が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
The
In the
回路素子部602と基板601との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜606が形成され、この下地保護膜606上(発光素子部603側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜607が形成されている。この半導体膜607の左右の領域には、ソース領域607aおよびドレイン領域607bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域607cとなっている。
A base
また、回路素子部602には、下地保護膜606および半導体膜607を覆う透明なゲート絶縁膜608が形成され、このゲート絶縁膜608上の半導体膜607のチャネル領域607cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極609が形成されている。このゲート電極609およびゲート絶縁膜608上には、透明な第1層間絶縁膜611aと第2層間絶縁膜611bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜611a、611bを貫通して、半導体膜607のソース領域607a、ドレイン領域607bにそれぞれ連通するコンタクトホール612a,612bが形成されている。
In the
そして、第2層間絶縁膜611b上には、ITO等からなる透明な画素電極613が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極613は、コンタクトホール612aを通じてソース領域607aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
A
A
このように、回路素子部602には、各画素電極613に接続された駆動用の薄膜トランジスタ615がそれぞれ形成されている。
Thus, the driving
上記発光素子部603は、複数の画素電極613上の各々に積層された機能層617と、各画素電極613および機能層617の間に備えられて各機能層617を区画するバンク部618とにより概略構成されている。
これら画素電極613、機能層617、および、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
The light emitting
The
バンク部618は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層618a(第1バンク層)と、この無機物バンク層618a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層618b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部618の一部は、画素電極613の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
The
An
上記機能層617は、開口部619内において画素電極613上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層617aと、この正孔注入/輸送層617a上に形成された発光層617bとにより構成されている。なお、この発光層617bに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
The
The hole injection /
発光層617bは、赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)のいずれかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層617bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層617aを再溶解させることなく発光層617bを形成することができる。
The
そして、発光層617bでは、正孔注入/輸送層617aから注入された正孔と、陰極604から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
The
陰極604は、発光素子部603の全面を覆う状態で形成されており、画素電極613と対になって機能層617に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極604の上部には図示しない封止部材が配置される。
The
次に、上記の表示装置600の製造工程を図12〜図20を参照して説明する。
この表示装置600は、図12に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、および対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
Next, the manufacturing process of said
As shown in FIG. 12, the
まず、バンク部形成工程(S111)では、図13に示すように、第2層間絶縁膜611b上に無機物バンク層618aを形成する。この無機物バンク層618aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層618aの一部は画素電極613の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層618aを形成したならば、図14に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 13, an
When the
In this way, the
表面処理工程(S112)では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層618aの第1積層部618aaおよび画素電極613の電極面613aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極613であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618sおよび有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド30を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The region to be subjected to the lyophilic treatment is the first laminated portion 618aa of the
In addition, the lyophobic treatment is performed on the
By performing this surface treatment process, when forming the
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体600Aが得られる。この表示装置基体600Aは、図1に示した液滴吐出装置1の各ワークステージ10に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)および発光層形成工程(S114)が行われる。
Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on each
図15に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド30から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部619内に吐出する。その後、図16に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面613a)613上に正孔注入/輸送層617aを形成する。
As shown in FIG. 15, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid
次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層617aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection /
However, since the hole injection /
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection /
By performing such treatment, the surface of the hole injection /
そして次に、図17に示すように、各色のうちのいずれか(図17の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部619)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層617a上に広がって開口部619内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部618の上面618t上に着弾した場合でも、この上面618tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部619内に転がり込み易くなっている。
Next, as shown in FIG. 17, the second composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 17) is used as a functional droplet as a pixel region ( A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection /
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図18に示すように、正孔注入/輸送層617a上に発光層617bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層617bが形成されている。
Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 18, the hole injection /
同様に、機能液滴吐出ヘッド30を用い、図19に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層617bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)および緑色(G))に対応する発光層617bを形成する。なお、発光層617bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
Similarly, using the functional liquid
以上のようにして、画素電極613上に機能層617、即ち、正孔注入/輸送層617aおよび発光層617bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。
As described above, the
対向電極形成工程(S115)では、図20に示すように、発光層617bおよび有機物バンク層618bの全面に陰極604(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極604は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 20, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the
On top of the
このようにして陰極604を形成した後、この陰極604の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置600が得られる。
After forming the
次に、図21は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置700と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置700を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、およびこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
Next, FIG. 21 is an exploded perspective view of a main part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the
The
第1基板701の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極706が形成され、このアドレス電極706と第1基板701の上面とを覆うように誘電体層707が形成されている。誘電体層707上には、各アドレス電極706の間に位置し、且つ各アドレス電極706に沿うように隔壁708が立設されている。この隔壁708は、図示するようにアドレス電極706の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極706と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
A region partitioned by the
放電室705内には蛍光体709が配置されている。蛍光体709は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室705Rの底部には赤色蛍光体709Rが、緑色放電室705Gの底部には緑色蛍光体709Gが、青色放電室705Bの底部には青色蛍光体709Bが各々配置されている。
A
第2基板702の図中下側の面には、上記アドレス電極706と直交する方向に複数の表示電極711が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層712、およびMgOなどからなる保護膜713が形成されている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
On the lower surface of the
The
When the
本実施形態においては、上記アドレス電極706、表示電極711、および蛍光体709を、図1に示した液滴吐出装置を用いて形成することができる。以下、第1基板701におけるアドレス電極706の形成工程を例示する。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1の各ワークステージ10に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド30により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
In the present embodiment, the
In this case, the following steps are performed with the
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極706が形成される。
When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the
ところで、上記においてはアドレス電極706の形成を例示したが、上記表示電極711および蛍光体709についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド30から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
By the way, although the formation of the
In the case of forming the
Further, in the case of forming the
次に、図22は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置800と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を断面として示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、およびこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Next, FIG. 22 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the
The
第1基板801の上面には、カソード電極806を構成する第1素子電極806aおよび第2素子電極806bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bで仕切られた部分には、ギャップ808を形成した導電性膜807が形成されている。すなわち、第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807により複数の電子放出部805が構成されている。導電性膜807は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ808は、導電性膜807を成膜した後、フォーミング等で形成される。
On the upper surface of the
第2基板802の下面には、カソード電極806に対峙するアノード電極809が形成されている。アノード電極809の下面には、格子状のバンク部811が形成され、このバンク部811で囲まれた下向きの各開口部812に、電子放出部805に対応するように蛍光体813が配置されている。蛍光体813は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部812には、赤色蛍光体813R、緑色蛍光体813Gおよび青色蛍光体813Bが、上記した所定のパターンで配置されている。
An
そして、このように構成した第1基板801と第2基板802とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置800では、導電性膜(ギャップ808)807を介して、陰極である第1素子電極806aまたは第2素子電極806bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極809に形成した蛍光体813に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
The
この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極806a、第2素子電極806b、導電性膜807およびアノード電極809を、液滴吐出装置を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体813R,813G,813Bを、液滴吐出装置を用いて形成することができる。
Also in this case, as in the other embodiments, the
第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807は、図23(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図23(b)に示すように、予め第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bを形成(液滴吐出装置によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜807を形成(液滴吐出装置によるインクジェット法)する。そして、導電性膜807を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板801および第2基板802に対する親液化処理や、バンク部811,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
The
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。 As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. Various electro-optical devices can be efficiently manufactured by using the above-described droplet discharge device for manufacturing various electro-optical devices (devices).
1…液滴吐出装置 2…描画装置 4…除給材装置 10…ワークステージ 11…吐出検査ユニット 12…フラッシングユニット 13…メンテナンスユニット 15…混色検査ユニット 16…アライメントカメラ 25…ヘッドユニット 26…ヘッド移動手段 27…ヘッド付帯装置 28…付帯移動手段 30…機能液滴吐出ヘッド 35…主走査移動手段 36…副走査移動手段 45…機能液供給チューブ 46…配線ケーブル 75…移載ロボット 76…ロボット移動手段 W…ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (9)
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含むヘッド付帯装置を搭載すると共に、前記配管・配線の物理的接続状態を維持しつつ前記複数の機能液滴吐出ヘッドの移動に併せて前記ヘッド付帯装置を主走査方向に移動させる付帯移動手段と、を備え、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドと前記機能液供給系とを接続する複数の配管が同一長さとなるように、前記機能液供給系が配設されると共に、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドと前記ヘッド電装系とを接続する複数の配線が同一長さとなるように、前記ヘッド電装系が配設されていることを特徴とする液滴吐出装置。 In a liquid droplet ejection apparatus that performs drawing on a workpiece by ejecting functional liquid droplets while moving a plurality of ink jet type functional liquid droplet ejection heads in the main scanning direction.
A head moving means for mounting the plurality of functional liquid droplet ejection heads and moving the plurality of functional liquid droplet ejection heads in a main scanning direction;
A head accessory device including a functional liquid supply system and a head electrical system connected to the plurality of functional liquid droplet ejection heads by piping and wiring is mounted, and the plurality of functions are maintained while maintaining a physical connection state of the piping and wiring. An accessory moving means for moving the head accessory device in the main scanning direction in accordance with the movement of the droplet discharge head,
The functional liquid supply system is disposed so that a plurality of pipes connecting the plurality of functional liquid droplet ejection heads and the functional liquid supply system have the same length,
The liquid droplet ejection apparatus, wherein the head electrical system is disposed so that a plurality of wires connecting the plurality of functional liquid droplet ejection heads and the head electrical system have the same length.
前記検査カメラを主走査方向に移動させるカメラ移動手段と、をさらに備え、
ワークから見て、前記カメラ移動手段および前記検査カメラによる移動軌跡は、前記ヘッド移動手段、前記複数の機能液滴吐出ヘッド、前記付帯移動手段および前記ヘッド付帯装置による移動軌跡の外側に位置していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出装置。 An inspection camera for inspecting the quality of the drawing result drawn on the workpiece;
Camera moving means for moving the inspection camera in the main scanning direction,
When viewed from the workpiece, the movement trajectory by the camera moving means and the inspection camera is located outside the movement trajectory by the head moving means, the plurality of functional liquid droplet ejection heads, the auxiliary moving means, and the head auxiliary device. The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the liquid droplet ejection apparatus is a liquid ejection apparatus.
検査カメラが、描画後のワークを撮像して機能液の混色の有無を検査する混色検査カメラであることを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出装置。 The work is a color filter substrate on which drawing is performed with functional liquids of at least three colors of R, G, and B.
The liquid droplet ejection apparatus according to claim 4, wherein the inspection camera is a color mixing inspection camera that images a workpiece after drawing and inspects the presence or absence of color mixing of the functional liquid.
前記一対の前記ワークステージに対し、一方でワークに描画を行っている間に他方でワークの除給材を行う除給材手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出装置。 A pair of work stages that are fixedly arranged side by side in the main scanning direction, and a work is set on each of the work stages;
6. A discharger means for discharging a workpiece on the other hand while drawing on the workpiece on the one hand with respect to the pair of workpiece stages, further comprising: The droplet discharge device according to any one of the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007067067A JP2008221184A (en) | 2007-03-15 | 2007-03-15 | Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007067067A JP2008221184A (en) | 2007-03-15 | 2007-03-15 | Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008221184A true JP2008221184A (en) | 2008-09-25 |
Family
ID=39840386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007067067A Pending JP2008221184A (en) | 2007-03-15 | 2007-03-15 | Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008221184A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102039257A (en) * | 2009-10-12 | 2011-05-04 | 塔工程有限公司 | Apparatus for supporting trailing cables |
JP2012238664A (en) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Tokyo Electron Ltd | Development processor, development processing method, program and computer storage medium |
-
2007
- 2007-03-15 JP JP2007067067A patent/JP2008221184A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102039257A (en) * | 2009-10-12 | 2011-05-04 | 塔工程有限公司 | Apparatus for supporting trailing cables |
CN102039257B (en) * | 2009-10-12 | 2014-12-31 | 塔工程有限公司 | Apparatus for supporting trailing cables |
JP2012238664A (en) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Tokyo Electron Ltd | Development processor, development processing method, program and computer storage medium |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5359973B2 (en) | Droplet discharge device | |
JP4258544B2 (en) | Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method | |
JP2008225246A (en) | Droplet discharge device, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP5671975B2 (en) | Drawing method for droplet discharge device | |
JP4967741B2 (en) | Droplet ejection apparatus and electro-optic device manufacturing method | |
JP2008100138A (en) | Liquid droplet discharge device, manufacturing method of electrooptical device, electrooptical device and electronic device | |
JP4075883B2 (en) | Droplet ejection device, electro-optical device manufacturing method, and electro-optical device | |
JP2009006212A (en) | Liquid drop discharger, manufacturing method of electro-optic device, and electro-optic device | |
JP4396732B2 (en) | Droplet discharge head arrangement method, head unit, droplet discharge device, and electro-optical device manufacturing method | |
JP2008225348A (en) | Inspection measuring instrument for droplet discharge device, droplet discharge device equipped with the same, manufacturing method of electro-optical device, the electro-optical device, and electronic equipment | |
JP2007275794A (en) | Wiping device, operation method for wiping device, wiping method, droplet discharge device, manufacturing method for electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP2006044059A (en) | Method for correcting droplet impact position of droplet jetting apparatus, droplet jetting apparatus, method for manufacturing electro-optic apparatus, electro-optic apparatus and electronic instrument | |
JP2008221184A (en) | Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP2008225248A (en) | Droplet discharge device and control method of droplet discharge device, manufacturing method for electro-optical device, the electro-optical device and electronic equipment | |
JP2008221051A (en) | Liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP4788548B2 (en) | Droplet discharge device | |
JP2007130597A (en) | Method and apparatus for inspecting landing position from liquid droplet ejection head, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP4876993B2 (en) | Drawing method for droplet discharge device, droplet discharge device, method for manufacturing electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP2008221169A (en) | Liquid droplet discharge apparatus, control method of liquid droplet discharge apparatus, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP4967732B2 (en) | Discharge control method for liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method | |
JP2008188807A (en) | Flushing unit, liquid droplet delivering apparatus, method for manufacturing electrooptic apparatus, electrooptic apparatus, and electronic instrument | |
JP2008225247A (en) | Droplet discharge device, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP4400675B2 (en) | Head unit arrangement method, droplet discharge device, electro-optical device manufacturing method, and electro-optical device | |
JP2007130572A (en) | Method and system for treating work, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP4742768B2 (en) | Functional droplet discharge head maintenance device, droplet discharge device including the same, and method of manufacturing electro-optical device |