JP2008215474A - スラスト軸受 - Google Patents

Abstract

【課題】スクロール式コンプレッサに用いられるスラスト軸受であって、長寿命かつ低コストのスラスト軸受を提供する。
【解決手段】スクロール式コンプレッサ用スラスト軸受の軌道盤３２は、０．９ｗｔ％〜１．２ｗｔ％の炭素と、１．２ｗｔ％〜１．７ｗｔ％のクロムと、０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％のマンガンと、０．１５ｗｔ％〜０．３５ｗｔ％のシリコンとを含有する高炭素鋼を冷間圧延して得られる表面粗さがＲｍａｘ≦２μｍのみがき帯鋼に熱処理を施して形成される。そして、厚み方向の一方側に平坦面３２ｂと、この平坦面３２ｂの縁から厚み方向深さが次第に大きくなるように傾斜する傾斜部３２ｃとを有し、平坦面３２ｂの縁から径方向に最も離れて位置する傾斜部先端から、平坦面３２ｂに向かって、径方向に０．３ｍｍ離れた計測位置における傾斜部の厚み方向深さは、０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍである。
【選択図】図１

Description

この発明は、スクロール式コンプレッサに用いられるスラスト軸受に関するものである。

圧縮冷媒蒸気を要する圧縮機の一形態として、旋回スクロールと固定スクロールとを含むスクロール式コンプレッサがある。以下、スクロール式コンプレッサの作動原理について、簡単に説明する。

スクロール式コンプレッサは、渦巻き形状の旋回スクロールと、同じく渦巻き形状の固定スクロールと、互いの渦巻き形状の中心に位置する圧縮冷媒蒸気の吐出部とを含む。固定スクロールは、他部材に固定されており、自転運動および公転運動を行うことはできない。旋回スクロールは、自転運動を行うことはできないが、公転運動を行うことができるよう構成されている。

旋回スクロールの公転運動により、旋回スクロールと固定スクロールとの間に生じる吸入口が開口し、圧縮室に冷媒蒸気が吸入される。旋回スクロールが公転運動し、かつ旋回すると、徐々に圧縮室の容積が小さくなり、圧縮室内に吸入された冷媒蒸気が圧縮され、吐出部から吐出される。このような構造のスクロール式コンプレッサが、例えば、特開昭６３−２６８９９３号公報（特許文献１）に開示されている。
特開昭６３−２６８９９３号公報

上記構成のスクロール式コンプレッサには、上記の圧縮工程中に生じるスラスト荷重を支持するために、スラスト軸受が設けられている。このスラスト軸受には、近年の圧縮能力の向上に伴って高荷重が負荷される。また、潤滑油の封入量が削減されているので、希薄潤滑環境下で使用されることになる。その結果、スラスト軸受の軌道盤に油膜切れを生じ、金属接触による異常摩耗を引き起こすおそれがある。

また、熱間圧延によって得られる鋼板を出発材料として軌道盤を製造する場合、表面粗さ、酸化層、および脱炭層等の表面性状の問題から、熱処理後の研削加工を省略することができない。しかし、この研削加工は、熱処理によって得られた窒素富化層を除去してしまうので、長寿命効果や耐摩耗性効果が低下するという問題を生じる。また、長寿命化のために、摺動面の面圧低減や油膜が存在しやすくなるような表面形状が必要とされている。

さらに、研削工程があると軌道盤の平面度は向上するが、端部のエッジ応力を緩和させる形状にはならず、実使用時において必ず生じる取付誤差により、端部にエッジ応力が生じてしまう。

そこで、この発明の目的は、スクロール式コンプレッサに用いられるスラスト軸受であって、軌道盤の潤滑性を向上させ、面圧低減により耐摩耗性や耐焼付き性も向上さることにより、長寿命かつ低コストのスラスト軸受を提供することである。

この発明に係るスラスト軸受は、密封可能な容器と、容器の内部に固定された固定スクロールと、固定スクロールに対向する位置に設けられ、固定スクロールに対して偏心回転運動を行う旋回スクロールと、先端に偏心部を有し、旋回スクロールに偏心回転運動を付与する駆動軸と、旋回スクロールと駆動軸との間に介在してラジアル荷重を支持するラジアル軸受と、駆動軸を回転自在に支持する支持部と、駆動軸に回転運動を付与する電動機と、容器の底部に設けられ、容器内の各部に供給する潤滑油を貯留する潤滑油貯留部とを備えるスクロール式コンプレッサに使用され、旋回スクロールと支持部との間に介在してスラスト荷重を支持する。このスラスト軸受は、少なくとも軌道盤を備える。そして、軌道盤は、０．９ｗｔ％〜１．２ｗｔ％の炭素と、１．２ｗｔ％〜１．７ｗｔ％のクロムと、０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％のマンガンと、０．１５ｗｔ％〜０．３５ｗｔ％のシリコンとを含有する高炭素鋼を冷間圧延して得られる表面粗さがＲｍａｘ≦２μｍのみがき帯鋼に熱処理を施して形成される。そして、厚み方向の一方側に平坦面と、この平坦面の縁から厚み方向深さが次第に大きくなるように傾斜する傾斜部とを有し、平坦面の縁から径方向に最も離れて位置する傾斜部先端から、平坦面に向かって、径方向に０．３ｍｍ離れた計測位置における傾斜部の厚み方向深さは、０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍである。

上記の化学成分の炭素鋼を使用することにより、軌道盤の機械的性質が向上する。具体的には、焼入性の改善、耐荷重性の向上、摩擦や摩耗の低減、硬さの向上、およびプレス加工等による軌道盤の破損を防止することができる。

また、冷間圧延工程を経て製造された鋼板は、所望の寸法、表面の平滑性、および硬さを得ることができるので、軌道盤の製造工程中で寸法を調整する旋削工程や表面を平滑にする研削工程等を省略することができる。これにより、軌道盤の製造工程が簡素化されるので、スラスト軸受の製造コストを低減することができる。さらに、熱処理によって得られた表面の窒素富化層が除去されることがない。

さらに、軌道盤の表面形状を上記のようにすることにより、潤滑性が向上すると共に、面圧低減による耐摩耗性や耐焼付き性が向上する。その結果、長寿命でかつコストを低減可能なスラスト軸受を得ることができる。

好ましくは、軌道盤の全域において、計測位置における傾斜部の厚み方向深さは、０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍである。軌道盤の一部、例えば、平坦面としての軌道面の外縁部、軌道面の内縁部、または軌道面に形成される穴の周縁部のいずれかのみで上記の関係が成立してもこの発明の効果を得ることができるが、軌道盤の全域において成立していれば、より高い効果が期待できる。

好ましくは、軌道盤の全域において、計測位置における傾斜部の厚み方向深さのばらつきは、４０μｍ以下である。

この発明によれば、所定の化学成分の炭素鋼を冷間圧延して得られた鋼板を出発材料として軌道盤を製造することにより、軌道盤の潤滑性を向上させ、面圧低減により耐摩耗性や耐焼付き性も向上さることにより、長寿命かつ低コストのスラスト軸受を得ることができる。

さらには、上記のスラスト軸受を採用することにより、長寿命で信頼性の高いスクロール式コンプレッサを得ることができる。

図１〜図４を参照して、スクロール式コンプレッサ１１およびスクロール式コンプレッサ１１に取り付けられるこの発明の一実施形態に係るスクロール式コンプレッサ用スラスト軸受３１（以下「スラスト軸受３１」という）の軌道盤３２，３３の製造方法を説明する。なお、図１は軌道盤３２の外縁部の拡大図、図２はスクロール式コンプレッサ１１を示す概略断面図、図３は軌道盤３２，３３の出発材料となるみがき鋼板の主な製造工程を示すフロー図、図４は軌道盤３２，３３の主な製造工程を示すフロー図である。

まず、図２を参照して、スクロール式コンプレッサ１１は、密封可能な容器１２と、容器１２の内部に固定された固定スクロール１３と、固定スクロール１３に対向する位置に設けられ、固定スクロール１３に対して偏心回転運動を行う旋回スクロール１４と、先端に偏心部２１を有し、旋回スクロール１４に偏心回転運動を付与する駆動軸１５と、旋回スクロール１４と駆動軸１５との間に介在してラジアル荷重を支持するラジアル軸受１６と、駆動軸１５を回転自在に支持する支持部１７と、駆動軸１５に回転運動を付与する電動機１８と、容器１２の底部２２に設けられ、容器１２内の各部に供給する潤滑油を貯留する潤滑油貯留部１９とを備える。また、スクロール式コンプレッサ１１は、旋回スクロール１４と支持部１７との間に介在して偏心スラスト荷重を支持するスラスト軸受３１を備える。

スラスト軸受３１は、少なくとも軌道盤３２，３３を備えるスラストすべり軸受である。また、旋回スクロール１４には、支持部１７が位置する側に、スラスト軸受３１の軌道盤３２を取り付ける取り付け孔若しくは切り欠け（図示せず）が設けられている。また、支持部１７にも、旋回スクロール１４が位置する側に、スラスト軸受３１の軌道盤３３を取り付ける取り付け孔若しくは切り欠け（図示せず）が設けられている。

固定スクロール１３に対向する位置であって、固定スクロール１３よりも下部側に配置される旋回スクロール１４側には、圧縮する冷媒蒸気を容器１２内に供給するガス供給口２３が設けられている。固定スクロール１３および旋回スクロール１４には、渦巻状の溝２４ａ、２４ｂが設けられており、その中心には、圧縮した冷媒蒸気を吐出する開閉可能なガス吐出口２５を有する。圧縮された冷媒蒸気は、ガス吐出口２５から吐出され、ガス送出口２６から送出される。

オルダム継ぎ手２７は、旋回スクロール１４に設けられた溝２４ｂと反対側の面であって、スラスト軸受３１の外周側に取り付けられ、旋回スクロール１４の自転運動を阻止する。

電動機１８は、容器１２の内部に固定されるステータ２８と、駆動軸１５側に装着されるロータ２９とを備える。ステータ２８およびロータ２９により、駆動軸１５は回転運動が付与される。

底部２２に設けられた潤滑油貯留部１９には、潤滑油を貯留可能である。貯留された潤滑油は、駆動軸１５の内部において、軸方向に設けられた潤滑油供給孔３０を通って、ラジアル軸受１６、スラスト軸受３１、支持部１７まで供給される。供給された潤滑油は、下部に位置する潤滑油貯留部１９に流れ落ちる。

上記構成のスクロール式コンプレッサ１１は、例えば、空調機の冷媒蒸気を圧縮するのに利用される。

ここで、上記構成のスクロール式コンプレッサ１１に採用されるスラスト軸受３１の軌道盤３２，３３には大きなスラスト荷重が負荷される。さらに、軌道面３２，３３には、所定の硬さや表面平滑性、潤滑性、耐摩耗性、耐焼付き性等が求められる。

そこで、図３を参照して、このような環境で使用される軌道盤３２，３３の出発材料となる鋼板の製造方法を説明する。まず素材として、０．９ｗｔ％〜１．２ｗｔ％の炭素（Ｃ）と、１．２ｗｔ％〜１．７ｗｔ％のクロム（Ｃｒ）と、０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％のマンガン（Ｍｎ）と、０．１５ｗｔ％〜０．３５ｗｔ％のシリコン（Ｓｉ）と、その他の不可避不純物および鉄（Ｆｅ）とを含む鋼片を用いる（Ｓ１１）。また、鋼中の酸素濃度は０．００１０％以下とする。

炭素（Ｃ）は、軌道盤３２，３３に必要な強度を確保するのに必要不可欠の元素である。なお、軌道盤３２，３３の表面および芯部の硬さをＨＲＣ５８以上とするためには０．９ｗｔ％以上の炭素が必要となる。一方、炭素含有量が１．２ｗｔ％を超えると、軌道盤３２，３３の表面に大型の炭化物が生成して耐荷重性が低下すると共に、摩擦や摩耗が増大する。そこで、炭素含有量は０．９ｗｔ％〜１．２ｗｔ％の範囲内とするのが望ましい。なお、「ＨＲＣ」は、ロックウェル硬さを示す。

また、クロム（Ｃｒ）は、軌道盤３２，３３の焼入性を改善し、炭化物による硬さを確保し、摩擦や摩耗を低減し、かつ耐荷重性を向上するのに必要不可欠な元素である。なお、所定の炭化物を得るためには１．２ｗｔ％以上のクロムが必要となる。一方、１．７ｗｔ％を超える量を添加しても著しい添加効果は認めらない。さらに、５．０ｗｔ％を超えると大型の炭化物を生成して耐荷重性が低下すると共に、摩擦や摩耗が増大する。そこで、クロム含有量は１．２ｗｔ％〜１．７ｗｔ％の範囲内とするのが望ましい。

また、マンガン（Ｍｎ）は、鋼を製造する際の脱酸に用いられる元素であって、軌道盤３２，３３の出発材料としては必要不可欠の元素である。なお、鋼中の酸素を十分に除去するためには０．１ｗｔ％以上のマンガンが必要となる。一方、０．５ｗｔ％を超えると材料が脆くなり、プレス加工時に軌道盤３２，３３が破損する恐れがある。そこで、マンガンの含有量は０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％の範囲内とするのが望ましい。

また、シリコン（Ｓｉ）は、鉄鋼材料に不可避の元素であり、含有量の下限値を０．１５％としている。一方、０．３５ｗｔ％を超えるとプレス加工時に軌道盤３２，３３が破損する恐れがある。そこで、シリコンの含有量は０．１５ｗｔ％〜０．３５ｗｔ％の範囲内とするのが望ましい。

さらに、酸素は、鋼中で酸化物を形成して非金属介在物として疲労破壊の起点となるので、耐荷重性が低下すると共に、摩擦や摩耗が増大する。そこで、鋼中の酸素濃度は０．００１０％以下とするのが望ましい。

次に、熱間圧延加工によって上記の素材から鋼板を得る（Ｓ１２）。加熱状態で圧延することにより、巨大な鋳造組織が微細かつ良質な圧延組織となる。また、再結晶温度以上の温度領域で圧延することにより材料の加工硬化を防止することができるので、厚みを一気に薄くすることができる。

なお、熱間圧延工程の後に圧延加工された鋼板を焼鈍しする工程をさらに追加してもよい。焼鈍しによって結晶粒が微細化されると共に、結晶の方向性が調整されるので、表面の精度および加工性が向上する。

次に、防錆や鋼板の表面に付着した酸化被膜（スケール）の除去を目的として酸洗を行う（Ｓ１３）。酸化被膜は、機械加工における工具の寿命を短くして生産効率を低下させると共に、鋼板の表面に物理的および化学的変化を生じさせて表面処理の効果を低下させる。そこで、酸洗によって酸化被膜を除去しておくことにより、以降の工程における生産効率および製品品質を向上することができる。なお、酸洗液には、塩酸、硫酸、硝酸等があり、５％〜１５％の希塩酸水を４０℃〜５０℃程度で使用することが多い。

次に、冷間圧延加工によって、所定の寸法の鋼板を得ると共に、軌道盤３２，３３に必要な硬さや表面平滑性等の機械的性質を得る（Ｓ１４）。常温で圧延を行うことにより、正確に所定の板厚を得ることができると共に、高い平滑性が得られる。また、再結晶温度未満の温度領域で圧延を行うことにより鋼板が加工硬化するので、鋼板の硬度が向上する。

なお、軌道盤３２，３３の軌道面となる壁面は、滑り運動をスムーズにする観点からＲｍａｘ≦１．６μｍの表面粗さが要求される。後述するように、軌道盤３２，３３の形状加工後は、面粗さの山が取れる程度のバレル加工しかできないため、冷間圧延工程後の表面粗さはＲｍａｘ≦２μｍとするのが望ましい。さらに、プレス成形時の破損を防止する観点から、冷間圧延工程後の硬さはＨｖ２２０以下とするのが望ましい。ここで、「Ｒｍａｘ」は最大高さを、「Ｈｖ」はビッカース硬さを示す。

ここで、冷間圧延工程によって得られる鋼板の表面粗さ、硬さ、および板厚は、圧延ロールの表面粗さ、圧延ロールの撓み、圧延率（圧延前後の板厚の比）、圧延ロール間の隙間（ギャップ）および回転速度等の影響を受ける。したがって、所望の表面粗さ、硬さ、および板厚を得るためには、これらの要素を適切に設定する必要がある。

また、上記の熱間圧延工程および冷間圧延工程は、それぞれ１回の圧延工程で所定の厚みを得ることとしてもよいが、粗圧延、中間圧延、および仕上圧延等、複数回に分けて所定の厚みを得ることとしてもよい。

次に、図４を参照して、この発明の一実施形態に係る軌道盤３２，３３を製造する方法を説明する。なお、図４は軌道盤３２，３３の主な製造工程を示すフロー図である。まず、図３を参照して説明した鋼板（みがき鋼板）を出発材料として採用する（Ｓ２１）。

次に、プレス加工によって鋼板を軌道盤３２，３３の形状に成形する（Ｓ２２）。上記の出発材料は、冷間圧延工程によって板厚や表面粗さ等が既に所望の状態になっているので、旋削加工等の工程を省略することが可能となる。その結果、製造工程を簡素化することができるので、スラスト軸受３１の製造コストを低減することが可能となる。なお、このプレス加工工程は、１度のプレス加工によって所望の形状としてもよいが、プレス加工を複数回行って所望の形状を得ることとしてもよい。また、プレス加工後にバリ取り加工を行ってもよい。

次に、軌道盤３２，３３に必要な機械的性質を得るために、浸炭窒化処理と焼戻温度を２３０℃〜２８０℃とする高温焼戻とを含む熱処理を施す（Ｓ２３）。浸炭窒化処理を行うことにより、軌道盤３２，３３の表面層に窒素富化層が形成される。この窒素富化層は、耐荷重性の向上、および摩擦や摩耗の低減に有効である。なお、「表面層」とは、軌道盤３２，３３の表面から厚さ５０μｍの層を指すものとする。

また、高温焼戻を行うことにより、耐高温特性が向上するばかりでなく、残留オーステナイトが焼戻マルテンサイトと結晶粒の微細な炭化物（粒径５μｍ以下）とに分解される。これは、特に高荷重条件での耐荷重性の向上、および摩擦や摩耗の低減に有効である。

なお、残留オーステナイトを１０％以下とするためには焼戻温度を２３０℃以上とする必要がある。一方、焼戻温度が２８０℃以上になると、硬さＨＲＣ６０以下となって軌道盤３２，３３に必要な硬さを維持できないおそれがある。そこで、２３０℃〜２８０℃の範囲内で高温焼戻を行うのが望ましい。なお、残留オーステナイト量は、Ｘ線回折によるマルテンサイトα（２１１）と、残留オーステナイトγ（２２０）の回折強度の比較で測定することができる。

最後に、熱処理によって軌道盤３２，３３の表面に生じた酸化被膜（スケール）を除去する（Ｓ２４）。スケール除去加工としては、バレル処理やブラストクリーニング等の機械的方法と、前述した酸洗等の化学的方法がある。

ここで、「バレル処理」とは、容器（バレル）に軌道盤３２，３３、コンパウンド、およびメディアを入れた状態で、容器を回転若しくは振動させる処理である。この方法によれば、スケールを除去することができると共に、軌道盤３２，３３のバリ取りや表面粗さの改善効果も期待できる。前述の通り軌道盤３２，３３の出発材料の表面粗さは、冷間圧延工程後の段階で既にＲｍａｘ≦２μｍとなっているので、独立した研削工程を設けなくとも軌道盤３２，３３に必要な表面粗さＲｍａｘ≦１．６μｍを得ることができる。

さらに、図１を参照して、上記工程で製造された軌道盤３２の表面には、厚み方向の一方側に平坦面３２ｂと、この平坦面３２ｂの縁から厚み方向深さが次第に大きくなるように傾斜する傾斜部３２ｃとが形成されている。

そして、平坦面３２ｂの縁から径方向に最も離れて位置する傾斜部先端を点Ａとし、平坦面３２ｂに向かって点Ａから径方向に０．３ｍｍ離れた位置を計測位置とすると、この計測位置における傾斜部３２ｃの厚み方向深さが、０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍとなるように設定する。なおこの実施形態においては、計測位置における厚み方向深さを０．１ｍｍとしている。また、軌道盤３２の全周において、計測位置における傾斜部３２ｃの厚み方向深さのばらつきは、４０μｍ以下に設定する。

上記数値範囲の最小値（０．０２ｍｍ）は、想定される接触面圧のエッジ応力を最大接触面圧以下に緩和できる値である。一方、最大値（０．３ｍｍ）は、軌道盤３２に作用する荷重により、バックアップ面に軌道盤形状が倣う際、反対面端部に生じるカエリ（盛上り）からの影響が及ばない値である。

なお、図２に示すスラスト軸受３１における平坦面３２ｂとは、軌道盤３２の軌道盤３３と接触する軌道面を指す。また、傾斜部３２ｃとは、軌道面の内縁部および外縁部を指す。また、軌道盤３３も同様の構成であるので、説明は省略する。

この発明によれば、上記の化学成分の炭素鋼を用いることにより、軌道盤３２，３３の様々な機械的性質が向上する。その結果、耐荷重性が向上し、摩擦や摩耗が低減された軌道盤３２，３３を得ることができる。

また、出発材料の製造工程（図３に示す工程）に冷間圧延工程を含めることによって、軌道盤３２，３３に必要な板厚、硬さ、および表面粗さ等を得ることができる。そうすると、軌道盤３２，３３の製造工程（図４に示す工程）において、旋削加工や研削加工の工程を省略することが可能となる。その結果、軌道盤３２，３３の製造工程が簡素化され、軌道盤３２，３３の製造コストを低減することができる。

さらに、熱処理後の研削加工を省略したことにより、軌道盤３２，３３の表面層に形成された窒素富化層を除去してしまうことがない。その結果、耐荷重性が向上すると共に、摩擦や摩耗を低減した軌道盤３２，３３を得ることができる。

なお、この発明の効果を得るためには、軌道盤３２，３３の少なくとも一部で図１に示したような寸法関係が成立していればよい。ただし、軌道盤３２，３３の全域で成立していれば、より高い効果が期待できる。

以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示した実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。

この発明は、スクロール式コンプレッサに用いられるスラスト軸受に有利に利用される。

軌道盤の外縁部の拡大図である。 この発明の一実施形態に係るスラスト軸受を備えたスクロール式コンプレッサを示す図である。 軌道盤を製造する主な工程を示すフロー図である。 鋼板から軌道盤を製造する主な工程を示すフロー図である。

符号の説明

１１ スクロール式コンプレッサ、１２ 容器、１３ 固定スクロール、１４ 旋回スクロール、１５ 駆動軸、１６ ラジアル軸受、１７ 支持部、１８ 電動機、１９ 潤滑油貯留部、２１ 偏心部、２２ 底部、２３ ガス供給口、２４ａ，２４ｂ 溝、２５ ガス吐出口、２６ ガス送出口、２７ オルダム継ぎ手、２８ ステータ、２９ ロータ、３０ 潤滑油供給孔、３１ スラスト軸受、３２，３３ 軌道盤、３２ｂ 平坦面、３２ｃ 傾斜部。

Claims (3)

1. 密封可能な容器と、
   前記容器の内部に固定された固定スクロールと、
   前記固定スクロールに対向する位置に設けられ、前記固定スクロールに対して偏心回転運動を行う旋回スクロールと、
   先端に偏心部を有し、前記旋回スクロールに偏心回転運動を付与する駆動軸と、
   前記旋回スクロールと前記駆動軸との間に介在してラジアル荷重を支持するラジアル軸受と、
   前記駆動軸を回転自在に支持する支持部と、
   前記駆動軸に回転運動を付与する電動機と、
   前記容器の底部に設けられ、前記容器内の各部に供給する潤滑油を貯留する潤滑油貯留部とを備えるスクロール式コンプレッサに使用され、
   前記旋回スクロールと前記支持部との間に介在してスラスト荷重を支持するスラスト軸受であって、
   前記スラスト軸受は、少なくとも軌道盤を備え、
   前記軌道盤は、０．９ｗｔ％〜１．２ｗｔ％の炭素と、１．２ｗｔ％〜１．７ｗｔ％のクロムと、０．１ｗｔ％〜０．５ｗｔ％のマンガンと、０．１５ｗｔ％〜０．３５ｗｔ％のシリコンとを含有する高炭素鋼を冷間圧延して得られる表面粗さがＲｍａｘ≦２μｍのみがき帯鋼に熱処理を施して形成され、
   厚み方向の一方側に平坦面と、この平坦面の縁から厚み方向深さが次第に大きくなるように傾斜する傾斜部とを有し、
   前記平坦面の縁から径方向に最も離れて位置する傾斜部先端から、前記平坦面に向かって、径方向に０．３ｍｍ離れた計測位置における前記傾斜部の厚み方向深さは、０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍである、スラスト軸受。
2. 前記軌道盤の全域において、前記計測位置における前記傾斜部の厚み方向深さは、０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍである、請求項１に記載のスラスト軸受。
3. 前記軌道盤の全域において、前記計測位置における前記傾斜部の厚み方向深さのばらつきは、４０μｍ以下である、請求項１または２に記載のスラスト軸受。
   

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