JP2008209664A - パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクのパターンを検査するパターン検査装置において、レーザ光を発生するレーザ発生装置と、パターンを有するマスクと、レーザ発生装置とマスクの間の光路に配置され、レーザ光を拡大して平行光束の光路を形成するエキスパンダ光学系と、平行光束の光路に配置され、光路を2つの光路に分けるビームスプリッタ光学系と、一方の光路に配置され、マスクに透過光を照射する透過照明光学系と、他方の光路に配置され、マスクに反射光を照射する反射照明光学系と、マスクのパターン画像を受光する受光装置と、受光装置で受光したパターン画像と基準画像とを比較する比較部と、備える、パターン検査装置。
【選択図】図1
Description
図1は、パターン検査装置10のブロック構成を示している。パターン検査装置10は、マスク40に描かれたパターンの欠陥を検査するものであり、マスク40に描かれたパターンのパターン画像12を求めるパターン画像形成装置30と、このパターン画像12とマスク40のパターンの基準となる基準画像14とを比較して、パターンの欠陥を検出する比較部20を備えている。この基準画像14は、マスク40のパターンを作製するためのCADなどの設計データから求めた参照画像、又は、パターン画像形成装置30で求めた基準となるパターン画像がある。
パターン画像形成装置30は、レーザ光源などのレーザ発生装置32、エキスパンダ光学系320、位相板34、ビームスプリッタ光学系36、インテグレータ光学系38a、38b、マスク40、結像光学系42、受光装置44などを備えている。
図3は、パターン検査装置10の構成例を示している。パターン検査装置10は、マスク40からの透過光又は反射光を検出してパターン画像を取得するパターン画像形成装置30、設計データなどのデータを記憶し、設計データから基準画像14となる参照画像を作成し、種々のデータを演算処理するデータ処理部50などを備えている。
マスク40に描かれたパターンのパターン画像の取得は、パターン画像形成装置30でマスク40を走査することによって行われる。マスク40のパターンは、例えば、マスク40の一辺の方向(例えばX方向)に細長く切った短冊のパターン画像として取得される。その短冊は、ストリームとする。ストリームは、一辺の方向(X方向)に4分割した更に細長い短冊のパターン画像とする。4分割されたストリームは、サブストリームとする。サブスリームは、上記辺(X方向)と直交する他辺の方向(Y方向)に複数に切断される。切断されたパターン画像は、フレームとする。フレームは、例えば一辺(X方向)が512画素、他辺(Y方向)が512画素のパターン画像とする。なお、1画素は256階調のグレースケールとする。
データ処理部50は、主に、データの演算処理をする中央演算処理部52、オートローダを制御するオートローダ制御部、XYθテーブル400を制御するテーブル制御部404、設計データからパターン画像12に類似する、基準画像14となる参照画像を作成する参照画像作成部54、パターン画像12と基準画像14とを比較して検査画像の欠陥を検査する比較部20、パターン画像12のデータを一時的に記憶するバッファメモリ56、レーザ側長システムで測定したXYθテーブル400の位置データからマスク40の位置を求める位置測定部、設計データのデータベースなどの多量のデータやプログラムを記憶する外部記憶装置62、演算処理に必要なデータやプログラムを記憶する主記憶装置64、プリンタ66、CRT68、バス60などを備えている。例えばマスク40の設計データは、検査エリア全体を短冊状のエリアに分けて格納される。
参照画像作成部58は、設計データを展開し、イメージデータを形成し、図形の角を丸めたり、多少ボカしたりして、パターン画像12に似せる処理を行い、参照画像を作成する。参照画像は、設計データから作成されるので、パターン画像形成装置30で生じるような、歪、変形やレベル、諧調の変動がない。
12・・パターン画像
14・・基準画像
20・・比較部
30・・パターン画像形成装置
32・・レーザ発生装置
320・エキスパンダ光学系
322・ミラー
324・コンデンサレンズ
326・ミラー
328・対物レンズ
330・ハーフミラー
34・・位相板
340・モータ
36・・ビームスプリッタ光学系
38・・インテグレータ光学系
40・・マスク
400・テーブル
402・モータ
42・・結像光学系
44・・受光装置
46・・センサ回路
50・・データ処理部
52・・中央演算処理部
54・・参照画像作成部
56・・バッファメモリ
60・・バス
62・・外部記憶装置
Claims (3)
- マスクのパターンを検査するパターン検査装置において、
レーザ光を発生するレーザ発生装置と、
パターンを有するマスクと、
レーザ発生装置とマスクの間の光路に配置され、レーザ光を拡大して平行光束の光路を形成するエキスパンダ光学系と、
平行光束の光路に配置され、光路を2つの光路に分けるビームスプリッタ光学系と、
一方の光路に配置され、マスクに透過光を照射する透過照明光学系と、
他方の光路に配置され、マスクに反射光を照射する反射照明光学系と、
マスクのパターン画像を受光する受光装置と、
受光装置で受光したパターン画像と基準画像とを比較する比較部と、
を備える、パターン検査装置。 - 請求項1に記載のパターン検査装置において、
エキスパンダ光学系とビームスプリッタ光学系の間の光路に配置された位相板と、を備える、パターン検査装置。 - 請求項2に記載のパターン検査装置において、
透過照明光学系と反射照明光学系は、それぞれ、インテグレータ光学系を備える、パターン検査装置。
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