JP2008209393A - 直線型変位センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】高分解能かつ長ストロークであるという従来の特徴を保ちつつ、停電後においても正確な変位が検出できる直線型変位センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る直線型変位センサは、所定のピッチで等間隔に併設されたN個(N:正の整数)のコイルと、前記コイルの巻回中心に挿入される、K個(K:正の整数、ただしK<2N)の棒状磁性体及び非磁性材料からなる2N―K個の配列棒が、NビットのM系列に基づいて前記ピッチ間隔で連結された連結体と備えたピッチセンサと、微小変位センサからなり、前記ピッチセンサと前記微小変位センサが並列に、または直列に配置され、併用されることを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】本発明に係る直線型変位センサは、所定のピッチで等間隔に併設されたN個(N:正の整数)のコイルと、前記コイルの巻回中心に挿入される、K個(K:正の整数、ただしK<2N)の棒状磁性体及び非磁性材料からなる2N―K個の配列棒が、NビットのM系列に基づいて前記ピッチ間隔で連結された連結体と備えたピッチセンサと、微小変位センサからなり、前記ピッチセンサと前記微小変位センサが並列に、または直列に配置され、併用されることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、被検体の直線的な変位を検出することができる直線型変位センサに関する。
近年、複数のコイルと、磁性体の相対的位置に応じた検出信号を各コイルから得ることにより、被検体の変位を検出する変位センサが開発され、様々な用途へ展開が試みられている。
上記変位センサは、その動作原理から(1)誘導型と(2)インピーダンス型の二つに分けられる。さらに、いずれの型においても、(A)複数のコイルが直線状に配列されて、被検体の直線的な変位xを検出する直線型と、(B)複数のコイルが円周方向に配列されて、被検体の回転角度変位θを検出する回転型がある。
はじめに、本発明の理解のために、従来知られた誘導・直線型変位センサ(例えば、特許文献1参照)の基本検出原理につき、図5〜図8を参照して説明する。
はじめに、本発明の理解のために、従来知られた誘導・直線型変位センサ(例えば、特許文献1参照)の基本検出原理につき、図5〜図8を参照して説明する。
図5は、従来の誘導・直線型変位センサの構造を示す(a)斜視図、及び(b)模式図である。
図5(a)において、微小変位センサ10は、ソレノイド型の一次コイル12、及びその内側に同軸配置された二次コイル11を備えている。二次コイル11は、4個の等間隔に配置された同一のコイルLa〜dから構成されている。微小変位センサ10は、さらに、複数の棒状磁性体1が非磁性材料からなる配列棒2によって連結された連結体を備えている。この連結体は二次コイル11に挿入され、二次コイル11は連結体の中心軸に沿って矢印x方向に移動可能となっている。
図5(a)において、微小変位センサ10は、ソレノイド型の一次コイル12、及びその内側に同軸配置された二次コイル11を備えている。二次コイル11は、4個の等間隔に配置された同一のコイルLa〜dから構成されている。微小変位センサ10は、さらに、複数の棒状磁性体1が非磁性材料からなる配列棒2によって連結された連結体を備えている。この連結体は二次コイル11に挿入され、二次コイル11は連結体の中心軸に沿って矢印x方向に移動可能となっている。
図5(b)に示すように、隣接した棒状磁性体1の中心距離を1ピッチとした場合、隣接したコイル(例えば、LaとLb)の中心距離は1/4ピッチである。
この微小変位センサ10において、一次コイル12に交流信号が印加されると、一次コイル12の周辺には交流磁場が発生する。このとき、交流磁場内に位置する二次コイル11からは、挿入されている棒状磁性体1との相対的な位置関係に応じた誘導出力信号を得ることができる。
図5(a)では、一次コイル12に交流信号
が印加されている。このとき、コイルLbとLdの差動出力からは、誘起される正弦波Sinωtに、二次コイル11と棒状磁性体1の相対的な位置に応じた係数aSinxを乗じた値、すなわち、
が得られる。ここで、aは任意の定数である。
同様に、コイルLaとLcの差動出力からは、誘起される正弦波Sinωtに、二次コイル11と棒状磁性体1の相対的な位置に応じた係数aCosxを乗じた値、すなわち、
が得られる。ここで、aは任意の定数である。
図5(a)では、一次コイル12に交流信号
が印加されている。このとき、コイルLbとLdの差動出力からは、誘起される正弦波Sinωtに、二次コイル11と棒状磁性体1の相対的な位置に応じた係数aSinxを乗じた値、すなわち、
が得られる。ここで、aは任意の定数である。
同様に、コイルLaとLcの差動出力からは、誘起される正弦波Sinωtに、二次コイル11と棒状磁性体1の相対的な位置に応じた係数aCosxを乗じた値、すなわち、
が得られる。ここで、aは任意の定数である。
図5(b)に示すように、コイルLaが棒状磁性体1の中央に位置するような状態をx=0とし、そこから二次コイル11を矢印xに沿って変位させていくと、式(2)(3)中のSinx及びCosxは、それぞれ、棒状磁性体1と二次コイル11の相対的な位置が1ピッチ変位する毎に、周期的に−1〜+1の範囲で変化する。
すなわち、微小変位センサ10は、二次コイル11に対して棒状磁性体1が直線的に1ピッチ変位したことを、正弦関数、余弦関数における変数xが2π変化したことに対応させて取り扱うことができる。そして、この変数xを数学的手法により算出することによって、二次コイル11に対する棒状磁性体1の直線的な変位を検出することができる。
なお、これ以降、変数xを、二次コイル11に対する棒状磁性体1の相対的な変位を示す変数「変位x」と称する。
すなわち、微小変位センサ10は、二次コイル11に対して棒状磁性体1が直線的に1ピッチ変位したことを、正弦関数、余弦関数における変数xが2π変化したことに対応させて取り扱うことができる。そして、この変数xを数学的手法により算出することによって、二次コイル11に対する棒状磁性体1の直線的な変位を検出することができる。
なお、これ以降、変数xを、二次コイル11に対する棒状磁性体1の相対的な変位を示す変数「変位x」と称する。
上記した変位xの検出を、回路的に実現したのが図6である。図5(a)(b)に示した微小変位センサ10と同様に、図6の一次コイル12に交流信号ASinωtが印加されると、コイルLa〜dからなる二次コイル11から得られる差動誘導出力信号は、やはり、次式のように表すことができる。
式(2)(3)で表される信号は、演算部13に入力される。そして、演算部13は、式(2)を90°(=π/2)シフトして、
を得る。この式(4)と式(3)を加法定理に基づいて合成すると、最終的に、
が得られる。
を得る。この式(4)と式(3)を加法定理に基づいて合成すると、最終的に、
が得られる。
式(2)(3)(5)で表される信号波形、及びこれらの信号波形から変位xを導出する手順を示したのが図7である。
図7(a)は、上から、一次コイル12に印加された交流信号波形(=ASinωt)、式(2)で表される信号波形(=α)、式(3)で表される信号波形(=β)を示す。各信号波形の横軸は変位xであり、1ピッチの変位x(=2π、360°)を一周期として、式(2)(3)で表される信号波形は、それぞれ、周期的に変化する。
図7(a)は、上から、一次コイル12に印加された交流信号波形(=ASinωt)、式(2)で表される信号波形(=α)、式(3)で表される信号波形(=β)を示す。各信号波形の横軸は変位xであり、1ピッチの変位x(=2π、360°)を一周期として、式(2)(3)で表される信号波形は、それぞれ、周期的に変化する。
変位xは、図6に示すNビットカウンター14を用いて求められる。Nビットカウンター14には、演算部13で得られた式(5)で表される信号と、一次コイル12に印加されたものと同じ交流信号(=ASinωt)が入力される。図7(b)の上側のグラフに示すように、式(5)で表される波形aSin(ωt±x)は、元々の入力信号ASinωtに対して、位相がxずれた波形として表される。したがって、信号波形ASinωtのゼロクロス点から、信号波形aSin(ωt±x)のゼロクロス点までの時間を測定することで、変位xを求めることができる。
これを実現するために、Nビットカウンター14は、信号波形ASinωtのゼロクロス点をきっかけとして出力をリセットするとともに、カウントをスタートさせる。そして、信号波形aSin(ωt±x)のゼロクロス点をきっかけとして、カウントをストップさせ、その値を保持(ラッチ)するようになっている。
このNビットカウンター14は、2N個の値をとることができる。例えば、N=4の場合、変位xが0ピッチ(変位なし)における2進数表記の微小変位センサ出力は“0000”で、その状態から変位xが増加して1ピッチに近づくにつれて、この出力は“0001”→“0010”→“0011”→“0100”…というように変化し、変位xが1ピッチ(変位最大)になると、“1111”となる。また、10進数表記の微小変位センサ出力は、上記N=4の場合における2進数表記の微小変位センサ出力が“abcd”の場合、a×23+b×22+c×21+d×20で計算できる。例えば、2進数表記の微小変位センサ出力が“0000”、“1111”の場合の10進数表記の微小変位センサ出力は、それぞれ、0+0+0+0=0、8+4+2+1=15となる。
このように、Nビットカウンター14は、1ピッチを2N個に分割し、変位xを1ピッチ/2Nの分解能で検出することができる。
このNビットカウンター14は、2N個の値をとることができる。例えば、N=4の場合、変位xが0ピッチ(変位なし)における2進数表記の微小変位センサ出力は“0000”で、その状態から変位xが増加して1ピッチに近づくにつれて、この出力は“0001”→“0010”→“0011”→“0100”…というように変化し、変位xが1ピッチ(変位最大)になると、“1111”となる。また、10進数表記の微小変位センサ出力は、上記N=4の場合における2進数表記の微小変位センサ出力が“abcd”の場合、a×23+b×22+c×21+d×20で計算できる。例えば、2進数表記の微小変位センサ出力が“0000”、“1111”の場合の10進数表記の微小変位センサ出力は、それぞれ、0+0+0+0=0、8+4+2+1=15となる。
このように、Nビットカウンター14は、1ピッチを2N個に分割し、変位xを1ピッチ/2Nの分解能で検出することができる。
具体的には、1ピッチが16mm、N=4の場合、分解能は16mm/24=1mmとなり、微小変位センサ出力が“1001”を示すとき、変位xは9mmである。また、1ピッチが8.192mm、N=13の場合、分解能は8.192mm/213=0.001mmとなり、微小変位センサ出力が“1 0100 0000 0000”を示すとき、変位xは5.120mmである。
以上のような、コイルと磁性体との相対的な変位の検出を位相差変換(P−D変換)方式と呼び、この方式を用いた微小変位センサは、図8に示すような態様で使用される。
図8(a)に示す微小変位センサ10は、コイルLa〜dからなる二次コイル11、及び10個の棒状磁性体1を配列棒2で連結した連結体からなり、これに13ビットカウンター、及びピッチカウンターが組み合わされている。符号P1〜P8はピッチ(隣接した棒状磁性体1の間隔)番号を示し、一例として、各ピッチは8.192mm(分解能:0.001mm)とする。
二次コイル11が、矢印x方向に進むと、微小変位センサ出力は、0から最大値まで上昇していき、ピッチが切り替わると再び0に戻る。ピッチの切り替わりは、ピッチカウンターによって保持されており、変位センサ出力とピッチカウンター出力の双方を参照することで、変位xを特定することができる。
分解能を下げずに長いストローク(検出可能な変位xの範囲)を実現したい場合に、このような変位センサ出力とピッチカウンター出力の併用がなされる。
分解能を下げずに長いストローク(検出可能な変位xの範囲)を実現したい場合に、このような変位センサ出力とピッチカウンター出力の併用がなされる。
図8(b)に示すように、変位がX1の場合、ピッチカウンター出力はP1であることを示し、微小変位センサ出力は10進数表記で0を示す。したがって、この場合、変位xは、8.192mm×(1−1)+0.001mm×0=0mmである。また、変位がX4の場合、ピッチカウンター出力はP5であることを示し、変位センサ出力は10進数表記で5120を示す。したがって、この場合、変位xは、8.192mm×(5−1)+0.001mm×5120=37.888mmである。
ところで、上記微小変位センサは、原理上、微小変位を高分解能で検出でき、さらにピッチカウンターを併用することで分解能を悪化させずにストロークを長くできるという特徴を有するが、その一方で、次のような問題があった。
すなわち、図8(a)に示す従来の変位センサは、停電等の不測の事態が生じた場合に、正確な変位が検出できなくなるという問題があった。
例えば、変位X3を検出中に停電が起こり、停電中に、何らかの影響で二次コイル11が変位X4に移動した場合について考えてみる。停電から復帰した後、微小変位センサ出力は、現在の変位X4に応じた正しい値を出力する。しかしながら、ピッチカウンター出力は、現在位置がP5であるにも拘わらず、停電によりリセットされて0(=P1)を示すか、あるいは、不揮発性のメモリに出力値が保持されているような場合には、停電前の値(=P3)を示す。つまり、停電復帰後に、ピッチ内の微小変位については正しい検出結果が得られたが、現在位置が何ピッチであるのかについては、正しい検出結果が得られるとは限らなかった。
例えば、変位X3を検出中に停電が起こり、停電中に、何らかの影響で二次コイル11が変位X4に移動した場合について考えてみる。停電から復帰した後、微小変位センサ出力は、現在の変位X4に応じた正しい値を出力する。しかしながら、ピッチカウンター出力は、現在位置がP5であるにも拘わらず、停電によりリセットされて0(=P1)を示すか、あるいは、不揮発性のメモリに出力値が保持されているような場合には、停電前の値(=P3)を示す。つまり、停電復帰後に、ピッチ内の微小変位については正しい検出結果が得られたが、現在位置が何ピッチであるのかについては、正しい検出結果が得られるとは限らなかった。
したがって、従来の変位センサでは、停電から復帰した後に、二次コイル11を初期位置(変位x=0)に戻し、ピッチカウンターをリセット(0に戻す)するという面倒な作業を行う必要があった。また、この作業を怠った場合には、誤った変位検出結果を正しい結果として扱ってしまう可能性があり、信頼性が問題となっていた。
特開2004−233311号
したがって、本発明は、高分解能かつ長ストロークであるという従来の特徴を保ちつつ、停電後においても正確な変位が検出できる直線型変位センサを提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、本発明に係るピッチセンサは、コイルの一端がインピーダンス素子の一端に接続され、該コイルの他端と該インピーダンス素子の他端に交流信号が入力され、該コイルの巻回中心に棒状磁性体が挿入されているか否かに応じて該コイルの両端に生じる交流信号の振幅が変化することを利用して、被検体の変位を検出することができるピッチセンサであって、i)所定のピッチで等間隔に併設されたN個(N:正の整数)のコイルと、ii)前記コイルの巻回中心に挿入される、K個(K:正の整数、ただしK<2N)の棒状磁性体及び非磁性材料からなる2N―K個の配列棒が、NビットのM系列に基づいて前記ピッチ間隔で連結された連結体と、を備え、被検体の変位に応じて、前記N個のコイルの巻回中心軸に沿って前記連結体が変位し、前記N個のコイルのそれぞれの両端に生じた交流信号を参照することにより、被検体の変位が検出可能であることを特徴とする。
また、上記課題を解決するために、本発明に係る直線型位置変位センサは、i)上記ピッチセンサと、ii)複数の棒状磁性体及び非磁性材料からなる配列棒を交互に連結した連結体と、交流信号が印加された一次コイルと、該一次コイルによって該交流信号が誘起される複数の二次コイルとからなり、被検体の微小変位を検出可能な微小変位センサと、を備え、前記微小変位センサの連結体と前記ピッチセンサの連結体とが並列に配置され、被検体の変位に応じて、前記微小変位センサのコイルと前記ピッチセンサのコイルが連動して移動するようになっていることを特徴とする。
また、上記課題を解決するために、本発明に係るもう一つの直線型位置変位センサは、i)上記ピッチセンサと、ii)上記微小変位センサと、を備え、前記微小変位センサの連結体と前記ピッチセンサの連結体とが連結されて1本の連結体をなし、被検体の変位に応じて、前記微小変位センサのコイルと前記ピッチセンサのコイルが連動して移動するようになっていることを特徴とする。
本発明によれば、高分解能かつ長ストロークであるという従来の特徴を保ちつつ、停電後においても正確な変位が検出できる、簡素な直線変位センサを提供することができる。
以下、添付図面を参照しつつ、本発明に係る直線型変位センサの好ましい実施例について説明する。
本発明に係る直線型変位センサは、微小変位センサとピッチセンサからなる。このうち、ピッチセンサの基本検出原理について説明する。
図1はソレノイド型のコイルを用いたインピーダンス型センサの基本検出原理を示す図である。図1(a)に示すように、この型のセンサは、コイルL及びこれに直列接続されたインピーダンス素子R(例えば、抵抗器)を基本単位としている。このセンサに交流信号ASinωtが入力されると、コイルLの両端には、コイルLとインピーダンス素子Rのインピーダンス比に応じた出力信号Voutが生じる。
図1はソレノイド型のコイルを用いたインピーダンス型センサの基本検出原理を示す図である。図1(a)に示すように、この型のセンサは、コイルL及びこれに直列接続されたインピーダンス素子R(例えば、抵抗器)を基本単位としている。このセンサに交流信号ASinωtが入力されると、コイルLの両端には、コイルLとインピーダンス素子Rのインピーダンス比に応じた出力信号Voutが生じる。
このコイルLのインピーダンスは、棒状磁性体1が挿入されているか否かによって変化し、棒状磁性体1が挿入された状態のコイルLのインピーダンスは、棒状磁性体1が挿入されていない状態に比べて相対的に高い。したがって、図1(b)の上側のグラフに示すように、棒状磁性体1が挿入された状態の出力信号Voutの振幅も、コイルLのインピーダンスの増加に応じて増加する。この出力信号Voutを、所定の閾値電圧Vthと比較することによって二値化すると、出力信号Voutは図1(b)の下側のグラフのようになる。つまり、出力信号Voutは、棒状磁性体1が挿入されている場合には“1”、挿入されていない場合には“0”となる。
図2(a)に示すように、このセンサの基本単位を所定のピッチで等間隔に3つ並べてコイルL1〜3からなるセンサコイル3とし、これに複数の棒状磁性体1及び配列棒2をコイルと同一のピッチで連結した連結体を組み合わせると、本発明に係るピッチセンサ4となる。
センサの各基本単位には交流信号ASinωtが入力されるとともに、各基本単位からは、それぞれ、出力信号Vout1〜3が得られるようになっている。
センサの各基本単位には交流信号ASinωtが入力されるとともに、各基本単位からは、それぞれ、出力信号Vout1〜3が得られるようになっている。
図2(a)の状態において、コイルL1〜3には棒状磁性体1が挿入されていないので、二値化された出力信号Vout1〜3は、いずれも“0”を示す(図1(b)のP1)。この状態から、センサコイル3をx方向に1ピッチ変位すると、コイルL1に棒状磁性体1が挿入され、出力信号Vout1は“1”となる。その一方で、出力信号Vout2、3は依然として“0”を示す(図1(b)のP2)。
センサコイル3をx方向へさらに変位していくと、出力信号Vout1〜3は、図2(b)及び(c)に示すようになる。
本発明に係るピッチセンサ4では、M系列に基づいて棒状磁性体1及び配列棒2が配列されている。センサコイル3が3つのコイルからなっている場合、3ビットのM系列が適用され、これに基づいて棒状磁性体1及び配列棒2の配列が決定される。連結される棒状磁性体1及び配列棒2の合計の数は、3ビットのM系列のとり得る値である23=8個に等しい。
このように構成すれば、各ピッチにおける出力信号Vout1〜3の組み合わせは重複することなく、出力信号Vout1〜3を参照することによって、必ず、ピッチを特定することができるようになる。
このように構成すれば、各ピッチにおける出力信号Vout1〜3の組み合わせは重複することなく、出力信号Vout1〜3を参照することによって、必ず、ピッチを特定することができるようになる。
続いて、上記本発明に係るピッチセンサ4と、従来の微小変位センサ10を組み合わせた、本発明に係る直線型変位センサ5の第1の実施例につき図3を参照して説明する。
図3に示す実施例1では、微小変位センサ10とピッチセンサ4が平行に配置されており、被検体の直線的な変位に応じて、コイルLa〜dからなる二次コイル11と、コイルL1〜3からなるセンサコイル3が連動して矢印x方向に動くようになっている。
実施例1において、微小変位センサ10のピッチは8.192mm、ピッチセンサ4のピッチは、微小変位センサ10のピッチの1/2に等しい4.096mmである。
なお、図3に示す実施例1に係る変位センサ5のストロークは、ピッチセンサ4が3ビットのM系列に基づいて構成されているので、4.096mm(ピッチセンサ4の1ピッチ幅)×23=32.768mmである。
図3に示す実施例1では、微小変位センサ10とピッチセンサ4が平行に配置されており、被検体の直線的な変位に応じて、コイルLa〜dからなる二次コイル11と、コイルL1〜3からなるセンサコイル3が連動して矢印x方向に動くようになっている。
実施例1において、微小変位センサ10のピッチは8.192mm、ピッチセンサ4のピッチは、微小変位センサ10のピッチの1/2に等しい4.096mmである。
なお、図3に示す実施例1に係る変位センサ5のストロークは、ピッチセンサ4が3ビットのM系列に基づいて構成されているので、4.096mm(ピッチセンサ4の1ピッチ幅)×23=32.768mmである。
図3に示すように、二次コイル11のコイルLaが棒状磁性体1の中央に位置する変位x=0の状態において、13ビットカウンターから出力される微小変位センサ出力は0(変位なし)を示す。また、このとき、センサコイル3を構成するコイルL1〜3にも棒状磁性体1は挿入されていないので、ピッチセンサ出力Vout1〜3は、“000”(=P1(ピッチ1))を示す。
二次コイル11及びセンサコイル3が、変位x=0の位置から、x方向(図3の右方向)に僅かに変位すると、二次コイル11のコイルLbが棒状磁性体1の中央に近づき、微小変位センサ出力はそれに応じた値を出力する。一方、このとき、センサコイル3のコイルL1には、まだ棒状磁性体1が僅かしか挿入されていないので、ピッチセンサ出力は、依然としてP1を示す。
そこから、さらに、二次コイル11及びセンサコイル3をx方向に変位して、棒状磁性体1の中央とセンサコイル3のコイルL1の左端が重なると(変位2.048mm)、ピッチセンサ出力Vout1〜3は“001(Vout1のみが“1”)”となり、P2を示す。このとき、二次コイル11のコイルLbは棒状磁性体1のほぼ中央に位置し、微小変位センサ出力もそれに応じてより大きな値となる。
そこから、さらに、二次コイル11及びセンサコイル3をx方向に変位して、棒状磁性体1の中央とセンサコイル3のコイルL1の左端が重なると(変位2.048mm)、ピッチセンサ出力Vout1〜3は“001(Vout1のみが“1”)”となり、P2を示す。このとき、二次コイル11のコイルLbは棒状磁性体1のほぼ中央に位置し、微小変位センサ出力もそれに応じてより大きな値となる。
二次コイル11及びセンサコイル3をx方向に引き続き変位させていくと、図3に示すような微小変位センサ出力、及びピッチセンサ出力が得られる。微小変位センサ出力は、微小変位センサ10のピッチ(8.192mm)毎に、最小値から最大値までの変化を周期的に繰り返す。また、ピッチセンサ出力は、ピッチセンサ4の棒状磁性体1の配列、及びピッチセンサ4のピッチ(4.096mm)に応じてP1〜P8に順に変化する。
本発明に係る直線型変位センサ5は、停電からの復帰後に、面倒なリセット作業等を行うことなく、被検体の正確な変位を検出することができる。
例えば、変位X8を検出中に停電が起こり、停電中に、二次コイル11及びセンサコイル3が変位X7まで移動した場合、微小変位センサ出力は停電前と比べて変化しないが、ピッチセンサ出力を参照することで、現在位置がP3であることが特定できる。また、停電中に、二次コイル11及びセンサコイル3が変位X8から変位X9に移動した場合、ピッチセンサ出力は停電前と比べて変化しないが、微小変位センサ出力は、移動後の変位X9に応じた正しい値を出力する。
したがって、本発明に係る直線型変位センサ5によれば、微小変位センサ10及びピッチセンサ4の双方から正しい検出結果が得られるので、停電中に変位があったとしても、停電後に正確な変位を検出することができる。
例えば、変位X8を検出中に停電が起こり、停電中に、二次コイル11及びセンサコイル3が変位X7まで移動した場合、微小変位センサ出力は停電前と比べて変化しないが、ピッチセンサ出力を参照することで、現在位置がP3であることが特定できる。また、停電中に、二次コイル11及びセンサコイル3が変位X8から変位X9に移動した場合、ピッチセンサ出力は停電前と比べて変化しないが、微小変位センサ出力は、移動後の変位X9に応じた正しい値を出力する。
したがって、本発明に係る直線型変位センサ5によれば、微小変位センサ10及びピッチセンサ4の双方から正しい検出結果が得られるので、停電中に変位があったとしても、停電後に正確な変位を検出することができる。
次に、図4を参照して、本発明に係る直線型変位センサ5’の第2の実施例につき説明する。
図4に示す実施例2では、微小変位センサ10とピッチセンサ4が直列に配置されている。また、実施例1と同様に、被検体の直線的な変位に応じて、コイルLa〜dからなる二次コイル11と、コイルL1〜3からなるセンサコイル3は連動して矢印x方向に動くようになっている。
実施例2において、微小変位センサ10のピッチは8.192mm、ピッチセンサ4のピッチは、微小変位センサ10のピッチの1/2に等しい4.096mmである。また、図4に示すように、変位x=0の初期位置において、センサコイル3のコイルL1の右端は棒状磁性体1の左端に重なり、二次コイル11のコイルLaは棒状磁性体1の中央に位置している。
図4に示す実施例2では、微小変位センサ10とピッチセンサ4が直列に配置されている。また、実施例1と同様に、被検体の直線的な変位に応じて、コイルLa〜dからなる二次コイル11と、コイルL1〜3からなるセンサコイル3は連動して矢印x方向に動くようになっている。
実施例2において、微小変位センサ10のピッチは8.192mm、ピッチセンサ4のピッチは、微小変位センサ10のピッチの1/2に等しい4.096mmである。また、図4に示すように、変位x=0の初期位置において、センサコイル3のコイルL1の右端は棒状磁性体1の左端に重なり、二次コイル11のコイルLaは棒状磁性体1の中央に位置している。
図4に示す直線型変位センサ5’において、二次コイル11及びセンサコイル3をx方向に変位させていくと、図3に示した実施例1と同様の変位センサ出力、及びピッチセンサ出力が得られる。
したがって、実施例2に係る直線型変位センサ5’によっても、微小変位センサ10及びピッチセンサ4の双方から正しい検出結果が得られるので、停電中に変位があったとしても、停電後に正確な変位を検出することができる。
したがって、実施例2に係る直線型変位センサ5’によっても、微小変位センサ10及びピッチセンサ4の双方から正しい検出結果が得られるので、停電中に変位があったとしても、停電後に正確な変位を検出することができる。
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明は上記構成に限定されるものではなく、当業者であれば、種々の変形例を想到できることは自明である。
例えば、各実施例において、ピッチセンサ4は3つのコイル(L1〜3)からなり、3つの出力信号(Vout1〜3)が得られる3ビット構成としたが、所望のストロークに応じて、1、2、あるいは4ビット以上の構成としてもよい。
また、微小変位センサ10のピッチは、13ビットカウンター(213=8192までカウント可能)と組み合わせた際に、分解能に端数が生じないようにするために8.192mmとしたが、もちろんこれに限定されるものではなく、カウンターのビット数に応じて、または、分解能に端数が生じてもいいような場合には他の値にすることができる。
また、ピッチセンサ4のピッチは4.096mmとしたが、これに限定されず、変位センサ10のピッチ幅を超えない任意の値にすることができる。
また、微小変位センサ10のピッチは、13ビットカウンター(213=8192までカウント可能)と組み合わせた際に、分解能に端数が生じないようにするために8.192mmとしたが、もちろんこれに限定されるものではなく、カウンターのビット数に応じて、または、分解能に端数が生じてもいいような場合には他の値にすることができる。
また、ピッチセンサ4のピッチは4.096mmとしたが、これに限定されず、変位センサ10のピッチ幅を超えない任意の値にすることができる。
1 棒状磁性体
2 配列棒
3 センサコイル
4 ピッチセンサ
5、5’ 直線型変位センサ
10 微小変位センサ
11、La〜d 二次コイル
12、L1〜3 一次コイル
13 演算部
14 Nビットカウンター
L コイル
R インピーダンス素子
2 配列棒
3 センサコイル
4 ピッチセンサ
5、5’ 直線型変位センサ
10 微小変位センサ
11、La〜d 二次コイル
12、L1〜3 一次コイル
13 演算部
14 Nビットカウンター
L コイル
R インピーダンス素子
Claims (3)
- コイルの一端がインピーダンス素子の一端に接続され、該コイルの他端と該インピーダンス素子の他端に交流信号が入力され、該コイルの巻回中心に棒状磁性体が挿入されているか否かに応じて該コイルの両端に生じる交流信号の振幅が変化することを利用して、被検体の変位を検出することができるピッチセンサであって、
i)所定のピッチで等間隔に併設されたN個(N:正の整数)のコイルと、
ii)前記コイルの巻回中心に挿入される、K個(K:正の整数、ただしK<2N)の棒状磁性体及び非磁性材料からなる2N―K個の配列棒が、NビットのM系列に基づいて前記ピッチ間隔で連結された連結体と、
を備え、
被検体の変位に応じて、前記N個のコイルの巻回中心軸に沿って前記連結体が変位し、前記N個のコイルのそれぞれの両端に生じた交流信号を参照することにより、被検体の変位が検出可能であることを特徴とするピッチセンサ。 - i)請求項1に記載のピッチセンサと、
ii)複数の棒状磁性体及び非磁性材料からなる配列棒を交互に連結した連結体と、交流信号が印加された一次コイルと、該一次コイルによって該交流信号が誘起される複数の二次コイルとからなり、被検体の微小変位を検出可能な微小変位センサと、
を備え、
前記微小変位センサの連結体と前記ピッチセンサの連結体とが並列に配置され、被検体の変位に応じて、前記微小変位センサのコイルと前記ピッチセンサのコイルが連動して移動するようになっていることを特徴とする直線型変位センサ。 - i)請求項1に記載のピッチセンサと、
ii)複数の棒状磁性体及び非磁性材料からなる配列棒を交互に連結した連結体と、交流信号が印加された一次コイルと、該一次コイルによって該交流信号が誘起される複数の二次コイルとからなり、被検体の微小変位を検出可能な微小変位センサと、
を備え、
前記微小変位センサの連結体と前記ピッチセンサの連結体とが連結されて1本の連結体をなし、被検体の変位に応じて、前記微小変位センサのコイルと前記ピッチセンサのコイルが連動して移動するようになっていることを特徴とする直線型変位センサ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2007191081A JP2008209393A (ja) | 2007-01-31 | 2007-07-23 | 直線型変位センサ |
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JP2007020508 | 2007-01-31 | ||
JP2007191081A JP2008209393A (ja) | 2007-01-31 | 2007-07-23 | 直線型変位センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=39785797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008209393A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9995597B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-06-12 | Murata Machinery, Ltd. | Magnetic position sensor and position detecting method |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH04110727A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Okuma Mach Works Ltd | エンコーダ |
JPH10213406A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Mitsutoyo Corp | 誘導型絶対位置測定装置 |
JP2004233311A (ja) * | 2003-02-03 | 2004-08-19 | Murata Mach Ltd | インピーダンス素子節減型位置変位センサ |
-
2007
- 2007-07-23 JP JP2007191081A patent/JP2008209393A/ja active Pending
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DE112014001449B4 (de) | 2013-03-15 | 2019-07-11 | Murata Machinery, Ltd. | Magnetischer Positionssensor und Positionserfassungsverfahren |
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