JP2008209286A - 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 先鋭化された第1の探針部21および第2の探針部211と、第1の探針部21が先端部に突出して設けられたカンチレバー22aと第2の探針部211が先端部に突出して設けられたカンチレバー22bとからなるカンチレバー22と、カンチレバー22の基端部を先端部が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部23とを備える顕微鏡用プローブとした。
【選択図】 図2
Description
3 試料移動手段
4 駆動装置
500 加振手段
5 加振電源
6、60 変位検出手段
7 コンピュータ
9 試料支持部
20、201 プローブ
21 第1の探針部
211 第2の探針部
22、22a、22b カンチレバー
23 本体部
24 シリコン活性層
25 シリコン支持層
26 BOX層
27 SOI基板(シリコン基板)
28 絶縁層
33 シリコン酸化膜
31、32、50、51、52、53、54 フォトレジスト膜
40a、40b ピエゾ抵抗素子
41a、41b、42a、42b ピエゾ抵抗素子用電極配線
70、71 スリット
100 試料
Claims (8)
- カンチレバーと、該カンチレバーを支持する本体部とからなるプローブであって、前記カンチレバーに先鋭化された探針部が複数設けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
- 複数の前記探針部がそれぞれ前記カンチレバーの中心軸上に配置されていることを特徴とする請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
- 前記カンチレバーの厚みが部分的に異なっていることを特徴とする請求項2記載の走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
- 前記カンチレバーの幅が部分的に異なっていることを特徴とする請求項2または請求項3記載の走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の走査型プローブ顕微鏡用プローブと、
前記プローブの複数の前記探針部を、試料表面に対して相対的に平行に走査するとともに垂直方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段により走査される複数の前記探針部の、前記試料表面の形状に応じた変位データを検出する変位検出手段と、
を備える走査型プローブ顕微鏡。 - 少なくとも1つの前記探針部を任意の周波数で共振または強制振動させる加振手段を備え、
前記変位検出手段は、前記探針部の振動状態を検出する振動検出手段である請求項5に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記変位検出手段を前記カンチレバー内に設けてある請求項5または請求項6に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記変位検出手段はピエゾ抵抗素子である請求項5乃至7のいずれか1項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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