JP2008205436A - Method of manufacturing fine structure - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、微細構造体の製造方法に関し、特に、保護膜の形成とエッチングとを繰り返して基板を加工する微細構造体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a fine structure, and more particularly to a method for manufacturing a fine structure in which a substrate is processed by repeatedly forming a protective film and etching.
従来より、半導体装置及びMEMS(Micro Electro Mechanical System:微小電子機械システム)などの微細構造体を形成する際に、シリコン基板に深いトレンチを形成する方法として、Boschプロセスが知られている。Boschプロセスとは、例えば、C4F8プラズマによる保護膜の形成とSF6プラズマによるエッチングとを繰り返すことにより、シリコン基板に深いトレンチを形成する方法である(例えば、特許文献1参照。)。 Conventionally, the Bosch process is known as a method for forming a deep trench in a silicon substrate when forming a microstructure such as a semiconductor device and a micro electro mechanical system (MEMS). The Bosch process is, for example, a method of forming a deep trench in a silicon substrate by repeating formation of a protective film with C 4 F 8 plasma and etching with SF 6 plasma (see, for example, Patent Document 1).
具体的には、シリコン基板の表面上にパターニングされたエッチングマスク材を形成し、これをチャンバー内に装着する。そして、このチャンバー内にSF6ガスを導入し、これをプラズマ化することにより、シリコン基板をエッチングして凹部を形成する。その後、チャンバー内をC4F8ガスに入れ替え、これをプラズマ化することにより、この凹部の内面上に保護膜を形成する。その後、再びチャンバー内をSF6ガスに入れ替え、SF6プラズマによるエッチングを施すことにより、凹部の側面上には保護膜を残したまま、凹部の底面上の保護膜のみを除去し、凹部の下方を更にエッチングする。以後、同様にして、チャンバー内にC4F8ガスとSF6ガスとを交互に導入し、それぞれをプラズマ化することにより、保護膜の形成とエッチングとを繰り返す。これにより、シリコン基板の深掘加工を行う。 Specifically, a patterned etching mask material is formed on the surface of the silicon substrate, and this is mounted in the chamber. Then, SF 6 gas is introduced into the chamber and is converted into plasma, whereby the silicon substrate is etched to form a recess. Thereafter, the inside of the chamber is replaced with C 4 F 8 gas, and this is turned into plasma, thereby forming a protective film on the inner surface of the recess. Thereafter, the inside of the chamber is again replaced with SF 6 gas, and etching with SF 6 plasma is performed to remove only the protective film on the bottom surface of the concave portion while leaving the protective film on the side surface of the concave portion. Is further etched. Thereafter, similarly, formation of a protective film and etching are repeated by alternately introducing C 4 F 8 gas and SF 6 gas into the chamber and turning them into plasma. Thus, deep processing of the silicon substrate is performed.
しかしながら、上述の従来の技術には以下に示すような問題点がある。すなわち、C4F8ガスとSF6ガスとの切替えに際して、ガスが混合してしまうことがある。そして、SF6プラズマによりシリコン基板をエッチングする際に、雰囲気中にC4F8プラズマが存在していると、保護膜の強度が低下してしまう。この結果、シリコン基板にダメージが与えられ、トレンチの側壁にささくれ等のダメージが発生してしまい、深堀加工の精度が低下し、デバイス特性に悪影響を与える。このようなガスの混合を避けるためには、ガスの切替時間を十分に長くとればよいが、そうすると、加工効率が低下し、微細構造体の生産性が低下してしまう。
更に、エッチング速度を上げて加工効率を向上させるためには、エッチング時の圧力を上げ、エッチャントであるフッ素ラジカルを増加させる必要があるが、その場合、上記凹部の側面上に形成される保護膜を厚くし、側壁方向へのエッチングを抑制する必要が生ずる。ところがこの場合には凹部の底面上の保護膜も厚く形成されてしまうため、エッチング時において高バイアス電力により、高エネルギーイオンを入射させることによって底面上の保護膜を除去する必要が生じる。しかし、この方法によると、高エネルギーイオンによって、トレンチの側壁にささくれ等のダメージが発生してしまい、深堀加工の精度が低下し、デバイス特性に悪影響を与える。このような高エネルギーイオンによるダメージ発生を抑制するには、低バイアス電力により、低エネルギーイオンを用いればよいが、それでは保護膜除去に時間がかかり、加工効率が低下し、微細構造対の生産性が低下してしまう。
Furthermore, in order to increase the etching rate and improve the processing efficiency, it is necessary to increase the pressure during etching and increase the fluorine radical as an etchant. In that case, a protective film formed on the side surface of the recess Therefore, it is necessary to suppress the etching in the side wall direction. However, in this case, since the protective film on the bottom surface of the concave portion is also formed thick, it is necessary to remove the protective film on the bottom surface by making high energy ions enter with high bias power during etching. However, according to this method, the high energy ions cause damage such as scalding on the sidewalls of the trench, the accuracy of deep digging is lowered, and the device characteristics are adversely affected. In order to suppress the occurrence of damage due to such high energy ions, low energy ions may be used with low bias power. However, it takes time to remove the protective film, the processing efficiency decreases, and the productivity of fine structure pairs. Will fall.
本発明の目的は、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a microstructure having high productivity and high processing accuracy.
本発明の一態様によれば、基板を収納したチャンバー内に第1のプロセスガスを導入し、前記第1のプロセスガスから第1のプラズマを形成し、前記基板の表面に形成された凹部の内面上に前記第1のプラズマにより保護膜を形成する工程と、前記チャンバー内に第2のプロセスガスを導入し、前記第2のプロセスガスから第2のプラズマを形成し、前記第2のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、を備え、前記エッチングする工程は、前記チャンバー内における前記第1のプラズマの密度を測定しながら前記第1のプラズマの密度が基準値以下になるまで前記第1のプロセスガスを排出する工程と、前記第1のプラズマの密度が前記基準値以下となった後、前記第2のプラズマによって前記保護膜及び前記基板をエッチングする工程と、を有することを特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。 According to one aspect of the present invention, a first process gas is introduced into a chamber containing a substrate, a first plasma is formed from the first process gas, and a recess formed on the surface of the substrate is formed. Forming a protective film on the inner surface with the first plasma; introducing a second process gas into the chamber; forming a second plasma from the second process gas; and Removing the portion of the protective film on the bottom surface of the recess to etch the substrate, and the etching step comprises measuring the density of the first plasma in the chamber while measuring the density of the first plasma. Exhausting the first process gas until the density of the first plasma is below a reference value; and after the density of the first plasma is below the reference value, Method for manufacturing a microstructure, characterized in that and a step of etching the protective film and the substrate is provided by Ma.
本発明の別の一態様によれば、基板を収納したチャンバー内に第1のプロセスガスを導入し、前記第1のプロセスガスから第1のプラズマを形成し、前記基板の表面に形成された凹部の内面上に前記第1のプラズマにより保護膜を形成する工程と、前記チャンバー内に第2のプロセスガスを導入し、前記第2のプロセスガスから第2のプラズマを形成し、前記第2のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、を備え、前記エッチングする工程は、第1のバイアス電力を用いる第1のエッチング工程と、前記第1のバイアス電力より低い第2のバイアス電力を用いる第2のエッチング工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, a first process gas is introduced into a chamber containing a substrate, a first plasma is formed from the first process gas, and is formed on the surface of the substrate. Forming a protective film with the first plasma on the inner surface of the recess; introducing a second process gas into the chamber; forming a second plasma from the second process gas; Removing the portion of the protective film on the bottom surface of the recess by etching the plasma, and etching the substrate, wherein the etching step includes a first etching step using a first bias power, And a second etching step using a second bias power lower than the first bias power. A method for manufacturing a microstructure is provided.
本発明によれば、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。 According to the present invention, it is possible to realize a method for manufacturing a fine structure with high productivity and high processing accuracy.
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
なお、以下の各図については、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施の形態)
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図であり、
図2(a)乃至(d)は、本実施形態において加工されるシリコン基板の状態を例示する工程断面図であり、(a)は加工開始前の状態を示し、(b)は凹部の内面上に保護膜を形成した状態を示し、(c)は凹部の底面上の保護膜を除去した状態を示し、(d)は更にエッチングを行って新たな凹部を形成した状態を示す。
図3は、横軸に時間をとり、縦軸に図1に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。
図3の縦軸には、バイアス電力、チャンバー内に流入するSF6ガスの流量(SF6流量)、チャンバー内に流入するC4F8ガスの流量(C4F8流量)、チャンバー内のC4F8プラズマの密度(C4F8密度)、排気バルブの開閉状態及びチャンバー内の圧力をとっている。実線は各パラメータの設定値を表し、破線は実際の値の推定値を表す。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the following drawings, the same elements as those described above with reference to the previous drawings are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted as appropriate.
(First embodiment)
First, a first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a plasma etching apparatus used in this embodiment.
2A to 2D are process cross-sectional views illustrating the state of the silicon substrate processed in this embodiment, where FIG. 2A illustrates a state before the start of processing, and FIG. 2B illustrates the inner surface of the recess. A state where a protective film is formed is shown, (c) shows a state where the protective film on the bottom surface of the concave portion is removed, and (d) shows a state where a new concave portion is formed by further etching.
FIG. 3 is a timing chart illustrating the silicon substrate processing method according to this embodiment, with time on the horizontal axis and parameters representing the state of the plasma etching apparatus shown in FIG. 1 on the vertical axis.
The vertical axis in FIG. 3 shows the bias power, the flow rate of SF 6 gas flowing into the chamber (SF 6 flow rate), the flow rate of C 4 F 8 gas flowing into the chamber (C 4 F 8 flow rate), The density of C 4 F 8 plasma (C 4 F 8 density), the open / close state of the exhaust valve, and the pressure in the chamber are taken. A solid line represents a set value of each parameter, and a broken line represents an estimated value of the actual value.
図1に示すように、本実施形態において使用するプラズマエッチング装置1は、プラズマの発生と引き込みとを独立に制御する誘導結合型プラズマ装置である。プラズマエッチング装置1においては、チャンバー2が設けられている。チャンバー2は、チャンバー2の例えば上部を構成し、プラズマを発生させるプラズマ発生室3と、チャンバー2の例えば下部を構成し、プラズマ発生室3において発生したプラズマによってエッチング及び保護膜の形成を行う反応室4とに分かれており、プラズマ発生室3と反応室4とは相互に連通されている。そして、プラズマ発生室3においては、ガス導入口6が設けられている。ガス導入口6からは、チャンバー2の内部に、SF6ガス、O2ガス及びC4F8ガスが相互に独立に導入されるようになっている。一方、反応室4には排気口7が設けられており、排気ポンプ8に連通されている。排気口7と排気ポンプ8とを連通する排気管9の途中には、排気バルブ10が設けられている。 As shown in FIG. 1, a plasma etching apparatus 1 used in the present embodiment is an inductively coupled plasma apparatus that independently controls generation and drawing of plasma. In the plasma etching apparatus 1, a chamber 2 is provided. The chamber 2 constitutes, for example, the upper part of the chamber 2 and constitutes a plasma generation chamber 3 for generating plasma, and constitutes, for example, the lower part of the chamber 2. The plasma generation chamber 3 and the reaction chamber 4 are in communication with each other. In the plasma generation chamber 3, a gas inlet 6 is provided. From the gas inlet 6, SF 6 gas, O 2 gas and C 4 F 8 gas are introduced into the chamber 2 independently of each other. On the other hand, the reaction chamber 4 is provided with an exhaust port 7 and communicated with an exhaust pump 8. An exhaust valve 10 is provided in the middle of the exhaust pipe 9 that connects the exhaust port 7 and the exhaust pump 8.
また、プラズマ発生室3の外部には、プラズマ発生室3の外面に沿ってコイル11が巻回されており、このコイル11はRF(Radio Frequency)電源12に接続されている。一方、反応室4の内部には、バイアス電極13が設けられており、このバイアス電極13はチャンバー2の外部に設けられたRF電源14に接続されている。バイアス電極13は、加工対象となる試料20を保持する。以下、RF電源12がコイル11に印加する高周波電力を「ソース電力」ともいい、RF電源14がバイアス電極13に印加する高周波電力を「バイアス電力」ともいう。 A coil 11 is wound outside the plasma generation chamber 3 along the outer surface of the plasma generation chamber 3, and the coil 11 is connected to an RF (Radio Frequency) power source 12. On the other hand, a bias electrode 13 is provided inside the reaction chamber 4, and this bias electrode 13 is connected to an RF power source 14 provided outside the chamber 2. The bias electrode 13 holds a sample 20 to be processed. Hereinafter, the high frequency power that the RF power source 12 applies to the coil 11 is also referred to as “source power”, and the high frequency power that the RF power source 14 applies to the bias electrode 13 is also referred to as “bias power”.
更に、反応室4の内部におけるバイアス電極13の近傍及びプラズマ発生室3の内部には、プラズマ発光強度測定器15が設けられている。プラズマ発光強度測定器15は、チャンバー2内のプラズマによる発光をモニターし、発光の強度及び波長を測定する。プラズマ発光強度測定器15はバイアス電極13とマッチングされている。更にまた、プラズマエッチング装置1には、圧力計などの通常の付属機器も設けられている。 Further, a plasma emission intensity measuring device 15 is provided in the vicinity of the bias electrode 13 in the reaction chamber 4 and in the plasma generation chamber 3. The plasma emission intensity measuring device 15 monitors light emission by plasma in the chamber 2 and measures the intensity and wavelength of light emission. The plasma emission intensity measuring device 15 is matched with the bias electrode 13. Furthermore, the plasma etching apparatus 1 is also provided with a normal accessory such as a pressure gauge.
次に、プラズマエッチング装置1を使用してシリコン基板に対して深堀加工を施す方法、すなわち、本実施形態に係る微細構造体の製造方法について説明する。
先ず、図2(a)に示すように、深堀加工の対象となる試料20を準備する。試料20においては、シリコン基板21の表面上にエッチングマスク22が形成されている。エッチングマスク22は所定の形状にパターニングされており、シリコン基板21における深掘加工を施す予定の領域に開口部22aが形成されている。この試料20を、プラズマエッチング装置1の反応室4内に装入し、バイアス電極13に取り付ける。
Next, a method for performing deep drilling on a silicon substrate using the plasma etching apparatus 1, that is, a method for manufacturing a microstructure according to the present embodiment will be described.
First, as shown in FIG. 2A, a sample 20 to be deep drilled is prepared. In the sample 20, an etching mask 22 is formed on the surface of the silicon substrate 21. The etching mask 22 is patterned into a predetermined shape, and an opening 22a is formed in a region of the silicon substrate 21 where deep processing is to be performed. This sample 20 is loaded into the reaction chamber 4 of the plasma etching apparatus 1 and attached to the bias electrode 13.
次に、プラズマエッチング装置1のチャンバー2内を排気した後、ガス導入口6を介してチャンバー2内にSF6ガス及びO2ガスを導入すると共に、RF電源12を作動させて、コイル11に高周波電力(ソース電力)を供給する。このとき、ソース電力の大きさは例えば2500W(ワット)とする。これにより、プラズマ発生室3においてSF6ガスの一部がプラズマ化する。以下、このようにSF6ガスから形成されたプラズマを、「SF6プラズマ」という。この状態でRF電源14を作動させて、バイアス電極13に高周波電力(バイアス電力)を印加する。この結果、試料20にバイアス電圧が印加され、SF6プラズマにより試料20がエッチングされる。これにより、図2(b)に示すように、シリコン基板21の表面におけるエッチングマスク22の開口部22aにおいて露出した領域に、凹部23aが形成される。 Next, after evacuating the chamber 2 of the plasma etching apparatus 1, SF 6 gas and O 2 gas are introduced into the chamber 2 through the gas introduction port 6, and the RF power source 12 is operated to connect the coil 11. Supply high-frequency power (source power). At this time, the magnitude of the source power is, for example, 2500 W (watts). Thereby, a part of the SF 6 gas is turned into plasma in the plasma generation chamber 3. Hereinafter, the plasma thus formed from the SF 6 gas is referred to as “SF 6 plasma”. In this state, the RF power source 14 is operated to apply high frequency power (bias power) to the bias electrode 13. As a result, a bias voltage is applied to the sample 20 and the sample 20 is etched by SF 6 plasma. As a result, as shown in FIG. 2B, a recess 23 a is formed in a region exposed at the opening 22 a of the etching mask 22 on the surface of the silicon substrate 21.
次に、図3のパッシベーション工程(保護膜形成工程)Pに示すように、試料20の表面に保護膜24を形成する工程を実行する。なお、以後の工程において、ソース電力の大きさは一定とし、例えば2500Wとする。 Next, as shown in a passivation step (protective film forming step) P of FIG. 3, a step of forming the protective film 24 on the surface of the sample 20 is executed. In the subsequent processes, the magnitude of the source power is constant, for example, 2500 W.
先ず、ステップP1に示すように、チャンバー2内にガス導入口6を介して、第1のプロセスガスとしてC4F8ガスを導入する。このときの流量は例えば500sccmとする。一方、SF6ガス及びO2ガスの導入は停止する。また、排気バルブ10の開度を調整して、チャンバー2内の圧力を例えば9Pa(パスカル)とする。更に、バイアス電極13には電力を印加しない。これにより、上述の如くコイル11には2500Wの高周波電力が印加されているため、C4F8ガスの一部がプラズマ化する。以下、このようにC4F8ガスから形成されたプラズマを、「C4F8プラズマ」という。このC4F8プラズマにより、試料20の全面に有機材料からなる保護膜24が形成される。保護膜24は略等方的に形成されるため、凹部23aの内面にも形成される。このステップP1を例えば1.2秒間継続する。 First, as shown in Step P 1 , C 4 F 8 gas is introduced into the chamber 2 through the gas inlet 6 as the first process gas. The flow rate at this time is, for example, 500 sccm. On the other hand, the introduction of SF 6 gas and O 2 gas is stopped. Further, the opening of the exhaust valve 10 is adjusted so that the pressure in the chamber 2 is, for example, 9 Pa (Pascal). Further, no power is applied to the bias electrode 13. As a result, since 2500 W of high-frequency power is applied to the coil 11 as described above, a part of the C 4 F 8 gas is turned into plasma. Hereinafter, the plasma thus formed from the C 4 F 8 gas is referred to as “C 4 F 8 plasma”. The protective film 24 made of an organic material is formed on the entire surface of the sample 20 by the C 4 F 8 plasma. Since the protective film 24 is formed substantially isotropically, it is also formed on the inner surface of the recess 23a. This step P 1 continues for example, 1.2 seconds.
次に、ステップP2に示すように、C4F8ガスの供給を停止すると共に排気バルブ10を例えば全開とする。これにより、チャンバー2内からC4F8ガスが排出され始め、これに伴って、C4F8プラズマが消失し始める。一方、次のエッチング工程Eのために、第2のプロセスガスとして、SF6ガスの流量を750sccmに設定し、O2ガスの流量を75sccmに設定するが、ガスの流量をある値に設定してから実際に流量がその値に達するまでには時間がかかるため、ステップP2においては、SF6ガス及びO2ガスはチャンバー2内に導入されていないか、導入されていてもその流量は設定値未満である。このステップP2を、例えば0.1乃至0.5秒間継続する。このとき、チャンバー2内の圧力は例えば5Pa以下、例えば5Paとなる。 Next, as shown in step P 2, and the exhaust valve 10, for example fully opened to stop the supply of the C 4 F 8 gas. Thereby, C 4 F 8 gas begins to be discharged from the chamber 2, and accordingly, the C 4 F 8 plasma starts to disappear. On the other hand, for the next etching step E, as the second process gas, the flow rate of SF 6 gas is set to 750 sccm and the flow rate of O 2 gas is set to 75 sccm, but the gas flow rate is set to a certain value. Indeed since the flow rate is time to reach that value applied from, at step P 2, or SF 6 gas and O 2 gas is not introduced into the chamber 2, be introduced that flow It is less than the set value. This step P 2, continues for example 0.1 to 0.5 seconds. At this time, the pressure in the chamber 2 is, for example, 5 Pa or less, for example, 5 Pa.
次に、図3に示すエッチング工程Eを実行する。
先ず、ステップE1に示すように、排気バルブ10を所定の開度まで絞る。但し、このとき、排気バルブ10は全閉にはしない。また、SF6ガス及びO2ガスの流量の設定値は変更しない。これにより、第1のプロセスガスであるC4F8ガスはステップP2に引き続いて排出され続け、第1のプラズマであるC4F8プラズマは消失し続ける。一方、第2のプロセスガスであるSF6ガス及びO2ガスはチャンバー2内に導入され始め、その流量は設定値に向けて増加し続ける。これにより、第2のプラズマであるSF6プラズマが生成し始める。この結果、チャンバー2の内部において、C4F8プラズマがSF6プラズマに置換されていく。なお、このとき、チャンバー2内の圧力は例えば5Paに保持する。
Next, the etching process E shown in FIG. 3 is performed.
First, as shown in step E 1, throttling the exhaust valve 10 to a predetermined opening. However, at this time, the exhaust valve 10 is not fully closed. Further, the set values of the flow rates of SF 6 gas and O 2 gas are not changed. As a result, the C 4 F 8 gas that is the first process gas continues to be discharged following the step P 2 , and the C 4 F 8 plasma that is the first plasma continues to disappear. On the other hand, the SF 6 gas and the O 2 gas, which are the second process gases, begin to be introduced into the chamber 2, and the flow rates thereof continue to increase toward the set value. Thereby, SF 6 plasma which is the second plasma starts to be generated. As a result, C 4 F 8 plasma is replaced with SF 6 plasma inside the chamber 2. At this time, the pressure in the chamber 2 is maintained at 5 Pa, for example.
そして、このとき、プラズマ発光強度測定器15により、プラズマの発光の状態を検出する。例えば、プラズマの発光の強度及び波長を測定する。これにより、C4F8プラズマからSF6プラズマへの置換の進行を、プラズマ発光強度測定器15によってモニターする。具体的には、チャンバー2内のプラズマの発光について、紫外、可視及び近赤外の領域、例えば、波長が200乃至1500nm(ナノメートル)の領域で発光スペクトルを検出する。これにより、C4F8プラズマの密度及びSF6プラズマの密度を測定し、この測定結果に基づいて、置換の状態を把握する。例えば、C4F8プラズマの密度が基準値以下となったときに、置換が完了したと判断し、ステップE1を終了する。なお、この基準値は、後述するステップE2及びE3において、SF6プラズマによってシリコン基板21をエッチングする際に、C4F8プラズマが実用上問題となる程度の影響を与えないような値とする。例えば、プラズマ発光強度測定器15の検出下限値としてもよい。 At this time, the plasma emission intensity measuring device 15 detects the state of plasma emission. For example, the intensity and wavelength of plasma emission are measured. Thereby, the progress of the substitution from the C 4 F 8 plasma to the SF 6 plasma is monitored by the plasma emission intensity measuring device 15. Specifically, the emission spectrum of the plasma emission in the chamber 2 is detected in the ultraviolet, visible, and near infrared regions, for example, in the region having a wavelength of 200 to 1500 nm (nanometers). As a result, the density of the C 4 F 8 plasma and the density of the SF 6 plasma are measured, and the state of substitution is grasped based on the measurement result. For example, when the density of the C 4 F 8 plasma becomes equal to or lower than the reference value, it is determined that the replacement is completed, and Step E 1 is terminated. Note that this reference value is a value that does not affect C 4 F 8 plasma to a practical level when etching the silicon substrate 21 with SF 6 plasma in steps E 2 and E 3 described later. And For example, the detection lower limit value of the plasma emission intensity measuring device 15 may be used.
そして、C4F8プラズマの密度が基準値以下となった時点で、ステップE1からステップE2に移行し、バイアス電力を印加する。すなわち、RF電源14によってバイアス電極13に高周波電力を印加する。このときのバイアス電力の大きさは、例えば80Wとする。また、チャンバー2内の圧力は、例えば13Paとする。これにより、チャンバー2内に、C4F8プラズマが実質的に混入していない略純粋なSF6プラズマが形成され、このSF6プラズマに高いバイアス電力をかけることにより、試料20が異方的にエッチングされる。このステップE2を、例えば0.1乃至1秒間継続する。これにより、図2(c)に示すように、試料20に形成された保護膜24のうち、凹部23aの底面上の部分のみが選択的に除去される。 Then, when the density of the C 4 F 8 plasma becomes equal to or less than the reference value, the process proceeds from step E 1 to step E 2 and bias power is applied. That is, high frequency power is applied to the bias electrode 13 by the RF power source 14. The magnitude of the bias power at this time is 80 W, for example. The pressure in the chamber 2 is set to 13 Pa, for example. As a result, a substantially pure SF 6 plasma in which C 4 F 8 plasma is not substantially mixed is formed in the chamber 2, and the sample 20 is anisotropic by applying a high bias power to the SF 6 plasma. Is etched. This step E 2, continues for example 0.1 to 1 second. Thereby, as shown in FIG.2 (c), only the part on the bottom face of the recessed part 23a is selectively removed among the protective films 24 formed in the sample 20. FIG.
次に、ステップE3に示すように、バイアス電力を80Wから65Wに変更すると共に、SF6ガスの流量の設定値を750sccmから700sccmに変更し、O2ガスの流量の設定値を75sccmから65sccmに変更する。なお、圧力は13Paを維持する。このステップE3を、例えば0.5乃至3秒間持続する。これにより、試料20に対してSF6プラズマによるエッチングを施す。このとき、シリコン基板21の表面における凹部23a以外の領域はエッチングマスク22によって保護されており、凹部23aの側面は保護膜24によって保護されているため、凹部23aの底面のみが選択的にエッチングされる。この結果、図2(d)に示すように、凹部23aの下方に凹部23bが形成される。 Next, as shown in step E 3 , the bias power is changed from 80 W to 65 W, the SF 6 gas flow rate setting value is changed from 750 sccm to 700 sccm, and the O 2 gas flow rate setting value is changed from 75 sccm to 65 sccm. Change to The pressure is maintained at 13 Pa. This step E 3, lasting for example 0.5-3 seconds. As a result, the sample 20 is etched by SF 6 plasma. At this time, since the region other than the recess 23a on the surface of the silicon substrate 21 is protected by the etching mask 22 and the side surface of the recess 23a is protected by the protective film 24, only the bottom surface of the recess 23a is selectively etched. The As a result, as shown in FIG. 2D, a recess 23b is formed below the recess 23a.
次に、ステップE4に示すように、バイアス電力を0Wとし、SF6ガス及びO2ガスの供給を停止すると共に、排気バルブ10を全開とする。これにより、エッチングの進行が停止され、チャンバー2内からSF6ガス及びO2ガスが排出され始める。これにより、SF6プラズマが消失し始める。一方、次のパッシベーション工程Pのために、C4F8ガスの流量を500sccmに設定するが、上述の如く、ガスの流量を設定してから実際に設定値に達するまでには時間がかかるため、ステップE4においてはC4F8ガスはチャンバー2内に導入されていないか、導入されていてもその流量は設定値未満である。このステップE4を、例えば0.1乃至0.5秒間継続する。このとき、チャンバー2内の圧力は例えば5Pa以下、例えば5Paとなる。 Next, as shown in step E 4, the bias power and 0 W, stops the supply of the SF 6 gas and O 2 gas, the exhaust valve 10 is fully opened. As a result, the progress of etching is stopped, and SF 6 gas and O 2 gas begin to be discharged from the chamber 2. Thereby, the SF 6 plasma starts to disappear. On the other hand, the flow rate of C 4 F 8 gas is set to 500 sccm for the next passivation step P, but it takes time to reach the set value after setting the gas flow rate as described above. , C 4 F 8 gas in step E 4 is either not introduced into the chamber 2, the flow rate be introduced is less than the set value. This step E 4, continues for example 0.1 to 0.5 seconds. At this time, the pressure in the chamber 2 is, for example, 5 Pa or less, for example, 5 Pa.
以後、上述のパッシベーション工程Pとエッチング工程Eとを交互に繰り返す。これにより、保護膜の形成とエッチングとを交互に繰り返し、シリコン基板21に対するエッチングを凹部23bの直下に向けて段階的に進行させ、シリコン基板21に深堀加工を施すことができる。この結果、シリコン基板21に深いトレンチが形成された微細構造体を形成することができる。微細構造体は例えば半導体装置であってもよく、MEMSであってもよい。 Thereafter, the above-described passivation process P and etching process E are alternately repeated. Thereby, the formation and etching of the protective film are alternately repeated, and the etching of the silicon substrate 21 is advanced stepwise directly below the recess 23b, so that the silicon substrate 21 can be deeply drilled. As a result, a fine structure in which a deep trench is formed in the silicon substrate 21 can be formed. The fine structure may be, for example, a semiconductor device or a MEMS.
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態においては、図3に示すように、エッチング工程EにおいてステップE1を設けている。ステップE1においては、チャンバー2内のプラズマの状態を監視しながら排気を行い、C4F8プラズマからSF6プラズマへの置換の終点を判断している。すなわち、チャンバー2内におけるC4F8プラズマの密度を測定しながら、C4F8プラズマの密度が基準値以下になるまでC4F8ガスを排出し、この密度が基準値以下になってから、ステップE2に移行し、バイアス電力の印加を開始している。
Next, the effect of this embodiment will be described.
In the present embodiment, as shown in FIG. 3, Step E 1 is provided in the etching step E. In step E 1, it was evacuated while monitoring the plasma condition inside the chamber 2, and to determine the end point of the replacement of the SF 6 plasma from C 4 F 8 plasma. That is, while measuring the density of the C 4 F 8 plasma in the chamber 2, to discharge the C 4 F 8 gas to a density of C 4 F 8 plasma is below the reference value, the density becomes less than the reference value from the process proceeds to step E 2, it has started the application of bias power.
これにより、ステップE2に示すSF6プラズマを用いたエッチングにおいて、環境中にC4F8プラズマが混入することを防止でき、略純粋なSF6プラズマを使用することができる。このため、保護膜24が軟弱化することがなく、シリコン基板21に与えるダメージを抑制することができ、形成したトレンチの側面にささくれ等が発生することを防止できる。また、C4F8プラズマの排気ステップであるステップP2を過剰に長く設定する必要がなくなるため、加工効率を向上させることができる。このように、本実施形態によれば、加工効率が高く、加工精度が高いエッチング方法を実現することができ、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。 Thus, in etching using SF 6 plasma shown in step E 2, it is possible to prevent the C 4 F 8 plasma is mixed into the environment, it is possible to use a substantially pure SF 6 plasma. For this reason, the protective film 24 is not weakened, damage to the silicon substrate 21 can be suppressed, and it is possible to prevent the side surface of the formed trench from being raised. Moreover, C 4 F 8 plasma for Step P 2 needs to be set excessively long eliminated an exhaust step, it is possible to improve the processing efficiency. Thus, according to the present embodiment, an etching method with high processing efficiency and high processing accuracy can be realized, and a manufacturing method of a fine structure with high productivity and high processing accuracy can be realized. .
また、本実施形態においては、ステップP2において、チャンバー2に対するSF6ガス及びO2ガスの導入を開始し、ステップE1においても引き続きSF6ガス及びO2ガスを導入している。上述の如く、チャンバー内へのガスの導入は、流量を設定してから実際にその流量に達するまでにある程度の時間がかかるため、ステップP1において保護膜を形成した後、ステップP2においてC4F8ガスを排出しつつSF6ガス及びO2ガスの導入を開始することにより、ステップE2においては、SF6ガス及びO2ガスの流量を安定させた状態で、エッチングを開始することができる。これにより、ステップE2におけるエッチングが開始当初から安定する。 In the present embodiment, in step P 2, to start the introduction of the SF 6 gas and O 2 gas to the chamber 2, subsequently introduces a SF 6 gas and O 2 gases in step E 1. As described above, since the introduction of the gas into the chamber takes a certain amount of time from setting the flow rate to actually reaching the flow rate, after forming the protective film in Step P 1 , C in Step P 2 By starting the introduction of SF 6 gas and O 2 gas while discharging 4 F 8 gas, in step E 2 , the etching is started with the flow rates of SF 6 gas and O 2 gas stabilized. Can do. Accordingly, etching in the step E 2 is stable from the beginning.
なお、ステップP2においてはSF6ガス及びO2ガスの導入を開始せずに、ステップE1において開始してもよい。これにより、ステップE2の開始時点ではSF6ガス及びO2ガスの流量が安定しなくなる可能性はあるものの、ステップP2においてC4F8ガスを効率よく排出することができる。 Incidentally, without starting the introduction of the SF 6 gas and O 2 gas in step P 2, it may begin in step E 1. Thereby, although there is a possibility that the flow rates of the SF 6 gas and the O 2 gas are not stable at the start of Step E 2 , the C 4 F 8 gas can be efficiently discharged in Step P 2 .
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図4は、横軸に時間をとり、縦軸に図1に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。図4の表記方法は、図3と同様である。
図4に示すように、本実施形態は、前述の第1の実施形態と比較して、パッシベーション工程Pにおいて、保護膜の形成工程であるステップP1の前にステップP0が設けられている点、及び、ステップP1においてバイアス電力を印加している点が異なっている。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 4 is a timing chart illustrating the silicon substrate processing method according to this embodiment, with time on the horizontal axis and parameters representing the state of the plasma etching apparatus shown in FIG. 1 on the vertical axis. The notation method of FIG. 4 is the same as that of FIG.
As shown in FIG. 4, in the present embodiment, compared to the first embodiment described above, in the passivation process P, step P 0 is provided before step P 1 which is a protective film forming process. point, and the point the application of the bias power is different in step P 1.
ステップP0においては、エッチング工程EのステップE1と同様に、プラズマの状態を監視しながら、それより前の工程で使用したプロセスガスを排出する。具体的には、チャンバー2内におけるプラズマ発光の強度及び波長を検出することにより、エッチング工程Eにおいて使用したSF6プラズマの密度を測定し、この密度が基準値以下となるまで、SF6ガス及びO2ガスを排出する。そして、SF6プラズマの密度が基準値以下となった時点で、ステップP0からステップP1に移行し、バイアス電力の印加を開始する。なお、この基準値は、ステップE1において使用したC4F8プラズマの下限値とは独立に設定し、C4F8プラズマによって保護膜24を形成する際に、SF6プラズマが実用上問題となる程度の影響を与えないような値とする。例えば、プラズマ発光強度測定器15の検出下限値としてもよい。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。すなわち、本実施形態においても、図1に示すプラズマエッチング装置1を使用して、図2に示す試料20に対して深堀加工を施す。 In Step P 0 , as in Step E 1 of the etching process E, the process gas used in the previous process is discharged while monitoring the plasma state. Specifically, the density of the SF 6 plasma used in the etching process E is measured by detecting the intensity and wavelength of the plasma emission in the chamber 2, and the SF 6 gas and O 2 gas is discharged. Then, when the density of the SF 6 plasma becomes equal to or lower than the reference value, the process proceeds from step P 0 to step P 1 and application of bias power is started. This reference value is set independently of the lower limit value of the C 4 F 8 plasma used in Step E 1 , and when the protective film 24 is formed by the C 4 F 8 plasma, the SF 6 plasma is a practical problem. The value is set so as not to affect the degree to which For example, the detection lower limit value of the plasma emission intensity measuring device 15 may be used. Other configurations in the present embodiment are the same as those in the first embodiment. That is, also in this embodiment, the deep etching is performed on the sample 20 shown in FIG. 2 using the plasma etching apparatus 1 shown in FIG.
本実施形態においては、パッシベーション工程Pにおいてバイアス電力を印加する場合に、雰囲気中からSF6プラズマが実際上問題が生じない程度まで除去されたことを確認した後で、バイアス電力の印加を開始することができる。これにより、略純粋なC4F8プラズマにより保護膜24(図2(b)参照)を形成することができるため、保護膜24の膜質を安定させることができる。また、SF6プラズマの排気ステップであるステップE4を必要以上に長く設定する必要がなく、加工効率を向上させることができる。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第1の実施形態と同様である。 In the present embodiment, when applying bias power in the passivation process P, it is confirmed that SF 6 plasma has been removed from the atmosphere to such an extent that no practical problem occurs, and then application of bias power is started. be able to. As a result, the protective film 24 (see FIG. 2B) can be formed with substantially pure C 4 F 8 plasma, so that the film quality of the protective film 24 can be stabilized. Further, SF 6 long it is not necessary to set the step E 4 more than necessary is a plasma discharge step, it is possible to improve the processing efficiency. The effects of the present embodiment other than those described above are the same as those of the first embodiment described above.
なお、前述の第1及び第2の実施形態においては、プラズマ監視ステップであるステップE1及びP0においても、コイル11に対して他のステップと同じソース電力、例えば、2500Wのソース電力を印加しているが、ステップE1及びP0においてはソース電力を弱くしてもよい。すなわち、ステップE1及びP0では、プラズマの発光がモニター可能な範囲で可及的に弱いソース電力を印加しておき、プラズマの置換が完了したことを確認した後、ステップE2及びP1において、所定のエッチング又はパッシベーションが可能となるように、ソース電力を増加させてもよい。 In the first and second embodiments described above, also in steps E 1 and P 0 that are plasma monitoring steps, the same source power as that in other steps, for example, a source power of 2500 W, is applied to the coil 11. However, the source power may be weakened in steps E 1 and P 0 . That is, in steps E 1 and P 0 , source power as weak as possible is applied in a range where plasma emission can be monitored, and after confirming that the plasma replacement is completed, steps E 2 and P 1 are performed. The source power may be increased so that a predetermined etching or passivation is possible.
また、ステップE1及びP0においては、前工程で使用したプラズマの残存量を測定するだけでなく、次工程で使用するプラズマの導入量も併せて測定してもよい。例えば、ステップE1において、C4F8プラズマの密度と共にSF6プラズマの密度を測定し、C4F8プラズマの密度が基準値以下となると共にSF6プラズマの密度が他の基準値以上となったときに、プラズマの置換が終了したと判定してもよい。これにより、プラズマの状態をより正確に把握することができる。 In steps E 1 and P 0 , not only the residual amount of plasma used in the previous process but also the introduction amount of plasma used in the next process may be measured. For example, in step E 1, C 4 F 8 plasma density with the measured density of SF 6 plasma, C 4 F 8 along with the plasma density is equal to or less than a reference value SF 6 plasma density of other reference values than the When it becomes, it may be determined that the plasma replacement is completed. Thereby, the state of plasma can be grasped more accurately.
更に、前述の第1及び第2の実施形態においては、チャンバー2の内部にプラズマ発光強度測定器15を配置する例を示したが、本発明はこれに限定されず、プラズマ発光強度測定器のうち、チャンバー2の内部には測定端子のみが配置され、本体はチャンバー2の外部に配置されていてもよく、又は、全体がチャンバー2の外部に設けられており、チャンバー2に設けられた窓を介してプラズマの発光をモニターしてもよい。 Furthermore, in the first and second embodiments described above, the example in which the plasma emission intensity measuring device 15 is disposed inside the chamber 2 has been shown, but the present invention is not limited to this, and the plasma emission intensity measuring device is not limited to this. Of these, only the measurement terminal may be arranged inside the chamber 2, and the main body may be arranged outside the chamber 2, or the whole is provided outside the chamber 2, and the window provided in the chamber 2 Plasma emission may be monitored via
(第3の実施の形態)
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。
図5は、横軸に時間をとり、縦軸に図1に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。図5の表記方法は、図3と同様である。
本実施形態は、前述の第2の実施形態と比較して、プラズマエッチング装置にプラズマ発光強度測定器15(図1参照)が設けられておらず、チャンバー2内の圧力によってプラズマの状態を監視する点が異なっている。このため、図5に示すように、本実施形態においては、ステップE4及びP0においてC4F8ガスを導入せず、ステップP2及びE1においてSF6ガス及びO2ガスを導入しない。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 5 is a timing chart illustrating the silicon substrate processing method according to this embodiment, with time on the horizontal axis and parameters representing the state of the plasma etching apparatus shown in FIG. 1 on the vertical axis. The notation in FIG. 5 is the same as that in FIG.
Compared with the second embodiment described above, the present embodiment is not provided with the plasma emission intensity measuring device 15 (see FIG. 1) in the plasma etching apparatus, and the plasma state is monitored by the pressure in the chamber 2. Is different. Therefore, as shown in FIG. 5, in the present embodiment, without introducing C 4 F 8 gas in step E 4 and P 0, not introducing SF 6 gas and O 2 gas in step P 2 and E 1 .
本実施形態においては、ステップE1においてC4F8プラズマが所定のレベルまで消失したことを確認した後、ステップE2に移行し、SF6ガス及びO2ガスを導入する。また、ステップP0においてSF6プラズマが所定のレベルまで消失したことを確認した後、ステップP1に移行し、C4F8ガスを導入する。 In this embodiment, after confirming that the C 4 F 8 plasma has disappeared to a predetermined level in step E 1 , the process proceeds to step E 2 , and SF 6 gas and O 2 gas are introduced. Further, after confirming that the SF 6 plasma has disappeared to a predetermined level in Step P 0 , the process proceeds to Step P 1 , and C 4 F 8 gas is introduced.
本実施形態によれば、プラズマエッチング装置にプラズマ発光強度測定器を設ける必要がないため、既存のプラズマエッチング装置をそのまま使用することができる。本実施形態における上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第2の実施形態と同様である。なお、本実施形態においては、前述の第1の実施形態と同様に、C4F8プラズマの排出状態のみを監視してもよい。 According to this embodiment, since it is not necessary to provide a plasma emission intensity measuring device in the plasma etching apparatus, the existing plasma etching apparatus can be used as it is. Configurations, operations, and effects other than those described above in the present embodiment are the same as those in the second embodiment described above. In the present embodiment, only the discharge state of the C 4 F 8 plasma may be monitored as in the first embodiment described above.
(第4の実施の形態)
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。
図6は、本実施形態において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
図6に示すように、本実施形態においては、プラズマエッチング装置16として、質量分析器17を設けた装置を使用する。質量分析器17はチャンバー2内に連通されている。本実施形態においては、図3に示すステップE1において、チャンバー2内に存在するプラズマを電気的・磁気的な作用などにより質量電荷比に応じて分離し、その後検出することにより、プラズマに含まれる炭素を定量分析して、C4F8プラズマの密度を測定する。本実施形態における上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。なお、本実施形態においても、前述の第2の実施形態と同様に、パッシベーション工程PにステップP0を設け、SF6プラズマの密度を測定してもよい。この場合、質量分析器17により、例えば硫黄を定量分析する。
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a plasma etching apparatus used in this embodiment.
As shown in FIG. 6, in the present embodiment, an apparatus provided with a mass analyzer 17 is used as the plasma etching apparatus 16. The mass analyzer 17 is in communication with the chamber 2. In the present embodiment, in step E 1 shown in FIG. 3, and separated according to mass-to-charge ratio due to electrical and magnetic action of the plasma present in the chamber 2, by subsequently detecting, contained in the plasma The carbon content is quantitatively analyzed to determine the density of the C 4 F 8 plasma. Other configurations, operations, and effects of the present embodiment are the same as those of the first embodiment. Also in this embodiment, similarly to the second embodiment described above, step P 0 may be provided in the passivation process P, and the density of SF 6 plasma may be measured. In this case, for example, sulfur is quantitatively analyzed by the mass analyzer 17.
なお、本実施形態において、質量分析器17の配設態様は図6に示す例には限定されない。一般に、プラズマの密度は、同一のチャンバー内においても中央部と側壁部とでは異なっているため、最適な位置からプラズマを採取して分析することが好ましい。
例えば、質量分析器17からチューブをチャンバー2の中央部まで引き出し、このチューブを介して、チャンバー2の中央部又は試料の近傍から分析用のプラズマを採取してもよい。このとき、チューブはチャンバー2と同じ材料、例えば、アルミニウムにより形成する。これにより、チャンバー2の中央部のプラズマ密度を測定することができる。
また、質量分析器17からチャンバー2の内部に向けて複数本のプローブを引き出してもよい。これらのプローブの内部を中空とし、表面に多数の微細孔を形成しておけば、チャンバー2の多数の位置からプラズマを採取して、分析することができる。
更に、このように、チャンバー2内の複数の位置に検出ポイントを設置しておき、複数の位置のプラズマ密度が全て基準値以下となったときに、初めてステップE1からステップE2に進むようにしてもよい。これにより、エッチング工程及び保護膜形成工程において、プラズマの均一性を向上させることができる。そして、プラズマの均一性を向上させることにより、加工の均一性を向上させることができる。例えば、半導体装置を作製する場合には、ウェーハの面内均一性を向上させることができる。
In the present embodiment, the arrangement of the mass analyzer 17 is not limited to the example shown in FIG. In general, since the density of the plasma is different between the central portion and the side wall portion even in the same chamber, it is preferable to collect and analyze the plasma from an optimal position.
For example, a tube may be drawn from the mass analyzer 17 to the center of the chamber 2 and the plasma for analysis may be collected from the center of the chamber 2 or the vicinity of the sample via this tube. At this time, the tube is formed of the same material as the chamber 2, for example, aluminum. Thereby, the plasma density of the center part of the chamber 2 can be measured.
Further, a plurality of probes may be drawn from the mass analyzer 17 toward the inside of the chamber 2. If the inside of these probes is hollow and a large number of micropores are formed on the surface, plasma can be collected from a large number of positions in the chamber 2 and analyzed.
Furthermore, detection points may be set at a plurality of positions in the chamber 2 as described above, and when the plasma density at the plurality of positions is all below the reference value, the process may proceed from step E1 to step E2 for the first time. . Thereby, the uniformity of plasma can be improved in an etching process and a protective film formation process. And the uniformity of a process can be improved by improving the uniformity of plasma. For example, when a semiconductor device is manufactured, in-plane uniformity of the wafer can be improved.
(第5の実施の形態)
次に、第5の実施の形態について説明する。
図7は、本発明の第5の実施形態に係る微細構造体の製造方法を例示するフローチャート図である。
図7に表したように、本発明の第5の実施形態に係る微細構造体の製造方法では、例えば、図1に例示したプラズマエッチング装置1のバイアス電極13の上部に所定のエッチングマスク22を有する基板21を設置した後、最初のエッチングを行う(ステップS110)。すなわち、図3〜図5の左側の「E」で示された工程を行う。これにより、図2(b)に例示した凹部23aが形成される。
次に、保護膜を形成する(ステップS120)。すなわち、図3〜図5の左側の「P」で示された工程を行う。これにより、図2(b)に例示した保護膜24が、凹部23aの内部及び基板全面に形成される。
(Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment will be described.
FIG. 7 is a flowchart illustrating the method for manufacturing a microstructure according to the fifth embodiment of the invention.
As shown in FIG. 7, in the method for manufacturing a microstructure according to the fifth embodiment of the present invention, for example, a predetermined etching mask 22 is formed on the bias electrode 13 of the plasma etching apparatus 1 illustrated in FIG. After installing the substrate 21 having the first etching, the first etching is performed (step S110). That is, the process indicated by “E” on the left side of FIGS. Thereby, the recess 23a illustrated in FIG. 2B is formed.
Next, a protective film is formed (step S120). That is, the process indicated by “P” on the left side of FIGS. Thereby, the protective film 24 illustrated in FIG. 2B is formed in the recess 23a and on the entire surface of the substrate.
次に、第1のエッチングを行う(ステップS130)。すなわち、図3〜図4の右側の「E」で示された工程中のE2の工程を行う。すなわち、高バイアス電力を用いてエッチングを行う。例えば、バイアス電力として80Wが用いられる。これにより、図2(c)に例示したように、試料20に形成された保護膜24のうち、凹部23aの底面上の部分のみが選択的に除去される。 Next, first etching is performed (step S130). That is, the process E 2 in the process indicated by “E” on the right side of FIGS. That is, etching is performed using high bias power. For example, 80 W is used as the bias power. Thereby, as illustrated in FIG. 2C, only the portion on the bottom surface of the recess 23 a is selectively removed from the protective film 24 formed on the sample 20.
次に、第2のエッチングを行う(ステップS140)。すなわち、図3〜図4の右側の「E」で示された工程中のE3の工程を行う。すなわち、低バイアス電力を用いてエッチングを行う。例えば、バイアス電力として65Wが用いられる。この時、凹部23aの側面は保護膜24によって保護されており、凹部23aの底面のみが選択的にエッチングされ、図2(d)に表したように、凹部23aの下方に凹部23bが形成される。 Next, second etching is performed (step S140). That is, a step of E 3 in the process indicated by "E" in the right side of FIGS. 3-4. That is, etching is performed using low bias power. For example, 65 W is used as the bias power. At this time, the side surface of the recess 23a is protected by the protective film 24, and only the bottom surface of the recess 23a is selectively etched to form a recess 23b below the recess 23a as shown in FIG. The
そして、上記のステップS120〜ステップS140を繰り返す。すなわち、保護膜の形成とエッチングとを交互に繰り返し、シリコン基板21に対するエッチングを凹部23bの直下に向けて段階的に進行させ、シリコン基板21に深堀加工を施すことができる。
これにより、凹部の側壁にダメージを実質的に与えること無く、基板21に深いトレンチを形成することができる
なお、上記のステップS110〜S140における装置条件やプロセス条件は、図3〜図5について説明した条件を用いることができる。また、本実施形態において、図3〜図5に例示した、P0、P1、P2、E1、E4の工程を実施しても良い。
And said step S120-step S140 are repeated. That is, the formation of the protective film and the etching are alternately repeated, and the etching of the silicon substrate 21 is advanced stepwise directly below the recess 23b, so that the silicon substrate 21 can be deeply drilled.
Thereby, a deep trench can be formed in the substrate 21 without substantially damaging the side wall of the recess.
In addition, the apparatus conditions and process conditions in said step S110-S140 can use the conditions demonstrated about FIGS. Further, in this embodiment, illustrated in FIGS. 3 to 5, P 0, P 1, P 2, E 1, it may be performed E 4 steps.
図8は、本発明の第5の実施形態に係る微細構造体の製造方法と比較例の製造方法による加工特性を例示する模式図及び写真図である。
図8(a)、(c)は、それぞれ、本実施形態と比較例を用いて形成されたトレンチの加工状態を例示する模式図である。また、図8(b)、(d)は、それぞれ、図8(a)、(c)のA−A線、B−B線方向を紙面に垂直とした方向から観察した走査型電子顕微鏡写真図である。
本実施形態のエッチング工程では、最初に高バイアス電力として80Wを用い(ステップS130)、その後、低バイアス電力として65Wを用いた(ステップS140)。そして、比較例のエッチング工程では、低バイアス電力の状態が無く、常時、高バイアス電力の80Wが用いられ、それ以外の条件は、本実施形態と同様である。
FIG. 8 is a schematic view and a photograph illustrating the processing characteristics of the microstructure manufacturing method according to the fifth embodiment of the present invention and the comparative manufacturing method.
FIGS. 8A and 8C are schematic views illustrating the processing states of the trenches formed using this embodiment and the comparative example, respectively. FIGS. 8B and 8D are scanning electron micrographs observed from the direction in which the directions of lines AA and BB in FIGS. 8A and 8C are perpendicular to the paper surface, respectively. FIG.
In the etching process of this embodiment, 80 W was first used as the high bias power (step S130), and then 65 W was used as the low bias power (step S140). In the etching process of the comparative example, there is no state of low bias power, 80 W of high bias power is always used, and other conditions are the same as in this embodiment.
図8(a)、(c)に表したように、エッチングマスク22が設けられた基板21にエッチング加工を施し、トレンチ50が形成されている。
図8(c)、(d)に表したように、比較例の場合、トレンチ50の側壁部51に深さ方向に略平行な線状の傷が多数生じている。
これに対し、図8(a)、(b)に表したように、本実施形態の方法により加工されたトレンチ50には、傷は無く、エッチングによる側壁部51のダメージは無い。
As shown in FIGS. 8A and 8C, the substrate 21 provided with the etching mask 22 is etched to form a trench 50.
As shown in FIGS. 8C and 8D, in the case of the comparative example, a large number of linear scratches substantially parallel to the depth direction are generated on the side wall portion 51 of the trench 50.
On the other hand, as shown in FIGS. 8A and 8B, the trench 50 processed by the method of the present embodiment is not damaged and the side wall 51 is not damaged by etching.
すなわち、本実施形態においては、高バイアス電力を用い凹部23aの底面上の部分の保護膜24を選択的に除去している(ステップS130)。この時、高バイアス電力による高イオンエネルギーのイオン粒子は、基板21の上部から比較的直進性良く凹部23aに入射する。また、この高バイアス電力のエッチングは、凹部23aの底面の保護膜24を除去するだけの短い時間で行うことができる。従って、エッチング作用を持つイオン粒子は凹部23aの底面のみに作用し、凹部23aの側壁部51には実質的に影響を与えない。そして、その後、低バイアス電力を用いて、保護膜24から露出した凹部23aの底面の基板21をエッチングする。その時、バイアス電力が低いので、イオン粒子は側壁部51の保護膜24によって遮断され、側壁部51には実質的に影響を与えない。これに対し、比較例の場合は、凹部23aの底面が露出した後も高バイアス電力のままなので、側壁部51の保護膜24による遮蔽が不完全となり、このため、側壁部51に深さ方向に略平行な線状の傷が発生したと考えられる。 That is, in this embodiment, the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a is selectively removed using high bias power (step S130). At this time, ion particles with high ion energy by high bias power are incident on the recess 23a from the upper part of the substrate 21 with relatively straightness. Further, the etching with the high bias power can be performed in a short time that only the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a is removed. Accordingly, the ion particles having an etching action act only on the bottom surface of the recess 23a and do not substantially affect the side wall 51 of the recess 23a. Then, the substrate 21 on the bottom surface of the recess 23a exposed from the protective film 24 is etched using low bias power. At this time, since the bias power is low, the ion particles are blocked by the protective film 24 on the side wall 51 and do not substantially affect the side wall 51. On the other hand, in the case of the comparative example, since the high bias power remains after the bottom surface of the recess 23a is exposed, the side wall 51 is not completely shielded by the protective film 24. It is thought that a linear scratch substantially parallel to
このように、本実施形態においては、高バイアス電力による第1のエッチング工程とその後の低バイアス電力による第2のエッチング工程を組み合わせることで、側壁部51に実質的にダメージを与えないで、基板21に深いトレンチが形成された微細構造体を形成することができる。 As described above, in the present embodiment, the first etching process with high bias power and the subsequent second etching process with low bias power are combined, so that the side wall 51 is not substantially damaged and the substrate is not damaged. A fine structure in which a deep trench is formed in 21 can be formed.
(実施例)
以下、本実施形態の実施例について説明する。
本実施例の微細構造の製造方法では、図1に例示したプラズマエッチング装置1が用いられる。
(Example)
Hereinafter, examples of the present embodiment will be described.
In the fine structure manufacturing method of this embodiment, the plasma etching apparatus 1 illustrated in FIG. 1 is used.
所定のエッチングマスク22を有する基板21をバイアス電極13の上部に設置し、以下の保護膜形成とエッチング条件により、保護膜形成(ステップS120)とエッチング(ステップS130〜ステップS140)を繰り返してトレンチを形成した。
この時、保護膜形成工程では、ソース電力(コイル11への供給高周波電力)を2500W、C4F8ガスの圧力を50mtorr、バイアス電極13への印加電力を0Wに設定し、時間は2秒とした。
そして、エッチング工程では、ソース電力を2500W、SF6ガス流量を750sccm、SF6ガス圧力を90mTorrに設定した。そして、高バイアス電力の第1のエッチング工程(ステップS130)と低バイアス電力の第2の工程(ステップS140)の合計の時間を一定(3秒)とし、それぞれの時間を変えてエッチングを行った。すなわち、バイアス電極13に印加する電力を、t秒間、100Wに設定し(ステップS130)、その後、(3−t)秒間、50Wに設定して(ステップS140)、エッチングを行った。
上記の条件により、基板21のエッチングを行い、トレンチ50を形成し、トレンチの側壁部51に発生した側壁荒れの量を評価した。この際、形成されたトレンチの側壁部51の表面の凹凸を原子力間顕微鏡(AFM: Atomic Force Microscope)により測定し、この結果から算術平均粗さRaを求め、これを側壁荒れ量の指標とした。
A substrate 21 having a predetermined etching mask 22 is placed on top of the bias electrode 13, and the protective film formation (step S120) and etching (steps S130 to S140) are repeated under the following protective film formation and etching conditions to form trenches. Formed.
At this time, in the protective film forming step, the source power (high-frequency power supplied to the coil 11) is set to 2500 W, the pressure of the C 4 F 8 gas is set to 50 mtorr, the applied power to the bias electrode 13 is set to 0 W, and the time is 2 seconds. It was.
Then, in the etching process, and set the source power 2500W, the SF 6 gas flow rate 750 sccm, the SF 6 gas pressure to 90 mTorr. Then, the total time of the first etching step with high bias power (step S130) and the second step with low bias power (step S140) was made constant (3 seconds), and etching was performed by changing each time. . That is, the power applied to the bias electrode 13 was set to 100 W for t seconds (step S130), and then set to 50 W for (3-t) seconds (step S140), and etching was performed.
Under the above-mentioned conditions, the substrate 21 was etched to form the trench 50, and the amount of side wall roughness generated in the side wall portion 51 of the trench was evaluated. At this time, the unevenness of the surface of the side wall 51 of the formed trench was measured with an atomic force microscope (AFM), and the arithmetic average roughness Ra was obtained from this result, which was used as an index of the side wall roughness. .
図9は、本発明の第5の実施形態に係る微細構造体の製造方法の加工特性を例示するグラフ図である。
図9において、横軸は、高バイアス電力(100W)時の時間t、縦軸は、側壁荒れ量Raを示している。図9に表したように、高バイアス電力(100W)の時間tが0.5秒以下の場合は、側壁荒れ量Raは、10nm以下の値を示しているが、tが1秒以上の場合は、側壁荒れ量Raが50nm以上の大きな値を示している。
FIG. 9 is a graph illustrating the processing characteristics of the microstructure manufacturing method according to the fifth embodiment of the invention.
In FIG. 9, the horizontal axis represents time t at high bias power (100 W), and the vertical axis represents the side wall roughness Ra. As shown in FIG. 9, when the time t of the high bias power (100 W) is 0.5 seconds or less, the side wall roughness Ra is 10 nm or less, but when t is 1 second or more. Indicates a large value of the side wall roughness Ra of 50 nm or more.
図10は、本発明の第5の実施形態に係る微細構造体の製造方法の加工特性を例示するグラフ図である。
図10において、横軸は、高バイアス電力(100W)時の時間t、縦軸は、エッチング速度を表している。図10に表したように、高バイアス電力(100W)の時間tが、0.3秒以下の場合はエッチング速度は小さい値を示すが、0.4秒以上では5μm/min以上の大きい値を示す。
FIG. 10 is a graph illustrating the processing characteristics of the microstructure manufacturing method according to the fifth embodiment of the invention.
In FIG. 10, the horizontal axis represents time t at high bias power (100 W), and the vertical axis represents the etching rate. As shown in FIG. 10, when the time t of the high bias power (100 W) is 0.3 seconds or less, the etching rate shows a small value, but when the time t is 0.4 seconds or more, a large value of 5 μm / min or more is shown. Show.
図9及び図10を基に、高バイアス電力(100W)の時間tを0.5秒とし、それ以降を低バイアス電力(50W)に設定した。これにより、エッチング速度を5μm/min以上の高速に保ちつつ、側壁荒れ量Raの少ないシリコンエッチングを実現することができた。
すなわち、エッチング工程(ステップS130〜ステップS140)の初期に100Wの高バイアス電力に設定することで、凹部23aの底部の保護膜24を除去でき、その後、50Wの低バイアス電力にすることで、イオンエネルギーを低くすることができ、側壁部51の荒れを減少させることが可能となり、かつシリコンエッチングはラジカルが主体となって反応が進むため、エッチング速度はあまり低下させることなく、高速でシリコンエッチングが実現できた、と考えられる。
なお、高バイアス電力(100W)の時間tが0.3秒以下の場合は、この間に凹部23aの底部の保護膜24が十分除去されていないため、その後の低バイアス電力(50W)の電力によって底部の堆積膜を除去することとなり、図10に表したように、エッチング速度が低下してしまう。
Based on FIGS. 9 and 10, the time t of the high bias power (100 W) was set to 0.5 seconds, and the subsequent time was set to the low bias power (50 W). As a result, it was possible to realize silicon etching with a small amount of side wall roughness Ra while maintaining the etching rate at a high speed of 5 μm / min or more.
That is, by setting the high bias power of 100 W at the initial stage of the etching process (steps S130 to S140), the protective film 24 at the bottom of the concave portion 23a can be removed, and then the low bias power of 50 W is used. The energy can be lowered, the roughness of the side wall 51 can be reduced, and since the reaction proceeds mainly with radicals in silicon etching, the etching rate does not decrease so much, and the silicon etching can be performed at high speed. It is thought that it was realized.
When the time t of the high bias power (100 W) is 0.3 seconds or less, the protective film 24 at the bottom of the recess 23a is not sufficiently removed during this time, and therefore the power of the subsequent low bias power (50 W) The deposited film at the bottom is removed, and the etching rate decreases as shown in FIG.
(第6の実施の形態)
次に、第6の実施の形態について説明する。
第6の実施形態に係る微細構造体の製造方法は、図7に例示した製造方法に加え、凹部23aの底面の保護膜の除去をモニターする工程を更に備えている。
図11は、本発明の第6の実施形態に係る微細構造体の製造方法を例示するフローチャート図である。
図11に表したように、本発明の第6の実施形態に係る微細構造体の製造方法においては、最初のエッチング(ステップS110)、保護膜の形成(ステップS120)の後、高バイアス電力の第1のエッチングを行う(ステップS130)。
そして、第1のエッチング(ステップS130)の最中に、保護膜24のうち凹部23aの底面上の部分の除去を検出する(ステップS135)。なお、図11では、ステップS130の後にステップS135が描かれているが、ステップS135は、ステップS130の最中に行うことができる。
そして、その検出結果に基づいて、低バイアス電力の第2のエッチングを行う(ステップS140)。
このように、本実施形態の微細構造体の製造方法では、凹部23aの底面上の保護膜の除去状態を検出するので、各種の条件の変動により、保護膜24の膜厚が変化したり、保護膜24の除去速度が変化した場合でも、高バイアス電力から低バイアス電力への切替時間を正しく設定することが可能となる。
(Sixth embodiment)
Next, a sixth embodiment will be described.
The microstructure manufacturing method according to the sixth embodiment further includes a step of monitoring the removal of the protective film on the bottom surface of the recess 23a in addition to the manufacturing method illustrated in FIG.
FIG. 11 is a flowchart illustrating the method for manufacturing a microstructure according to the sixth embodiment of the invention.
As shown in FIG. 11, in the manufacturing method of the microstructure according to the sixth embodiment of the present invention, after the first etching (step S110) and the formation of the protective film (step S120), high bias power is applied. First etching is performed (step S130).
Then, during the first etching (step S130), the removal of the portion of the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a is detected (step S135). In FIG. 11, step S135 is depicted after step S130, but step S135 can be performed during step S130.
Then, based on the detection result, the second etching with low bias power is performed (step S140).
Thus, in the manufacturing method of the fine structure according to the present embodiment, since the removal state of the protective film on the bottom surface of the recess 23a is detected, the film thickness of the protective film 24 changes due to variations in various conditions, Even when the removal speed of the protective film 24 changes, it is possible to correctly set the switching time from the high bias power to the low bias power.
ステップS135における凹部23aの底面上の保護膜の除去の検出は、例えば、エッチング中に発生するシリコンの発光強度を測定することで行うことができる。 Detection of the removal of the protective film on the bottom surface of the recess 23a in step S135 can be performed, for example, by measuring the emission intensity of silicon generated during etching.
図12は、本発明の第6の実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
図12に表したように、本実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置61では、図1に例示したプラズマエッチング装置1に対して、発光分析器62が更に設けられている。発光分析器62は、チャンバー2に設置され、エッチング工程(ステップS130〜ステップS140)におけるシリコンの発光強度を測定する。すなわち、基板21のシリコンが保護膜24によって被覆されている時と、凹部23aの底面上の部分において、保護膜24が除去され、シリコンが露出した時に発生するシリコンに起因する発光強度の差をモニターする。
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view illustrating a plasma etching apparatus used in the method for manufacturing a microstructure according to the sixth embodiment of the invention.
As shown in FIG. 12, in the plasma etching apparatus 61 used in the method for manufacturing a microstructure according to the present embodiment, an emission analyzer 62 is further provided with respect to the plasma etching apparatus 1 illustrated in FIG. Yes. The emission analyzer 62 is installed in the chamber 2 and measures the emission intensity of silicon in the etching process (steps S130 to S140). That is, the difference in emission intensity due to silicon generated when the silicon of the substrate 21 is covered with the protective film 24 and when the protective film 24 is removed and the silicon is exposed in the portion on the bottom surface of the recess 23a. Monitor.
図13は、本発明の第6の実施形態に係る微細構造体の製造方法における特性を例示するグラフ図である。
本図は、第5の実施形態の実施例で説明した条件、すなわち、第1のエッチング工程のバイアス電力を100Wに設定し、第2のエッチング工程のバイアス電力を50Wに設定し、第1のエッチング工程の時間をt秒、第2のエッチング工程の時間を(3−t)秒とし、図11に例示した方法で試料20にエッチング加工を行い、その時のシリコン発光強度を求めた結果を表している。図13において、横軸は、高バイアス電力(100W)時の時間t、縦軸は、シリコン発光強度を示している。
図13に表したように、高バイアス電力(100W)の時間tが0.5秒を超えると、
シリコンの発光強度が高くなっている。これは、0.5秒付近の時間において凹部23aの底面上の保護膜24が除去され、その下のシリコンが露出し、シリコンがエッチングされ始めたことよると考えられる。
FIG. 13 is a graph illustrating characteristics in the method for manufacturing a fine structure according to the sixth embodiment of the invention.
In this figure, the conditions described in the example of the fifth embodiment, that is, the bias power of the first etching process is set to 100 W, the bias power of the second etching process is set to 50 W, and the first The time of the etching process is t seconds, the time of the second etching process is (3-t) seconds, the sample 20 is etched by the method illustrated in FIG. 11, and the silicon emission intensity at that time is obtained. ing. In FIG. 13, the horizontal axis represents time t at high bias power (100 W), and the vertical axis represents silicon emission intensity.
As shown in FIG. 13, when the time t of the high bias power (100 W) exceeds 0.5 seconds,
The emission intensity of silicon is high. This is considered to be because the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a was removed in a time of about 0.5 seconds, the silicon below it was exposed, and the silicon began to be etched.
このように、本実施形態の微細構造体の製造方法では、凹部23aの底面上の保護膜24の除去状態をシリコンの発光強度により検出し、これを、高バイアス電力の第1のエッチング工程(ステップS130)から低バイアス電力の第2のエッチング工程(ステップS140)への切替えのタイミングへフィードバックをかけることができ、その結果、各種の条件の変動により、保護膜24の膜厚が変化したり、保護膜24の除去速度が変化した場合でも、切替時間を正しく設定することが可能となる。これにより、より正確に、トレンチ側壁のダメージを低減し、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。 As described above, in the manufacturing method of the microstructure of the present embodiment, the removal state of the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a is detected by the light emission intensity of silicon, and this is detected in the first etching step ( Feedback can be applied to the timing of switching from the step S130) to the second etching step (step S140) with a low bias power. As a result, the film thickness of the protective film 24 changes due to variations in various conditions. Even when the removal rate of the protective film 24 changes, the switching time can be set correctly. As a result, it is possible to more accurately achieve a method for manufacturing a fine structure that reduces the damage on the trench side wall, has high productivity, and high processing accuracy.
なお、先に説明した、第1〜第4の実施の形態に係る微細構造体の製造方法と、第5〜第6の実施の形態に係る微細構造体の製造方法とは、同時に実施することができる。
例えば、第2〜第4の実施の形態で説明した、チャンバー内のプラズマの発光状態、チャンバー内の圧力、チャンバー内のプラズマ質量分析等によって、プラズマの密度の測定を行い、それに基づきガスの排気及び各種の処理の制御を行い、それと同時に、図7に例示した高バイアス電力の第1のエッチングと、低バイアス電力の第2のエッチングとを実施することができる。また、更に、これらと、図11に例示した凹部23aの底面上の保護膜24の除去のモニターと、を同時に行っても良い。
In addition, the manufacturing method of the microstructure according to the first to fourth embodiments described above and the manufacturing method of the microstructure according to the fifth to sixth embodiments should be performed simultaneously. Can do.
For example, the plasma density is measured by the plasma emission state in the chamber, the pressure in the chamber, the plasma mass spectrometry in the chamber, etc. described in the second to fourth embodiments, and the gas is exhausted based thereon. At the same time, the first etching with a high bias power and the second etching with a low bias power illustrated in FIG. 7 can be performed. Furthermore, these and the monitoring of the removal of the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a illustrated in FIG. 11 may be performed simultaneously.
(第7の実施の形態)
本発明の第7の実施形態では、第4の実施の形態で説明した、チャンバー内のプラズマの質量分析によってプラズマの密度の測定を行い、それと同時に、シリコン発光強度によって凹部の底面上の保護膜の除去のモニターを同時に行う例である。
図14は、本発明の第7の実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
図14に表したように、本実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置71では、図6に例示したプラズマエッチング装置16に対して、発光分析器62が更に設けられている。これにより、プラズマの密度の測定を、チャンバー内のプラズマの質量分析によって行うことができ、それと同時に、凹部の底面上の保護膜の除去をシリコン発光強度によってモニターすることができる。
これにより、より正確に、トレンチ側壁のダメージを軽減し、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。
(Seventh embodiment)
In the seventh embodiment of the present invention, the density of the plasma is measured by the mass spectrometry of the plasma in the chamber described in the fourth embodiment, and at the same time, the protective film on the bottom surface of the recess is measured by the silicon emission intensity. This is an example of simultaneously monitoring the removal of water.
FIG. 14 is a schematic cross-sectional view illustrating a plasma etching apparatus used in the microstructure manufacturing method according to the seventh embodiment of the invention.
As shown in FIG. 14, the plasma etching apparatus 71 used in the method for manufacturing a microstructure according to the present embodiment further includes an emission analyzer 62 compared to the plasma etching apparatus 16 illustrated in FIG. 6. Yes. Thereby, the density of the plasma can be measured by mass spectrometry of the plasma in the chamber, and at the same time, the removal of the protective film on the bottom surface of the recess can be monitored by the silicon emission intensity.
As a result, it is possible to more accurately reduce the damage on the sidewalls of the trench, realize a method for manufacturing a fine structure with high productivity and high processing accuracy.
また、上記では、トレンチの形成について説明したが、これに限らず、アスペクト比の高いコンタクトホール等など、断面のサイズに対して深さの深い各種の凹部の形成に応用できる。なお、本実施形態の微細構造体の製造方法は、例えば、シリコンパワーデバイス等の半導体装置、MEMS、磁気記録装置等の製造方法に応用することができる。 In the above description, the formation of the trench has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to the formation of various recesses having a depth greater than the cross-sectional size, such as a contact hole having a high aspect ratio. In addition, the manufacturing method of the fine structure according to the present embodiment can be applied to a manufacturing method of a semiconductor device such as a silicon power device, a MEMS, and a magnetic recording device, for example.
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、工程の追加、削除、変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。例えば、前述の各実施形態においては、プラズマを監視する方法として、プラズマ発光の強度及び波長を測定する方法、チャンバー内の圧力を測定する方法、及び質量分析を行う方法を例示したが、本発明はこれに限定されず、これらの方法を組み合わせてもよく、他の方法を使用してもよい。 While the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited to these embodiments. For example, those in which those skilled in the art appropriately added, deleted, and changed processes in the above-described embodiments are also included in the scope of the present invention as long as they include the gist of the present invention. For example, in each of the above-described embodiments, as a method for monitoring plasma, a method for measuring the intensity and wavelength of plasma emission, a method for measuring the pressure in the chamber, and a method for performing mass spectrometry are exemplified. Is not limited to this, these methods may be combined, and other methods may be used.
また、凹部23aの底面上の保護膜24の除去状態の検出方法として、シリコンの発光強度により検出する方法を例示したが、凹部23aの底面上の保護膜24の除去状態をモニターできる方法であればこれには限定されず、他の手法を用いてもよい。そして、各種の手法によって得られた保護膜24の除去状態を、第1のエッチング工程と第2のエッチング工程の切替えのタイミングにフィードバックすれば良い。 Further, as a method for detecting the removal state of the protective film 24 on the bottom surface of the recess 23a, a method of detecting based on the light emission intensity of silicon is exemplified, but any method that can monitor the removal state of the protection film 24 on the bottom surface of the recess 23a. However, the present invention is not limited to this, and other methods may be used. Then, the removal state of the protective film 24 obtained by various methods may be fed back to the timing of switching between the first etching process and the second etching process.
また、前述の各実施形態においては、加工対象となる基板をシリコン基板とし、保護膜を形成するためのプラズマとしてC4F8プラズマを使用し、エッチングのためのプラズマとしてSF6プラズマを使用する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、シリコン基板の替わりに、シリコンゲルマニウム基板又はシリコンカーバイド基板などを使用してもよい。また、C4F8ガスの替わりに、C5F8ガス、又はC4F6ガスなどを使用してもよい。更に、SF6ガスの替わりに、NF3ガス、SiF4ガス、又はCF4ガスなどを使用してもよい。また、O2ガスを適量添加しても良い。 In each of the above-described embodiments, the substrate to be processed is a silicon substrate, C 4 F 8 plasma is used as plasma for forming a protective film, and SF 6 plasma is used as plasma for etching. Although an example is shown, the present invention is not limited to this. For example, a silicon germanium substrate or a silicon carbide substrate may be used instead of the silicon substrate. Further, C 5 F 8 gas, C 4 F 6 gas, or the like may be used instead of C 4 F 8 gas. Further, NF 3 gas, SiF 4 gas, CF 4 gas, or the like may be used instead of SF 6 gas. Further, an appropriate amount of O 2 gas may be added.
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、微細構造体の製造方法を構成する各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した微細構造体の製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての微細構造体の製造方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
The embodiments of the present invention have been described above with reference to specific examples. However, the present invention is not limited to these specific examples. For example, as to the specific configuration of each element constituting the method for manufacturing a fine structure, the present invention is similarly implemented by appropriately selecting from a known range, and a similar effect can be obtained. Are included within the scope of the present invention.
Moreover, what combined any two or more elements of each specific example in the technically possible range is also included in the scope of the present invention as long as the gist of the present invention is included.
In addition, all the fine structure manufacturing methods that can be implemented by those skilled in the art based on the fine structure manufacturing method described above as an embodiment of the present invention include the gist of the present invention. As long as it belongs to the scope of the present invention.
In addition, in the category of the idea of the present invention, those skilled in the art can conceive of various changes and modifications, and it is understood that these changes and modifications also belong to the scope of the present invention. .
1 プラズマエッチング装置、2 チャンバー、3 プラズマ発生室、4 反応室、6 ガス導入口、7 排気口、8 排気ポンプ、9 排気管、10 排気バルブ、11 コイル、12 RF電源、13 バイアス電極、14 RF電源、15 プラズマ発光強度測定器、16 プラズマエッチング装置、17 質量分析器、20 試料、21 シリコン基板、22 エッチングマスク、22a 開口部、23a、23b 凹部、24 保護膜、50 トレンチ、51 側壁部、61 プラズマエッチング装置、62 発光分析器、71 プラズマエッチング装置、 E エッチング工程、P パッシベーション工程 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plasma etching apparatus, 2 chamber, 3 plasma generation chamber, 4 reaction chamber, 6 gas introduction port, 7 exhaust port, 8 exhaust pump, 9 exhaust pipe, 10 exhaust valve, 11 coil, 12 RF power supply, 13 bias electrode, 14 RF power source, 15 plasma emission intensity measuring device, 16 plasma etching apparatus, 17 mass analyzer, 20 sample, 21 silicon substrate, 22 etching mask, 22a opening, 23a, 23b recess, 24 protective film, 50 trench, 51 side wall 61 plasma etching equipment, 62 emission analyzer, 71 plasma etching equipment, E etching process, P passivation process
Claims (7)
前記チャンバー内に第2のプロセスガスを導入し、前記第2のプロセスガスから第2のプラズマを形成し、前記第2のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、
を備え、
前記エッチングする工程は、
前記チャンバー内における前記第1のプラズマの密度を測定しながら前記第1のプラズマの密度が基準値以下になるまで前記第1のプロセスガスを排出する工程と、
前記第1のプラズマの密度が前記基準値以下となった後、前記第2のプラズマによって前記保護膜及び前記基板をエッチングする工程と、
を有することを特徴とする微細構造体の製造方法。 A first process gas is introduced into a chamber containing a substrate, a first plasma is formed from the first process gas, and the first plasma is formed on the inner surface of a recess formed on the surface of the substrate. Forming a protective film;
A second process gas is introduced into the chamber, a second plasma is formed from the second process gas, and a portion of the protective film on the bottom surface of the recess is removed by the second plasma. Etching the substrate;
With
The etching step includes
Exhausting the first process gas until the density of the first plasma is below a reference value while measuring the density of the first plasma in the chamber;
Etching the protective film and the substrate with the second plasma after the density of the first plasma is less than or equal to the reference value;
A method for producing a fine structure characterized by comprising:
前記チャンバー内における前記第2のプラズマの密度を測定しながら前記第2のプラズマの密度が他の基準値以下になるまで前記第2のプロセスガスを排出する工程と、
前記第2のプラズマの密度が前記他の基準値以下となった後、前記第1のプラズマによって前記保護膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項1記載の微細構造体の製造方法。 The step of forming the protective film includes:
Exhausting the second process gas until the density of the second plasma is equal to or lower than another reference value while measuring the density of the second plasma in the chamber;
Forming the protective film with the first plasma after the density of the second plasma is less than or equal to the other reference value;
The method for producing a fine structure according to claim 1, wherein:
前記チャンバー内に第2のプロセスガスを導入し、前記第2のプロセスガスから第2のプラズマを形成し、前記第2のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、
を備え、
前記エッチングする工程は、
第1のバイアス電力を用いる第1のエッチング工程と、前記第1のバイアス電力より低い第2のバイアス電力を用いる第2のエッチング工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。 A first process gas is introduced into a chamber containing a substrate, a first plasma is formed from the first process gas, and the first plasma is formed on the inner surface of a recess formed on the surface of the substrate. Forming a protective film;
A second process gas is introduced into the chamber, a second plasma is formed from the second process gas, and a portion of the protective film on the bottom surface of the recess is removed by the second plasma. Etching the substrate;
With
The etching step includes
A method for manufacturing a fine structure, comprising: a first etching step using a first bias power; and a second etching step using a second bias power lower than the first bias power.
前記チャンバー内における前記第1のプラズマの密度を測定しながら前記第1のプラズマの密度が基準値以下になるまで前記第1のプロセスガスを排出する工程を更に有し、
前記第1のプラズマの密度が前記基準値以下となった後、前記第1のエッチング工程及び第2のエッチング工程を実施することを特徴とする請求項4または5記載の微細構造体の製造方法。 The etching step includes
Exhausting the first process gas until the density of the first plasma is below a reference value while measuring the density of the first plasma in the chamber;
6. The method of manufacturing a microstructure according to claim 4, wherein the first etching step and the second etching step are performed after the density of the first plasma becomes equal to or less than the reference value. .
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---|---|
JP (1) | JP2008205436A (en) |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010225948A (en) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | Etching method |
JP2011515855A (en) * | 2008-03-21 | 2011-05-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Substrate etching system and process method and apparatus |
JP2011211016A (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Denso Corp | Method of manufacturing semiconductor device |
WO2012023537A1 (en) * | 2010-08-19 | 2012-02-23 | 株式会社 アルバック | Dry etching method and method of manufacturing semiconductor device |
KR20130021342A (en) * | 2011-08-22 | 2013-03-05 | 램 리써치 코포레이션 | System, method and apparatus for real time control of rapid alternating processes (rap) |
JP2013069848A (en) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Spp Technologies Co Ltd | Plasma etching method |
JP2013535074A (en) * | 2010-06-11 | 2013-09-09 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | Substrate plasma processing technology |
JP2014045138A (en) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Toshiba Corp | Trench formation method and semiconductor device manufacturing method |
JP2014072269A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Samco Inc | Method of detecting endpoint of plasma etching |
JP2014237229A (en) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | キヤノン株式会社 | Method of manufacturing substrate for liquid discharge head |
JP2015065215A (en) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 東京エレクトロン株式会社 | Method for processing workpiece by plasma |
JP2015162630A (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | Sppテクノロジーズ株式会社 | Silicon carbide semiconductor element manufacturing method |
JP2015177111A (en) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | Plasma dicing method and plasma dicing device |
US9299576B2 (en) | 2012-05-07 | 2016-03-29 | Denso Corporation | Method of plasma etching a trench in a semiconductor substrate |
JP2016051846A (en) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Plasma processing method |
JP2017130528A (en) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing method |
JP2017139372A (en) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Element chip manufacturing method and element chip |
JP2018133449A (en) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | Sppテクノロジーズ株式会社 | Method for etching silicon germanium layer |
JP2019054282A (en) * | 2018-12-07 | 2019-04-04 | Sppテクノロジーズ株式会社 | Method for etching silicon germanium layer |
CN110783187A (en) * | 2018-07-25 | 2020-02-11 | 东京毅力科创株式会社 | Plasma processing method and plasma processing apparatus |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267226A (en) * | 1992-03-24 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | Dryetching system and dryetching method |
JPH06177091A (en) * | 1992-12-04 | 1994-06-24 | Sony Corp | Manufacture of semiconductor device |
JPH10135192A (en) * | 1996-08-01 | 1998-05-22 | Surface Technol Syst Ltd | Surface treatment method of semiconductor substrate |
JPH10144654A (en) * | 1996-08-01 | 1998-05-29 | Surface Technol Syst Ltd | Semiconductor substrate surface treating method |
JP2000269182A (en) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for manufacturing semiconductor device |
JP2003068705A (en) * | 2001-08-23 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | Manufacturing method of semiconductor element |
JP2003101152A (en) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Ricoh Co Ltd | Manufacturing method for semiconductor light emitting element, semiconductor laser manufactured thereby, and optical communication system |
JP2005294747A (en) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Mitsubishi Electric Corp | Method and device for manufacturing semiconductor device |
JP2006049817A (en) * | 2004-07-07 | 2006-02-16 | Showa Denko Kk | Plasma treatment method and plasma etching method |
JP2008502146A (en) * | 2004-06-03 | 2008-01-24 | ラム リサーチ コーポレーション | Plasma stripping method using periodic modulation of gas chemistry and hydrocarbon addition |
JP2008521241A (en) * | 2004-11-18 | 2008-06-19 | セミシスコ・カンパニー・リミテッド | Dry etching apparatus used in Bosch process, dry etching end point detection apparatus, and method of forming electrical element thereof |
-
2007
- 2007-12-28 JP JP2007340634A patent/JP2008205436A/en active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267226A (en) * | 1992-03-24 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | Dryetching system and dryetching method |
JPH06177091A (en) * | 1992-12-04 | 1994-06-24 | Sony Corp | Manufacture of semiconductor device |
JPH10135192A (en) * | 1996-08-01 | 1998-05-22 | Surface Technol Syst Ltd | Surface treatment method of semiconductor substrate |
JPH10144654A (en) * | 1996-08-01 | 1998-05-29 | Surface Technol Syst Ltd | Semiconductor substrate surface treating method |
JP2000269182A (en) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for manufacturing semiconductor device |
JP2003068705A (en) * | 2001-08-23 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | Manufacturing method of semiconductor element |
JP2003101152A (en) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Ricoh Co Ltd | Manufacturing method for semiconductor light emitting element, semiconductor laser manufactured thereby, and optical communication system |
JP2005294747A (en) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Mitsubishi Electric Corp | Method and device for manufacturing semiconductor device |
JP2008502146A (en) * | 2004-06-03 | 2008-01-24 | ラム リサーチ コーポレーション | Plasma stripping method using periodic modulation of gas chemistry and hydrocarbon addition |
JP2006049817A (en) * | 2004-07-07 | 2006-02-16 | Showa Denko Kk | Plasma treatment method and plasma etching method |
JP2008521241A (en) * | 2004-11-18 | 2008-06-19 | セミシスコ・カンパニー・リミテッド | Dry etching apparatus used in Bosch process, dry etching end point detection apparatus, and method of forming electrical element thereof |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9123509B2 (en) | 2007-06-29 | 2015-09-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for plasma processing a substrate |
JP2011515855A (en) * | 2008-03-21 | 2011-05-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Substrate etching system and process method and apparatus |
JP2010225948A (en) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | Etching method |
JP2011211016A (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Denso Corp | Method of manufacturing semiconductor device |
JP2013535074A (en) * | 2010-06-11 | 2013-09-09 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | Substrate plasma processing technology |
WO2012023537A1 (en) * | 2010-08-19 | 2012-02-23 | 株式会社 アルバック | Dry etching method and method of manufacturing semiconductor device |
JP5416280B2 (en) * | 2010-08-19 | 2014-02-12 | 株式会社アルバック | Dry etching method and semiconductor device manufacturing method |
KR20130021342A (en) * | 2011-08-22 | 2013-03-05 | 램 리써치 코포레이션 | System, method and apparatus for real time control of rapid alternating processes (rap) |
JP2013058749A (en) * | 2011-08-22 | 2013-03-28 | Lam Research Corporation | System, method, and apparatus for real time control of rapid alternating processes (rap) |
KR102091285B1 (en) * | 2011-08-22 | 2020-03-19 | 램 리써치 코포레이션 | System, method and apparatus for real time control of rapid alternating processes (rap) |
JP2013069848A (en) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Spp Technologies Co Ltd | Plasma etching method |
US9299576B2 (en) | 2012-05-07 | 2016-03-29 | Denso Corporation | Method of plasma etching a trench in a semiconductor substrate |
JP2014045138A (en) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Toshiba Corp | Trench formation method and semiconductor device manufacturing method |
JP2014072269A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Samco Inc | Method of detecting endpoint of plasma etching |
JP2014237229A (en) * | 2013-06-06 | 2014-12-18 | キヤノン株式会社 | Method of manufacturing substrate for liquid discharge head |
JP2015065215A (en) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 東京エレクトロン株式会社 | Method for processing workpiece by plasma |
JP2015162630A (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | Sppテクノロジーズ株式会社 | Silicon carbide semiconductor element manufacturing method |
JP2015177111A (en) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | Plasma dicing method and plasma dicing device |
JP2016051846A (en) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Plasma processing method |
JP2017130528A (en) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing method |
KR20170087045A (en) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Plasma processing method |
KR102107480B1 (en) | 2016-01-19 | 2020-05-07 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Plasma processing method and plasma processing apparatus |
TWI695403B (en) * | 2016-01-19 | 2020-06-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | Plasma processing method and plasma processing apparatus |
JP2017139372A (en) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Element chip manufacturing method and element chip |
JP2018133449A (en) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | Sppテクノロジーズ株式会社 | Method for etching silicon germanium layer |
CN110783187A (en) * | 2018-07-25 | 2020-02-11 | 东京毅力科创株式会社 | Plasma processing method and plasma processing apparatus |
CN110783187B (en) * | 2018-07-25 | 2024-04-19 | 东京毅力科创株式会社 | Plasma processing method and plasma processing apparatus |
JP2019054282A (en) * | 2018-12-07 | 2019-04-04 | Sppテクノロジーズ株式会社 | Method for etching silicon germanium layer |
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