JP2008198992A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体上に有機半導体層を備えた半導体装置の製造方法であって、異なる沸点の溶媒を混合してなる混合溶媒に有機半導体材料を溶解させた溶液を、基体上に塗布することで、有機半導体層15を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【選択図】図1
Description
pylsilylethynyl)pentacene)、TESADT(triethylsilyleathnyl anthradithiophene)、P3HT(poly-(3-hexylthiophene))等を本発明に適用することが可能である。
Claims (3)
- 基体上に有機半導体層を備えた半導体装置の製造方法であって、
異なる沸点の溶媒を混合してなる混合溶媒に有機半導体材料を溶解させた溶液を、前記基体上に塗布することで、有機半導体層を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記混合溶媒は、当該混合溶媒を構成する少なくとも1種の溶媒が138℃以上の沸点を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記混合溶媒は、当該混合溶媒を構成する全ての溶媒が138℃以上の沸点を有する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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