JP2008183728A - 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体によるプレートの腐食及びプレートの接合部分の剥離を防止することを課題とする。
【解決手段】ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部に耐性膜５８、６０を入り込ませて互いに密着させることによって、接合領域の端部の沿面距離が長くなる。このため、インク流路３８及びチャンバ３６のインクが、接合領域の端部から接着層５６に侵入しにくくなるので、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０が剥離する恐れがない。つまり、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合不良を引き起こすことがない。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴を吐出して画像を記録する液滴吐出ヘッド及び、この液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。

複数のプレートを接合することによって構成される液滴吐出ヘッドでは、プレートが積層されて形成される流路空間内に供給された液体によって、プレートが腐食したり、プレートが剥離することがある。

そこで、図１７（Ａ）に示すように、耐液性を持つ腐食防止膜（耐液膜）１０６などを予め形成したプレート１０２、１０４を積層して、液滴吐出ヘッド１００を構成しているものがある（特許文献１参照）。

特許文献１では、液体によるプレート１０２、１０４の腐食は防止できるものの、予め腐食防止膜１０６を形成してから、このプレート１０２、１０４間に接着層を設けて、プレート１０２、１０４を接合するので、接合領域の端部から液体が接合部分に入り込んで、接着層に接触してしまう。これにより、プレート１０２、１０４が剥離するなどの接合不良を引き起こしてしまうという問題がある。

また、図１７（Ｂ）に示すように、プレート１０２、１０４を積層した後に、流路空間１０８内を耐液膜１１０でコーティングする方法も採られているが、ノズル１１２や流路の径が小さいと、耐液膜１１０がノズル１１２に詰まってしまう。また、コーティング不良を引き起こし、製造歩留まりが低下するという問題がある。
特開２００３−１２７４３６号公報

本発明は上記問題を考慮し、液体によるプレートの腐食及びプレートの接合部分の剥離を防止することを課題とする。

請求項１に記載の本発明は、液体が流入する第１流路となる第１開口が形成された第１プレートと、前記第１流路から液体が流入する第２流路及び吐出口となる第２開口が形成された第２プレートとを有し、前記液体に対する耐性を有する耐性膜が、前記第１開口の内壁及び前記第２開口の内壁に形成され、前記第１プレートと前記第２プレートが接合されたとき、該第１プレートと該第２プレートの接合領域の端部に入り込んで互いに密着することを特徴としている。

請求項１に記載の発明では、第１プレートに形成され、液体が流入する第１流路となる第１開口の内壁と、第２プレートに形成され、第１流路から液体が流入する第２流路及び吐出口となる第２開口の内壁には、液体に対して耐性を有する耐性膜が予め形成されている。この耐性膜は、第１プレートと第２プレートを接合したとき、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部に入り込んで互いに密着している。

これにより、第１流路及び第２流路に流入された液体によって、第１プレートと第２プレートが腐食するのが防止されると同時に、この液体が第１プレートと第２プレートの接合領域の端部から接合領域へ入り込むのを、耐性膜によって阻止できるので、第１プレートと第２プレートが剥離するのが防止される。

請求項２に記載の本発明は、前記耐性膜は、前記第１プレート及び／又は前記第２プレートの接合領域の端部に、該耐性膜の厚み以下の深さで形成された凹部に入り込んでいることを特徴としている。

請求項２に記載の発明では、第１プレート及び／又は第２プレートの接合領域の端部に形成された、耐性膜の厚み以下の深さの凹部には、耐性膜が入り込んでいる。

これにより、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部に入り込んだ耐性膜の厚みが、凹部によって吸収されるため、例えば、第１プレート及び第２プレートがガラスプレートの場合、接着剤なしで加圧加熱するなどして第１プレートと第２プレートを直接接合できる。

また、凹部の深さは耐性膜の厚さ以下とされているため、第１プレートと第２プレートを接合したとき、凹部に入り込んだ耐性膜が互いに圧着され、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部がシールされる。したがって、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部から接合領域へ液体が侵入する恐れがない。

請求項３に記載の本発明は、前記接合領域には接着剤からなる接着層が設けられ、前記耐性膜は前記接着層の端部に入り込んでいることを特徴としている。

請求項３に記載の発明では、第１プレートと第２プレートの接合領域に設けられた接着剤からなる接着層の端部には、第１開口の内壁及び第２開口の内壁に塗布された耐性膜が入り込んでいる。

これにより、第１流路及び第２流路に流入された液体によって、第１プレートと第２プレートが腐食するのが防止されると同時に、この液体が第１プレートと第２プレートの接合領域の端部から接合領域へ入り込むのを、耐性膜によって阻止しているので、第１プレートと第２プレートが剥離するのが防止される。

請求項４に記載の本発明は、前記第１プレート及び／又は前記第２プレートの接合領域の端部には、前記耐性膜に被覆された凸部が形成されていることを特徴としている。

請求項４に記載の発明では、第１プレート及び／又は第２プレートの接合領域の端部に、耐性膜に被覆された凸部を形成することで、第１プレートと第２プレートを接合したとき、耐性膜が凸部に押されて、耐性膜同士の密着度が高まる。したがって、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部のシール効果が上がる。

請求項５に記載の本発明は、前記凸部は、弾性体からなることを特徴としている。

請求項５に記載の発明では、弾性を有する部材で凸部を形成することで、第１プレートと第２プレートを接合するとき、凸部が弾性変形する。これにより、耐性膜の密着度が高まる。

請求項６に記載の本発明は、前記凸部は、エポキシ樹脂又はポリイミド樹脂から形成されていることを特徴としている。

請求項６に記載の発明では、弾性係数が低く変形しやすいエポキシ樹脂又はポリイミド樹脂で凸部を形成することで、第１プレートと第２プレートを接合するとき、凸部が変形して、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部をシールする。

請求項７に記載の本発明は、前記耐性膜は、炭化珪素、窒化珪素、窒化炭化珪素、金、白金のいずれか、またはこれらの混合物からなることを特徴としている。

請求項７に記載の発明では、耐性膜として、展性が高く、塑性変形しやすい、化学的に安定した炭化珪素、窒化珪素、窒化炭化珪素、金、白金のいずれか、または、これらの混合物を用いる。これにより、第１プレートと第２プレートを接合したとき、耐性膜は変形して互いに密着し、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部をシールする。また、金及び白金を用いた場合には、耐性膜が簡単に塑性変形して薄く伸ばされるため密着しやすく、接合領域の端部をシールできる。さらに、これらは化学的に安定しているため、液体によって耐性膜が腐食することがない。

請求項８に記載の本発明は、前記凸部が、前記第１プレート又は前記第２プレートのいずれか一方の接合領域の端部に形成されているとき、該第１プレート又は該第２プレートの接合領域の端部には、前記凸部が係合可能とされた凹部が形成されていることを特徴としている。

請求項８に記載の発明では、第１プレート又は第２プレートのいずれか一方の接合領域の端部に形成された凸部が、第１プレート又は第２プレートの接合領域の端部に形成された凹部に係合されることにより、耐性膜同士がより強固に密着する。また、接合領域の端部の沿面距離が長くなる。これにより、流路に流入された液体が、接合領域の端部から接合領域へ侵入しにくい。

請求項９に記載の本発明は、液体が流入する第１流路となる第１開口が形成された第１プレートと、前記第１流路から液体が流入する第２流路となる第２空間及び吐出口が形成された第２プレートとが接合されて形成される液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第１プレート及び前記第２プレートの接合領域の端部と前記第１開口の内壁及び前記第２開口の内壁に、前記液体に対する耐性を有する耐性膜を形成する第１工程と、前記第１プレートと前記第２プレートを接合し、該第１プレートの前記耐性膜と該第２プレートの前記耐性膜を密着させる第２工程と、を有することを特徴としている。

請求項９に記載の発明では、第１プレート及び第２プレートの接合領域の端部と、第１プレートの開口の内壁及び第２プレートの開口の内壁に、それぞれ液体に対する耐性を有する耐性膜を形成し、第１プレートと第２プレートを接合する。

これにより、流路に流入された液体によって、第１プレートと第２プレートが腐食するのが防止されると同時に、この液体が第１プレートと第２プレートの接合領域の端部から接合領域へ入り込むのを、耐性膜によって阻止しているので、第１プレートと第２プレートが剥離するのが防止される。

請求項１０に記載の本発明は、前記第１プレートと前記第２プレートを接合する前に、前記第１プレート及び／又は前記第２プレートの接合領域に、接着剤からなる接着層を形成することを特徴としている。

請求項１０に記載の発明では、第１プレート及び／又は第２プレートの接合領域には、第１プレートと第２プレートを接合する前の工程において、接着剤からなる接着層を形成する。これにより、第１プレートと第２プレートを接合したとき、接着層によって接合される。

請求項１１に記載の本発明は、前記第１工程の前に、該第１プレート及び／又は該第２プレートの接合領域の端部に、弾性体からなる凸部を形成する工程を有することを特徴としている。

請求項１１に記載の発明では、第１プレート及び／又は第２プレートの接合領域の端部に、弾性体からなる凸部を形成する。これにより、第１プレートと第２プレートを接合したとき、耐性膜が凸部に押されて、耐性膜同士の密着度が高まる。したがって、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部のシール効果が上がる。

請求項１２に記載の本発明は、前記凸部を、前記第１流路及び前記第２流路に面する接合領域に沿って形成することを特徴としている。

請求項１２に記載の発明では、第１流路及び第２流路に面した第１プレートと第２プレートの接合領域の端部には、凸部が連続して形成されているため、第１流路及び第２流路に流入された液体が、第１プレートと第２プレートの接合領域の端部から接合領域へ侵入しにくくなる。

請求項１３に記載の本発明は、前記第１プレート及び前記第２プレートの接合領域に接着剤を塗布し、端部の接着剤を先に硬化させて前記凸部を形成し、前記第１開口部の内壁及び前記第２開口部の内壁から前記凸部にかけて前記耐性膜を設けた後、未硬化部分の接着剤で前記第１プレートと前記第２プレートを接合することを特徴としている。

請求項１３に記載の発明では、まず、第１プレート及び第２プレートの接合領域に接着剤を塗布する。そして、先に接合領域の端部の接着剤を硬化させて、凸部を形成する。この後、第１開口の内壁及び第２開口の内壁から凸部にかけて耐性膜を設けた後、未硬化部分の接着剤で第１プレートと第２プレートを接合する。

これにより、凸部と接着層は同じ工程で形成されるので、製造工程が必要以上に多くならない。

請求項１４に記載の本発明は、前記接着剤は、前記凸部よりも小さい厚さで前記第１プレート及び／又は第２プレートに塗布されることを特徴としている。

請求項１４に記載の発明では、凸部よりも小さい厚さで、第１プレート及び／又は第２プレートに接着剤を塗布する。これにより、第１プレートと第２プレートを接合する際に、耐性膜が形成された凸部が接着層と同じ厚みとなるまで加圧すれば、凸部によって第１プレートと第２プレートの接合領域の端部をシールできる。

請求項１５に記載の本発明は、前記接着剤は、フィルムラミネート法により塗布されることを特徴としている。

請求項１５に記載の発明では、接着剤からなる接着層をフィルムラミネート法により形成することで、接着層の厚みがばらつかない。

請求項１６に記載の本発明は、前記耐性膜は、薄膜成膜法により形成されることを特徴としている。

請求項１６に記載の発明では、薄膜成膜法によって耐性膜を形成することで、第１開口及び第２開口の径が小さい場合でも、この第１開口の内壁及び第２開口の内壁への耐性膜の成膜が困難にならない。

本発明は上記構成としたので、液体によるプレートの腐食及びプレートの接合部分の剥離を防止できる。

以下、本発明に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド１０の第１実施形態を図面に基づき説明する。

図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１０は、ノズルプレート１２、連通孔プレート１４、１６、１８、２０、チャンバプレート２２、および振動板２４の合計７枚のプレートを位置合わせして積層し、ポリイミド系やエポキシ系樹脂などの接着剤によって接合することにより形成されている。

このとき、各プレート間には、接着剤からなる接着層が形成される。なお、図１では、連通孔プレート２０とチャンバプレート２２の間の接着層５６のみを示し、他のプレート間の接着層は省略している。

ノズルプレート１２には、インクを吐出するノズル２６が設けられており、連通孔プレート１４、１６、１８、２０には、連通孔２８、３０、３２、３４がそれぞれ形成されている。これらのノズル２６、連通孔２８、３０、３２、３４は連通孔プレート１４、１６、１８、２０が積層された状態で連通し、チャンバプレート２２に形成されたチャンバ３６に繋がっている。

このようにして形成された、ノズル２６、連通孔２８、３０、３２、３４は、チャンバ３６に連通してインクが通過する部分であり、以下、ノズル２６、連通孔２８、３０、３２、３４をまとめて「インク流路３８」とする。

チャンバプレート２２上に積層された振動板２４上には、チャンバ３６に相当する領域に、ピエゾアクチュエータ４０が設けられている。ピエゾアクチュエータ４０の両面には、図示は省略するが電極層が形成されており、共通電極として兼用する振動板２４と接着剤で接着することで、ピエゾアクチュエータ４０と振動板２４とが電気的に接続されている。

このような構成により、駆動電圧波形がピエゾアクチュエータ４０に印加されると、ピエゾアクチュエータ４０と共に振動板２４がたわみ変形して、チャンバ３６のインクを加圧する。これにより、ノズル２６からインク滴が吐出されるようになっている。

また、振動板２４上には、インクプール部材４２が積層されている。インクプール部材４２には、インクプール４４が形成されており、図示しないインクタンクからインクプール４４にインクが貯留されるようになっている。そして、インクプール４４に貯留されたインクは、振動板２４に形成されたインク供給孔４６から、チャンバ３６に供給される構成となっている。

なお、ノズルプレート１２、連通孔プレート１４、１６、１８、２０を積層して構成された積層体を、ノズル側積層体４８とし、チャンバプレート２２と振動板２４を積層して構成された積層体を、チャンバ側積層体５０とする。

ノズル側積層体４８の接合面（連通孔プレート２０のチャンバプレート２２に対向する面）のインク流路３８近傍と、チャンバ側積層体５０の接合面（チャンバプレート２２の連通孔プレート３０に対向する面）のチャンバ３６近傍には、それぞれ厚み方向に突出するダム部５２、５４が形成されている。ダム部５２、５４は、共に、適量のＵＶ光に反応するエポキシ接着剤を用いて形成されており、弾性を有している。

ノズル側積層体４８のダム部５２は、インク流路３８（連通孔３４）の周囲に沿って帯状に設けられ、チャンバ側積層体５０のダム部５４は、チャンバ３６の周囲に沿って帯状に設けられている。

また、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の間には、ダム部５２、５４が形成されている以外の領域（この領域を「接合領域Ｎ」とする）に、エポキシ接着剤からなる接着層５６が設けられており、この接着層５６によって、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０が接合されている。

さらに、インク流路３８とチャンバ３６の内壁の全域に渡って、ＳｉＣＮ膜（窒化炭化珪素膜）からなる耐性膜５８、６０が成膜されている。この耐性膜５８、６０は、共にノズル側積層体４８に形成されたダム部５２と、チャンバ側積層体５０に形成されたダム部５４の間に入り込んで、互いに密着していると共に、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域Ｎに設けられた接着層５６の端部に接触している。

なお、耐性膜５８、６０としては、ＳｉＣＮ膜以外にも、炭化珪素、窒化珪素、金、白金や、これらの混合物などを用いることもできる。

上記のように構成されたインクジェット記録ヘッド１０によれば、ノズル側積層体４８に形成されたインク流路３８と、チャンバ側積層体５０に形成されたチャンバ３６の内壁には、耐性膜５８、６０が成膜されているので、チャンバ３６及びインク流路３８を流れるインクが、直接ノズル側積層体４８、チャンバ側積層体５０に接触することがない。したがって、ノズル側積層体４８及びチャンバ側積層体５０が、インクによって腐食するのを防止できる。

また、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部に耐性膜５８、６０を入り込ませて互いに密着させることによって、図２に示すように、接合領域の端部の沿面距離が長くなる。このため、インク流路３８及びチャンバ３６のインクが、接着層５６に侵入しにくくなるので、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０が剥離する恐れがない。つまり、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合不良を引き起こすことがない。

さらに、ノズル側積層体４８の接合面のインク流路３８の周囲及び、チャンバ側積層体５０の接合面のチャンバ３６の周囲に、それぞれ弾性を有するダム部５２、５４を形成することで、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合して加圧したとき、ダム部５２、５４が変形する。これにより、ダム部５２、５４の間に挟まれた耐性膜５８、６０の密着度が高まる。

また、ダム部５２及びダム部５４は、それぞれインク流路３８及びチャンバ３６の周囲に連続して形成されているので、インク流路３８及びチャンバ３６のインクが接合領域Ｎ（接着層５６）に侵入しにくくなる。

また、耐性膜５８、６０として、炭化珪素、窒化珪素、窒化炭化珪素、金、白金、あるいはこれらの混合物を用いることで、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合したとき、耐性膜５８、６０は変形して互いに密着し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部をシールする。また、これらの材料は化学的に安定しているため、インクによって耐性膜５８、６０が腐食することがない。

次に、このインクジェット記録ヘッド１０の製造方法について説明する。

まず、図３（Ａ）に示すように、ポリイミドフィルムからなるノズルプレート１２の上面（インク吐出側と反対側の面）に、ＳＵＳからなる連通孔プレート１４を接着剤を用いて張り合わせる。そして、この連通孔プレート１４に、ＳＵＳからなる連通孔プレート１６、１８、２０を順に、接着剤を用いて接合する。なお、連通孔プレート１４、１６、１８、２０には、それぞれ連通孔２８、３０、３２、３４が予め形成されている。

ノズルプレート１２、連通孔プレート１４、１６、１８、２０同士は、フィルム状に形成したポリイミド接着剤を、転写塗布する印刷法によって、一方のプレートの接合面に５μｍの厚さで塗布することで、プレート同士を接合している。なお、このポリイミド接着剤の図示は省略している。

次に、ノズルプレート１２の下面（インクを吐出する面）に、スピンコート法を用いて撥水膜（図示省略）を成膜すると共に、図３（Ｂ）に示すように、エキシマレーザでノズル２６を穿設する。

上記工程によって、ノズルプレート１２、連通孔プレート１４、１６、１８、２０が積層されて構成されたノズル側積層体４８が形成される。

一方、図４（Ａ）に示すように、ＳＵＳからなるチャンバプレート２２と振動板２４を、チャンバプレート２２に接着剤を塗布して張り合わせる。チャンバプレート２２と振動板２４の接合においても、チャンバプレート２２と振動板２４の一方にフィルム状に形成したポリイミド接着剤を転写塗布する印刷法が採られている。なお、チャンバプレート２２及び振動板２４には、それぞれチャンバ３６、インク供給孔４６が予め形成されている。

そして、予め電極膜が形成されて各チャンバ３６に対応するようにパタニング加工されたピエゾアクチュエータ４０を、振動板２４上に接着接合する。振動板２４とピエゾアクチュエータ４０の接合は、ピエゾアクチュエータ４０の振動板２４側にフィルム転写方法によってエポキシ系の接着剤を３μｍの厚さで塗布し、各ピエゾアクチュエータ４０のパタニング加工と、振動板２４上に各チャンバ３６に対応して形成されたパターンとを位置合わせした後、加熱加圧することによって行われる。なお、チャンバプレート２２と振動板２４を接合する接着剤の図示は省略している。

上記工程によって、チャンバプレート２２及び、ピエゾアクチュエータ４０が形成された振動板２４が積層されて構成されたチャンバ側積層体５０が形成される。

なお、ノズル側積層体４８の接合面（連通孔プレート２０の表面）及びチャンバ側積層体５０の接合面（チャンバプレート２２の表面）は、表面粗さＲａが０．０１μｍ〜０．５μｍとされている。ここで、表面粗さＲａを０．０１μｍより小さく（鏡面加工）すると、この後の工程において、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する際に、ダム部５２、５４が変形したとき、ダム部５２、５４の接合面に対するアンカーが得にくい。また、表面粗さＲａを０．５μｍより大きくする（粗くしすぎる）と、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する際に、接合面の粗さに倣ってダム部５２、５４の頂面が変形しすぎて、このダム部５２、５４の頂面で、耐性膜５８、６０を噛み込み、耐性膜５８、６０に亀裂が発生したり穴が開いたりしてしまう。

次に、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する工程について説明する。

まず、図５（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合面（連通孔プレート２０の表面）に、エポキシ接着剤Ｊをフィルム転写方法（フィルムラミネート法）によって２．５μｍの厚さで塗布する。ここでは、適量のＵＶ光を照射することで、硬化が進行していくタイプのエポキシ接着剤Ｊが用いられる。

次に、図５（Ｂ）に示すように、インク流路３８（連通孔プレート２０に形成された連通孔３４）の径よりも大きな孔６４が形成されたプレート６２を、ノズル側積層体４８の接合面に位置合わせして積層し、加圧しながら密着させる。なお、本実施形態では、インク流路３８の径がΦ１５０μｍであるのに対して、孔６４は図の左右方向の寸法が８００μｍ、図の前後方向の幅が２００μｍの楕円状の長孔としている。そして、図５（Ｂ）における連通孔３４より左側の部分で、連通孔３４より２５μｍ外側の位置になるように位置合わせしている。

このとき、プレート６２に形成された孔６４から、ノズル側積層体４８に塗布されたインク流路３８の周囲のエポキシ接着剤Ｊが露出する。

そして、プレート６２の上方からＵＶ光を照射する。ここで、プレート６２はマスクとして作用し、孔６４から露出しているノズル側積層体４８の接合面に塗布された（インク流路３８の周囲の）エポキシ接着剤Ｊは、ＵＶ光を受光する。このとき、それ以外の領域（プレート６２で覆われた部分）のエポキシ接着剤Ｊは、ＵＶ光を受光しないようになっている。

そして、ノズル側積層体４８を加熱する。これにより、図５（Ｃ）に示すように、ＵＶ光を受光した孔６４から露出した（インク流路３８の周囲の）エポキシ接着剤Ｊの硬化が進行する。この工程でＵＶ光を受光して硬化が進行している部分が、ダム部５２となる。

なお、本実施形態では、径がΦ１５０μｍのインク流路３８の周囲に、それより大きな孔６４が形成されたプレート６２で、ダム部５２を形成しているが、後の工程において、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合して加圧したときに、ダム部５２を変形させることで、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部のシール効果を最大限に得るためには、ダム部５２の加圧される部分の幅寸法を１０〜１００μｍとすることが望ましい。

なお、エポキシ接着剤Ｊは流動性を有するため、表面張力の作用によって塗布した直後から、孔６４から露出したエポキシ樹脂材Ｊの角部の鈍化が始まる。

また、加熱して硬化が始まると、孔６４から露出したエポキシ樹脂材Ｊの角部は、さらに収縮して鈍化するため、図５（Ｃ）に示すような形状となる。

この工程で、インク流路３８の周囲のエポキシ接着剤Ｊの硬化を開始させることで、後の工程でノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する際に、エポキシ接着剤Ｊがはみ出して、インク流路３８を塞いでしまうことがない。

次に、図６（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８の上方から、耐腐食性に優れる耐性膜５８（ＳｉＣＮ膜）をスパッタリング法によって１μｍの厚さで成膜する。これにより、インク流路３８、孔６４から露出したエポキシ接着剤Ｊ及びプレート６２の表面から側壁にかけて、耐性膜５８が成膜される。

なお、本実施形態では、１μｍの厚さで耐性膜５８を成膜したが、耐性膜５８は必ずしも１μｍの厚さで成膜する必要はない。しかし、耐性膜５８を５００Åより小さくしようとすると、表面の凹凸が完全に被覆された状態で成膜しにくいために成膜不良を引き起こしてしまい、２μｍより大きくすると、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合して加圧したとき、ダム部５２の変形に追従して耐性膜５８が変形する際に、亀裂やブレークが発生する恐れがある。そこで、耐性膜５８は、５００Å〜２μｍの厚さで成膜することが望ましい。

そして、図６（Ｂ）に示すように、プレート６２をノズル側積層体４８から剥離する。これにより、ノズル側積層体４８のインク流路３８の周囲には、耐性膜５８が形成された（耐性膜５８で被覆された）ダム部５２が取り残される。

また、ノズル側積層体４８に塗布されたエポキシ接着剤Ｊの一部が、プレート６２と一緒に剥離され、ノズル側積層体４８の接合領域Ｎには、エポキシ接着剤Ｊの一部が残る。このノズル側積層体４８の接合領域Ｎに残ったエポキシ接着剤Ｊは、後の工程でチャンバ側積層体５０と接合したときに、チャンバ側積層体５０の接合領域Ｎに残ったエポキシ接着剤Ｊと密着し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域Ｎに、接着層５６（図１参照）を形成する。

一方、ノズル側積層体４８と同様にして、チャンバ側積層体５０のチャンバ３６の周囲に、耐性膜６０が成膜されたダム部５４を形成する。

次に、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合面にＵＶ光を照射して、未硬化状態にある接合領域Ｎのエポキシ接着剤Ｊ（耐性膜５８、６０が形成されずに露出している部分）の硬化を開始させる。

そして、図６（Ｃ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合面にチャンバ側積層体５０の接合面を対向させ、位置合わせして積層し、１ＭＰａの圧力を掛けながら加熱加圧する。

これにより、ノズル側積層体４８の接合面に突出されたダム部５２に、チャンバ側積層体５０の接合面に突出されたダム部５４が突き当てられ、互いに弾性変形する。このとき、ダム部５２に形成された耐性膜５８と、ダム部５４に形成された耐性膜６０が密着する。

また、ノズル側積層体４８の接合領域Ｎにあるエポキシ接着剤Ｊと、チャンバ側積層体５０の接合領域Ｎにあるエポキシ接着剤Ｊとが接着し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０が接合される。

このとき、接合領域Ｎに残ったエポキシ接着剤Ｊは、プレート６２を剥離する際に、プレート６２側に一部が持っていかれるため、ノズル側積層体４８及びチャンバ側積層体５０の接合領域Ｎにあるエポキシ接着剤Ｊのトータルの厚みは、共にダム部５２及びダム部５４の厚みの和よりも小さくなる。これにより、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する際に、ノズル側積層体４８のエポキシ接着剤Ｊとチャンバ側積層体５０のエポキシ接着剤Ｊが密着するまで加圧することによって、ダム部５２、５４が弾性変形する。したがって、ダム部５２上に形成された耐性膜５８と、ダム部５４上に形成された耐性膜６０の密着度が高まって、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部がシールされる。

なお、インクプール部材４２（図１参照）は別途、チャンバ側積層体５０の振動板２４の上面に、接着剤を用いて接合する。

上記製造方法によって、インク流路３８及びチャンバ３６の内壁の全域に渡って耐性膜５８、６０が形成され、且つ、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部に耐性膜５８、６０を入り込ませたインクジェット記録ヘッド１０が形成される。

なお、本実施形態では、ピエゾアクチュエータ４０を予め振動板２４に設けてから、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する工程で説明したが、ピエゾアクチュエータ４０を設けない状態の振動板２４とチャンバ３６とを積層して構成されたチャンバ側積層体を、ノズル側積層体４８に接合してから、ピエゾアクチュエータ４０を振動板２４に接合してもよい。このように、インクジェット記録ヘッド１０を形成する工程は、上記方法に限定されない。

次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。また、第２の実施形態以降のノズル側積層体４８及びチャンバ側積層体５０の断面図において、インク流路３８に対して片側のみを図示する。

まず、図７（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合面に、フィルム転写方法によってエポキシ接着剤Ｋを２μｍの厚さで塗布する。次に、図７（Ｂ）に示すように、ダム部５２（図１参照）に相当する形状のマスク６６を配置して、マスク６６の上方からエポキシ接着剤を硬化させる波長の光を照射する。これにより、マスク６６の形状にエポキシ接着剤Ｋが露光され、露光された部分が硬化する。

その後、現像液によって現像することで、エポキシ接着剤Ｋの未硬化部分が除去される。これにより、図７（Ｃ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合面のインク流路３８の周囲に、ダム部５２が形成される。

次に、図７（Ｄ）に示すように、インク流路３８の内壁及びダム部５２にかけて、耐性膜５８（ＳｉＣＮ膜）を１μｍの厚さで成膜する。

一方、図８（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８と同様にして、チャンバ側積層体５０のチャンバ３６の周囲にダム部５４を形成し、図８（Ｂ）に示すように、チャンバ３６の内壁及びダム部５４にかけて耐性膜６０を成膜する。

そして、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合領域Ｎに、ダム部５２と同じ厚さでエポキシ接着剤Ｊを塗布し、この上にチャンバ側積層体５０の接合面を対向させて積層し、加熱加圧する。

これにより、ノズル側積層体４８の接合面に突出されたダム部５２に、チャンバ側積層体５０の接合面に突出されたダム部５４が突き当てられ、互いに弾性変形する。このとき、ダム部５２に形成された耐性膜５８と、ダム部５４に形成された耐性膜６０が密着し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部をシールする。

なお、本実施形態では、ノズル側積層体４８に、ダム部５２と同じ厚さでエポキシ接着剤Ｊを塗布しているが、エポキシ接着剤Ｊはダム部５２の厚さよりも大きい厚さで塗布してもよい。このとき、チャンバ側積層体５０に設けられたダム部５４と、ノズル側積層体４８に設けられたダム部５２を足した厚さよりも薄くエポキシ接着剤Ｊを塗布する。これにより、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する際に、ノズル側積層体４８のエポキシ接着剤Ｊとチャンバ側積層体５０のエポキシ接着剤Ｊが密着するまで加圧することによって、ダム部５２、５４が弾性変形する。したがって、ダム部５２上に形成された耐性膜５８と、ダム部５４上に形成された耐性膜６０の密着度が高まって、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部がシールされる。

また、本実施形態では、ノズル側積層体４８にのみエポキシ接着剤Ｊを塗布しているが、チャンバ側積層体５０にエポキシ接着剤Ｊを塗布したり、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の両方にエポキシ接着剤Ｊを塗布して、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合してもよい。

次に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。

図１０（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合面のインク流路３８の周囲に、ダム部５２を形成し、ダム部５２からインク流路３８の内壁に掛けて、耐性膜５８を成膜する。

一方、チャンバ側積層体５０には、接合面の接合領域Ｎの一部からチャンバ３６の内壁に掛けて、耐性膜６０を成膜する。

そして、図１０（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合領域Ｎにエポキシ接着剤Ｊを塗布し、この上にチャンバ側積層体５０の接合面を対向させて積層し、加熱加圧する。

これにより、ノズル側積層体４８の接合面に突出されたダム部５２に、チャンバ側積層体５０の接合面が突き当てられ、ダム部５２が弾性変形する。このとき、ダム部５２に形成された耐性膜５８と、チャンバ側積層体５０の接合面に形成された耐性膜６０が密着し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部をシールする。

このように、ノズル側積層体４８にのみ、ダム部５２を設けることで、チャンバ側積層体５０にダム部を設ける工程を必要としないので、製造工程の短縮に繋がる。

なお、本実施形態では、ノズル側積層体４８にのみダム部５２を設ける構成としたが、チャンバ側積層体５０にのみダム部を設けてもよい。

また、ダム部を形成していないチャンバ側積層体５０の接合面には、接合領域Ｎの一部からチャンバ３６の内壁に掛けて耐性膜６０を成膜しているが、この耐性膜６０は、ノズル側積層体４８に形成されたダム部５２が当接する領域に掛かかればよく、必ずしも接合領域Ｎの一部に掛かるように成膜する必要はない。

次に、本発明の第４の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。

図１１（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合面のインク流路３８の周囲に、ダム部５２を形成し、ダム部５２からインク流路３８の内壁に掛けて、耐性膜５８を成膜する。

一方、チャンバ側積層体５０を構成するチャンバプレート２２の接合面には、チャンバ３６の周囲に沿って凸部２２Ａが突設されており、接合面の接合領域Ｎの一部から凸部２２Ａ及びチャンバ３６の内壁に掛けて、耐性膜６０を成膜する。

そして、図１１（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合領域Ｎにエポキシ接着剤Ｊを塗布し、この上にチャンバ側積層体５０の接合面を対向させて積層し、加熱加圧する。

これにより、ノズル側積層体４８の接合面に突出されたダム部５２に、チャンバ側積層体５０の接合面に突設された凸部２２Ａが突き当てられ、ダム部５２が弾性変形する。このとき、ダム部５２に形成された耐性膜５８と、凸部２２Ａに形成された耐性膜６０が密着し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部をシールする。

なお、本実施形態では、チャンバ側積層体５０に凸部２２Ａを突設させ、ノズル側積層体４８に設けたダム部５２を、この凸部２２Ａに突き当てる構成としたが、ノズル側積層体４８に凸部を突設させ、チャンバ側積層体５０にダム部を設けて、この凸部とダム部を突き当てて、凸部に形成された耐性膜とダム部に形成された耐性膜を密着させてもよい。

また、凸部２２Ａを突設させたチャンバ側積層体５０の接合面には、接合領域Ｎの一部からチャンバ３６の内壁に掛けて耐性膜６０を成膜しているが、この耐性膜６０は、凸部２２Ａを覆うように成膜していればよく、必ずしも接合領域Ｎの一部に掛かるように成膜する必要はない。

次に、本発明の第５の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。

図１２（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８を構成する連通孔プレート２０の接合面には、インク流路３８の周囲に沿って凹部２０Ａが形成されており、凹部２０Ａからインク流路３８の内壁に掛けて、耐性膜５８を成膜する。

一方、チャンバ側積層体５０を構成するチャンバプレート２２の接合面には、チャンバ３６の周囲に沿って凸部２２Ａが突設されており、接合面の接合領域Ｎの一部から凸部２２Ａ及びチャンバ３６の内壁に掛けて、耐性膜６０を成膜する。

そして、図１２（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８の接合領域Ｎにエポキシ接着剤Ｊを塗布し、この上にチャンバ側積層体５０の接合面を対向させて積層し、加熱加圧する。

これにより、ノズル側積層体４８の接合面に形成された凹部２０Ａに、チャンバ側積層体５０の接合面に突設された凸部２２Ａが係合し、凹部２０Ａ内の耐性膜５８と、凸部２２Ａに形成された耐性膜６０が密着する。したがって、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部がシールされる。

なお、本実施形態では、ノズル側積層体４８に形成した凹部２０Ａに、チャンバ側積層体５０に突設された凸部２２Ａを係合させる構成としたが、ノズル側積層体４８に凸部を突設させ、チャンバ側積層体５０に凹部を形成し、凸部を凹部に係合させるようにして、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合してもよい。

次に、本発明の第６の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。

図１３（Ａ）に示すように、チャンバ側積層体５０を構成するチャンバプレート２２の接合面の接合領域Ｎには、凹部２２Ｂが形成されている。

そして、ノズル側積層体４８及びチャンバ側積層体５０の接合領域Ｎにエポキシ接着剤Ｊを塗布し、図１３（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を積層し、加熱加圧する。

このとき、ノズル側積層体４８のダム部５２に、チャンバ側積層体５０のダム部５４が突き当てられて形成される、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の隙間に対して、エポキシ接着剤Ｊの塗布量が多いと、エポキシ接着剤Ｊは凹部２２Ｂに入り込む。

これにより、エポキシ接着剤Ｊがノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の間からはみ出すことがない。

なお、本実施形態では、チャンバ側積層体５０を構成するチャンバプレート２２に凹部２２Ｂを形成する構成としたが、ノズル側積層体４８を構成する連通孔プレート２０や、チャンバプレート２２と連通孔プレート２０の両方に凹部を形成してもよく、また、凹部の数は一個だけでなく複数個設けてもよい。

次に、本発明の第７の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分についての説明は割愛する。

ノズル側積層体４８及びチャンバ側積層体５０は、シリコン又はガラスからなるプレートを積層して形成されており、図１４（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８を構成する連通孔プレート２０の接合面には、インク流路３８の周囲に沿って凹部２０Ａが形成されている。そして、凹部２０Ａからインク流路３８の内壁に掛けて、耐性膜５８を成膜する。

また、チャンバ側積層体５０を構成するチャンバプレート２２の接合面には、チャンバ３６の周囲に沿って凹部２２Ｃが形成されており、凹部２２Ｃからチャンバ３６の内壁に掛けて、耐性膜６０を成膜する。

なお、凹部２０Ａの深さと凹部２２Ｃの深さの和が、耐性膜５８の厚さと耐性膜６０の厚さの和よりも小さくなるように、凹部２０Ａ、２２Ｃの深さが決定されている。

そして、図１４（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を積層し、接着剤を用いずに加熱加圧してノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合する。

これにより、ノズル側積層体４８の接合面とチャンバ側積層体５０の接合面が密着すると同時に、凹部２０Ａに形成された耐性膜５８と凹部２２Ｃに形成された耐性膜６０が密着して、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部をシールする。

なお、本実施形態では、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０にそれぞれ凹部２０Ａ、２２Ｃを形成し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合するとき、凹部２０Ａ、２２Ｃ内の耐性膜５８、６０を密着させる構成としたが、図１５（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８にのみ凹部２０Ａを形成し、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合するとき、凹部２０Ａに形成した耐性膜５８と、チャンバ側積層体５０の接合面の端部に形成した耐性膜６０を密着させる構成としてもよい。

また、図１５（Ｂ）に示すように、凹部２０Ａ内に弾性膜７０（例えば、耐熱性ポリイミドなど）を設け、その弾性膜７０の上から（弾性膜７０を覆うようにして）インク流路３８に掛けて耐性膜５８を成膜してもよい。これにより、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合したとき、チャンバ側積層体５０に設けられた耐性膜６０が、ノズル側積層体４８に設けられた耐性膜５８に密着したとき、耐性膜５８の下にある弾性膜７０が弾性変形するので、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０の接合領域の端部がシールされる。

さらに、図１６（Ａ）に示すように、ノズル側積層体４８を構成する連通孔プレート１８、２０に貫通孔を形成し、ノズル側積層体４８の接合面に凹部４８Ａを設けた状態としたり、図１６（Ｂ）に示すように、ノズル側積層体４８を構成する連通孔プレート１４、１６に貫通孔を形成し、ノズル側積層体４８の内部に凹部４８Ａを設けた状態とすることで、ノズル側積層体４８とチャンバ側積層体５０を接合したとき、ノズル側積層体４８の変形を凹部４８Ａで吸収させることができる。

以上の実施形態では、ノズル側積層体４８を、４枚の連通孔プレート１４、１６、１８、２０を積層して構成しているが、例えば２枚の連通孔プレートを積層してノズル側積層体を構成してもよく、１枚の連通孔でノズル側積層体を構成してもよい。

本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの概略図である。 液滴吐出ヘッドを構成する積層体の部分断面図である。 液滴吐出ヘッドのノズル側積層体の製造工程を示す説明図である。 液滴吐出ヘッドのチャンバ側積層体の製造工程を示す説明図である。 液滴吐出ヘッドのノズル側積層体にダム部を形成する工程を示す説明図である。 液滴吐出ヘッドのノズル側積層体に耐性膜を形成し、チャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズル側積層体にダム部を形成する工程を示す説明図である。 液滴吐出ヘッドのチャンバ側積層体にダム部を形成する工程を示す説明図である。 液滴吐出ヘッドのノズル側積層体にチャンバ側積層体を積接合する工程を示す説明図である。 第３の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 第５の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 第６の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 第７の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 その他の形態の液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 その他の形態の液滴吐出ヘッドのノズル側積層体とチャンバ側積層体を接合する工程を示す説明図である。 従来の液滴吐出ヘッドの構成する積層体を示す断面図である。

符号の説明

１０ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
２０Ａ 凹部
３６ チャンバ（流路）
３８ インク流路（流路）
４８ ノズル側積層体（第１プレート）
５０ チャンバ側積層体（第２プレート）
５８ 耐性膜
６０ 耐性膜
Ｎ 接合領域

Claims (16)

1. 液体が流入する第１流路となる第１開口が形成された第１プレートと、前記第１流路から液体が流入する第２流路及び吐出口となる第２開口が形成された第２プレートとを有し、
   前記液体に対する耐性を有する耐性膜が、前記第１開口の内壁及び前記第２開口の内壁に形成され、前記第１プレートと前記第２プレートが接合されたとき、該第１プレートと該第２プレートの接合領域の端部に入り込んで互いに密着することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記耐性膜は、前記第１プレート及び／又は前記第２プレートの接合領域の端部に、該耐性膜の厚み以下の深さで形成された凹部に入り込んでいることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記接合領域には接着剤からなる接着層が設けられ、前記耐性膜は前記接着層の端部に入り込んでいることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記第１プレート及び／又は前記第２プレートの接合領域の端部には、前記耐性膜に被覆された凸部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ヘッド。
5. 前記凸部は、弾性体からなることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。
6. 前記凸部は、エポキシ樹脂又はポリイミド樹脂から形成されていることを特徴とする請求項５項に記載の液滴吐出ヘッド。
7. 前記耐性膜は、炭化珪素、窒化珪素、窒化炭化珪素、金、白金のいずれか、またはこれらの混合物からなることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
8. 前記凸部が、前記第１プレート又は前記第２プレートのいずれか一方の接合領域の端部に形成されているとき、該第１プレート又は該第２プレートの接合領域の端部には、前記凸部が係合可能とされた凹部が形成されていることを特徴とする請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
9. 液体が流入する第１流路となる第１開口が形成された第１プレートと、前記第１流路から液体が流入する第２流路となる第２空間及び吐出口が形成された第２プレートとが接合されて形成される液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記第１プレート及び前記第２プレートの接合領域の端部と前記第１開口の内壁及び前記第２開口の内壁に、前記液体に対する耐性を有する耐性膜を形成する第１工程と、
   前記第１プレートと前記第２プレートを接合し、該第１プレートの前記耐性膜と該第２プレートの前記耐性膜を密着させる第２工程と、
   を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
10. 前記第１プレートと前記第２プレートを接合する前に、前記第１プレート及び／又は前記第２プレートの接合領域に、接着剤からなる接着層を形成することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
11. 前記第１工程の前に、該第１プレート及び／又は該第２プレートの接合領域の端部に、弾性体からなる凸部を形成する工程を有することを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
12. 前記凸部を、前記第１開口部及び／又は前記第２開口部に面する接合領域に沿って形成することを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
13. 前記第１プレート及び前記第２プレートの接合領域に接着剤を塗布し、端部の接着剤を先に硬化させて前記凸部を形成し、前記第１開口部の内壁及び前記第２開口部の内壁から前記凸部にかけて前記耐性膜を設けた後、未硬化部分の接着剤で前記第１プレートと前記第２プレートを接合することを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記接着剤は、前記凸部よりも小さい厚さで前記第１プレート及び／又は第２プレートに塗布されることを特徴とする請求項１１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
15. 前記接着剤は、フィルムラミネート法により塗布されることを特徴とする請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
16. 前記耐性膜は、薄膜成膜法により形成されることを特徴とする請求項９乃至請求項１５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。

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