JP2001018395A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オリフィスプレートとヘッド本体との熱膨張
差を抑え、かつオリフィスプレートの機械的強度および
耐インク性を高める。 【解決手段】 液体吐出ヘッドは、流路４０１および液
室４０２を構成するための段差を一体に形成した天板４
００とエネルギー発生素子１０１形成された基板１００
とを接合することによって構成されるヘッド本体と、複
数の吐出口４１が形成され、ヘッド本体の開口配設面４
０３に接合されたオリフィスプレート４０とを有してい
る。オリフィスプレート４０は、吐出口４１が形成され
る箇所に吐出口４１よりも大きな穴が形成された金属か
らなる第１の部材４２と、第１の部材４２の両表面およ
び穴の内面を被覆する樹脂からなる第２の部材４３とに
よって構成されている。
差を抑え、かつオリフィスプレートの機械的強度および
耐インク性を高める。 【解決手段】 液体吐出ヘッドは、流路４０１および液
室４０２を構成するための段差を一体に形成した天板４
００とエネルギー発生素子１０１形成された基板１００
とを接合することによって構成されるヘッド本体と、複
数の吐出口４１が形成され、ヘッド本体の開口配設面４
０３に接合されたオリフィスプレート４０とを有してい
る。オリフィスプレート４０は、吐出口４１が形成され
る箇所に吐出口４１よりも大きな穴が形成された金属か
らなる第１の部材４２と、第１の部材４２の両表面およ
び穴の内面を被覆する樹脂からなる第２の部材４３とに
よって構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を噴射し飛翔
液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッドおよび該液体
吐出ヘッドの製造方法に関するものである。また本発明
は紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガ
ラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を
行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファク
シミリ、プリンタを有するワードプロセッサ等の装置、
さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録
装置に適用できる発明である。
液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッドおよび該液体
吐出ヘッドの製造方法に関するものである。また本発明
は紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガ
ラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を
行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファク
シミリ、プリンタを有するワードプロセッサ等の装置、
さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録
装置に適用できる発明である。
【０００２】なお、本発明における「記録」とは、文字
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
【０００３】
【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドのオリフィス
から記録液（インク）を吐出することにより記録を行う
インクジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点
で優れた記録装置として知られている。
から記録液（インク）を吐出することにより記録を行う
インクジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点
で優れた記録装置として知られている。
【０００４】このインクジェット記録法については、こ
れまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて
商品化されたものもあれば、現在実用化への努力が続け
られているものもある。
れまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて
商品化されたものもあれば、現在実用化への努力が続け
られているものもある。
【０００５】この種の液体吐出ヘッドは、例えば図１０
に示すように、インクを吐出するためのオリフィス１０
４１を有するオリフィスプレート１０４０と各オリフィ
スに連通した流路１４０１とを形成するための天板１４
００と、流路１４０１の一部を構成し、かつ吐出のため
のエネルギーを発生するエネルギー発生素子１１０１
（以下、「ヒータ」という。）を有する基板１１００と
によって構成されている。
に示すように、インクを吐出するためのオリフィス１０
４１を有するオリフィスプレート１０４０と各オリフィ
スに連通した流路１４０１とを形成するための天板１４
００と、流路１４０１の一部を構成し、かつ吐出のため
のエネルギーを発生するエネルギー発生素子１１０１
（以下、「ヒータ」という。）を有する基板１１００と
によって構成されている。
【０００６】オリフィスプレート１０４０はインクを吐
出するための微細なオリフィス１０４１を有し、このオ
リフィス１０４１が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右す
る重要な要素となっている。すなわち液体吐出ヘッドの
オリフィスプレート１０４０は、微細なオリフィス１０
４１を設けるため、加工性がよく、また、インクに直接
接触するため耐インク性が良い等の性能が必要とされ
る。
出するための微細なオリフィス１０４１を有し、このオ
リフィス１０４１が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右す
る重要な要素となっている。すなわち液体吐出ヘッドの
オリフィスプレート１０４０は、微細なオリフィス１０
４１を設けるため、加工性がよく、また、インクに直接
接触するため耐インク性が良い等の性能が必要とされ
る。
【０００７】従来、上記の性能を満たす材料として、Ｓ
ＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌなどの金属プレートや、所望の
厚み、材料を簡易にしかも安価に得られるポリイミド、
ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニ
レンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプ
ロピレンなどの樹脂フィルム材などが用いられていた。
ＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌなどの金属プレートや、所望の
厚み、材料を簡易にしかも安価に得られるポリイミド、
ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニ
レンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプ
ロピレンなどの樹脂フィルム材などが用いられていた。
【０００８】一方、近年の記録技術の進歩に伴って、高
速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、こ
のため、オリフィス１０４１はその大きさ（オリフィス
径）が微小で、かつ高密度に形成されるようになってき
た。この結果、オリフィス１０４１の加工法も様々な工
夫がなされており、樹脂フィルムを用いた場合、レーザ
ー光は微細加工に適しているため、樹脂フィルムのオリ
フィス加工にレーザー光を用いている。また、金属プレ
ートを用いる場合は、電鋳などの方法によりオリフィス
１０４１を形成している。
速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、こ
のため、オリフィス１０４１はその大きさ（オリフィス
径）が微小で、かつ高密度に形成されるようになってき
た。この結果、オリフィス１０４１の加工法も様々な工
夫がなされており、樹脂フィルムを用いた場合、レーザ
ー光は微細加工に適しているため、樹脂フィルムのオリ
フィス加工にレーザー光を用いている。また、金属プレ
ートを用いる場合は、電鋳などの方法によりオリフィス
１０４１を形成している。
【０００９】ところが、微小なオリフィスが開口したオ
リフィスプレート１０４０とこれに対応して流路１４０
１とを、隣接するオリフィス１０４１と隙間なく接合す
ることは極めて難しい。
リフィスプレート１０４０とこれに対応して流路１４０
１とを、隣接するオリフィス１０４１と隙間なく接合す
ることは極めて難しい。
【００１０】このため、特開平２−１８７３４２号公報
などのように、オリフィスプレートの材料としての樹脂
フィルムをヘッド本体に接合した後に、レーザー光によ
ってオリフィス加工する方法や、特開平２−２０４０４
８号公報などのように、オリフィスプレートとしてドラ
イフィルムなどを用い、加熱により軟化した状態でヘッ
ド本体接合面に圧着し、軟化したオリフィスプレートを
流路内に入り込ませ、その後、フォトリソ工程またはレ
ーザー加工によってオリフィスを加工する方法が採られ
ている。
などのように、オリフィスプレートの材料としての樹脂
フィルムをヘッド本体に接合した後に、レーザー光によ
ってオリフィス加工する方法や、特開平２−２０４０４
８号公報などのように、オリフィスプレートとしてドラ
イフィルムなどを用い、加熱により軟化した状態でヘッ
ド本体接合面に圧着し、軟化したオリフィスプレートを
流路内に入り込ませ、その後、フォトリソ工程またはレ
ーザー加工によってオリフィスを加工する方法が採られ
ている。
【００１１】液体吐出ヘッドのオリフィスは、その形状
が流路側から吐出口側に向かうほど径が小さくなる、い
わゆるテーパ形状が望ましいが、テーパ形状のオリフィ
スをオリフィスプレートに形成した後に、接着樹脂を転
写法などで塗布し、貼り合わせて硬化させると、接着樹
脂がオリフィス内部に進入し、テーパ形状に形成された
オリフィスの形状が変わってしまい、吐出方向にばらつ
きが生じるなどの不具合が生じる。また、密着不良によ
る気泡の進入は、隣接するオリフィスとの間の接着が不
十分となり、吐出不良を起こしてしまう。
が流路側から吐出口側に向かうほど径が小さくなる、い
わゆるテーパ形状が望ましいが、テーパ形状のオリフィ
スをオリフィスプレートに形成した後に、接着樹脂を転
写法などで塗布し、貼り合わせて硬化させると、接着樹
脂がオリフィス内部に進入し、テーパ形状に形成された
オリフィスの形状が変わってしまい、吐出方向にばらつ
きが生じるなどの不具合が生じる。また、密着不良によ
る気泡の進入は、隣接するオリフィスとの間の接着が不
十分となり、吐出不良を起こしてしまう。
【００１２】このため、特開平５−３３００６１号公報
などのように、流路およびオリフィス内部に接着樹脂が
入り込まないように、オリフィス近傍に段差加工を施す
方法も採られている。
などのように、流路およびオリフィス内部に接着樹脂が
入り込まないように、オリフィス近傍に段差加工を施す
方法も採られている。
【００１３】また、オリフィスの開口したオリフィスプ
レートをヘッド本体接合面に接着する場合、接着樹脂の
硬化収縮により、硬化時の位置ずれが起きてしまう。こ
のため、特開平２−７８５６０号公報などのように、接
合に用いる材料の硬化収縮による影響を防ぐために、オ
リフィスプレートの接合面に凹凸を形成する方法も採ら
れている。
レートをヘッド本体接合面に接着する場合、接着樹脂の
硬化収縮により、硬化時の位置ずれが起きてしまう。こ
のため、特開平２−７８５６０号公報などのように、接
合に用いる材料の硬化収縮による影響を防ぐために、オ
リフィスプレートの接合面に凹凸を形成する方法も採ら
れている。
【００１４】また、このようなオリフィスプレートと接
合される液体吐出ヘッド本体を製造する方法としては、
例えば、以下の方法がある。まず最初に、シリコン基板
上に、吐出エネルギ発生素子を形成して、続いて流路壁
を形成する感光性樹脂をラミネートする。この後、前記
感光性樹脂をパターニングして、所望の流路壁を形成す
る。流路壁が形成された後、ガラス等よりなる天板を積
層し、流路が形成される。さらに、ダイヤモンドブレー
ド等によって前記積層体を切断することにより、流路の
長さの調整および分離が行われる。それから、流路に連
通するように、オリフィスプレートが接着剤等を介して
接合され、所望の液体吐出ヘッドが製造される。
合される液体吐出ヘッド本体を製造する方法としては、
例えば、以下の方法がある。まず最初に、シリコン基板
上に、吐出エネルギ発生素子を形成して、続いて流路壁
を形成する感光性樹脂をラミネートする。この後、前記
感光性樹脂をパターニングして、所望の流路壁を形成す
る。流路壁が形成された後、ガラス等よりなる天板を積
層し、流路が形成される。さらに、ダイヤモンドブレー
ド等によって前記積層体を切断することにより、流路の
長さの調整および分離が行われる。それから、流路に連
通するように、オリフィスプレートが接着剤等を介して
接合され、所望の液体吐出ヘッドが製造される。
【００１５】図１１は従来の液体吐出ヘッドの他の例を
示す斜視図であり、図１２はその平面図である。図１１
および図１２に示す液体吐出ヘッドは、シリコン基板１
３０９上に流路壁１３０１および吐出エネルギ発生素子
として電気熱変換素子１３０３が設けられ、これに例え
ばシリコン基板よりなる天板１３１０が接合されてい
る。これに流路１３０２の位置を調整する等のために、
ダイヤモンドブレードを用いて切断し、オリフィス１３
０８が設けられたオリフィスプレート１３０７をエポキ
シ樹脂等の接着剤１３０６で接合する。
示す斜視図であり、図１２はその平面図である。図１１
および図１２に示す液体吐出ヘッドは、シリコン基板１
３０９上に流路壁１３０１および吐出エネルギ発生素子
として電気熱変換素子１３０３が設けられ、これに例え
ばシリコン基板よりなる天板１３１０が接合されてい
る。これに流路１３０２の位置を調整する等のために、
ダイヤモンドブレードを用いて切断し、オリフィス１３
０８が設けられたオリフィスプレート１３０７をエポキ
シ樹脂等の接着剤１３０６で接合する。
【００１６】このような液体吐出ヘッドにおいても、オ
リフィスプレートを接合する際に用いられる接着剤が流
路に入り込んで詰まってしまうという問題点があった。
このため、ここでも特開平５−３３００６１号公報に記
載されているように、オリフィス近傍に段差を設ける加
工を施すことで、流路およびオリフィス内部への接着剤
の入り込みを防ぐ方法が採られている。
リフィスプレートを接合する際に用いられる接着剤が流
路に入り込んで詰まってしまうという問題点があった。
このため、ここでも特開平５−３３００６１号公報に記
載されているように、オリフィス近傍に段差を設ける加
工を施すことで、流路およびオリフィス内部への接着剤
の入り込みを防ぐ方法が採られている。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記に
説明した従来の従来技術においては、以下に説明する種
々の問題点があった。
説明した従来の従来技術においては、以下に説明する種
々の問題点があった。
【００１８】第１の問題は、オリフィスプレートが樹脂
やステンレスなどの金属で形成されている場合、接着時
のオリフィスプレートおよびヘッド本体の加熱により、
両者の熱膨張率差によってピッチがずれるため、このピ
ッチずれを抑え込むだけの荷重をかけなければならず、
製造装置の大型化や生産タクトを延長しなければならな
いといった問題である。また、オリフィスプレートがヘ
ッド本体に接合された後も、印字中の温度上昇や、物流
中の温度変化などで膨張・収縮を繰り返すため、特に１
インチを越える長尺ヘッドにおいては、オリフィスプレ
ートのゆがみや剥れが生じるおそれがある。このよう
に、オリフィスプレートとヘッド本体との熱膨張率差
は、製品開発上の大きな課題であった。
やステンレスなどの金属で形成されている場合、接着時
のオリフィスプレートおよびヘッド本体の加熱により、
両者の熱膨張率差によってピッチがずれるため、このピ
ッチずれを抑え込むだけの荷重をかけなければならず、
製造装置の大型化や生産タクトを延長しなければならな
いといった問題である。また、オリフィスプレートがヘ
ッド本体に接合された後も、印字中の温度上昇や、物流
中の温度変化などで膨張・収縮を繰り返すため、特に１
インチを越える長尺ヘッドにおいては、オリフィスプレ
ートのゆがみや剥れが生じるおそれがある。このよう
に、オリフィスプレートとヘッド本体との熱膨張率差
は、製品開発上の大きな課題であった。
【００１９】第２の問題は、オリフィスプレートの機械
的強度が弱いと、ヘッド組立てにおけるハンドリングの
難度が高く、生産技術面で、装置コストに与える影響が
大きいといった問題である。これに対し、熱膨張が小さ
く機械的強度の強い鉄・ニッケル合金（例えば、鉄：ニ
ッケルが５８：４２の４２インバーや、鉄：ニッケルが
６４：３６の３６インバー）などの金属を使用すると、
熱的な問題や機械強度の問題は解決できるが、これらの
金属は耐インク性が弱く、インクによって腐食してしま
うおそれがある。そこで、オリフィスプレートの表面に
金やパラジウムなどの耐食性の高い金属でメッキを施す
方法も考えられるが、この方法は、高コスト化を招くほ
か、メッキの僅かなピンホールから進行する腐食が起き
るおそれがあり、信頼性上の問題がある。
的強度が弱いと、ヘッド組立てにおけるハンドリングの
難度が高く、生産技術面で、装置コストに与える影響が
大きいといった問題である。これに対し、熱膨張が小さ
く機械的強度の強い鉄・ニッケル合金（例えば、鉄：ニ
ッケルが５８：４２の４２インバーや、鉄：ニッケルが
６４：３６の３６インバー）などの金属を使用すると、
熱的な問題や機械強度の問題は解決できるが、これらの
金属は耐インク性が弱く、インクによって腐食してしま
うおそれがある。そこで、オリフィスプレートの表面に
金やパラジウムなどの耐食性の高い金属でメッキを施す
方法も考えられるが、この方法は、高コスト化を招くほ
か、メッキの僅かなピンホールから進行する腐食が起き
るおそれがあり、信頼性上の問題がある。
【００２０】そこで本発明は、オリフィスプレートとヘ
ッド本体との熱膨張差を抑え、かつオリフィスプレート
の機械的強度および耐インク性を高めることができる液
体吐出ヘッドおよび該液体吐出ヘッドの製造方法を提供
することを目的とする。
ッド本体との熱膨張差を抑え、かつオリフィスプレート
の機械的強度および耐インク性を高めることができる液
体吐出ヘッドおよび該液体吐出ヘッドの製造方法を提供
することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するための
複数の吐出口を有するオリフィスプレートと、前記複数
の吐出口にそれぞれ連通する複数の流路と、該複数の流
路に液体を供給する液室と、前記複数の流路に対応して
配設され、前記液滴を吐出するためのエネルギーを発生
する複数のエネルギー発生素子とを備えたヘッド本体を
有し、前記オリフィスプレートを、前記オリフィスプレ
ートの前記吐出口に連通する前記流路の連通口が配設さ
れた前記ヘッド本体の接合面に接合させてなる液体吐出
ヘッドにおいて、前記オリフィスプレートが、前記吐出
口が形成される箇所に前記吐出口よりも大きな穴が形成
された、前記オリフィスプレートの芯となる第１の部材
と、該第１の部材の両表面および前記穴の内面を被覆す
る第２の部材とからなることを特徴とする。
め、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するための
複数の吐出口を有するオリフィスプレートと、前記複数
の吐出口にそれぞれ連通する複数の流路と、該複数の流
路に液体を供給する液室と、前記複数の流路に対応して
配設され、前記液滴を吐出するためのエネルギーを発生
する複数のエネルギー発生素子とを備えたヘッド本体を
有し、前記オリフィスプレートを、前記オリフィスプレ
ートの前記吐出口に連通する前記流路の連通口が配設さ
れた前記ヘッド本体の接合面に接合させてなる液体吐出
ヘッドにおいて、前記オリフィスプレートが、前記吐出
口が形成される箇所に前記吐出口よりも大きな穴が形成
された、前記オリフィスプレートの芯となる第１の部材
と、該第１の部材の両表面および前記穴の内面を被覆す
る第２の部材とからなることを特徴とする。
【００２２】上記のように構成された本発明の液体吐出
ヘッドによれば、第１の部材によってオリフィスプレー
トの線膨張率を低くするとともに機械的強度を高め、第
２の部材によってオリフィスプレートの耐インク性を高
めることが可能になる。そのため、熱膨張によるオリフ
ィスプレートのゆがみや剥れが生じるおそれが低減され
るとともに、インクによる腐食も防止されるので、液体
吐出ヘッドの信頼性が向上する。
ヘッドによれば、第１の部材によってオリフィスプレー
トの線膨張率を低くするとともに機械的強度を高め、第
２の部材によってオリフィスプレートの耐インク性を高
めることが可能になる。そのため、熱膨張によるオリフ
ィスプレートのゆがみや剥れが生じるおそれが低減され
るとともに、インクによる腐食も防止されるので、液体
吐出ヘッドの信頼性が向上する。
【００２３】さらに、前記第１の部材の線膨張係数が前
記ヘッド本体の線膨張係数と略等しい構成とすることに
より、オリフィスプレートとヘッド本体との熱膨張差に
よってオリフィスプレートのゆがみや剥れが生じるおそ
れが一層低減される。
記ヘッド本体の線膨張係数と略等しい構成とすることに
より、オリフィスプレートとヘッド本体との熱膨張差に
よってオリフィスプレートのゆがみや剥れが生じるおそ
れが一層低減される。
【００２４】さらには、前記第１の部材の線膨張係数と
前記第２の部材の線膨張係数とが同等であるか、あるい
は前記第１の部材の線膨張係数が前記第２の部材の線膨
張係数よりも小さい構成としてもよく、また、前記第１
の部材と前記第２の部材とは弾性率およびヤング率の少
なくとも一方が同等であるか、あるいは前記第１の部材
は前記第２の部材よりも弾性率およびヤング率の少なく
とも一方が高い構成としてもよい。これにより、第１の
部材と第２の部材との熱膨張差や歪み差によって、第１
の部材と第２の部材とが剥がれたり、第２の部材にクラ
ックが発生したりするおそれが低減される。
前記第２の部材の線膨張係数とが同等であるか、あるい
は前記第１の部材の線膨張係数が前記第２の部材の線膨
張係数よりも小さい構成としてもよく、また、前記第１
の部材と前記第２の部材とは弾性率およびヤング率の少
なくとも一方が同等であるか、あるいは前記第１の部材
は前記第２の部材よりも弾性率およびヤング率の少なく
とも一方が高い構成としてもよい。これにより、第１の
部材と第２の部材との熱膨張差や歪み差によって、第１
の部材と第２の部材とが剥がれたり、第２の部材にクラ
ックが発生したりするおそれが低減される。
【００２５】さらに、前記第１の部材が金属からなり、
前記第２の部材が樹脂からなる構成としてもよい。
前記第２の部材が樹脂からなる構成としてもよい。
【００２６】また、前記吐出口は、前記第１の部材の両
表面が前記第２の部材で被覆され、前記第１の部材の前
記穴が前記第２の部材で充填されてなるオリフィスプレ
ート前駆体に対し、前記第１の部材の前記穴を狙って前
記第２の部材を穿孔することによって形成されている構
成としてもよい。
表面が前記第２の部材で被覆され、前記第１の部材の前
記穴が前記第２の部材で充填されてなるオリフィスプレ
ート前駆体に対し、前記第１の部材の前記穴を狙って前
記第２の部材を穿孔することによって形成されている構
成としてもよい。
【００２７】さらに、前記第１の部材の前記穴が、エッ
チング加工、プレス加工、レーザー加工もしくはエレク
トロフォーミング加工のいずれかによって形成されてい
る構成としてもよい。
チング加工、プレス加工、レーザー加工もしくはエレク
トロフォーミング加工のいずれかによって形成されてい
る構成としてもよい。
【００２８】また、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を
吐出するための複数の吐出口を有するオリフィスプレー
トと、前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の流路
と、該複数の流路に液体を供給する液室と、前記複数の
流路に対応して配設され、前記液滴を吐出するためのエ
ネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子とを備え
たヘッド本体を有し、前記オリフィスプレートを、前記
オリフィスプレートの前記吐出口に連通する前記流路の
連通口が配設された前記ヘッド本体の接合面に接合させ
てなる液体吐出ヘッドにおいて、前記オリフィスプレー
トは吐出口形成領域と補強領域とからなり、該補強領域
では前記オリフィスプレートの内部に補強部材が充填さ
れていることを特徴とする。
吐出するための複数の吐出口を有するオリフィスプレー
トと、前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の流路
と、該複数の流路に液体を供給する液室と、前記複数の
流路に対応して配設され、前記液滴を吐出するためのエ
ネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子とを備え
たヘッド本体を有し、前記オリフィスプレートを、前記
オリフィスプレートの前記吐出口に連通する前記流路の
連通口が配設された前記ヘッド本体の接合面に接合させ
てなる液体吐出ヘッドにおいて、前記オリフィスプレー
トは吐出口形成領域と補強領域とからなり、該補強領域
では前記オリフィスプレートの内部に補強部材が充填さ
れていることを特徴とする。
【００２９】また、前記オリフィスプレートと前記ヘッ
ド本体とは接着剤によって接合されている構成としても
よい。
ド本体とは接着剤によって接合されている構成としても
よい。
【００３０】さらに、前記接着剤が、紫外線照射、赤外
線照射あるいは加熱処理によりＢステージ化する樹脂か
らなる構成としてもよく、あるいは、前記接着剤が、熱
硬化性および光エネルギー硬化性の少なくともいずれか
一方の性質を有するエポキシ系樹脂からなる構成として
もよい。
線照射あるいは加熱処理によりＢステージ化する樹脂か
らなる構成としてもよく、あるいは、前記接着剤が、熱
硬化性および光エネルギー硬化性の少なくともいずれか
一方の性質を有するエポキシ系樹脂からなる構成として
もよい。
【００３１】さらには、前記接着剤からなる接着剤層
が、前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体に接合さ
れる面に形成されている構成としてもよい。
が、前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体に接合さ
れる面に形成されている構成としてもよい。
【００３２】また、前記オリフィスプレートと前記ヘッ
ド本体の端面との間に、前記オリフィスプレートと前記
ヘッド本体との接合によって変形し前記連通口の周囲を
シールする接合補助部材が設けられている構成とするこ
とにより、接合補助部材が変形することによってオリフ
ィスプレートがヘッド本体により密着した状態で接合さ
れる。
ド本体の端面との間に、前記オリフィスプレートと前記
ヘッド本体との接合によって変形し前記連通口の周囲を
シールする接合補助部材が設けられている構成とするこ
とにより、接合補助部材が変形することによってオリフ
ィスプレートがヘッド本体により密着した状態で接合さ
れる。
【００３３】さらに、前記接着剤からなる接着剤層が前
記接合補助部材の表面に形成されている構成としてもよ
い。
記接合補助部材の表面に形成されている構成としてもよ
い。
【００３４】さらに、前記オリフィスプレートの前記ヘ
ッド本体に接合される面とは反対側の面に撥インク層が
形成されている構成としてもよい。
ッド本体に接合される面とは反対側の面に撥インク層が
形成されている構成としてもよい。
【００３５】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液
滴を吐出するための複数の吐出口を有するオリフィスプ
レートと、前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の
流路と、該複数の流路に液体を供給する液室と、前記複
数の流路に対応して配設され、前記液滴を吐出するため
のエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子とを
備えたヘッド本体を有し、前記オリフィスプレートを、
前記オリフィスプレートの前記吐出口に連通する前記流
路の連通口が配設された前記ヘッド本体の接合面に接合
させてなる液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オ
リフィスプレートの芯となる第１の部材の前記吐出口が
形成される箇所に前記吐出口よりも大きな穴を形成する
工程と、前記第１の部材の両表面を第２の部材で被覆す
るとともに、前記第１の部材の前記穴を前記第２の部材
で充填する工程と、前記第１の部材の前記穴を狙って前
記第２の部材を穿孔することによって前記吐出口を形成
する工程とにより前記オリフィスプレートを形成する工
程を有することを特徴とする。
滴を吐出するための複数の吐出口を有するオリフィスプ
レートと、前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の
流路と、該複数の流路に液体を供給する液室と、前記複
数の流路に対応して配設され、前記液滴を吐出するため
のエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子とを
備えたヘッド本体を有し、前記オリフィスプレートを、
前記オリフィスプレートの前記吐出口に連通する前記流
路の連通口が配設された前記ヘッド本体の接合面に接合
させてなる液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オ
リフィスプレートの芯となる第１の部材の前記吐出口が
形成される箇所に前記吐出口よりも大きな穴を形成する
工程と、前記第１の部材の両表面を第２の部材で被覆す
るとともに、前記第１の部材の前記穴を前記第２の部材
で充填する工程と、前記第１の部材の前記穴を狙って前
記第２の部材を穿孔することによって前記吐出口を形成
する工程とにより前記オリフィスプレートを形成する工
程を有することを特徴とする。
【００３６】上記本発明の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、熱膨張によるオリフィスプレートのゆがみや剥
れが生じるおそれが低減されるとともにインクによる腐
食も防止され、信頼性が高められた液体吐出ヘッドが製
造される。
よれば、熱膨張によるオリフィスプレートのゆがみや剥
れが生じるおそれが低減されるとともにインクによる腐
食も防止され、信頼性が高められた液体吐出ヘッドが製
造される。
【００３７】さらに、前記第１の部材の両表面を第２の
部材で被覆するとともに、前記第１の部材の前記穴を前
記第２の部材で充填する工程の後に、前記第２の部材の
前記ヘッド本体に接合されることとなる面に接着剤層を
形成する工程を有する構成としてもよい。
部材で被覆するとともに、前記第１の部材の前記穴を前
記第２の部材で充填する工程の後に、前記第２の部材の
前記ヘッド本体に接合されることとなる面に接着剤層を
形成する工程を有する構成としてもよい。
【００３８】さらには、前記第１の部材の両表面を第２
の部材で被覆するとともに、前記第１の部材の前記穴を
前記第２の部材で充填する工程の後に、前記第２の部材
の前記ヘッド本体に接合されることとなる面とは反対側
の面に撥インク層を形成する工程を有する構成としても
よい。
の部材で被覆するとともに、前記第１の部材の前記穴を
前記第２の部材で充填する工程の後に、前記第２の部材
の前記ヘッド本体に接合されることとなる面とは反対側
の面に撥インク層を形成する工程を有する構成としても
よい。
【００３９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００４０】図１は本発明の液体吐出ヘッドの一実施形
態を示す模式的断面図、図２は本発明の液体吐出ヘッド
の一実施形態を示す模式的斜視図である。
態を示す模式的断面図、図２は本発明の液体吐出ヘッド
の一実施形態を示す模式的斜視図である。
【００４１】図１および図２に示したように、本実施形
態の液体吐出ヘッドは、液室４０２を構成するための段
差を一体に形成した天板４００と、吐出エネルギーを発
生するためのエネルギー発生素子（以下、「ヒータ」と
いう。）１０１およびこれに電気信号を供給するための
Ａｌ配線とが成膜技術によってＳｉ基板上に形成され、
その後、各ヒータに対応してインクの流路を構成する流
路壁４０１が形成された基板１００とを接合することに
よって構成されるヘッド本体とを具えている。この接合
によって各ユニット毎に形成される流路４０１の開口
（連通口）を配する開口配設面（以下、「ヘッド本体接
合面」という。）４０３には、オリフィスプレート４０
が貼り合わされている。
態の液体吐出ヘッドは、液室４０２を構成するための段
差を一体に形成した天板４００と、吐出エネルギーを発
生するためのエネルギー発生素子（以下、「ヒータ」と
いう。）１０１およびこれに電気信号を供給するための
Ａｌ配線とが成膜技術によってＳｉ基板上に形成され、
その後、各ヒータに対応してインクの流路を構成する流
路壁４０１が形成された基板１００とを接合することに
よって構成されるヘッド本体とを具えている。この接合
によって各ユニット毎に形成される流路４０１の開口
（連通口）を配する開口配設面（以下、「ヘッド本体接
合面」という。）４０３には、オリフィスプレート４０
が貼り合わされている。
【００４２】ここでオリフィスプレート４０には、複数
の穴が設けられオリフィスプレート４０の芯（コア）と
なる第１の部材４２と、この第１の部材４２を被覆する
第２の部材４３とから構成されており、第１の部材４２
の穴にも充填された第２の部材４３を穿孔することよっ
て吐出口４１が形成されている。このオリフィスプレー
ト４０とヘッド本体とは、接着剤４４にて接合されてい
る。
の穴が設けられオリフィスプレート４０の芯（コア）と
なる第１の部材４２と、この第１の部材４２を被覆する
第２の部材４３とから構成されており、第１の部材４２
の穴にも充填された第２の部材４３を穿孔することよっ
て吐出口４１が形成されている。このオリフィスプレー
ト４０とヘッド本体とは、接着剤４４にて接合されてい
る。
【００４３】なお、本実施形態では、第１の部材４２と
して厚さ２０μｍの、鉄：ニッケルが５８：４２の４２
インバーを用い、第２の部材４３としてエポキシ樹脂を
用いている。そして、第２の部材４３としてのエポキシ
樹脂で第１の部材４２の両表面を被覆することにより、
厚さ５０μｍのオリフィスプレート前駆体を一旦形成し
ている。
して厚さ２０μｍの、鉄：ニッケルが５８：４２の４２
インバーを用い、第２の部材４３としてエポキシ樹脂を
用いている。そして、第２の部材４３としてのエポキシ
樹脂で第１の部材４２の両表面を被覆することにより、
厚さ５０μｍのオリフィスプレート前駆体を一旦形成し
ている。
【００４４】本実施形態のように、低熱膨張の金属から
なるコアとしての第１の部材４２を樹脂からなる第２の
部材４３で被覆し、オリフィスプレート４０とヘッド本
体との線熱膨張係数をほぼ等しくする構成とすることに
より、オリフィスプレート４０の加工工程中や液体吐出
ヘッドの組立て工程中における熱膨張による吐出口４１
のピッチずれを防止することができる。さらに、液体吐
出ヘッドがいわゆる長尺ヘッドである場合においては、
液体吐出ヘッドの耐熱性的な観点からの信頼性を飛躍的
に高めることができる。
なるコアとしての第１の部材４２を樹脂からなる第２の
部材４３で被覆し、オリフィスプレート４０とヘッド本
体との線熱膨張係数をほぼ等しくする構成とすることに
より、オリフィスプレート４０の加工工程中や液体吐出
ヘッドの組立て工程中における熱膨張による吐出口４１
のピッチずれを防止することができる。さらに、液体吐
出ヘッドがいわゆる長尺ヘッドである場合においては、
液体吐出ヘッドの耐熱性的な観点からの信頼性を飛躍的
に高めることができる。
【００４５】また、金属からなる第１の部材４２を用い
ることにより、オリフィスプレート４０の機械的な強度
を高めることができる。さらに、第１の部材４２の穴お
よび表面が樹脂で被覆されているため、金属からなる第
１の部材４２がインクに直接触れることがない。そのた
め、本実施形態によれば、インクによるオリフィスプレ
ート４０の腐食を防止することも併せて可能である。
ることにより、オリフィスプレート４０の機械的な強度
を高めることができる。さらに、第１の部材４２の穴お
よび表面が樹脂で被覆されているため、金属からなる第
１の部材４２がインクに直接触れることがない。そのた
め、本実施形態によれば、インクによるオリフィスプレ
ート４０の腐食を防止することも併せて可能である。
【００４６】さらに、第１の部材４２の線膨張係数と第
２の部材４３の線膨張係数とが同等であるか、あるいは
第１の部材４２の線膨張係数が第２の部材４３の線膨張
係数よりも小さい構成とすることが好ましい。また、第
１の部材４２と第２の部材４３とは弾性率およびヤング
率の少なくとも一方が同等であるか、あるいは第１の部
材４２は第２の部材４３よりも弾性率およびヤング率の
少なくとも一方が高い構成とすることが好ましい。これ
により、第１の部材４２と第２の部材４３との熱膨張差
や歪みによって、第１の部材４２と第２の部材４３とが
剥がれたり、第２の部材４３にクラックが発生したりす
るおそれを低減することができる。
２の部材４３の線膨張係数とが同等であるか、あるいは
第１の部材４２の線膨張係数が第２の部材４３の線膨張
係数よりも小さい構成とすることが好ましい。また、第
１の部材４２と第２の部材４３とは弾性率およびヤング
率の少なくとも一方が同等であるか、あるいは第１の部
材４２は第２の部材４３よりも弾性率およびヤング率の
少なくとも一方が高い構成とすることが好ましい。これ
により、第１の部材４２と第２の部材４３との熱膨張差
や歪みによって、第１の部材４２と第２の部材４３とが
剥がれたり、第２の部材４３にクラックが発生したりす
るおそれを低減することができる。
【００４７】また、金属からなる第１の部材４２の加工
には、プレスやレーザーあるいはエッチング、エレクト
ロフォーミングといった大量生産が可能な加工技術を用
いることができ、さらに、被覆樹脂である第２の部材４
３として液状の樹脂を用いることで、安価で信頼性の高
いオリフィスプレート４０を大量に製造することができ
る。
には、プレスやレーザーあるいはエッチング、エレクト
ロフォーミングといった大量生産が可能な加工技術を用
いることができ、さらに、被覆樹脂である第２の部材４
３として液状の樹脂を用いることで、安価で信頼性の高
いオリフィスプレート４０を大量に製造することができ
る。
【００４８】（第１の実施例）図３は、本発明の液体吐
出ヘッドの第１の実施例における、オリフィスプレート
の製造工程を示す断面図である。
出ヘッドの第１の実施例における、オリフィスプレート
の製造工程を示す断面図である。
【００４９】本実施例におけるオリフィスプレート４０
の製造工程では、まず最初に、図３（ａ）および図４に
示すように、４２インバーからなる厚さ３０μｍの第１
の部材４２に、ピッチが７０．５μｍで穴径が４５μｍ
の１３４０個の丸穴４２ａをプレス加工によって形成し
た。ここで、図４は、図３（ａ）に示した第１の部材の
平面図である。
の製造工程では、まず最初に、図３（ａ）および図４に
示すように、４２インバーからなる厚さ３０μｍの第１
の部材４２に、ピッチが７０．５μｍで穴径が４５μｍ
の１３４０個の丸穴４２ａをプレス加工によって形成し
た。ここで、図４は、図３（ａ）に示した第１の部材の
平面図である。
【００５０】次に、図３（ｂ）に示すように、第１の部
材４２の表面および丸穴４２ａをエポキシ樹脂からなる
第２の部材４３で被覆した後に樹脂を硬化させ、総厚が
７０μｍのシート状に形成した。この後に、図３（ｃ）
に示すように、第２の部材４３の一方の面上に撥インク
性剤を塗布し、他方の面上にカチオン重合型エポキシ樹
脂からなる接着剤４４の層を２μｍの厚さで形成し、紫
外線照射によりタック性を保持したままＢステージ化し
て硬化収縮させ、オリフィスプレート前駆体を形成し
た。
材４２の表面および丸穴４２ａをエポキシ樹脂からなる
第２の部材４３で被覆した後に樹脂を硬化させ、総厚が
７０μｍのシート状に形成した。この後に、図３（ｃ）
に示すように、第２の部材４３の一方の面上に撥インク
性剤を塗布し、他方の面上にカチオン重合型エポキシ樹
脂からなる接着剤４４の層を２μｍの厚さで形成し、紫
外線照射によりタック性を保持したままＢステージ化し
て硬化収縮させ、オリフィスプレート前駆体を形成し
た。
【００５１】最後に、以上のように形成したオリフィス
プレート前駆体に対し、図３（ｄ）に示すように接着剤
４４層側から第１の部材４２の丸穴４２ａを狙って波長
２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー光を照射し、吐出
口４１の穿孔加工を行った。以上の工程により、オリフ
ィスプレート４０を形成した。
プレート前駆体に対し、図３（ｄ）に示すように接着剤
４４層側から第１の部材４２の丸穴４２ａを狙って波長
２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー光を照射し、吐出
口４１の穿孔加工を行った。以上の工程により、オリフ
ィスプレート４０を形成した。
【００５２】そして、このように形成したオリフィスプ
レート４０の吐出口４１と、ヘッド本体接合面４０３の
流路４０１との位置合わせをし、オリフィスプレート４
０の接着剤４４が塗布されている面をヘッド本体に接合
させた。その後、液体吐出ヘッドの吐出口面から約１ｋ
ｇ／ｃｍ2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０を
ヘッド本体に密着させ、その状態を保持して１２０℃で
加熱圧着し、接着剤４４の硬化を終了させた。
レート４０の吐出口４１と、ヘッド本体接合面４０３の
流路４０１との位置合わせをし、オリフィスプレート４
０の接着剤４４が塗布されている面をヘッド本体に接合
させた。その後、液体吐出ヘッドの吐出口面から約１ｋ
ｇ／ｃｍ2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０を
ヘッド本体に密着させ、その状態を保持して１２０℃で
加熱圧着し、接着剤４４の硬化を終了させた。
【００５３】本実施例によれば、１２０℃まで加熱して
も、流路４０１と吐出口４１との位置ずれや吐出口４１
のピッチ変化を生じることなく、オリフィスプレート４
０をヘッド本体に安定的に接合できた。また、接着剤４
４の硬化が終了した液体吐出ヘッドを用いて印字を行っ
たところ、印字中の昇温によってオリフィスプレート４
０がゆがんだり剥れたりすることなく、良好な印字が得
られた。
も、流路４０１と吐出口４１との位置ずれや吐出口４１
のピッチ変化を生じることなく、オリフィスプレート４
０をヘッド本体に安定的に接合できた。また、接着剤４
４の硬化が終了した液体吐出ヘッドを用いて印字を行っ
たところ、印字中の昇温によってオリフィスプレート４
０がゆがんだり剥れたりすることなく、良好な印字が得
られた。
【００５４】なお、上記の接着剤４４としては、紫外線
照射、赤外線照射あるいは加熱処理によりＢステージ化
する樹脂からなるものや、熱硬化性および光エネルギー
硬化性の少なくともいずれか一方の性質を有するエポキ
シ系樹脂からなるものを用いることができる。
照射、赤外線照射あるいは加熱処理によりＢステージ化
する樹脂からなるものや、熱硬化性および光エネルギー
硬化性の少なくともいずれか一方の性質を有するエポキ
シ系樹脂からなるものを用いることができる。
【００５５】（第２の実施例）図５は、本発明の液体吐
出ヘッドの第２の実施例を、一部を破断した状態で示す
斜視図である。また、図６は、図５に示したオリフィス
プレートにおける第１の部材を示す平面図である。
出ヘッドの第２の実施例を、一部を破断した状態で示す
斜視図である。また、図６は、図５に示したオリフィス
プレートにおける第１の部材を示す平面図である。
【００５６】本実施例のオリフィスプレート４０は、ヘ
ッド本体に接合される面にゴムレジスト壁４５が設けら
れ、ゴムレジスト壁４５の表面に接着剤４４が塗布され
ている。
ッド本体に接合される面にゴムレジスト壁４５が設けら
れ、ゴムレジスト壁４５の表面に接着剤４４が塗布され
ている。
【００５７】ここで、本実施例におけるオリフィスプレ
ート４０の製造工程について説明する。
ート４０の製造工程について説明する。
【００５８】本実施例におけるオリフィスプレート４０
の製造工程では、まず最初に、図６に示すように、４２
インバーからなる厚さ１５μｍの第１の部材４２に、ピ
ッチが４２．３μｍで３５μｍ×３５μｍの６００個の
角穴４２ｂをエッチングによって形成した。
の製造工程では、まず最初に、図６に示すように、４２
インバーからなる厚さ１５μｍの第１の部材４２に、ピ
ッチが４２．３μｍで３５μｍ×３５μｍの６００個の
角穴４２ｂをエッチングによって形成した。
【００５９】次に、第１の部材４２の表面および角穴４
２ｂをエポキシ樹脂からなる第２の部材４３で被覆した
後に樹脂を硬化させ、総厚が５０μｍのシート状に形成
した。この後に、第２の部材４３の一方の面上に撥イン
ク性剤を塗布し、他方の面上に環化ゴムをベースにした
感光性ゴムレジストを４μｍの厚さで塗布し、パターニ
ングを行って、各インク流路の壁に対応した、弾性部材
からなる接合補助部材としてのゴムレジスト壁４５を形
成した。このパターニングの際に、ヘッド本体接合面の
インク流路近傍以外の部分には、線状あるいは島状のパ
ターンを配置した。なお、ゴムレジスト壁４５は、オリ
フィスプレート４０をヘッド本体に接合させるときに加
えられる押圧力によって弾性変形を生じ、ヘッド本体の
各連通口の周囲を互いに仕切るようにシールする。
２ｂをエポキシ樹脂からなる第２の部材４３で被覆した
後に樹脂を硬化させ、総厚が５０μｍのシート状に形成
した。この後に、第２の部材４３の一方の面上に撥イン
ク性剤を塗布し、他方の面上に環化ゴムをベースにした
感光性ゴムレジストを４μｍの厚さで塗布し、パターニ
ングを行って、各インク流路の壁に対応した、弾性部材
からなる接合補助部材としてのゴムレジスト壁４５を形
成した。このパターニングの際に、ヘッド本体接合面の
インク流路近傍以外の部分には、線状あるいは島状のパ
ターンを配置した。なお、ゴムレジスト壁４５は、オリ
フィスプレート４０をヘッド本体に接合させるときに加
えられる押圧力によって弾性変形を生じ、ヘッド本体の
各連通口の周囲を互いに仕切るようにシールする。
【００６０】その後、このゴムレジストの壁４５の上
に、エポキシ樹脂からなる接着剤４４の層を１μｍ±
０．５μｍの厚さで形成し、紫外線照射によりタック性
を保持したままＢステージ化して硬化収縮させ、オリフ
ィスプレート前駆体を形成した。
に、エポキシ樹脂からなる接着剤４４の層を１μｍ±
０．５μｍの厚さで形成し、紫外線照射によりタック性
を保持したままＢステージ化して硬化収縮させ、オリフ
ィスプレート前駆体を形成した。
【００６１】最後に、以上のように形成したオリフィス
プレート前駆体に対し、接着剤４４層側から第１の部材
４２の角穴４２ｂを狙って波長２４８ｎｍのＫｒＦエキ
シマレーザー光を照射し、１５μｍ径の吐出口４１を穿
孔した。
プレート前駆体に対し、接着剤４４層側から第１の部材
４２の角穴４２ｂを狙って波長２４８ｎｍのＫｒＦエキ
シマレーザー光を照射し、１５μｍ径の吐出口４１を穿
孔した。
【００６２】以上の工程により、オリフィスプレート４
０を形成した。
０を形成した。
【００６３】そして、このように形成したオリフィスプ
レート４０の吐出口４１と、ヘッド本体接合面４０３の
流路４０１との位置合わせをし、オリフィスプレート４
０をヘッド本体に接合させた。その後、液体吐出ヘッド
の吐出口面から約１ｋｇ／ｃｍ2の荷重をかけて、オリ
フィスプレート４０をヘッド本体に密着させ、その状態
を保持して１２０℃で加熱圧着し、接着剤４４の硬化を
終了させた。
レート４０の吐出口４１と、ヘッド本体接合面４０３の
流路４０１との位置合わせをし、オリフィスプレート４
０をヘッド本体に接合させた。その後、液体吐出ヘッド
の吐出口面から約１ｋｇ／ｃｍ2の荷重をかけて、オリ
フィスプレート４０をヘッド本体に密着させ、その状態
を保持して１２０℃で加熱圧着し、接着剤４４の硬化を
終了させた。
【００６４】本実施例によれば、オリフィスプレート４
０の熱膨張を抑えることができることに加え、ゴムレジ
スト壁４５が弾性変形してヘッド本体に隙間無く密着す
るので、１２０℃まで加熱しても、流路４０１と吐出口
４１との位置ずれや吐出口４１のピッチ変化を生じるこ
となく、オリフィスプレート４０をヘッド本体に安定的
に接合できた。さらに、ゴムレジスト壁４５を備えるこ
とにより、インク流路間を完全に仕切るとともに、接合
に必要な最小限の接着剤４４の量を管理することができ
る。
０の熱膨張を抑えることができることに加え、ゴムレジ
スト壁４５が弾性変形してヘッド本体に隙間無く密着す
るので、１２０℃まで加熱しても、流路４０１と吐出口
４１との位置ずれや吐出口４１のピッチ変化を生じるこ
となく、オリフィスプレート４０をヘッド本体に安定的
に接合できた。さらに、ゴムレジスト壁４５を備えるこ
とにより、インク流路間を完全に仕切るとともに、接合
に必要な最小限の接着剤４４の量を管理することができ
る。
【００６５】また、接着剤４４の硬化が終了した液体吐
出ヘッドを用いて印字を行ったところ、印字中の昇温に
よってオリフィスプレート４０がゆがんだり剥れたりす
ることなく、吐出液滴の着弾精度が高い良好な印字が得
られた。
出ヘッドを用いて印字を行ったところ、印字中の昇温に
よってオリフィスプレート４０がゆがんだり剥れたりす
ることなく、吐出液滴の着弾精度が高い良好な印字が得
られた。
【００６６】なお、上記第１の実施例および本実施例と
もに、第２の部材４３としてエポキシ樹脂を用いた。し
かし、第２の部材４３として用いられる材料はこれに限
るものではなく、第１の部材４２の穴を充填しかつ吐出
口４１を穿孔することができるとともに、インクにより
劣化のない樹脂であればよい。このような材料として
は、他にポリイミドやポリアミドなどが挙げられる。
もに、第２の部材４３としてエポキシ樹脂を用いた。し
かし、第２の部材４３として用いられる材料はこれに限
るものではなく、第１の部材４２の穴を充填しかつ吐出
口４１を穿孔することができるとともに、インクにより
劣化のない樹脂であればよい。このような材料として
は、他にポリイミドやポリアミドなどが挙げられる。
【００６７】（第３の実施例）図７は、本発明の液体吐
出ヘッドの第３の実施例のオリフィスプレートにおける
第１の部材を示す平面図である。
出ヘッドの第３の実施例のオリフィスプレートにおける
第１の部材を示す平面図である。
【００６８】吐出口４１の配列ピッチが先の実施例より
も更に細かくする必要がある場合には、第１の部材４２
への穴加工が次第に困難になる。そこで、図７に示すよ
うに、プレス、エッチング、レーザーもしくはエレクト
ロフォーミングによって第１の部材４２にスリット状の
長穴４２ｃを形成し、第２の部材で第１の部材４２被覆
と併せてこの長穴４２ｃを埋め、しかる後に、長穴４２
ｃを狙ってレーザーを照射して吐出口４１を穿孔加工す
ることにより、オリフィスプレートを形成してもよい。
も更に細かくする必要がある場合には、第１の部材４２
への穴加工が次第に困難になる。そこで、図７に示すよ
うに、プレス、エッチング、レーザーもしくはエレクト
ロフォーミングによって第１の部材４２にスリット状の
長穴４２ｃを形成し、第２の部材で第１の部材４２被覆
と併せてこの長穴４２ｃを埋め、しかる後に、長穴４２
ｃを狙ってレーザーを照射して吐出口４１を穿孔加工す
ることにより、オリフィスプレートを形成してもよい。
【００６９】これにより、上記各実施例のオリフィスプ
レートと同様の性能を維持しつつ、配列密度が１２００
ｄｐｉから２４００ｄｐｉまでの微細なオリフィスプレ
ートを形成することができる。
レートと同様の性能を維持しつつ、配列密度が１２００
ｄｐｉから２４００ｄｐｉまでの微細なオリフィスプレ
ートを形成することができる。
【００７０】（第４の実施例）図８は、本発明の液体吐
出ヘッドの第４の実施例のオリフィスプレートにおける
第１の部材を示す斜視図である。
出ヘッドの第４の実施例のオリフィスプレートにおける
第１の部材を示す斜視図である。
【００７１】第１の部材４２を形成する際には、プレ
ス、エッチング、レーザーあるいはエレクトロフォーミ
ングなどの加工方法が用いられる。しかし、これらのい
ずれの加工方法によっても、ある一定の厚みを有する第
１の部材４２に細径の穴をあけることは困難である。そ
のため、穴径を小さくして吐出口の更なる高密度化を図
ることが困難である。
ス、エッチング、レーザーあるいはエレクトロフォーミ
ングなどの加工方法が用いられる。しかし、これらのい
ずれの加工方法によっても、ある一定の厚みを有する第
１の部材４２に細径の穴をあけることは困難である。そ
のため、穴径を小さくして吐出口の更なる高密度化を図
ることが困難である。
【００７２】そこで、図８に示すように、所定の位置に
穴があけられた比較的に薄い複数の板材を重ね合わせて
第１の部材４２を構成することにより、一定の厚みを有
する第１の部材４２に細径の穴があけられた第１の部材
４２を得ることができる。なお、図８（ａ）は２枚の板
材が重ねられた場合を示し、図８（ｂ）は３枚の板材が
重ねられた場合を示している。
穴があけられた比較的に薄い複数の板材を重ね合わせて
第１の部材４２を構成することにより、一定の厚みを有
する第１の部材４２に細径の穴があけられた第１の部材
４２を得ることができる。なお、図８（ａ）は２枚の板
材が重ねられた場合を示し、図８（ｂ）は３枚の板材が
重ねられた場合を示している。
【００７３】いずれの場合においても、板材の重ね合わ
せには接着剤を用いる。このときに用いられる接着剤
は、第２の部材と同様の材質であることが好ましい。こ
れにより、板材の重ね合わせ時に接着剤によって穴づま
りが生じても、吐出口４１を穿孔する工程でこの穴詰ま
りは開口されるため何ら問題にならず、先の実施例と同
様の構成および機能を有するオリフィスプレートが形成
される。
せには接着剤を用いる。このときに用いられる接着剤
は、第２の部材と同様の材質であることが好ましい。こ
れにより、板材の重ね合わせ時に接着剤によって穴づま
りが生じても、吐出口４１を穿孔する工程でこの穴詰ま
りは開口されるため何ら問題にならず、先の実施例と同
様の構成および機能を有するオリフィスプレートが形成
される。
【００７４】（第５の実施例）図９は、本発明の液体吐
出ヘッドの第５の実施例における、オリフィスプレート
の製造工程を示す断面図である。
出ヘッドの第５の実施例における、オリフィスプレート
の製造工程を示す断面図である。
【００７５】本実施例におけるオリフィスプレート４０
の製造工程では、まず最初に、図９（ａ）に示すよう
に、オリフィスプレート４０のベースとなる樹脂とし
て、液状のカチオン重合型エポキシ樹脂５０を、厚さが
５０μｍの離剤が予め塗布されたステンレス製のベース
板（不図示）上にコーティングした。
の製造工程では、まず最初に、図９（ａ）に示すよう
に、オリフィスプレート４０のベースとなる樹脂とし
て、液状のカチオン重合型エポキシ樹脂５０を、厚さが
５０μｍの離剤が予め塗布されたステンレス製のベース
板（不図示）上にコーティングした。
【００７６】次に、図９（ｂ）に示すように、オリフィ
スプレート４０の補強領域に対応する部分が開口された
ステンレス製のエッチングマスク５１を、エポキシ樹脂
５０の表面から数十ミクロンの間隔を隔てて配置し、オ
リフィスプレート４０の補強部材となる粒径が数ミクロ
ンの酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）微粒子５２をエッチ
ングマスク５１の開口部５１ａから樹脂上に落下させ、
沈降させる。
スプレート４０の補強領域に対応する部分が開口された
ステンレス製のエッチングマスク５１を、エポキシ樹脂
５０の表面から数十ミクロンの間隔を隔てて配置し、オ
リフィスプレート４０の補強部材となる粒径が数ミクロ
ンの酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）微粒子５２をエッチ
ングマスク５１の開口部５１ａから樹脂上に落下させ、
沈降させる。
【００７７】その後、エポキシ樹脂５０がコーティング
されたベース板を加熱処理し、エポキシ樹脂５０をベー
ス板から剥離させる。続いて、エポキシ樹脂５０の一方
の面上に撥インク性剤５３を塗布し、他方の面上にカチ
オン重合型エポキシ樹脂からなる接着剤５４の層を２μ
ｍの厚さで形成し、紫外線照射によりタック性を維持し
たままＢステージ化して硬化収縮させ、オリフィスプレ
ート前駆体５５を形成した。
されたベース板を加熱処理し、エポキシ樹脂５０をベー
ス板から剥離させる。続いて、エポキシ樹脂５０の一方
の面上に撥インク性剤５３を塗布し、他方の面上にカチ
オン重合型エポキシ樹脂からなる接着剤５４の層を２μ
ｍの厚さで形成し、紫外線照射によりタック性を維持し
たままＢステージ化して硬化収縮させ、オリフィスプレ
ート前駆体５５を形成した。
【００７８】なお、エポキシ樹脂５０がコーティングさ
れたベース板を加熱処理した際に、表面に補強部材によ
る凹凸が発生した場合には、表面にエポキシ樹脂をさら
にコーティングしてもよいし、あるいは、表面を研磨し
て平坦化させてもよい。また、補強部材としては上記の
アルミナに限るものでなく、線膨張係数の小さい炭化ケ
イ素（ＳｉＣ）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、窒化アルミ
ニウム（ＡｌＮ）、あるいは酸化ジルコニウム（ＺｒＯ
2）などの微粉を用いてもよい。
れたベース板を加熱処理した際に、表面に補強部材によ
る凹凸が発生した場合には、表面にエポキシ樹脂をさら
にコーティングしてもよいし、あるいは、表面を研磨し
て平坦化させてもよい。また、補強部材としては上記の
アルミナに限るものでなく、線膨張係数の小さい炭化ケ
イ素（ＳｉＣ）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、窒化アルミ
ニウム（ＡｌＮ）、あるいは酸化ジルコニウム（ＺｒＯ
2）などの微粉を用いてもよい。
【００７９】最後に、上記のように形成したオリフィス
プレート前駆体５５に対し、図９（ｄ）に示すように、
接着剤５４層側から吐出口形成領域を狙って波長２４８
μｍのＫｒＦエキシマレーザー光を照射し、吐出口の穿
孔加工を行った。
プレート前駆体５５に対し、図９（ｄ）に示すように、
接着剤５４層側から吐出口形成領域を狙って波長２４８
μｍのＫｒＦエキシマレーザー光を照射し、吐出口の穿
孔加工を行った。
【００８０】以上の工程により、オリフィスプレート４
０を形成した。
０を形成した。
【００８１】そして、このように形成したオリフィスプ
レート４０の吐出口４１と、ヘッド本体接合面４０３の
流路４０１との位置合わせをし、オリフィスプレート４
０の接着剤４４が塗布されている面をヘッド本体に接合
させた。その後、液体吐出ヘッドの吐出口面から約１ｋ
ｇ／ｃｍ2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０を
ヘッド本体に密着させ、その状態を保持して１２０℃で
加熱圧着し、接着剤４４の硬化を終了させた。
レート４０の吐出口４１と、ヘッド本体接合面４０３の
流路４０１との位置合わせをし、オリフィスプレート４
０の接着剤４４が塗布されている面をヘッド本体に接合
させた。その後、液体吐出ヘッドの吐出口面から約１ｋ
ｇ／ｃｍ2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０を
ヘッド本体に密着させ、その状態を保持して１２０℃で
加熱圧着し、接着剤４４の硬化を終了させた。
【００８２】本実施例によれば、１２０℃まで加熱して
も、流路４０１と吐出口４１との位置ずれや吐出口４１
のピッチ変化を生じることなく、オリフィスプレート４
０をヘッド本体に安定的に接合できた。また、接着剤４
４の硬化が終了した液体吐出ヘッドを用いて印字を行っ
たところ、印字中の昇温によってオリフィスプレート４
０がゆがんだり剥れたりすることなく、良好な印字が得
られた。
も、流路４０１と吐出口４１との位置ずれや吐出口４１
のピッチ変化を生じることなく、オリフィスプレート４
０をヘッド本体に安定的に接合できた。また、接着剤４
４の硬化が終了した液体吐出ヘッドを用いて印字を行っ
たところ、印字中の昇温によってオリフィスプレート４
０がゆがんだり剥れたりすることなく、良好な印字が得
られた。
【００８３】なお、上記の接着剤４４としては、紫外線
照射、赤外線照射あるいは加熱処理によりＢステージ化
する樹脂からなるものや、熱硬化性および光エネルギー
硬化性の少なくともいずれか一方の性質を有するエポキ
シ系樹脂からなるものを用いることができる。
照射、赤外線照射あるいは加熱処理によりＢステージ化
する樹脂からなるものや、熱硬化性および光エネルギー
硬化性の少なくともいずれか一方の性質を有するエポキ
シ系樹脂からなるものを用いることができる。
【００８４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、オリフ
ィスプレートが、吐出口が形成される箇所に吐出口より
も大きな穴が形成された、オリフィスプレートの芯とな
る第１の部材と、第１の部材の両表面および穴を被覆す
る第２の部材とからなるので、第１の部材によってオリ
フィスプレートの線膨張率を低くするとともに機械的強
度を高め、第２の部材によってオリフィスプレートの耐
インク性を高めることが可能になるため、熱膨張による
オリフィスプレートのゆがみや剥れが生じるおそれを低
減できるとともにインクによる腐食も防止でき、液体吐
出ヘッドの信頼性を向上させることができる。
ィスプレートが、吐出口が形成される箇所に吐出口より
も大きな穴が形成された、オリフィスプレートの芯とな
る第１の部材と、第１の部材の両表面および穴を被覆す
る第２の部材とからなるので、第１の部材によってオリ
フィスプレートの線膨張率を低くするとともに機械的強
度を高め、第２の部材によってオリフィスプレートの耐
インク性を高めることが可能になるため、熱膨張による
オリフィスプレートのゆがみや剥れが生じるおそれを低
減できるとともにインクによる腐食も防止でき、液体吐
出ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態を示す模
式的断面図である。
式的断面図である。
【図２】本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態を示す模
式的斜視図である。
式的斜視図である。
【図３】本発明の液体吐出ヘッドの第１の実施例におけ
る、オリフィスプレートの製造工程を示す断面図であ
る。
る、オリフィスプレートの製造工程を示す断面図であ
る。
【図４】図３（ａ）に示した第１の部材の平面図であ
る。
る。
【図５】本発明の液体吐出ヘッドの第２の実施例を、一
部を破断した状態で示す斜視図である。
部を破断した状態で示す斜視図である。
【図６】図５に示したオリフィスプレートにおける第１
の部材を示す平面図である。
の部材を示す平面図である。
【図７】本発明の液体吐出ヘッドの第３の実施例のオリ
フィスプレートにおける第１の部材を示す平面図であ
る。
フィスプレートにおける第１の部材を示す平面図であ
る。
【図８】本発明の液体吐出ヘッドの第４の実施例のオリ
フィスプレートにおける第１の部材を示す斜視図であ
る。
フィスプレートにおける第１の部材を示す斜視図であ
る。
【図９】本発明の液体吐出ヘッドの第５の実施例におけ
る、オリフィスプレートの製造工程を示す断面図であ
る。
る、オリフィスプレートの製造工程を示す断面図であ
る。
【図１０】従来の液体吐出ヘッドを分解した状態で示す
斜視図である。
斜視図である。
【図１１】従来の液体吐出ヘッドの他の例を示す斜視図
である。
である。
【図１２】図１１に示した液体吐出ヘッドの平面断面図
である。
である。
４０ オリフィスプレート ４１ 吐出口 ４２ 第１の部材 ４２ａ 丸穴 ４２ｂ 角穴 ４２ｃ 長穴 ４３ 第２の部材 ４４ 接着剤 ４５ ゴムレジスト壁 ５０ エポキシ樹脂 ５１ エッチングマスク ５１ａ 開口部 ５２ アルミナ微粒子 ５３ 撥インク剤 ５４ 接着剤 ５５ オリフィスプレート前駆体 １００ 基板 １０１ エネルギー発生素子 ４００ 天板 ４０１ 流路 ４０２ 液室 ４０３ 開口配設面（ヘッド本体接合面）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉谷 博志 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池田 雅実 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 宮川 昌士 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 鈴木 良明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 三原 弘明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小山 修司 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF70 AF93 AG12 AP02 AP13 AP22 AP23 AP25 AP31 BA03 BA13
Claims (19)
- 【請求項１】 液滴を吐出するための複数の吐出口を有
するオリフィスプレートと、前記複数の吐出口にそれぞ
れ連通する複数の流路と、該複数の流路に液体を供給す
る液室と、前記複数の流路に対応して配設され、前記液
滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネル
ギー発生素子とを備えたヘッド本体を有し、前記オリフ
ィスプレートを、前記オリフィスプレートの前記吐出口
に連通する前記流路の連通口が配設された前記ヘッド本
体の接合面に接合させてなる液体吐出ヘッドにおいて、 前記オリフィスプレートが、前記吐出口が形成される箇
所に前記吐出口よりも大きな穴が形成された、前記オリ
フィスプレートの芯となる第１の部材と、該第１の部材
の両表面および前記穴の内面を被覆する第２の部材とか
らなることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 【請求項２】 前記第１の部材の線膨張係数が前記ヘッ
ド本体の線膨張係数と略等しい請求項１に記載の液体吐
出ヘッド。 - 【請求項３】 前記第１の部材の線膨張係数と前記第２
の部材の線膨張係数とが同等であるか、あるいは前記第
１の部材の線膨張係数が前記第２の部材の線膨張係数よ
りも小さい請求項２に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４】 前記第１の部材と前記第２の部材とは弾
性率およびヤング率の少なくとも一方が同等であるか、
あるいは前記第１の部材は前記第２の部材よりも弾性率
およびヤング率の少なくとも一方が高い請求項２または
３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５】 前記第１の部材が金属からなり、前記第
２の部材が樹脂からなる請求項１から４のいずれか１項
に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項６】 前記吐出口は、前記第１の部材の両表面
が前記第２の部材で被覆され、前記第１の部材の前記穴
が前記第２の部材で充填されてなるオリフィスプレート
前駆体に対し、前記第１の部材の前記穴を狙って前記第
２の部材を穿孔することによって形成されている請求項
１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項７】 前記第１の部材の前記穴が、エッチング
加工、プレス加工、レーザー加工もしくはエレクトロフ
ォーミング加工のいずれかによって形成されている請求
項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項８】 前記第１の部材は、前記穴が形成された
複数の板部材が互いに重ね合わせられることにより構成
されている請求項１から７のいずれか１項に記載の液体
吐出ヘッド。 - 【請求項９】 液滴を吐出するための複数の吐出口を有
するオリフィスプレートと、前記複数の吐出口にそれぞ
れ連通する複数の流路と、該複数の流路に液体を供給す
る液室と、前記複数の流路に対応して配設され、前記液
滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネル
ギー発生素子とを備えたヘッド本体を有し、前記オリフ
ィスプレートを、前記オリフィスプレートの前記吐出口
に連通する前記流路の連通口が配設された前記ヘッド本
体の接合面に接合させてなる液体吐出ヘッドにおいて、 前記オリフィスプレートは吐出口形成領域と補強領域と
からなり、該補強領域では前記オリフィスプレートの内
部に補強部材が充填されていることを特徴とする液体吐
出ヘッド。 - 【請求項１０】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド
本体とは接着剤によって接合されている請求項１から９
のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１１】 前記接着剤が、紫外線照射、赤外線照
射あるいは加熱処理によりＢステージ化する樹脂からな
る請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１２】 前記接着剤が、熱硬化性および光エネ
ルギー硬化性の少なくともいずれか一方の性質を有する
エポキシ系樹脂からなる請求項１０に記載の液体吐出ヘ
ッド。 - 【請求項１３】 前記接着剤からなる接着剤層が、前記
オリフィスプレートの前記ヘッド本体に接合される面に
形成されている請求項１０から１２のいずれか１項に記
載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１４】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド
本体の端面との間に、前記オリフィスプレートと前記ヘ
ッド本体との接合によって変形し前記連通口の周囲をシ
ールする接合補助部材が設けられている請求項１から１
２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１５】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド
本体の端面との間に、前記オリフィスプレートと前記ヘ
ッド本体との接合によって変形し前記連通口の周囲をシ
ールする接合補助部材が設けられ、前記接着剤からなる
接着剤層が前記接合補助部材の表面に形成されている請
求項１０から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッ
ド。 - 【請求項１６】 前記オリフィスプレートの前記ヘッド
本体に接合される面とは反対側の面に撥インク層が形成
されている請求項１から１５のいずれか１項に記載の液
体吐出ヘッド。 - 【請求項１７】 液滴を吐出するための複数の吐出口を
有するオリフィスプレートと、前記複数の吐出口にそれ
ぞれ連通する複数の流路と、該複数の流路に液体を供給
する液室と、前記複数の流路に対応して配設され、前記
液滴を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネ
ルギー発生素子とを備えたヘッド本体を有し、前記オリ
フィスプレートを、前記オリフィスプレートの前記吐出
口に連通する前記流路の連通口が配設された前記ヘッド
本体の接合面に接合させてなる液体吐出ヘッドの製造方
法であって、 前記オリフィスプレートの芯となる第１の部材の前記吐
出口が形成される箇所に前記吐出口よりも大きな穴を形
成する工程と、 前記第１の部材の両表面を第２の部材で被覆するととも
に、前記第１の部材の前記穴を前記第２の部材で充填す
る工程と、 前記第１の部材の前記穴を狙って前記第２の部材を穿孔
することによって前記吐出口を形成する工程とにより前
記オリフィスプレートを形成する工程を有することを特
徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１８】 前記第１の部材の両表面を第２の部材
で被覆するとともに、前記第１の部材の前記穴を前記第
２の部材で充填する工程の後に、前記第２の部材の前記
ヘッド本体に接合されることとなる面に接着剤層を形成
する工程を有する請求項１７に記載の液体吐出ヘッドの
製造方法。 - 【請求項１９】 前記第１の部材の両表面を第２の部材
で被覆するとともに、前記第１の部材の前記穴を前記第
２の部材で充填する工程の後に、前記第２の部材の前記
ヘッド本体に接合されることとなる面とは反対側の面に
撥インク層を形成する工程を有する請求項１７または１
８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11189625A JP2001018395A (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
| US09/608,167 US6511162B1 (en) | 1999-07-02 | 2000-06-30 | Liquid discharge head and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11189625A JP2001018395A (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001018395A true JP2001018395A (ja) | 2001-01-23 |
Family
ID=16244437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11189625A Pending JP2001018395A (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6511162B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001018395A (ja) |
Cited By (2)
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| WO2003099569A3 (en) * | 2002-05-23 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Laser processing method using ultra-short pulse laser beam |
| JP2004520981A (ja) * | 2001-06-05 | 2004-07-15 | ザール テクノロジー リミテッド | 液滴付着装置用ノズル板 |
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| US6652702B2 (en) * | 2000-09-06 | 2003-11-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head and method for manufacturing ink jet recording head |
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| US8251496B2 (en) | 2008-05-22 | 2012-08-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head having resin supply and support members |
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-
1999
- 1999-07-02 JP JP11189625A patent/JP2001018395A/ja active Pending
-
2000
- 2000-06-30 US US09/608,167 patent/US6511162B1/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2004520981A (ja) * | 2001-06-05 | 2004-07-15 | ザール テクノロジー リミテッド | 液滴付着装置用ノズル板 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6511162B1 (en) | 2003-01-28 |
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