JP2008176843A - 磁気記録媒体用基板、及び磁気記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この実施形態に係る磁気記録媒体用基板は、円板状の形状を有し、樹脂を母材としている。基板の表面においては、水の接触角が0°より大きく、30°未満となっている。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性を向上させることができる。その結果、純水を用いて磁気記録媒体用基板を洗浄することができるため、洗浄性を向上させ、さらに、環境面での安全性が担保される。また、水を含む研磨剤を用いて磁気記録媒体用基板を研磨した場合に、均質に基板表面を研磨することが可能となる。
【選択図】なし
Description
また、この発明の第2の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板に、親水性材料が含まれていることを特徴とする。
また、この発明の第3の形態は、第2の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記親水性材は、無機材料であることを特徴とする。
また、この発明の第4の形態は、第2の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記親水性材は、酸化物であることを特徴とする。
また、この発明の第5の形態は、第2から第4のいずれかの形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記親水性材料が前記基板の全体に占める体積の割合が、0.05〜30[%]であることを特徴とする。
また、この発明の第6の形態は、第2から第5のいずれかの形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板の表面において、前記親水性材料の表面占有率が0.5〜99.5[%]であることを特徴とする。
また、この発明の第7の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板は、アルカリ性水溶液に浸漬されたことを特徴とする。
また、この発明の第8の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板は、酸性水溶液に浸漬されたことを特徴とする。
また、この発明の第9の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板は、中性洗剤水溶液に浸漬されたことを特徴とする。
また、この発明の第10の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板は、紫外線が照射されたことを特徴とする。
また、この発明の第11の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、前記基板は、プラズマが照射されたことを特徴とする。
また、この発明の第12の形態は、第1の形態に係る磁気記録媒体用基板であって、放電処理が施されたことを特徴とする。
また、この発明の第13の形態は、円板状の形状を有する樹脂製の基板をアルカリ性水溶液に浸漬する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第14の形態は、第13の形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記アルカリ性水溶液は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化バリウム、水酸化マグネシウム、アンモニア水の中から選択される水溶液であることを特徴とする。
また、この発明の第15の形態は、円板状の形状を有する樹脂製の基板を酸性水溶液に浸漬する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第16の形態は、第15の形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記酸性水溶液は、塩酸、次亜塩素酸、硫酸、亜硫酸、硝酸、炭酸、王水、クロム酸、臭化水素酸、フッ化珪酸、フッ化水素酸、ほう酸、酢酸、シュウ酸、りん酸、蟻酸、クエン酸、シュウ酸、オレイン酸、マレイン酸の中から選択される水溶液であることを特徴とする。
また、この発明の第17の形態は、円板状の形状を有する樹脂製の基板を中性洗剤水溶液に浸漬する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第18の形態は、第17の形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記中性洗剤は、イオン性界面活性剤、又は非イオン性界面活性剤であることを特徴とする。
また、この発明の第19の形態は、円板状の形状を有する樹脂製の基板に対して、紫外線を照射する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第20の形態は、第19の形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記紫外線は、150〜350nmの波長を有する紫外光線であることを特徴とする。
また、この発明の第21の形態は、円板状の形状を有する樹脂製の基板に対して、プラズマを照射する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第22の形態は、第21の形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記プラズマは、1hPa以上の気圧下で発生する低真空プラズマ若しくは大気圧プラズマであることを特徴とする。
また、この発明の第23の形態は、円板状の形状を有する樹脂製の基板に対して、放電処理を施すことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第24の形態は、第23の形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記放電は、コロナ放電であることを特徴とする。
また、この発明の第25の形態は、第13から第24のいずれかの形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記基板の表面を、水を含む研磨剤で研磨する工程を含むことを特徴とする。
また、この発明の第26の形態は、第13から第24のいずれかの形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法であって、前記基板を純水で洗浄する工程を含むことを特徴とする。
この発明の実施形態に係る磁気記録媒体用基板の構成について説明する。この実施形態に係る磁気記録媒体用基板は円板状の形状を有し、円板の中央に貫通孔が形成されている。また、この磁気記録媒体用基板は樹脂により構成されている。そして、この磁気記録媒体用基板は、ハードディスクなどの磁気記録媒体の基板として用いられる。
まず、洗浄工程における作用及び効果について説明する。磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が向上するため、洗浄工程において、純水を用いて磁気記録媒体用基板を洗浄することが可能となる。
次に、研磨工程における作用及び効果について説明する。研磨工程では、水を含む研磨剤が用いられる。研磨工程では、従来技術に係る研磨技術を用いることができる。基板の研磨は例えば、対向配置した2つの回転可能な定盤の対向する面にパッドを貼り付け、2つのパッド間に基板を配置し、磁気記録媒体用基板表面にパッドを接触させながら回転させると同時に、基板表面に研磨剤を供給する方法で行われる。研磨剤としては、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マンガン、二酸化珪素、酸化鉄、ダイヤモンド、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、タングステンカーバイトなどを水や研削水溶液に1%〜数十%の濃度で分散させた研磨スラリーなどが用いられる。磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になるため、研磨工程において、基板表面を均質に研磨することができ、研磨むらの発生を抑えることが可能となる。
次に、この実施形態に係る磁気記録媒体用基板の製造方法について説明する。ここでは、水の接触角を0°より大きく30°未満にするための方法として、3つの形態について説明する。
まず、第1の形態について説明する。この第1の形態では、薬品を用いることで磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性を改善する。薬品としては、例えば、アルカリ性水溶液、酸性水溶液、中性洗剤液、オゾン水、イオン水などを用いる。
アルカリ性水溶液には、例えば、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化バリウム、水酸化マグネシウム、アンモニア水などを用いる。
また、酸性水溶液には、例えば、塩酸、次亜塩素酸、硫酸、亜硫酸、硝酸、炭酸、王水、クロム酸、臭化水素酸、フッ化珪酸、フッ化水素酸、ほう酸、酢酸、シュウ酸、りん酸、蟻酸、クエン酸、シュウ酸、オレイン酸、マレイン酸、の中から選択される水溶液などを用いる。
また、中性洗剤液には、例えば、イオン性界面活性剤、若しくは非イオン性界面活性剤などを用いる。より具体的には、イオン性界面活性剤としては、直鎖アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、脂肪酸ナトリウム、脂肪酸カリウム、アルキル硫酸エステルナトリウム、アルキルエーテル硫酸エステルナトリウム、アルファオレフィンスルホン酸ナトリウム 、アルキルスルホン酸ナトリウム、アルキルアミノ脂肪酸ナトリウム、アルキルベタイン、アルキルアミンオキシド、アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウム塩、高級アルコール硫酸エステル塩などがあり、非イオン性界面活性剤としては、しょ糖脂肪酸エステルソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、脂肪族アルカノールアミド、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなどがある。
例えば、水酸化ナトリウム水溶液に磁気記録媒体用基板を浸漬する場合について説明する。例えば、濃度が0.001重量%〜30重量%の水酸化ナトリウム水溶液に磁気記録媒体用基板を浸漬することで、基板に対する水の接触角を0°より大きく30°未満とすることができる。また、水酸化ナトリウム水溶液の温度を、5[℃]〜50[℃]にすることが好ましい。また、水酸化ナトリウム水溶液に磁気記録媒体用基板を浸漬する時間を、10秒〜1000秒にすることが好ましい。なお、水酸化ナトリウム水溶液の濃度、温度、又は浸漬する時間を適宜変えることにより、磁気記録媒体用基板の水に対する接触角を変えることができる。
次に、第2の形態について説明する。この第2の形態では、樹脂製の基板に紫外線を照射したり、プラズマを照射したり、放電による処理を施したりして、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性を改善する。
次に、第3の形態について説明する。この第3の形態では、樹脂材料に親水性材料を含ませることで、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性を改善する。
親水性材料として、例えば、酸化物、炭化物、窒化物、炭酸化合物、硫酸化合物、りん酸化合物、フッ化物、塩化物、硫化物、水酸化物、金属などの無機材料を用いることが出来る。その中でも改善効果、生産性、基板特性の維持の観点から酸化物を用いることが好ましい。
酸化物として、具体的には、SiO2、Al2O3、TiO2、ZrO2、MgO、ZnO、MnO、Fe2O3、CoO、NiO、CuO、GeO2、Ga2O3、In2O3、Y2O3、La2O3、CeO2、SnO2、Nb2O5、Ta2O5などを用いる。
次に、この発明の具体的な実施例について説明する。
実施例1では、上記第1の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、アルカリ性水溶液に樹脂製の磁気記録媒体用基板を浸漬して、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。
基板の材料としてポリイミドを用い、射出成形により磁気記録媒体用基板を作製した。ポリイミドとして、オーラム(三井化学社製)を用いた。この磁気記録媒体用基板の寸法を以下に示す。
外径:1インチ(25.4[mm])
基板の厚さ:0.4[mm]
実施例1では、アルカリ性水溶液に上記の磁気記録媒体用基板を浸漬した。アルカリ性水溶液及び浸漬の条件を以下に示す。
アルカリ性水溶液:水酸化ナトリウム水溶液
濃度:3重量%
温度:30℃
浸漬の時間:150秒
上記の浸漬工程が施された磁気記録媒体用基板の水に対する接触角を測定した。この測定には、AST社製接触角測定装置(VCA−3000)を用いた。上記の浸漬工程を樹脂製の磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を5°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例1に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例1で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。この洗浄の条件を以下に示す。
洗浄の時間:300秒
純水:RO水
洗浄後の基板をランプ光源下で基板全面にわたり目視検査を行い、清浄度の確認を実施した。基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例1で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件を以下に示す。
研磨剤:酸化ジルコニウム
研磨機:浜井産業社製 両面ポリッシュ盤 9BF
研磨後の基板を原子間力顕微鏡(DI社製 D3100)で表面粗さを計測し、基板全面の任意の10箇所の表面粗さの分布状態を確認した。研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例2では、上記第1の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、実施例1と同様に、アルカリ性水溶液に樹脂製の磁気記録媒体用基板を浸漬して、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例2に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
実施例2では、実施例1と異なるアルカリ性水溶液に磁気記録媒体用基板を浸漬した。アルカリ性水溶液及び浸漬の条件を以下に示す。
アルカリ性水溶液:水酸化カリウム水溶液
濃度:1重量%
温度:50℃
浸漬の時間:90秒
上記の浸漬工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を10°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例2に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例2で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例2で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例3では、上記第1の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、実施例1と同様に、アルカリ性水溶液に樹脂製の磁気記録媒体用基板を浸漬して、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例3に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
実施例3では、実施例1及び実施例2とは異なるアルカリ性水溶液に磁気記録媒体用基板を浸漬した。アルカリ性水溶液及び浸漬の条件を以下に示す。
アルカリ性水溶液:アンモニア水溶液
濃度:25重量%
温度:25℃
浸漬の時間:300秒
上記の浸漬工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を12°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例3に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例3で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例3で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例4では、上記第1の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。実施例4では、酸性水溶液に樹脂製の磁気記録媒体用基板を浸漬した。なお、この実施例4に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
実施例4では、実施例1から実施例3のアルカリ水溶液とは異なり、酸性水溶液に樹脂製基板を浸漬した。酸性水溶液及び浸漬の条件を以下に示す。
酸性水溶液:硝酸
濃度:0.3重量%
温度:20℃
浸漬の時間:90秒
上記の浸漬工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を5°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例4に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例4で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例4で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例5では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板に紫外線を照射して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例5に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
紫外線照射の条件を以下に示す。
波長:254nm
強度:80W
時間:10分
上記の紫外線照射の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を16°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例5に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例5で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例5で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例6では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板に紫外線を照射して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例6に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
紫外線照射の条件を以下に示す。
波長:254nm
強度:200W
時間:15分
上記の紫外線照射の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を6°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例6に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例6で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例6で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例7では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板に紫外線を照射して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例7に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
紫外線照射の条件を以下に示す。
波長:185nm
強度:50W
時間:5分
上記の紫外線照射の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を3°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例7に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例7で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例7で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例8では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板にプラズマを照射して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例8に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
プラズマ照射の条件を以下に示す。
気圧:大気圧
プラズマガス種:アルゴン
照射時間:5秒/基板で表面走査
上記のプラズマ照射の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を10°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例8に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例8で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例8で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例9では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板にプラズマを照射して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例9に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
プラズマ照射の条件を以下に示す。
気圧:大気圧
プラズマガス種:酸素
照射時間:5秒/基板で表面走査
上記のプラズマ照射の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を4°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例9に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例9で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例9で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例10では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板にプラズマを照射して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例10に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
プラズマ照射の条件を以下に示す。
気圧:10hPa
プラズマガス種:アルゴン
照射時間:2秒/基板で表面走査
上記のプラズマ照射の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を8°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例10に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例10で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例10で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例11では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板にコロナ放電処理を施して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例11に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
コロナ放電改質装置:信光電気計装社製 コロナスキャナーASA−4
コロナ放電の条件を以下に示す。
電圧:10kV
処理時間:0.2秒
上記のコロナ放電の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を5°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例11に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例11で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例11で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例12では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板にコロナ放電処理を施して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例12に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
コロナ放電の条件を以下に示す。
電圧:8kV
処理時間:2.0秒
上記のコロナ放電の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を4°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例12に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例12で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例12で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例13では、上記第2の形態による方法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、磁気記録媒体用基板にコロナ放電処理を施して磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例13に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
コロナ放電の条件を以下に示す。
電圧:12kV
処理時間:0.1秒
上記のコロナ放電の工程を磁気記録媒体用基板に施すことにより、基板表面における水の接触角を8°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例13に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例13で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例13で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが10Å程度で均質であった。
実施例14では、上記第3の形態による手法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、樹脂に親水性材料を含ませて磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例14に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
実施例14で用いた親水性材料について説明する。
親水性材料:シリカ(二酸化珪素)
体積の割合:5%
表面:5%
実施例14に係る磁気記録媒体用基板によると、基板表面における水の接触角を15°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例14に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例14で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例14で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが30Å程度で均質であった。
実施例15では、上記第3の形態による手法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、樹脂に親水性材料を含ませて磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例15に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
実施例15で用いた親水性材料について説明する。
親水性材料:酸化チタン
体積の割合:10%
表面:25%
実施例15に係る磁気記録媒体用基板によると、基板表面における水の接触角を6°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例15に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例15で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例15で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが45Å程度で均質であった。
実施例16では、上記第3の形態による手法により、磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。具体的には、樹脂に親水性材料を含ませて磁気記録媒体用基板の濡れ性を改善した。なお、この実施例16に係る樹脂製基板は、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
実施例16で用いた親水性材料について説明する。
親水性材料:塩化マグネシウム
体積の割合:15%
表面:15%
実施例16に係る磁気記録媒体用基板によると、基板表面における水の接触角を6°にすることができた。これにより、磁気記録媒体用基板の水に対する濡れ性が良好になり、洗浄性及び加工性を向上させることが可能となる。
実施例16に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
実施例16で製造した磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面が清浄に保たれており、シミ等の洗浄ムラはなくきれいであった。
実施例16で製造した磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は全面に渡って表面粗さRaが60Å程度で均質であった。
次に、上記実施例に対する比較例について説明する。この比較例に係る樹脂製基板では、実施例1と同じ樹脂(ポリイミド)を用い、寸法も、実施例1に係る樹脂製基板の寸法と同じにした。
この比較例では、射出成形により製造された磁気記録媒体用基板における水の接触角を測定した。この比較例では、水の接触角は、40°になった。このように、比較例に係る磁気記録媒体用基板では、水の接触角が40°になり、水に対する濡れ性が悪化するため、洗浄性及び加工性が悪化する。つまり、純水を用いた洗浄工程では、磁気記録媒体用基板が純水をはじいてしまうため、良好に磁気記録媒体用基板を洗浄することが困難となる。また、純水を用いた研磨工程でも、磁気記録媒体用基板が純水をはじいてしまうため、基板表面を均質に研磨することは困難となる。
比較例に係る磁気記録媒体用基板の洗浄性及び加工性について評価を行った。
比較例に係る磁気記録媒体用基板を純水で洗浄した。洗浄の条件は、実施例1の洗浄の条件と同じである。そして、実施例1と同じ目視検査を行った結果、基板全面に付着物が残存しており、洗浄性が不十分であった。また部分的に洗浄起因と思われるシミ模様が確認され、清浄性も不十分であった。
比較例に係る磁気記録媒体用基板の表面を研磨した。この研磨の条件は、実施例1の研磨の条件と同じである。そして、実施例1と同様に表面粗さを計測した結果、研磨後の基板は部分的に粗さが異なっており、研磨面にむらが発生しており、表面粗さRaは10Å〜70Åの間で分布していた。
Claims (26)
- 円板状の形状を有する樹脂製の母材を基板とし、前記基板の表面において、水の接触角が0°より大きく、30°未満であることを特徴とする磁気記録媒体用基板。
- 前記基板に、親水性材料が含まれていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記親水性材料は、無機材料であることを特徴とする請求項2に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記親水性材料は、酸化物であることを特徴とする請求項2に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記親水性材料が前記基板の全体に占める体積の割合が、0.05〜30[%]であることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板の表面において、前記親水性材料の表面占有率が0.5〜99.5[%]であることを特徴とする請求項2から請求項5のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板は、アルカリ性水溶液に浸漬されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板は、酸性水溶液に浸漬されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板は、中性洗剤水溶液に浸漬されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板は、紫外線が照射されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板は、プラズマが照射されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 前記基板は、放電処理が施されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用基板。
- 円板状の形状を有する樹脂製の基板をアルカリ性水溶液に浸漬する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記アルカリ性水溶液は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化バリウム、水酸化マグネシウム、アンモニア水の中から選択される水溶液であることを特徴とする請求項13に記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 円板状の形状を有する樹脂製の基板を酸性水溶液に浸漬する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記酸性水溶液は、塩酸、次亜塩素酸、硫酸、亜硫酸、硝酸、炭酸、王水、クロム酸、臭化水素酸、フッ化珪酸、フッ化水素酸、ほう酸、酢酸、シュウ酸、りん酸、蟻酸、クエン酸、シュウ酸、オレイン酸、マレイン酸の中から選択される水溶液であることを特徴とする請求項15に記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 円板状の形状を有する樹脂製の基板を中性洗剤水溶液に浸漬する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記中性洗剤は、イオン性界面活性剤、又は非イオン性界面活性剤であることを特徴とする請求項17に記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 円板状の形状を有する樹脂製の基板に対して、紫外線を照射する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記紫外線は、150〜350nmの波長を有する紫外光線であることを特徴とする請求項19に記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 円板状の形状を有する樹脂製の基板に対して、プラズマを照射する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記プラズマは、1hPa以上の気圧下で発生する低真空プラズマ若しくは大気圧プラズマであることを特徴とする請求項21に記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 円板状の形状を有する樹脂製の基板に対して、放電処理を施すことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記放電は、コロナ放電であることを特徴とする請求項23に記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記基板の表面を、水を含む研磨剤で研磨する工程を含むことを特徴とする請求項13から請求項24のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
- 前記基板を純水で洗浄する工程を含むことを特徴とする請求項13から請求項24のいずれかに記載の磁気記録媒体用基板の製造方法。
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