JP2008169964A - 流体圧サーボシリンダ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高温環境下で使用できる流体圧サーボシリンダを提供する。
【解決手段】動力源に空気圧モータ(5)を用い、この空気圧モータ(5)の動力で双方向型油圧ポンプ(4)を回転させて油圧を油圧シリンダ(1)に伝えて、油圧シリンダロッド(2)を動かし、バルブ(44)を開閉する。
【効果】高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいる電気モータを使用しないため、高温環境下で好適に使用でき、高温環境下で連続操業する製鉄所やガラス工場で利用できる。
【選択図】図1
【解決手段】動力源に空気圧モータ(5)を用い、この空気圧モータ(5)の動力で双方向型油圧ポンプ(4)を回転させて油圧を油圧シリンダ(1)に伝えて、油圧シリンダロッド(2)を動かし、バルブ(44)を開閉する。
【効果】高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいる電気モータを使用しないため、高温環境下で好適に使用でき、高温環境下で連続操業する製鉄所やガラス工場で利用できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、流体圧サーボシリンダ装置に関し、さらに詳しくは、高温環境下で使用できる流体圧サーボシリンダに関する。
従来、電気モータと油圧シリンダとを組み合わせた電気油圧サーボシリンダが知られている(例えば、特許文献1,特許文献2参照。)。
特開2002−206503号公報
特開2003−278703号公報
上記従来の電気油圧サーボシリンダは、電気モータを構成要素としている。
しかし、電気モータは、高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいるため、製鉄所やガラス工場などの高温環境下での使用に適さない問題点がある。
そこで、本発明の目的は、高温環境下で使用できる流体圧サーボシリンダ装置を提供することにある。
しかし、電気モータは、高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいるため、製鉄所やガラス工場などの高温環境下での使用に適さない問題点がある。
そこで、本発明の目的は、高温環境下で使用できる流体圧サーボシリンダ装置を提供することにある。
第1の観点では、本発明は、正逆回転が可能な空気圧モータ(5)と、前記空気圧モータ(5)の回転方向と回転数を制御するための空気圧サーボバルブ(6)と、前記空気圧サーボバルブ(6)へ供給する高圧空気を取り入れるための高圧空気取入口(13)と、前記空気圧モータ(5)の回転力で正逆回転する双方向型油圧ポンプ(4)と、前記双方向型油圧ポンプ(4)で得られた油圧力で駆動される油圧シリンダ(1)と、前記油圧シリンダ(1)の油圧シリンダロッド(2)の位置を計測できるように係合された位置検出センサ(3)と、前記油圧シリンダ(1)の2箇所の油圧ポート間に配置したアンチキャビテーションバルブ(10)とを具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置を提供する。
上記第1の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、空気圧モータと油圧シリンダとを組み合わせており、高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいる電気モータを使用しないため、高温環境下でも好適に使用できる。なお、空気圧サーボバルブ(6)を制御する制御回路は、高温で劣化する半導体を含むため、高温環境外に置き、配線により流体圧サーボシリンダ装置と接続する。
上記第1の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、空気圧モータと油圧シリンダとを組み合わせており、高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいる電気モータを使用しないため、高温環境下でも好適に使用できる。なお、空気圧サーボバルブ(6)を制御する制御回路は、高温で劣化する半導体を含むため、高温環境外に置き、配線により流体圧サーボシリンダ装置と接続する。
第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による流体圧サーボシリンダ装置において、前記高圧空気取入口(13)から取り入れた高圧空気を空冷用空気として放出する空冷手段(15,17,18)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置を提供する。
上記第2の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、空気圧サーボバルブ(6)のコイル部分や位置検出センサ(3)などの高温に弱い部分を空冷用空気によって冷却することが出来る。
上記第2の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、空気圧サーボバルブ(6)のコイル部分や位置検出センサ(3)などの高温に弱い部分を空冷用空気によって冷却することが出来る。
第3の観点では、本発明は、前記第1または前記第2の観点による流体圧サーボシリンダ装置において、前記空気圧サーボバルブ(6)への給電が絶たれた時に前記油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすべく前記空気圧モータ(5)を回転させる安全手段(19,21)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置を提供する。
上記第3の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、空気圧サーボバルブ(6)への給電が絶たれた時は油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすので、異常時の安全を確保できる。
上記第3の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、空気圧サーボバルブ(6)への給電が絶たれた時は油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすので、異常時の安全を確保できる。
第4の観点では、本発明は、前記第3の観点による流体圧サーボシリンダ装置において、前記高圧空気取入口(13)から取り入れた高圧空気を貯留すると共に前記高圧空気取入口(13)から高圧空気を取り入れできなくなった時に前記貯留していた高圧空気を供給する空気圧リザーバ(7)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置を提供する。
上記第4の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、高圧空気取入口(13)から高圧空気を取り入れできなくなった時は空気圧リザーバ(7)から高圧空気を供給するので、異常時の安全を確保できる。
上記第4の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、高圧空気取入口(13)から高圧空気を取り入れできなくなった時は空気圧リザーバ(7)から高圧空気を供給するので、異常時の安全を確保できる。
第5の観点では、本発明は、前記第3または前記第4の観点による流体圧サーボシリンダ装置において、前記安全装置(19,21)により前記油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすのを補助するように前記油圧シリンダ(1)へ油圧を加える安全補助手段(14,16,20)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置を提供する。
上記第5の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、安全補助手段(14,16,20)が油圧シリンダ(1)へ油圧を加えて、油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすのを補助するので、確実に異常時の安全を確保できる。
上記第5の観点による流体圧サーボシリンダ装置では、安全補助手段(14,16,20)が油圧シリンダ(1)へ油圧を加えて、油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすのを補助するので、確実に異常時の安全を確保できる。
本発明の流体圧サーボシリンダ装置によれば、製鉄所やガラス工場などの高温環境下で好適に安全に使用することが出来る。
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1に係る流体圧サーボシリンダ装置100の正常電源オフ時の状態を示す構成説明図である。
この流体圧サーボシリンダ装置100は、正逆回転が可能な空気圧モータ5と、空気圧モータ5の回転を検出する回転センサ11と、空気圧モータ5の回転方向と回転数を制御するための空気圧サーボバルブ6と、空気圧サーボバルブ6からの高圧空気を消音して放出するサイレンサ12と、空気圧サーボバルブ6へ供給する高圧空気を取り入れるための高圧空気取入口13と、空気圧モータ5の回転力で正逆回転する双方向型油圧ポンプ4と、双方向型油圧ポンプ4で得られた油圧力で駆動される油圧シリンダ1と、油圧シリンダ1の油圧シリンダロッド2の位置を計測できるように係合された位置検出センサ3と、油圧シリンダ1の2箇所の油圧ポート間に配置したアンチキャビテーションバルブ10と、高圧空気を空気圧サーボバルブ6へ供給するか又は空気圧モータ5へ直接供給するかを切り換える第1方向切換弁19と、空気圧モータ5と空気圧サーボバルブ6を接続するか又は空気圧モータ5からの高圧空気を放出するかを切り換える第2方向切換弁21と、高圧空気取入口13から取り入れた高圧空気を貯留すると共に高圧空気取入口13から高圧空気を取り入れできなくなった時に貯留していた高圧空気を供給する空気圧リザーバ7とを具備している。
この流体圧サーボシリンダ装置100は、正逆回転が可能な空気圧モータ5と、空気圧モータ5の回転を検出する回転センサ11と、空気圧モータ5の回転方向と回転数を制御するための空気圧サーボバルブ6と、空気圧サーボバルブ6からの高圧空気を消音して放出するサイレンサ12と、空気圧サーボバルブ6へ供給する高圧空気を取り入れるための高圧空気取入口13と、空気圧モータ5の回転力で正逆回転する双方向型油圧ポンプ4と、双方向型油圧ポンプ4で得られた油圧力で駆動される油圧シリンダ1と、油圧シリンダ1の油圧シリンダロッド2の位置を計測できるように係合された位置検出センサ3と、油圧シリンダ1の2箇所の油圧ポート間に配置したアンチキャビテーションバルブ10と、高圧空気を空気圧サーボバルブ6へ供給するか又は空気圧モータ5へ直接供給するかを切り換える第1方向切換弁19と、空気圧モータ5と空気圧サーボバルブ6を接続するか又は空気圧モータ5からの高圧空気を放出するかを切り換える第2方向切換弁21と、高圧空気取入口13から取り入れた高圧空気を貯留すると共に高圧空気取入口13から高圧空気を取り入れできなくなった時に貯留していた高圧空気を供給する空気圧リザーバ7とを具備している。
油圧シリンダロッド2は、溶融槽43から高温の溶融金属Fを出すノズル44に連結されている。このため、流体圧サーボシリンダ装置100は、高温の溶融槽43の近傍つまり高温環境下に置かれる。
溶融槽43から出された溶融金属Fは、湯槽55に溜まる。
湯面制御部51は、湯槽55における湯面Lの高さを湯面センサ50を介して検出し、目標高さとの誤差信号を作成し、サーボ制御部9へ送る。
サーボ制御部9は、湯面制御部51からの誤差信号と位置検出センサ3で検出した油圧シリンダロッド2の位置とに基づいてサーボ指令信号を作成し、サーボアンプ8へ送る。
サーボアンプ8は、サーボ制御部9からのサーボ指令信号と回転センサ11からの回転検出信号とに基づいて空気圧サーボバルブ6を駆動し、湯面制御部51からの誤差信号が0になるようにする。
湯面制御部51は、湯槽55における湯面Lの高さを湯面センサ50を介して検出し、目標高さとの誤差信号を作成し、サーボ制御部9へ送る。
サーボ制御部9は、湯面制御部51からの誤差信号と位置検出センサ3で検出した油圧シリンダロッド2の位置とに基づいてサーボ指令信号を作成し、サーボアンプ8へ送る。
サーボアンプ8は、サーボ制御部9からのサーボ指令信号と回転センサ11からの回転検出信号とに基づいて空気圧サーボバルブ6を駆動し、湯面制御部51からの誤差信号が0になるようにする。
湯面制御部51,サーボ制御部9およびサーボアンプ8は、高温で劣化する半導体を含むため、高温環境外に置かれ、配線により流体圧サーボシリンダ装置100と接続される。
図1に示すように、正常電源オフ時の状態では、空気圧サーボバルブ6は高圧空気を通さない位置にあり、第1方向切換弁19は高圧空気を空気圧モータ5へ直接供給する位置にあり、第2方向切換弁21は空気圧モータ5からの高圧空気を放出する位置にある。但し、高圧空気取入口13からの高圧空気の供給が停止しているから、空気圧モータ5および双方向型油圧ポンプ4は停止している。油圧シリンダロッド2は、ノズル44を閉じる位置にある。
図2〜図4は、正常通電時の状態を示している。
正常通電時には、空気圧サーボバルブ6の位置はサーボアンプ8により切り換えられる。第1方向切換弁19は高圧空気を空気圧サーボバルブ6へ供給する位置にあり、第2方向切換弁21は空気圧モータ5と空気圧サーボバルブ6とを接続する位置にある。また、高圧空気取入口13から高圧空気が供給され、空気圧リザーバ7に高圧空気が貯留される。
正常通電時には、空気圧サーボバルブ6の位置はサーボアンプ8により切り換えられる。第1方向切換弁19は高圧空気を空気圧サーボバルブ6へ供給する位置にあり、第2方向切換弁21は空気圧モータ5と空気圧サーボバルブ6とを接続する位置にある。また、高圧空気取入口13から高圧空気が供給され、空気圧リザーバ7に高圧空気が貯留される。
図2に示す空気圧サーボバルブ6の位置では、空気圧モータ5は正方向に回転し、それにより双方向型油圧ポンプ4も正方向に回転し、油圧シリンダロッド2を押し出す。これによってノズル44の開度が増大し、溶融槽43から湯槽55へ出て行く溶融金属Fの量が湯槽55から出て行く溶融金属Fの量より大きくなると、湯面Lは上昇する。
図3に示す空気圧サーボバルブ6の位置では、高圧空気が遮断されるため、空気圧モータ5および双方向型油圧ポンプ4は停止し、油圧シリンダロッド2も停止する。これによってノズル44の開度が維持され、溶融槽43から湯槽55へ出て行く溶融金属Fの量と湯槽55から出て行く溶融金属Fの量が平衡するなら、湯面Lは一定になる。
図4に示す空気圧サーボバルブ6の位置では、空気圧モータ5は逆方向に回転し、それにより双方向型油圧ポンプ4も逆方向に回転し、油圧シリンダロッド2を引き込む。これによってノズル44の開度が減少し、溶融槽43から湯槽55へ出て行く溶融金属Fの量が湯槽55から出て行く溶融金属Fの量より小さくなると、湯面Lは下降する。
図5は、異常電源断時の状態を示している。
異常電源断になると、空気圧サーボバルブ6は高圧空気を通さない位置になり、第1方向切換弁19は高圧空気を空気圧モータ5へ直接供給する位置になり、第2方向切換弁21は空気圧モータ5からの高圧空気を放出する位置になる。高圧空気取入口13からの高圧空気の供給が継続している場合はその高圧空気が、また、高圧空気取入口13からの高圧空気の供給が停止した場合は空気圧リザーバ7に貯留されていた高圧空気が、空気圧モータ5に直接供給され、空気圧モータ5を逆方向に回転させる。それにより双方向型油圧ポンプ4も逆方向に回転し、油圧シリンダロッド2を引き込む。これによってノズル44が閉じる。つまり、正常電源オフ時の状態に戻り、安全が確保される。
異常電源断になると、空気圧サーボバルブ6は高圧空気を通さない位置になり、第1方向切換弁19は高圧空気を空気圧モータ5へ直接供給する位置になり、第2方向切換弁21は空気圧モータ5からの高圧空気を放出する位置になる。高圧空気取入口13からの高圧空気の供給が継続している場合はその高圧空気が、また、高圧空気取入口13からの高圧空気の供給が停止した場合は空気圧リザーバ7に貯留されていた高圧空気が、空気圧モータ5に直接供給され、空気圧モータ5を逆方向に回転させる。それにより双方向型油圧ポンプ4も逆方向に回転し、油圧シリンダロッド2を引き込む。これによってノズル44が閉じる。つまり、正常電源オフ時の状態に戻り、安全が確保される。
実施例1の流体圧サーボシリンダ装置100によれば次の効果が得られる。
(1)高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいる電気モータを使用しないため、高温環境下でも好適に使用できる。なお、サーボアンプ8やサーボ制御部9は、高温環境外に置かれ、配線により流体圧サーボシリンダ装置100と接続される。
(2)異常電源断時は、油圧シリンダロッド2を安全位置へ動かすので、異常時の安全を確保できる。
(3)高圧空気取入口13から高圧空気を取り入れできなくなった時は空気圧リザーバ7から高圧空気を供給するので、安全な状態に移行できる。
(1)高温で劣化する希土類の磁石等を含んでいる電気モータを使用しないため、高温環境下でも好適に使用できる。なお、サーボアンプ8やサーボ制御部9は、高温環境外に置かれ、配線により流体圧サーボシリンダ装置100と接続される。
(2)異常電源断時は、油圧シリンダロッド2を安全位置へ動かすので、異常時の安全を確保できる。
(3)高圧空気取入口13から高圧空気を取り入れできなくなった時は空気圧リザーバ7から高圧空気を供給するので、安全な状態に移行できる。
図6は、実施例2に係る流体圧サーボシリンダ装置200の正常電源オフ時の状態を示す構成説明図である。
この流体圧サーボシリンダ装置200は、実施例1に係る流体圧サーボシリンダ装置100の構成に次の構成(a)(b)を加えたものである。
(a)流体圧サーボシリンダ装置200の温度が所定の温度以上では高圧空気を空冷用空気として放出する位置になり、所定の温度未満および正常電源オフ時および異常電源断時では放出を止める位置になる第3方向切換弁15。
(b)空油圧変換シリンダ14、正常電源オフ時および異常電源断時には空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給する位置になると共に正常通電時には空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給しない位置になる第4方向切換弁16、および、双方向型油圧ポンプ4から油圧シリンダ1への油圧が所定の油圧以下なら空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加する位置になると共に所定の油圧より高いなら空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加しない位置になる第5方向切換弁20。
この流体圧サーボシリンダ装置200は、実施例1に係る流体圧サーボシリンダ装置100の構成に次の構成(a)(b)を加えたものである。
(a)流体圧サーボシリンダ装置200の温度が所定の温度以上では高圧空気を空冷用空気として放出する位置になり、所定の温度未満および正常電源オフ時および異常電源断時では放出を止める位置になる第3方向切換弁15。
(b)空油圧変換シリンダ14、正常電源オフ時および異常電源断時には空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給する位置になると共に正常通電時には空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給しない位置になる第4方向切換弁16、および、双方向型油圧ポンプ4から油圧シリンダ1への油圧が所定の油圧以下なら空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加する位置になると共に所定の油圧より高いなら空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加しない位置になる第5方向切換弁20。
図6に示すように、正常電源オフ時の状態では、第3方向切換弁15は、高圧空気を空冷用空気として放出しない位置にある。また、高圧空気取入口13からの高圧空気の供給が停止しているから、空油圧変換シリンダ14は停止している。
図7〜図9は、正常通電時の状態を示している。
正常通電時には、第3方向切換弁15は、流体圧サーボシリンダ装置200の温度が所定の温度以上では、高圧空気を空冷用空気aとして放出する位置になる。また、第4方向切換弁16は、空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給しない位置になる。
正常通電時には、第3方向切換弁15は、流体圧サーボシリンダ装置200の温度が所定の温度以上では、高圧空気を空冷用空気aとして放出する位置になる。また、第4方向切換弁16は、空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給しない位置になる。
図10および図11は、異常電源断時の状態を示している。
異常電源断になると、第3方向切換弁15は、高圧空気を空冷用空気として放出しない位置になる。一方、第4方向切換弁16は、空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給する位置になる。
異常電源断になると、第3方向切換弁15は、高圧空気を空冷用空気として放出しない位置になる。一方、第4方向切換弁16は、空油圧変換シリンダ14へ高圧空気を供給する位置になる。
図10に示すように、双方向型油圧ポンプ4から油圧シリンダ1への油圧が所定の油圧以下なら、第5方向切換弁20は、空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加する位置になる。これにより、油圧シリンダ1の初動時に必要な油圧を確保できる。
図11に示すように、双方向型油圧ポンプ4から油圧シリンダ1への油圧が所定の油圧より高いなら、第5方向切換弁20は、空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加しない位置になる。
図11に示すように、双方向型油圧ポンプ4から油圧シリンダ1への油圧が所定の油圧より高いなら、第5方向切換弁20は、空油圧変換シリンダ14から油圧シリンダ1へ油圧を付加しない位置になる。
実施例2の流体圧サーボシリンダ装置200によれば実施例2の効果に加えて次の効果が得られる。
(4)空気圧サーボバルブ6や方向切換弁19,21などのコイル部分および位置検出センサ3のような高温に弱い部分を空冷用空気によって冷却することが出来る。
(5)空油圧変換シリンダ14が油圧シリンダ1へ油圧を加えて、油圧シリンダロッド2を動かす油圧を補助するので、油圧シリンダ1の初動時に必要な油圧を確保でき、確実に異常時の安全を確保できる。
(4)空気圧サーボバルブ6や方向切換弁19,21などのコイル部分および位置検出センサ3のような高温に弱い部分を空冷用空気によって冷却することが出来る。
(5)空油圧変換シリンダ14が油圧シリンダ1へ油圧を加えて、油圧シリンダロッド2を動かす油圧を補助するので、油圧シリンダ1の初動時に必要な油圧を確保でき、確実に異常時の安全を確保できる。
図12は、実施例3に係る流体圧サーボシリンダ装置300の正常通電時の状態を示す構成説明図である。
この流体圧サーボシリンダ装置300は、実施例2に係る流体圧サーボシリンダ装置200の構成に次の構成(c)を加えたものである。
(c)第3方向切換弁15から供給される高圧空気により回転する空気圧モータ17、および、空気圧モータ17で回転する空冷用ファン18。
この流体圧サーボシリンダ装置300は、実施例2に係る流体圧サーボシリンダ装置200の構成に次の構成(c)を加えたものである。
(c)第3方向切換弁15から供給される高圧空気により回転する空気圧モータ17、および、空気圧モータ17で回転する空冷用ファン18。
図13は、実施例4に係る流体圧サーボシリンダ装置400の正常通電時の状態を示す構成説明図である。
この流体圧サーボシリンダ装置400は、実施例2に係る流体圧サーボシリンダ装置200の構成に次の構成(d)を加えたものである。
(d)油圧シリンダロッド2に加わる圧力を検出するロードセル2a。
この流体圧サーボシリンダ装置400は、実施例2に係る流体圧サーボシリンダ装置200の構成に次の構成(d)を加えたものである。
(d)油圧シリンダロッド2に加わる圧力を検出するロードセル2a。
なお、サーボ制御部9は、油圧シリンダロッド2に加わる圧力が所定範囲を逸脱しないようにコントロールする。
本発明の流体圧サーボシリンダ装置は、高温環境下で連続操業する製鉄所やガラス工場で利用できる。
1 油圧シリンダ
2 油圧シリンダロッド
2a ロードセル
3 位置検出センサ
4 双方向型油圧ポンプ
5 空気圧モータ
6 空気圧サーボバルブ
7 空気圧リザーバ
8 サーボアンプ
9 サーボ制御部
10 アンチキャビテーションバルブ
11 回転センサ
12 サイレンサ
13 高圧空気取入口
14 空油圧変換シリンダ
15 第3方向切換弁
16 第4方向切換弁
17 空気圧モータ
18 ファン
19 第1方向切換弁
20 第5方向切換弁
21 第2方向切換弁
100,200,300,400 流体圧サーボシリンダ装置
2 油圧シリンダロッド
2a ロードセル
3 位置検出センサ
4 双方向型油圧ポンプ
5 空気圧モータ
6 空気圧サーボバルブ
7 空気圧リザーバ
8 サーボアンプ
9 サーボ制御部
10 アンチキャビテーションバルブ
11 回転センサ
12 サイレンサ
13 高圧空気取入口
14 空油圧変換シリンダ
15 第3方向切換弁
16 第4方向切換弁
17 空気圧モータ
18 ファン
19 第1方向切換弁
20 第5方向切換弁
21 第2方向切換弁
100,200,300,400 流体圧サーボシリンダ装置
Claims (5)
- 正逆回転が可能な空気圧モータ(5)と、前記空気圧モータ(5)の回転方向と回転数を制御するための空気圧サーボバルブ(6)と、前記空気圧サーボバルブ(6)へ供給する高圧空気を取り入れるための高圧空気取入口(13)と、前記空気圧モータ(5)の回転力で正逆回転する双方向型油圧ポンプ(4)と、前記双方向型油圧ポンプ(4)で得られた油圧力で駆動される油圧シリンダ(1)と、前記油圧シリンダ(1)の油圧シリンダロッド(2)の位置を計測できるように係合された位置検出センサ(3)と、前記油圧シリンダ(1)の2箇所の油圧ポート間に配置したアンチキャビテーションバルブ(10)とを具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置。
- 請求項1に記載の流体圧サーボシリンダ装置において、前記高圧空気取入口(13)から取り入れた高圧空気を空冷用空気として放出する空冷手段(15,17,18)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置。
- 請求項1または請求項2に記載の流体圧サーボシリンダ装置において、前記空気圧サーボバルブ(6)への給電が絶たれた時に前記油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすべく前記空気圧モータ(5)を回転させる安全手段(19,21)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置。
- 請求項3に記載の流体圧サーボシリンダ装置において、前記高圧空気取入口(13)から取り入れた高圧空気を貯留すると共に前記高圧空気取入口(13)から高圧空気を取り入れできなくなった時に前記貯留していた高圧空気を供給する空気圧リザーバ(7)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置。
- 請求項3または請求項4に記載の流体圧サーボシリンダ装置において、前記安全装置(19,21)により前記油圧シリンダロッド(2)を安全位置へ動かすのを補助するように前記油圧シリンダ(1)へ油圧を加える安全補助手段(14,16,20)を具備したことを特徴とする流体圧サーボシリンダ装置。
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JP2007005484A JP2008169964A (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 流体圧サーボシリンダ装置 |
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CN112434375A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-02 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种双气动机能源冗余伺服机构启动特性确定方法 |
-
2007
- 2007-01-15 JP JP2007005484A patent/JP2008169964A/ja active Pending
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CN112434375A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-02 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种双气动机能源冗余伺服机构启动特性确定方法 |
CN112434375B (zh) * | 2020-11-30 | 2024-05-31 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种双气动机能源冗余伺服机构启动特性确定方法 |
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