JP2008167589A - ダイレクトドライブモータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステータ29と、大気用軸受33と、内側ロータ30と、検出器であるレゾルバ(34a、34b、35,36)が、ダイレクトドライブモータDDの軸線方向において互いに少なくとも一部が重合する位置に配置されているので、ダイレクトドライブモータDDの軸線方向長を小さく抑えることができる。
【選択図】図1
Description
ハウジングと、
前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側を隔絶する隔壁と、
前記ハウジングと前記隔壁とを密封するシール部材と、
前記隔壁に対して大気外側に配置された外側ロータと、
前記ハウジングに対して前記外側ロータを回転自在に支持する特殊環境用軸受装置と、
前記隔壁に対して大気側に配置されたステータと、
前記隔壁に対して大気側に配置され、前記外側ロータと共に連れ回る内側ロータと、
前記ハウジングに対して前記内側ロータを回転自在に支持する大気用軸受装置と、
前記内側ロータの回転位置を検出する検出器と、を有しており、
前記ステータと、前記大気用軸受装置と、前記内側ロータと、前記検出器は、前記ダイレクトドライブモータの軸線方向において互いに少なくとも一部が重合する位置に配置されていることを特徴とする。
10a 円板
10b 円筒部
10c 中央開口
10d 取り付け部
13 隔壁
13a フランジ底部
13b カップ状円筒部
17 軸受ホルダ
18 ボルト
19 軸受
21 ロータヨーク
21 外側ロータ
22 永久磁石
23 外側ロータ
23a 円筒部
23b フランジ底部
23c 嵌合部
25 カップリングヨーク
26 カップリング磁石
29 ステータ
30 内側ロータ
33 大気側軸受
34a インクリメンタルレゾルバロータ
34b アブソリュートレゾルバロータ
35 インクリメンタルレゾルバステータ
36 アブソリュートレゾルバステータ
A アーム
B 棒
DC ディスク
DD ダイレクトドライブモータ
DD1 ダイレクトドライブモータ
DD2 ダイレクトドライブモータ
DD3 ダイレクトドライブモータ
DMC モータ制御回路
G 定盤
MR モータロータ
OR シール部材
T テーブル
W ウエハ
Claims (6)
- 大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、
ハウジングと、
前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側を隔絶する隔壁と、
前記ハウジングと前記隔壁とを密封するシール部材と、
前記隔壁に対して大気外側に配置された外側ロータと、
前記ハウジングに対して前記外側ロータを回転自在に支持する特殊環境用軸受装置と、
前記隔壁に対して大気側に配置されたステータと、
前記隔壁に対して大気側に配置され、前記外側ロータと共に連れ回る内側ロータと、
前記ハウジングに対して前記内側ロータを回転自在に支持する大気用軸受装置と、
前記内側ロータの回転位置を検出する検出器と、を有しており、
前記ステータと、前記大気用軸受装置と、前記内側ロータと、前記検出器は、前記ダイレクトドライブモータの軸線方向において互いに少なくとも一部が重合する位置に配置されていることを特徴とするダイレクトドライブモータ。 - 前記ダイレクトドライブモータの半径方向において、外周側から順に、前記隔壁と、前記ステータと、前記大気側軸受装置と、前記内側ロータと、前記検出器の並びで配置されたことを特徴する請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記外側ロータは、前記ハウジングに対し分離可能な軸受ホルダを介して、前記特殊環境用軸受装置により支持されていることを特徴する請求項1又は2に記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記特殊環境軸受装置は多点接触ころがり軸受であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記内側ロータは、前記特殊環境用軸受装置とは別の軸受装置によって回転自在に支持され、かつ前記外側ロータに取り付けられた磁極または突極に対して半径方向に対向する磁極または突極を有しており、両磁極の磁気吸引力により前記外側ロータと前記内側ロータとが連れ回ることによって、隔壁越しにモータ回転子の角度を検出することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のダイレクトドライブモータ。
- 前記検出器は、絶対角度を検出するアブソリュートレゾルバと、高分解能で相対角度を検出するインクリメンタルレゾルバと、を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のダイレクトドライブモータ。
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