JP2008165948A - 光ピックアップ検査装置及び光ピックアップ検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高密度情報記録対応型光ディスク用の光ピックアップを高精度に検査可能な光ピックアップの検査装置を提供できなかった。
【解決手段】光源１１１と、ハーフミラー１１２と、検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有する受光器１１７とを備えた光ピックアップ１１の良品・不良品を検査する光ピックアップ検査装置１であって、検査の際には、光ピックアップ１１から装置１側へ供給される各受光信号に基づいて生成したＤＰＤ信号Ｓ１、ＭＰＰ信号Ｓ２の位相差（Ｓ１−Ｓ２）が所定範囲内にあるときには、光ピックアップ１１を良品と判定し、所定範囲外にあるときには、不良品と判定する判定手段１７を有している。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＤＶＤ等の高密度情報記録対応型光ディスクに対してディジタルデータを記録又は再生するために使用する光ピックアップの良品・不良品を高精度に検査可能な光ピックアップの検査装置、方法に関するものである。

近年、ディジタルデータを記録又は再生するのに好適な光情報記録媒体として、CD（compact disc）やDVD（digital versatile disc）等の光ディスクが多用されている。光ディスクへのデータの記録又は光ディスクからのデータの再生には、図４に示す構成の光ピックアップ１１が用いられる。

この光ピックアップ１１は、光源である半導体レーザ１１１がレーザ光Lを発生する。レーザ光Lは、同図に示すように、ハーフミラー１１２を透過した後に、コリメータレンズ１１３、λ/４板１１４を介して、対物レンズ１１５に入射し、検査用光ディスク（ＲＯＭディスク）２の情報記録面（以下「ディスク面」と記す）２１上にスポット光として集光照射される。検査用光ディスク２のディスク面２１上に予め形成されているピット列で変調された前記反射光は、対物レンズ１１５、λ/４板１１４、コリメータレンズ１１３を再び介した後に、ハーフミラー１１２によって反射され、非点収差光学素子１１６、受光器であるフォトダイオード（PD）１１７に導かれる。PD１１７は４分割した検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有している（図５、図９，図１０）。

上記した光ピックアップ１１の一部を成すハーフミラー１１２は、反射光をPD１１７側へ反射する反射面１１２ａを有している。この反射面１１２ａは平坦な面上に所定厚で反射膜を一様に蒸着形成して鏡面状に仕上げて成る。

しかし、反射膜は成膜条件次第では厚さに微小にバラつきが生じてしまい、所定厚で反射膜を一様に蒸着形成することは難しい。一方、光ピックアップ１１の光学性能は、このハーフミラー１１２の反射膜の厚さのバラつきによる、反射特性の良否によって左右される。

こうした反射膜の厚さのバラツキの結果、組み上げた光ピックアップ１１毎に、反射特性のバラつきが生じてしまい、PD１１７の検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ上に集光されるスポット光の輝度分布に偏りが生じる。言い換えるとこのバラつきによって、４分割検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心にスポット光の光強度中心が一致しない不都合が生じる。

このような反射膜の厚さのバラつきによる悪影響を回避するべく、特に円盤状情報記録媒体の半径方向についての透過率の不均一さを未然に排除するために、光ピックアップ（光ヘッド）に円盤状情報記録媒体の半径方向についてその透過率が増加または減少するフィルターを、ハーフプリズムと光検出器との間に介挿した光ヘッド装置がある（特許文献１参照）。しかしながらこの光ヘッド装置では、ハーフプリズムの反射率に対する入射角度依存性による問題は解決できるものの、反射特性が不均一なプリズムを補償することはできない。
特開２００３−３０８６２７号

上記したように、光ピックアップ１１（図４）を構成するハーフミラー１１２は、反射面１１２ａが全面に亘り一様な厚さでなく、ハーフミラー１１２毎に異なっているために、反射面１１２ａに対して拡散光で入射する入射光に対する反射光の光強度分布がバラついてしまう。この結果、図５に示すように、対物レンズ１１５のハーフミラー１１２側に形成されるファーフィールドパターンａと、PD１１７の４分割検出領域に形成されるファーフィールドパターンｂとはその光強度分布が同一とはならない。

図６はハーフミラーの反射率の分布（反射特性）について説明する図である。横軸を入射角度（deg）、縦軸を反射光の反射率（％）として、任意に選択した５個のハーフミラーｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇを用いて、それぞれ１°刻みで入射角度−６°〜０〜＋６°まで変化させたときの反射率の変化を示している。例えば、ハーフミラーｃは反射率２３％〜１７％でバラついており、この反射率のバラつきが反射膜の膜厚のバラつきに相当する。ハーフミラーｅは反射率１９％〜１８％で、ほぼ一様な反射特性を有している。こうしたハーフミラー１１２は、硝材に反射膜を蒸着して生成されており、前述したように、反射膜の厚さが不均一であるときにハーフミラーの反射率も不均一となる。反射率が不均一なハーフミラー１１２が組み込まれた光ピックアップ１１は、PD１１７の各検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄから出力される後述（図９，図１０）の受光信号Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄ、Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄにこのバラつきによる悪影響（ノイズ混入）が生じるため、RF信号を良好に読み取ることができない結果、記録又は再生走査を安定して行うことができない。

詳しくは、図８に示すように、光ピックアップ１１を用いて検査用光ディスク２を再生走査した場合に、情報が記録されていない箇所を走査すると、ディスク面２１上のLPP信号部分ｉに対応したRF信号ｈ部分でRF信号ｈレベルが低下する。この低下がノイズとなり、情報が記録されている箇所を走査した時に、RF信号ｈのレベルが部分的に低下し、読み取り信号に誤差が生じるという問題が発生する。

ハーフミラー１１２の反射特性の不均一によるこうした不具合を未然に防止するために、ハーフミラーの反射特性を検査する検査装置として、図７に示すように、半導体レーザ５１から出射したレーザ光の拡散光をハーフミラー５２に入射し、レンズ５３及びミラー５４を介してCCD（charge coupled device）カメラ５５で取得し、画像処理装置５６で取得された光束の強度分布を数値化する装置がある。しかしこの検査装置は、CCDカメラ５５と強度分布の断面像を処理して表示する画像処理装置５６が必要となり、検査装置が大型化し、また検査に時間がかかってしまうという問題がある。

一方、こうした反射膜の膜厚がバラついたハーフミラーを光ピックアップ１１に用いると、ディスク上の光スポットの、トラック中心に対する法線方向の光強度中心とPD１１７上の４分割検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのスポット光の光強度中心にズレが生じることにより、DVD-RAMディスク再生時にCAPA（Complimentary Allocated Pit Addressing）信号の前後振幅の不揃いが生じる。

ここで、図９を用いて、信号検出部１４（図１）の一部を構成するDPD信号検出手段１４１におけるDPD信号の検出について説明する。

DPD信号は、DPD方式（Differential Phase Detection方式）によって検出される。図９では、説明の便宜のためディスク面２１でのピット深さｄ＝λ/４の場合を例にして説明する。

DPD信号は、データの再生時にレーザ光のスポット光がピットを走査したとき、図９（ａ）に示すようなピットとスポットの位置関係によって、４分割センサの各領域A，B，C，Dのうち、対角関係の領域の信号の和（対角和）A+CとB+Dを用いて検出される。具体的には、DPD信号は、図９（ｂ）に示すように、領域A，Cの和信号の二値化信号S(a+c)と領域B，Dの和信号の二値化信号S(b+d)の位相を比較することで検出できる。また、DPD信号は、領域AとBの位相比較結果と、領域CとDの位相比較結果を演算しても検出できる。

また、図１０を用いて、信号検出部１４（図１）の他部を構成するMPP信号検出手段１４２におけるMPP信号の検出について説明する。PP方式（Push-Pull方式）によって検出される。図１０では、説明の便宜のためディスク面２１でのピット深さｄ＜λ/４の場合を例にして説明する。

MPP信号は、データの再生時にレーザ光がピットを走査したとき、図１０（ａ）に示すようなピットとレーザ光のスポットの位置関係によって、４分割センサの各領域A，B，C，Dのそれぞれの光強度Ia，Ib，Ic，Idを用いて検出される。具体的には、MPP信号は、図１０（ｂ）に示すように、左右の信号強度の差（Ia＋Id）−（Ib＋Ic）によって検出できる。

DPD信号とMPP信号を求める場合の反射特性の影響を表１に示す。

DPD信号の検出では、二値化した信号を位相比較しているため、センサの各領域での強度分布のずれの影響は基本的に受けない。但し、二値化の閾値より大きく強度分布がずれた場合にはDPD信号に影響を受ける。

MPP信号は左右信号そのものを演算するため、左右方向の反射率の変化はそのままレベル変動となる。したがって、ディスク上の光スポットがトラック中心にあっても、光強度に偏りがある場合MPP信号は０とならないでオフセットを発生する。また、表１に示したように、MPP信号は、Ia＋Id とIb＋Icが同一のときには影響がなく、異なるときには誤差が発生する。さらに、LPP信号レベルの品位、RF信号へのLPP信号の漏れ込み（図８）等の悪影響が生じていた。
従来は光ピックアップ１１の検査においてハーフミラー１１２の反射特性を検査できなかったため、反射率が不均一なハーフミラー１１２を有する光ピックアップ１１であっても光ディスク記録再生装置の光ピックアップとして生産されていた。しかしこのようにハーフミラー１１２の反射特性が不均一な光ピックアップ１１を光ディスク記録再生装置用の光ピックアップとして使用すると、不良品が続出し、生産歩留まりが低下するという問題があった。こうした生産歩留まり向上のために、従来は光ピックアップ１１の反射特性を高精度に検査できなかった。

そこで本発明は、ＤＶＤ等の高密度情報記録対応型光ディスクに対してディジタルデータを記録又は再生するために使用する光ピックアップのハーフミラーの反射特性を検査に採用することによって、光ピックアップの良品・不良品を高精度に検査可能な光ピックアップの検査装置、方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は次の（１）〜（４）の構成を有する光ピックアップ検査装置、光ピックアップ検査方法を提供する。

（１）図１に示すように、光源（半導体レーザ）１１１と、ハーフミラー１１２と、複数分割した検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有する受光器（PD）１１７とを備えた光ピックアップ１１の良品・不良品を検査する光ピックアップ検査装置１であって、
検査の際には、所定位置に装着した前記光ピックアップ１１の前記光源１１１から出射するレーザ光Ｌを前記ハーフミラー１１２を介して検査用光ディスク２のディスク面２１に集光照射し、前記ディスク面２１から反射する反射光を前記ハーフミラー１１２で前記受光器１１７側へ反射し、前記受光器１１７の前記複数分割した検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ上に集光し光電変換して各前記検出領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄから出力する各受光信号Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄ、Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄを前記光ピックアップ１１側から装置１側へ供給し、装置１側へ供給する各前記受光信号に基づいて生成して得た第１及び第２検出信号（第１検出信号であるＤＰＤ信号Ｓ１＝（Ｐａ＋Ｐｃ）−（Ｐｂ＋Ｐｄ）、第２検出信号であるＭＰＰ信号Ｓ２＝（Ｉａ＋Ｉｄ）−（Ｉｂ＋Ｉｃ））の位相差（Ｓ１−Ｓ２）が前記ハーフミラー１１２単体の入射角度対反射率特性（図６）に基づく角度依存特性と位相差（Ｓ１−Ｓ２）との相関関係から求められる所定範囲（図３の「良品」エリア）内にあるときには、前記光ピックアップ１１を良品と判定し、一方前記第１及び第２検出信号の位相差が所定範囲外（図３の「不良品」エリア）にあるときには、前記光ピックアップ１１を不良品と判定する判定手段１７を有することを特徴とする光ピックアップ検査装置。

（２） 光源と、ハーフミラーと、複数分割した検出領域を有する受光器とを備えた光ピックアップの良品・不良品を検査する光ピックアップ検査方法であって、
検査の際には、所定位置に装着した前記光ピックアップの前記光源から出射するレーザ光を前記ハーフミラーを介して検査用光ディスクのディスク面に集光照射し、前記ディスク面から反射する反射光を前記ハーフミラーで前記受光器側へ反射し、前記受光器の前記複数分割した検出領域上に集光し光電変換して各前記検出領域から出力する各受光信号を前記光ピックアップ側から装置側へ供給し、装置側へ供給する各前記受光信号に基づいて生成して得た第１及び第２検出信号の位相差が前記ハーフミラー単体の入射角度対反射率特性に基づく角度依存特性と位相差との相関関係から求められる所定範囲内にあるときには、前記光ピックアップを良品と判定し、一方前記第１及び第２検出信号の位相差が所定範囲外にあるときには、前記光ピックアップを不良品と判定する判定ステップを有することを特徴とする光ピックアップ検査方法。

（３） 前記判定手段に供給される前記第１検出信号は、前記受光器を構成する前記複数分割した各前記検出領域から出力する各前記受光信号に基づいて生成されるDPD（Differential Phase Detection）信号であり、
前記第２検出信号は、各前記受光信号に基づいて生成されるMPP（Main Push-Pull）信号であることを特徴とする（１）に記載の光ピックアップ検査装置。

（４） 前記判定手段は、
前記第１及び第２検出信号の位相差を検出する位相差検出手段と、
前記位相差検出手段から出力する位相差信号を入力し、前記ハーフミラー単体の入射角度対反射率特性に基づく前記角度依存特性対が所定範囲内にあるか否かを判別する判別手段とを有することを特徴とする（１）又は（３）に記載の光ピックアップ検査装置。

本発明に係る検査装置によれば、ＤＶＤ等の高密度情報記録対応型光ディスク記録又は再生用の光ピックアップを構成するハーフミラーについて、部品単体としては「検査合格品（良品）」であっても、この良品を用いて光ピックアップ及び光ディスクドライブを組み上げると、光ディスクドライブとしては「良品」とはならないことが発生することを未然に回避することができるので、ＤＶＤ等の高密度情報記録対応型光ディスクに対してディジタルデータを記録又は再生するための光ピックアップの検査を高精度に行うことができる効果がある。

本発明の最良の実施の形態に係る検査装置１は、図１に示すように、光ピックアップ１１の性能を検査する装置である。具体的には、ハーフミラー１１２の反射特性および、光ピックアップ１１の組立調整状態を検査して光ピックアップ１１を光ディスク記録再生装置の生産に用いることができるか否かを検査する。検査装置１は、図１に示すように、検査対象となる光ピックアップ１１が所定の検査位置（図示せず）に着脱自在に取り付けられるとともに、フォーカスサーボ回路１２、光ピックアップ送り機構１３、信号検出部１４、ハーフミラー検査部１５、制御部１６及び判定部１７を備えている。信号検出部１４は、ＤＰＤ信号検出手段１４１（図９）とＭＰＰ信号検出手段１４２（図１０）とを有している。上記した検査装置１の検査対象となる光ピックアップは、図４に示した光ピックアップ１１である。検査装置１においては、前述したように、検査用光ディスク２にレーザ光Ｌを照射して、PD１１７から装置側に出力した検査に必要な信号を信号検出部１４に対して出力する。

光ピックアップ送り機構１３は、制御部１６からの移送制御信号に従って、光ピックアップ１１の検査時に回転している検査用光ディスク２の上方をディスク半径方向に移送する。フォーカスサーボ回路１２は、制御部１６からのフォーカス制御信号に従って、検査時に光ピックアップ１１のPD１１７から出力された信号をもとに対物レンズ１１５を駆動し、検査用光ディスク２のディスク面２１に光スポットを集光させる、フォーカスサーボ動作を行う。

信号検出部１４は、フォーカスサーボ回路１２によって検査用光ディスク２が所定の回転数で回転し、所定の半径位置に移動されるとともに光ピックアップ送り機構１３によって光ピックアップ１１がフォーカスサーボ動作をしながら、光ピックアップ１１のPD１１７で検出された信号を入力する。信号検出部１４は、DPD信号検出手段１４１とMPP信号検出手段１４２とを有している。DPD信号検出手段１４１は、光ピックアップ１１から入力した信号から、DPD信号（位相差信号）S1を検出してハーフミラー検査部１５に出力する。また、MPP信号検出手段１４２は、光ピックアップ１１から入力した信号から、MPP信号S2を検出してハーフミラー検査部１５に出力する。

ハーフミラー検査部１５は、図２に示すように、第１コンパレータ１５１、第２コンパレータ１５２、位相差検出手段１５３及び判別手段１５４を備えている。第１コンパレータ１５１は、DPD信号検出手段１４１から入力したDPD信号S1を二値化し、第１二値信号S3として位相差検出手段１５３に出力する。また、第２コンパレータ１５２は、MPP信号検出手段１４２から入力したMPP信号S2を二値化し、第２二値信号S4として位相差検出手段１５３に出力する。位相差検出手段１５３は、入力した第１二値信号S3に対する第２二値信号S4の位相差に対応した値を求め、位相差信号S5として判別手段１５４に出力する。

位相差信号S5を入力した判別手段１５４は、図３に示す判定テーブルを用いて後述する如く、検査している光ピックアップが「検査合格品（良品）」（図３の「良品」エリア（斜線部分）内）、又は「不良品」（図３の「良品」エリア外）であるかを判定した結果を、結果信号S6として、出力する。

判別手段１５４は、判別の結果、反射率が均一である場合、結果信号S6としてハーフミラー１１２の反射特性に問題がないことを表す許可信号を出力する。一方、判別手段１５４は、反射率が不均一である場合、結果信号S6としてハーフミラー１１２の反射特性に問題があることを表す不可信号を出力する。判定部１７は、ハーフミラー検査部１５から出力した結果信号S6を入力すると、光ピックアップ１１の良否判定の検査の結果を出力する。

つまり、検査中の光ピックアップ１１側から検査装置１側へ供給されるＰＤ１１７からの各受光信号に基づいて生成した、DPD信号S1及びMPP信号S2の位相差が所定範囲内（図３の例においては、位相差−１５度〜＋１０度）であって、かつハーフミラー１１２単体の入射角度対反射率特性に基づく角度依存特性が所定範囲内（図３の例においては、角度依存特性−３％〜＋３％）にあるときには、図３に示す「良品」エリア内にあるから、光ピックアップ１１を合格品（良品）と判定し、一方、DPD信号S1及びMPP信号S2の位相差が所定範囲外（位相差−１０度〜＋５度の範囲外）にあるか、または、前記した角度依存特性が所定範囲外（角度依存特性−３％〜＋３％の範囲外）にあるときには、図３に示す「不良品」エリア内にあるから、光ピックアップ１１を「不良品」と判定する判定手段であるハーフミラー検査部１５を有している。

詳しくは、角度依存特性の範囲、−３％（下限値）〜＋３％（上限値）に収まる位相差信号S5の範囲、−１０％（下限値）〜＋５％（上限値）に収まる角度依存範囲のエリアが、図示する「「良品」エリア」である。これ以外のエリアは「「不良品」エリア」である。

上記した角度依存特性及び位相差が上記「「良品」エリア」に収まる値であるときには、光ピックアップ１１は、記録用光ディスクに対する記録又は再生を支障なく達成できるものであり、また上記した角度依存特性及び位相差が上記「「良品」エリア」に収まらない値であるときには、記録用光ディスクに対する記録又は再生を良好に行うことができなかった。ここで更に、図３を用いて、判別手段１５４（図２）の判別について、詳しく説明する。判別手段１５４では、入力する位相差信号S5に対する判断基準（判断テーブル。図３に示す「良品」「不良品」エリア）に関するデータを予め有している。図３に示す判断基準の一例は、横軸を角度依存特性（％）、縦軸を位相差（deg）としている。図３で横軸となる角度依存特性は、図６で示した入射角度−６°と入射角度６°とにおける反射率の差分であり、縦軸となる位相差は、図２で上述したDPD信号Ｓ１とMPP信号Ｓ２との位相差である。図３に示す例では、複数枚のハーフミラー１１２について測定した角度依存特性と位相差をプロットした結果から最小二乗法等によって求めたｙ＝２．４９６８ｘ−２．６７を基準式とし、この基準式によってハーフミラー１１２の角度依存特性が±３％の位相差から上限値と下限値を求めている（−３％（下限値）〜＋３％（上限値））。

本発明の最良の実施の形態に係る検査装置について説明する図である。 位相差検出部について説明する図である。 判別部における判別について説明する図である。 光ピックアップの構成について説明する図である。 ハーフミラーを介して形成される入射・反射ファーフィールドパターンを説明する図である。 ハーフミラーの反射特性のばらつきについて説明する図である。 ハーフミラーの検査装置について説明する図である。 ハーフミラーの不均一な反射特性によって生じる走査結果を説明する図である。 DPD信号の検出について説明する図である。 MPP信号の検出について説明する図である。

符号の説明

１…検査装置
１１…光ピックアップ
１１１…半導体レーザ（光源）
１１２，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ…ハーフミラー
１１２ａ…反射面
１１３…コリメータレンズ
１１４…板
１１５…対物レンズ
１１６…非点収差光学素子
１１７…PD（受光器）
１２…フォーカスサーボ回路
１３…光ピックアップ送り機構
１４…信号検出部
１４１…DPD信号検出手段
１４２…MPP信号検出手段
１５…位相差検出部
１５１…第１コンパレータ
１５２…第２コンパレータ
１５３…位相差検出手段
１５４…判別手段
１６…制御部
１７…判定部（判定手段）
２…検査用光ディスク
２１…情報記録面（ディスク面）
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ…検出領域
Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄ、Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄ…受光信号
Ｌ…レーザ光
Ｓ１…ＤＰＤ信号（第１検出信号）
Ｓ２…ＭＰＰ信号（第２検出信号）
Ｓ５…位相差信号

Claims (4)

1. 光源と、ハーフミラーと、複数分割した検出領域を有する受光器とを備えた光ピックアップの良品・不良品を検査する光ピックアップ検査装置であって、
   検査の際には、所定位置に装着した前記光ピックアップの前記光源から出射するレーザ光を前記ハーフミラーを介して検査用光ディスクのディスク面に集光照射し、前記ディスク面から反射する反射光を前記ハーフミラーで前記受光器側へ反射し、前記受光器の前記複数分割した検出領域上に集光し光電変換して各前記検出領域から出力する各受光信号を前記光ピックアップ側から装置側へ供給し、装置側へ供給する各前記受光信号に基づいて生成して得た第１及び第２検出信号の位相差が前記ハーフミラー単体の入射角度対反射率特性に基づく角度依存特性との相関関係から求められる所定範囲内にあるときには、前記光ピックアップを良品と判定し、一方前記第１及び第２検出信号の位相差が所定範囲外にあるときには、前記光ピックアップを不良品と判定する判定手段を有することを特徴とする光ピックアップ検査装置。
2. 光源と、ハーフミラーと、複数分割した検出領域を有する受光器とを備えた光ピックアップの良品・不良品を検査する光ピックアップ検査方法であって、
   検査の際には、所定位置に装着した前記光ピックアップの前記光源から出射するレーザ光を前記ハーフミラーを介して検査用光ディスクのディスク面に集光照射し、前記ディスク面から反射する反射光を前記ハーフミラーで前記受光器側へ反射し、前記受光器の前記複数分割した検出領域上に集光し光電変換して各前記検出領域から出力する各受光信号を前記光ピックアップ側から装置側へ供給し、装置側へ供給する各前記受光信号に基づいて生成して得た第１及び第２検出信号の位相差が前記ハーフミラー単体の入射角度対反射率特性に基づく角度依存特性との相関関係から求められる所定範囲内にあるときには、前記光ピックアップを良品と判定し、一方前記第１及び第２検出信号の位相差が所定範囲外にあるときには、前記光ピックアップを不良品と判定する判定ステップを有することを特徴とする光ピックアップ検査方法。
3. 前記判定手段に供給される前記第１検出信号は、前記受光器を構成する前記複数分割した各前記検出領域から出力する各前記受光信号に基づいて生成されるDPD（Differential Phase Detection）信号であり、
   前記第２検出信号は、各前記受光信号に基づいて生成されるMPP（Main Push-Pull）信号であることを特徴とする請求項１に記載の光ピックアップ検査装置。
4. 前記判定手段は、
   前記第１及び第２検出信号の位相差を検出する位相差検出手段と、
   前記位相差検出手段から出力する位相差信号を入力し、前記ハーフミラー単体の入射角度対反射率特性に基づく前記角度依存特性が所定範囲内にあるか否かを判別する判別手段とを有することを特徴とする請求項１又は３に記載の光ピックアップ検査装置。

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