JP2008149410A - 部品の接合方法及び接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の部品接合方法は、第1の部品13が保持されている上ステージ80の位置基準マーク84を検出する第1のステージ検出工程と、第1の部品13の位置基準マークと上ステージ80の位置基準マーク84との相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、第2の部品12が保持されている下ステージ87の位置基準マーク86を検出する第2のステージ検出工程と、第2の部品12の位置基準マークと下ステージ87の位置基準マーク86との相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、上ステージの位置基準マークと下ステージの位置基準マークとを検出した第1、第2のステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、第1、第2の相対位置演算工程で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、第1の部品と第2の部12品の位置を判断する位置判断工程とを有する。
【選択図】図8
Description
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧工程からなる部品の接合方法であって、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出工程と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出工程と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算工程で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品の位置を判断する位置判断工程と、
を有する部品の接合方法を特徴としている。
第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面としたステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧工程と、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出工程と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出工程と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算工程で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断工程と、
を有する液滴吐出ヘッドの製造方法を特徴としている。
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し、相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧手段からなる部品の接合装置であって、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出手段と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算手段と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出手段と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算手段と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算手段で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断手段と、
を具備する部品の接合装置を特徴としている。
第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し、相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧手段と、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出手段と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算手段と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出手段と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算手段と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算手段で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断手段とを具備する液滴吐出ヘッドの製造装置を特徴としている。
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出工程と、前記第1の部品の位置基準マークと、前記上ステージの位置基準マークの相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出工程と、
前記第2の部品の位置基準マークと、前記下ステージの位置基準マークの相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、前記上ステージの位置基準マークと下ステージの位置基準マークを検出した上下ステージの位置情報と、前記第1と第2の相対位置情報に基づき、前記第1の部品と第2の部品の位置を判断する位置判断工程と、前期位置判断工程の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断工程とを具備することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。
第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧工程と、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出工程と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出工程と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算工程で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断工程と、を具備することにより、請求項1と同様の効果を奏する液滴吐出ヘッドの製造方法を提供できる。
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し、相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧手段からなる部品の接合装置であって、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出手段と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算手段と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出手段と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算手段と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算手段で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断手段と、前記位置判断手段の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断手段と、を具備することにより、請求項1と同様の効果を奏する接合装置を提供できる。
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し、相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧手段と、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出手段と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算手段と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出手段と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算手段と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算手段で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断手段とを具備することで、請求項1と同様の効果を奏する液滴吐出ヘッドの製造装置を提供できる。
(ΔXu,ΔYu,Δθu)=(Xs,Ys,θs)−(Xr,Yr,θr)
を演算し、振動板13を基準に、流路板12をXYθ補正する。
(ΔXj,ΔYj,Δθj)=(Xs,Ys,θs)−(Xk,Yk,θk)
となり、振動板13と上ステージ位置基準マーク84との相対位置関係が定義される。
(ΔXm,ΔYm,Δθm)=(Xr,Yr,θr)−(Xn,Yn,θn)
となる。
(ΔXu,ΔYu,Δθu)=(Xs,Ys,θs)−(Xr,Yr,θr)
であり、現在の上ステージ位置基準マーク84と下ステージ位置基準マーク86の位置誤差量(ΔXi,ΔYi,Δθi)と、第1の相対位置、第2の相対位置、および部品の位置誤差量の関係は、
(ΔXi,ΔYi,Δθi)=(ΔXj−ΔXm−ΔXu,ΔYj−ΔYm−ΔYu,Δθj−Δθm−Δθu)
となり、上ステージ位置基準マーク84と下ステージ位置基準マーク86の位置誤差量(ΔXi,ΔYi,Δθi)を検出することにより、振動板13と、流路板12のセンター間の位置誤差量(ΔXu,ΔYu,Δθu)を演算できる。
振動板13の位置基準マーク23と、振動板13の位置基準マーク23を通して、流路板12の位置を計測するマーク検出手段70と、図示しないマーク検出手段70の移動手段と、振動板13と流路板12の位置検出結果に基づいて、振動板13に対して流路板12のアライメント並びに、上ステージ位置基準マーク84及び下ステージ位置基準マーク86の位置検出結果に基づいて位置補正を行うアライメント手段94と、マーク検出手段70の結果に基づいて、振動板13と上ステージ基準位置の相対位置関係を演算する第1の相対位置演算手段90と、流路板12と下ステージ基準位置の相対位置関係を演算する第2の相対位置演算手段91と、振動板13と流路板12の位置を判断する位置判断手段92と、接合完了を判断する接合完了判断手段95を具備する。
(ΔXj,ΔYj,Δθj)=(Xs,Ys,θs)−(Xk,Yk,θk)
となり、振動板13と上ステージ位置基準マーク84との相対位置関係が定義される(S.26)。
(ΔXm,ΔYm,Δθm)=(Xr,Yr,θr)−(Xn,Yn,θn)
となる(S.27)。
(ΔXu,ΔYu,Δθu)=(Xs,Ys,θs)−(Xr,Yr,θr)
と、現在の上ステージ位置基準マーク84と下ステージ位置基準マーク86の位置誤差量(ΔXi,ΔYi,Δθi)との関係は、
(ΔXi,ΔYi,Δθi)=(ΔXj−ΔXm−ΔXu,ΔYj−ΔYm−ΔYu,Δθj−Δθm−Δθi)
となり、上ステージ位置基準マーク84と下ステージ位置基準マーク86の位置誤差量(ΔXi,ΔYi,Δθi)を検出することにより、振動板13と、流路板12のセンター間の位置誤差量(ΔXu,ΔYu,Δθu)を演算できることになる(S.28)。
13…振動板(第1の部品)
80…接合上ステージ
83…上ステージ位置基準マーク
86…下ステージ位置基準マーク
87…接合下ステージ
Claims (12)
- 第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧工程からなる部品の接合方法であって、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出工程と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出工程と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算工程で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品の位置を判断する位置判断工程と、
を有することを特徴とする部品の接合方法。 - 前記位置判断工程は、前記上下ステージの位置情報と前記第1、第2の相対位置情報とに基づき、第1の部品と第2の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有することを特徴とする請求項1に記載の部品の接合方法。
- 前記位置演算工程から算出された第1の部品と第2の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程を有することを特徴とする請求項2に記載の部品の接合方法。
- 前記位置判断工程の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断工程を有することを特徴とする請求項1に記載の部品の接合方法。
- 前記接合完了判断工程は、前記第1の部品と第2の部品との相対位置情報と加圧工程の加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断することを特徴とする請求項4に記載の部品の接合方法。
- 振動板、流路板、ノズル板のいずれか2つを第1の部品、第2の部品として接合する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧工程と、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出工程と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算工程と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出工程と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算工程と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算工程で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し、相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧手段からなる部品の接合装置であって、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出手段と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算手段と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出手段と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算手段と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算手段で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断手段と、
を具備することを特徴とする部品の接合装置。 - 前記位置判断手段は、前記上下ステージの位置情報と前記第1、第2の相対位置情報とに基づき、第1の部品と第2の部品との相対位置を演算する位置演算手段を具備することを特徴とする請求項7に記載の部品の接合装置。
- 前記位置演算手段により算出された第1の部品と第2の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段を具備することを特徴とする請求項8に記載の部品の接合装置。
- 前記位置判断手段の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断手段を具備することを特徴とする請求項7に記載の部品の接合装置。
- 前記接合完了判断手段は、前記第1の部品と第2の部品との相対位置情報と、加圧手段の加圧力情報から、規定圧力において規定位置精度であることを判断することを特徴とする請求項10に記載の部品の接合装置。
- 振動板、流路板、ノズル板のいずれか2つを第1の部品、第2の部品として接合する液滴吐出ヘッドの製造装置であって、
第1の部品と第2の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、
第1の部品の位置基準マークと第2の部品の位置基準マークとを検出し、相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
第1の部品と第2の部品とを接着剤を介して接触させて、前記上ステージ面と下ステージ面とが相対的に接近する方向に第1の部品及び第2の部品を加圧する加圧手段と、
前記第1の部品が保持されている上ステージの位置基準マークを検出する第1のステージ検出手段と、
前記第1の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第1の相対位置演算手段と、
前記第2の部品が保持されている下ステージの位置基準マークを検出する第2のステージ検出手段と、
前記第2の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第2の相対位置演算手段と、
前記上ステージの位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとを検出した前記第1、第2のステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第1、第2の相対位置演算手段で得られた第1、第2の相対位置情報とに基づき、前記第1の部品と第2の部品との位置を判断する位置判断手段とを具備することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014004713A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ジェットヘッドの製造方法 |
CN108760753A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 永捷电子(始兴)有限公司 | Mark点检测装置及其检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004146785A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-05-20 | Murata Mfg Co Ltd | 部品装着方法および部品装着装置 |
JP2004212987A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-29 | Fujitsu Ltd | パネル貼り合わせ方法及び装置 |
JP2005193307A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Ricoh Co Ltd | 位置調整方法と位置調整装置と組立装置及びそれにより組み立てられた印字ヘッド |
-
2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004146785A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-05-20 | Murata Mfg Co Ltd | 部品装着方法および部品装着装置 |
JP2004212987A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-29 | Fujitsu Ltd | パネル貼り合わせ方法及び装置 |
JP2005193307A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Ricoh Co Ltd | 位置調整方法と位置調整装置と組立装置及びそれにより組み立てられた印字ヘッド |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014004713A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ジェットヘッドの製造方法 |
CN108760753A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 永捷电子(始兴)有限公司 | Mark点检测装置及其检测方法 |
CN108760753B (zh) * | 2018-05-31 | 2023-12-12 | 永捷电子(始兴)有限公司 | Mark点检测装置及其检测方法 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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