JP2008147202A - 半導体検査装置およびこれを用いた半導体検査システム - Google Patents
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Abstract
【課題】メンテナンスを効率的に行うことができ、メンテナンスを行う際の安全性も充分に確保でき半導体ウエハの検査および検査システムを提供する。
【解決手段】搬送ロボットのアームが出入りするように開放されたロボット用ローダ部21をプローバ13の筐体の一側部に設けるとともに、プローバ13の内部をオペレータが外部から操作できるように筐体を他側部から開閉可能に成されたメンテナンス用開閉部23を設け、そのようにプローバ13を構成した複数の半導体検査装置とカートリッジとを、これらによって閉空間が形成されるように配置し、ロボット用ローダ部21が閉空間の内側を向き、メンテナンス用開閉部23が閉空間の外側を向くように半導体検査装置を配置して、閉空間の内側に搬送ロボット3を配置することで、搬送ロボット3がある閉空間内に入らずにメンテナンスできるようにする。
【選択図】図3
【解決手段】搬送ロボットのアームが出入りするように開放されたロボット用ローダ部21をプローバ13の筐体の一側部に設けるとともに、プローバ13の内部をオペレータが外部から操作できるように筐体を他側部から開閉可能に成されたメンテナンス用開閉部23を設け、そのようにプローバ13を構成した複数の半導体検査装置とカートリッジとを、これらによって閉空間が形成されるように配置し、ロボット用ローダ部21が閉空間の内側を向き、メンテナンス用開閉部23が閉空間の外側を向くように半導体検査装置を配置して、閉空間の内側に搬送ロボット3を配置することで、搬送ロボット3がある閉空間内に入らずにメンテナンスできるようにする。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体検査装置およびこれを用いた半導体検査システムに関し、特に、半導体ウエハ等の半導体デバイスを収納するカートリッジから当該半導体デバイスを搬送ロボットにより取り出し、取り出した半導体デバイスを半導体検査装置の検査ステージに載置して検査を実施する検査システムおよびこれに用いる半導体検査装置に関するものである。
一般に、半導体ウエハ等の基板に代表される半導体デバイスの製造工程では、不良製品を選別するための検査が行われている。この種の検査は、例えば、ウエハ上に構成された半導体LSIの各出力端子にプローブ針を接触させ、各出力端子から出力される信号値を測定および評価することによって行う。
図8は、従来の半導体検査装置の例を簡略的に示す模式図である。この半導体検査装置は、テスタ本体101、テストヘッド102、プローブカード103、プローバ104により構成されている。プローブカード103には、複数のプローブ針103aが配設されている。
図9は、従来のプローバ104の構成例を示す図である。図9に示すように、プローバ104は、1以上の半導体ウエハ50を収納するカートリッジ201と、半導体ウエハ50の検査を行う検査部202(内部の詳細は図示せず)と、カートリッジ201と検査部202との間で半導体ウエハ50の受け渡しを行う搬送ロボット203とを備えている(例えば、特許文献1参照)。
特開2000−200810号公報
このようなプローバ104では、搬送ロボット203の動作によりカートリッジ201から半導体ウエハ50が取り出され、その状態で搬送ロボット203が検査部202の方向に移動して、半導体ウエハ50が検査部202の検査ステージ上に載置される。そして、半導体ウエハ50に形成されたLSIの各出力端子にプローブ針103aが当てられて、半導体ウエハ50の各出力端子からプローブ針103aを介して出力される信号の測定・評価が行われる。
上記特許文献1に記載されたような従来の半導体検査装置(プローバ)では、それ自身がカートリッジと搬送ロボットを備える構成となっている。つまり、カートリッジと搬送ロボットは、特定の半導体検査装置のための専用装置であり、1つのカートリッジに収納された半導体ウエハは1つの半導体検査装置でしか検査されなかった。そのため、1ロット(1カートリッジ)当たりの半導体ウエハの生産性は、半導体検査装置1台の検査能力に限定されていた。
一方、多品種の半導体デバイスを効率よく検査することができるとともに、フロアスペースを削減することができるようにしたテストシステムが提案されている(例えば、特許文献2参照)。この特許文献2に記載のテストシステムでは、カートリッジと搬送ロボットとが複数のテスタ間で共用され、カートリッジから取り出された半導体デバイスが搬送ロボットにより何れかのテスタに搬送されて検査が実施されるようになっている。
特開平7−20199号公報
すなわち、特許文献2に記載のテストシステムでは、2つのストッカの間に搬送ロボットが配置され、搬送ロボットの近傍に複数のテスト用チャンバが配置されている。各テスト用チャンバの近傍にはテストヘッドを備えたテスタが配置されている。そして、ストッカに収納されたテストボードが、テスタからの信号に基づいて搬送ロボットにより取り出され、中央搬送路を通って所定のテストステーションまで搬送され、テスト用チャンバ内に挿入されるようになっている。
上記特許文献2に記載されているテストシステムのように、カートリッジと搬送ロボットとをテスタから独立させて、複数のカートリッジに収納された複数の半導体デバイスを1台の搬送ロボットによって複数のテスタに適当に振り分けて検査を実施する場合、その振り分けの管理を適切に行うことによって、検査の効率を上げることが可能である。その反面、テストシステムの構成が煩雑化するため、メンテナンスの重要性が高まる。搬送ロボットはもちろんのこと、プローバ単体でも充分なメンテナンスを行うことが必要となる。
しかしながら、上記特許文献2に記載の従来技術では、メンテナンスを如何に行うかについては何ら考慮されていない。例えば、半導体ウエハの生産性を上げるためには、システムの稼働を全体としては停止せずに、プローバ単体のメンテナンスを行えるようにすることが好ましい。しかし、それをどのように実現するかについては、特許文献2では何ら触れられていない。また、システムを稼働したまま何れかのプローバのメンテナンスを行うということは、搬送ロボットが移動している中を人間が入っていって作業を行う必要があり、安全性の面でも問題が生じる。
本発明は、このような問題を解決するために成されたものであり、半導体ウエハなどに代表される半導体デバイスの検査および検査システムのメンテナンスを効率的に行うことによって、全体として半導体デバイスの生産性を上げることができるとともに、メンテナンスを行う際の安全性も充分に確保することができるようにすることを目的とする。
上記した課題を解決するために、本発明の半導体検査装置では、搬送ロボットのアームが出入りするように開放されたロボット用ローダ部を筐体の一側部に設けるとともに、少なくとも検査部の一部をオペレータが外部から操作できるように筐体の少なくとも一部を筐体の他側部側から開閉可能に成されたメンテナンス用開閉部を設けている。
本発明の他の態様では、オペレータが半導体デバイスを装填できるように、筐体の少なくとも一部を開閉可能に成されたオペレータ用ローダ部を筐体の他側部に設けている。
本発明の他の態様では、オペレータが半導体デバイスを装填できるように、筐体の少なくとも一部を開閉可能に成されたオペレータ用ローダ部を筐体の他側部に設けている。
また、本発明の半導体検査システムでは、上記のように構成した複数の半導体検査装置と、半導体デバイスを収納する1以上のカートリッジとを、これらによって互いに分離された第1の空間と第2の空間とが形成されるように配置するとともに、第1の空間に搬送ロボットを配置する。また、複数の半導体検査装置は、筐体の一側部が第1の空間側を向き、筐体の他側部が第2の空間側を向くように配置する。
上記のように構成した本発明によれば、ロボット用ローダ部に半導体デバイスを搬送する搬送ロボットが移動している第1の空間の中にオペレータが入らずに、ロボット用ローダ部とは異なる場所にあるメンテナンス用開閉部から筐体を開いて、内部にある検査部のメンテナンスを行うことが可能となる。また、ロボット用ローダ部とは異なる場所にあるオペレータ用ローダ部を開いて、オペレータが半導体デバイスを半導体検査装置にロードして動作確認を行うことができる。
そのため、検査システムの稼働中にメンテナンスや動作確認を行っても、搬送ロボットとオペレータとが衝突してしまうなどの危険性を回避することができる。また、複数の半導体検査装置のうち、メンテナンスを行いたいものだけ動作を停止してメンテナンスを実施すれば、他の半導体検査装置および搬送ロボットは稼働し続けることができ、検査システム全体の稼働を停止せずに半導体検査装置のメンテナンスを行うことができる。これにより、検査の稼働率を上げて半導体デバイスの生産性を向上させることができるとともに、検査システムの稼働中にメンテナンスを行う際の安全性も充分に確保することができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本実施形態による半導体検査システムの全体構成例を概略的に示す機能ブロック図である。図2および図3は、本発明による半導体検査装置を実施したプローバ(図1に示した半導体検査装置の一部)の概略構成例を示す図である。図4は、プローバが内部に備える移送系の構成例を示す図である。図5は、図1に示した半導体検査装置とカートリッジと搬送ロボットとの配置例を示す図である。図6は、図1に示した半導体検査装置の構成例を示す図である。図7は、搬送ロボットの構成例を示す図である。
図1に示すように、本実施形態の半導体検査システムは、N個の半導体検査装置1-1〜1-Nと、M個のカートリッジ2-1〜2-Mと、搬送ロボット3と、半導体検査装置管理サーバ4と、工程管理サーバ5と、ウエハ搬送系コントローラ6とを備えて構成されている。
各々の半導体検査装置1-1〜1-Nは、図6に示すように、テスタ11、プローブカード12およびプローバ13により構成されている。プローブカード12には、複数のプローブ針12aが配設されている。この半導体検査装置1-1〜1-Nでは、カートリッジ2-1〜2-Mから搬送ロボット3により取り出され搬送されてきた半導体ウエハをプローバ13の検査部に装填する。そして、装填された半導体ウエハ上に形成されている半導体LSIの各出力端子にプローブカード12のプローブ針12aを接触させて、各出力端子からプローブ針12aを介して出力される信号の測定・評価を行うことにより、半導体ウエハの検査を実施する。
各々のカートリッジ2-1〜2-Mは、1つまたは複数の半導体ウエハを収納するためのものである。収納する半導体ウエハは、半導体検査装置1-1〜1-Nによってまだ検査が行われていないもの、半導体検査装置1-1〜1-Nによって既に検査が行われたものの両方を含む。
搬送ロボット3は、半導体検査装置1-1〜1-Nとカートリッジ2-1〜2-Mとの間で半導体ウエハの受け渡しを行う。この搬送ロボット3は、例えば図7のような構造を有していて、X軸方向、Z軸方向(上下方向)、θ方向(水平回転方向)にアーム31を移動可能なように構成されている。また、この搬送ロボット3は、例えばラックピニオン方式の構造を有していて、図5に示すような半導体検査装置1-1〜1-Nの並びに平行な方向に引かれたレール32上をY軸方向に走行可能なように構成されている。
半導体検査装置管理サーバ4は、半導体ウエハの種類に従ったテストプログラムとテスト条件とを管理する。そして、工程管理サーバ5との連携によって動作する搬送ロボット3により半導体検査装置1-1〜1-Nに装填される半導体ウエハの種類に対応したテストプログラムを半導体検査装置1-1〜1-Nにロードする。
工程管理サーバ5は、カートリッジ2-1〜2-M内に収納されている未検査のどの半導体ウエハをどの半導体検査装置1-1〜1-Nにて検査するか、検査済みの半導体ウエハをどのカートリッジ2-1〜2-Mに収納するかを管理する。また、半導体検査装置1-1〜1-Nにおいて行われているそれぞれの検査進捗状況を監視しながら、検査終了の検知に応じて、半導体ウエハを交換するための命令をウエハ搬送系コントローラ6に送る。
ウエハ搬送系コントローラ6は、工程管理サーバ5から与えられる指示に従って、搬送ロボット3の動作を制御する。例えば、半導体検査装置1-1〜1-Nの何れかにおいて検査が終了すると、そのことが工程管理サーバ5に伝えられ、その半導体検査装置について半導体ウエハの交換を行うための命令がウエハ搬送系コントローラ6に与えられる。この命令を受けたウエハ搬送系コントローラ6は、搬送ロボット3をY軸方向に走行させて、交換対象の半導体検査装置の前まで移動させる。
この状態で搬送ロボット3は、アーム31をX軸方向、Z軸方向、θ方向に移動させて検査済みの半導体ウエハをプローバ13から取り出す。その後、搬送ロボット3は、指定されたカートリッジの前まで移動し、そのカートリッジに検査済みの半導体ウエハを移載する。次に、搬送ロボット3は、指定されたカートリッジの前まで移動して未処理の半導体ウエハを取り出し、交換対象の半導体検査装置の前まで再び移動してそれをプローバ13に移載する。このような搬送ロボット3の一連の動作をウエハ搬送系コントローラ6が制御する。
次に、図2〜図4に基づいてプローバ13の構成について説明する。図2〜図4に示すように、本実施形態のプローバ13は、搬送ロボット3のアーム31が出入りするようにプローバ13の筐体の一部が開放されたロボット用ローダ部21を、筐体の一側部(一の側面)に備えている。また、プローバ13は、オペレータ51がプローバ13の内部に半導体ウエハ50をロードできるように、ローダ用開閉部22aによって筐体の少なくとも一部を開閉可能に成されたオペレータ用ローダ部22を備えている。このオペレータ用ローダ部22は、ロボット用ローダ部21が設けられている一側部とは異なる他側部(他の側面)に設けられている。オペレータ51がローダ用開閉部22aを開閉操作可能な位置である他側部は、ロボット用ローダ部21が設けられている一側部と異なる側面であれば良いが、図2〜図4のように一側部と対向する側面であることが好ましい。
プローバ13の内部には、半導体ウエハ50の移送系(図4に示すチャック41)が備えられている。このチャック41は、Y軸レール42の上をY軸方向に摺動可能なように構成されている。また、Y軸レール42自体は、X軸レール43に沿ってX軸方向に摺動可能なように構成されている。これにより、チャック41はプローバ13の内部を2次元で移動可能なようになっている。
搬送ロボット3のアーム31によってロボット用ローダ部21からプローバ13に移載された半導体ウエハ50は、このチャック41によって所定の検査位置まで移送される。逆に、検査済みの半導体ウエハ50は、チャック41によってロボット用ローダ部21の付近まで移送され、搬送ロボット3のアーム31によって取り出される。また、オペレータ用ローダ部22からオペレータ51によってプローバ13に移載された半導体ウエハ50は、このチャック41によって所定の検査位置まで移送される。逆に、検査済みの半導体ウエハ50は、チャック41によってオペレータ用ローダ部22の付近まで移送され、オペレータ51によって取り出される。
また、図3に示すように、本実施形態のプローバ13は、プローバ13の内部に搭載されている検査部をオペレータ51が外部から操作(メンテナンス)できるように、ロボット用ローダ部21が設けられている一側部とは異なる他側部の方から開閉操作可能に成されたメンテナンス用開閉部23を備えている。このメンテナンス用開閉部23は、その開閉動作の支点をプローバ13の一側部近傍に設けることによって、プローバ13の他側部の方からプローバ13の上面のほぼ全体を開閉可能なように構成されている。
次に、半導体検査装置1-1〜1-Nとカートリッジ2-1〜2-Mと搬送ロボット3の配置例を、図5に基づいて説明する。なお、図5では、N=M=10の例を示している。図5に示すように、本実施形態では、半導体検査装置1-1〜1-10およびカートリッジ2-1〜2-10を、互いに分離された第1の空間と第2の空間とが形成されるように配置している。具体的には、半導体検査装置1-1〜1-10およびカートリッジ2-1〜2-10を配列して閉空間を形成するようにし、閉空間の内側を第1の空間、閉空間の外側を第2の空間としている。より具体的には、5個の半導体検査装置1-1〜1-5と5個の半導体検査装置1-6〜1-10とを直線状に平行して配置し、その一方端に5個のカートリッジ2-1〜2-5を、他方端に5個のカートリッジ2-6〜2-10を配置することによって、略矩形状の閉空間を形成している。
そして、第1の空間内(閉空間の内側)にレール32を引いてその上に搬送ロボット3を配置する。また、半導体検査装置1-1〜1-10に関しては、ロボット用ローダ部21が設けられている筐体の一側部が第1の空間側(閉空間の内側)を向き、オペレータ用ローダ部22が設けられている筐体の他側部が第2の空間側(閉空間の外側)を向くように配置する。
このような配置をとることにより、半導体検査装置1-1〜1-10とカートリッジ2-1〜2-10との間で搬送ロボット3を用いて行う半導体ウエハ50の受け渡しは、第1の空間内でのみ実施することが可能となる。また、オペレータ51による半導体ウエハ50の受け渡しや半導体検査装置1-1〜1-10のメンテナンスは、第1の空間とは完全に分離された第2の空間内で実施することが可能となる。すなわち、搬送ロボット3による作業領域とオペレータ51による作業領域とを完全に切り分けることができる。
これにより、オペレータ51は、搬送ロボット3が移動している閉空間の中に入らずに、閉空間の外側からメンテナンス用開閉部23を開いて、内部にある検査部のメンテナンスを行うことができる。また、メンテナンス後の動作確認などの際に、ローダ用開閉部22aを開いてオペレータ用ローダ部22からオペレータ51が半導体ウエハ50をロードすることもできる。そのため、半導体検査システムの稼働中にメンテナンスや動作確認を行っても、搬送ロボット3とオペレータ51とが衝突してしまうなどの危険性を回避することができる。
なお、1枚だけあるいは少数ロットの半導体ウエハ50を検査する際にも、オペレータ用ローダ部22からオペレータ51が半導体ウエハ50をロードすることによって検査を実施することも可能である。
また、複数の半導体検査装置1-1〜1-10のうち、メンテナンスを行いたいものだけ動作を停止してメンテナンスを実施すれば、他の半導体検査装置および搬送ロボット3は稼働し続けることができ、半導体検査システム全体の稼働を停止せずに半導体検査装置1-1〜1-10のメンテナンスを行うことができる。
したがって、検査の稼働率を上げて半導体デバイスの生産性を向上させることができるとともに、半導体検査システムの稼働中にメンテナンスを行う際の安全性も充分に確保することができる。
なお、上記実施形態では、10個の半導体検査装置1-1〜1-10と10個のカートリッジ2-1〜2-10とにより矩形状の閉空間を形成する例について説明したが、形成する閉空間は矩形状のものに限定されない。例えば、円形状の閉空間であっても良い。ただし、矩形状の方が、搬送ロボット3は直線状に移動するだけで良く、半導体ウエハ50を受け渡しする際のアーム31の位置合わせも比較的簡単なので、円形状より好ましい。また、閉空間は一直線上の矩形領域である必要はなく、十字状などにクロスした矩形領域であっても良い。
また、上記実施形態では、10個の半導体検査装置1-1〜1-10と10個のカートリッジ2-1〜2-10とにより閉空間を形成する例について説明したが、閉空間は必ずしも形成する必要はない。少なくとも第1の空間と第2の空間とが分離されていれば良く、第1の空間が閉空間である必要はない。例えば、図5に示したカートリッジ2-1〜2-10も半導体検査装置1-1〜1-10と同じ直線状に並べて配置するようにしても良い。ただし、閉空間を形成した方が、第1の空間と第2の空間とを完全に切り離すことができ、オペレータ51が第1の空間内に間違って入ってしまう危険性を低減できるので、より好ましい。
また、上記実施形態では、半導体検査装置1-1〜1-Nの一例として、半導体ウエハの上に形成されたLSIの出力端子にプローブ針12aを接触させて電気的検査を行うプローバ13を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、検査ステージに載置された半導体ウエハの表面をカメラにより撮影し、その撮影画像を処理することによって半導体ウエハの傷やゴミの付着などを検査するものであっても良い。また、検査する対象物も半導体ウエハに限定されない。要は、搬送ロボット3によって搬送可能な半導体デバイスであれば良く、検査の手法も特に限定しない趣旨である。
また、上記実施形態では、メンテナンス用開閉部23の開閉動作の支点をプローバ13の一側部近傍に設けることによって、プローバ13の他側部の方からプローバ13の上面のほぼ全体を開閉可能なように構成する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、プローバ13の内部にあるメンテナンスすべき部位が一部に限定されているような場合などには、その部位が少なくともメンテナンスできるように、少なくとも一部を筐体の他側部側から開閉可能なようにメンテナンス用開閉部23を構成することも可能である。
その他、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の一例を示したものに過ぎず、これによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその精神、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
本発明は、半導体デバイスを収納するカートリッジから半導体デバイスを搬送ロボットにより取り出し、取り出した半導体デバイスを半導体検査装置の検査ステージに載置して検査を実施する半導体検査システムおよびこれに用いる半導体検査装置に有用である。
1-1〜1-N 半導体検査装置
2-1〜2-M カートリッジ
3 搬送ロボット
13 プローバ
21 ロボット用ローダ部
22 オペレータ用ローダ部
22a ローダ用開閉部
23 メンテナンス用開閉部
2-1〜2-M カートリッジ
3 搬送ロボット
13 プローバ
21 ロボット用ローダ部
22 オペレータ用ローダ部
22a ローダ用開閉部
23 メンテナンス用開閉部
Claims (7)
- カートリッジ内から搬送ロボットにより取り出され搬送されてきた半導体デバイスを上記搬送ロボットから受け取り、受け取った半導体デバイスを検査部に装填して検査を実施する半導体検査装置であって、
上記搬送ロボットのアームが出入りするように開放されたロボット用ローダ部を筐体の一側部に設けるとともに、少なくとも上記検査部の一部をオペレータが外部から操作できるように上記筐体の少なくとも一部を上記筐体の他側部側から開閉可能に成されたメンテナンス用開閉部を設けたことを特徴とする半導体検査装置。 - オペレータが上記半導体デバイスを装填できるように、上記筐体の少なくとも一部を開閉可能に成されたオペレータ用ローダ部を上記筐体の他側部に設けたことを特徴とする請求項1に記載の半導体検査装置。
- カートリッジ内から搬送ロボットにより取り出され搬送されてきた半導体デバイスを上記搬送ロボットから受け取り、受け取った半導体デバイスを検査部に装填して検査を実施する半導体検査装置であって、
上記搬送ロボットのアームが出入りするように開放されたロボット用ローダ部を筐体の一側部に設けるとともに、オペレータが上記半導体デバイスを装填できるように、上記筐体の少なくとも一部を開閉可能に成されたオペレータ用ローダ部を上記筐体の他側部に設けたことを特徴とする半導体検査装置。 - 上記筐体の一側部と上記筐体の他側部は、互いに対向する側面にあることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体検査装置。
- 請求項1〜4の何れか1項に記載の複数の半導体検査装置と、
半導体デバイスを収納する1以上のカートリッジと、
上記半導体検査装置と上記カートリッジとの間で上記半導体デバイスを搬送する搬送ロボットとを備え、
上記複数の半導体検査装置および上記1以上のカートリッジを、互いに分離された第1の空間と第2の空間とが形成されるように配置するとともに、上記第1の空間内に上記搬送ロボットを配置し、
上記半導体検査装置の筐体の一側部が上記第1の空間側を向き、上記半導体検査装置の筐体の他側部が上記第2の空間側を向くように上記複数の半導体検査装置を配置するようにしたことを特徴とする半導体検査システム。 - 上記複数の半導体検査装置および上記1以上のカートリッジを配列して閉空間を形成するようにし、上記閉空間の内側を上記第1の空間、上記閉空間の外側を上記第2の空間としたことを特徴とする請求項5に記載の半導体検査システム。
- 上記複数の半導体検査装置を直線状に平行して配置するとともに、その両端に上記カートリッジを配置することによって、略矩形状の閉空間を形成したことを特徴とする請求項6に記載の半導体検査システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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