JP2008141022A - Connection structure of electronic component and connection inspecting method thereof - Google Patents

Connection structure of electronic component and connection inspecting method thereof Download PDF

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<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connection structure of electronic components in which the displacement of the electronic components on a wiring board can be accurately detected inexpensively with a small number of parts by providing a displacement detection bump. <P>SOLUTION: The connection structure includes a displacement detecting bump 5C for detecting the positional deviation between an electrode terminal portion 12A of a wiring 12 and a connection terminal 5B of a driver IC 5 in a region of the wiring board 4 where the driver IC 5 is mounted. In a specific electrode terminal portion 11Aba formed on the wiring 11A, a distance between the electrode terminal portion 11Aba and the displacement detecting bump 5C is smaller than a distance between the other adjacent electrode terminal portions 12A. Each of the specific electrode terminal portions 11Aba includes a branching portion 11Abb protruding from the wiring 11A, a narrow width portion 11Abc connected to the branching portion 11Abb and extending in the above direction, and an extending portion 11Abd connected to the tip of the narrow width portion 11Abc and extending in a direction perpendicular to the direction where the electrode terminal portions 12A are juxtaposed. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の接続構造およびその接続検査方法に関するものである。   The present invention relates to an electronic component connection structure and a connection inspection method thereof.

例えばインクジェットプリンタなどのいわゆる電子機器において、基板上への電子部品の実装、および加工などの接続時には、例えば図8(a)に示すような、駆動信号や駆動電圧を供給するための駆動回路ユニット201(電子部品)を配線基板202に対して実装することが行われる。この場合、図8(b)に示すように、駆動ユニット201には、配線基板202と接続する側の面に各接続端子201aが形成され、その各接続端子201aが、配線基板202に形成された複数の配線203の複数の電極端子部203aと対応している。そして、各電極端子部203aと接続端子201aが重ねて接合することで電気的に接続される。このような接続が行われる時、各接続端子201aと各電極端子部203aとは、図8(c)に示すように位置ズレが生じるおそれがあり、特に各端子201aおよび203aの配列ピッチが小さいときは、その配列方向に対して僅かな位置ズレでも、その隣の端子201aまたは203aと接触して短絡を起こしてしまうことがある。このような位置ずれは、外観検査では検知し難く、時間もかかり生産性が良くない。そのため、基板上の配線や電子部品の接続時に、接続する対象同士の位置ズレを確認するために検査用の配線や端子などを別に設けて、その導通を検知する機能検査が行われることが知られている(例えば、特許文献1,2,3参照)。
特開2000−235191号公報(段落0022〜0028および図3) 特開2002−232105号公報(段落0025〜0036および図1〜図4) 特開2003−195249号公報(段落0011〜0030および図2、図3)
For example, in a so-called electronic apparatus such as an ink jet printer, a drive circuit unit for supplying a drive signal and a drive voltage, for example, as shown in FIG. 201 (electronic component) is mounted on the wiring board 202. In this case, as shown in FIG. 8B, each connection terminal 201 a is formed on the surface of the drive unit 201 that is connected to the wiring board 202, and each connection terminal 201 a is formed on the wiring board 202. In addition, it corresponds to a plurality of electrode terminal portions 203 a of the plurality of wirings 203. And each electrode terminal part 203a and the connection terminal 201a are electrically connected by overlapping and joining. When such a connection is made, there is a risk that the connection terminals 201a and the electrode terminal portions 203a may be misaligned as shown in FIG. 8C. In particular, the arrangement pitch of the terminals 201a and 203a is small. Sometimes, even a slight misalignment with respect to the arrangement direction may contact the adjacent terminal 201a or 203a to cause a short circuit. Such misalignment is difficult to detect by visual inspection, takes time, and is not productive. For this reason, it is known that when wiring or electronic components on a board are connected, a function inspection is performed to detect the continuity by separately providing inspection wiring or terminals in order to confirm the positional deviation between the objects to be connected. (For example, see Patent Documents 1, 2, and 3).
JP 2000-235191 A (paragraphs 0022 to 0028 and FIG. 3) JP 2002-232105 A (paragraphs 0025 to 0036 and FIGS. 1 to 4) JP 2003-195249 A (paragraphs 0011 to 0030 and FIGS. 2 and 3)

しかしながら、上記特許文献1〜3に記載のものでは、各電子部品の駆動にあたり電気的な役割を担う接続配線、端子に加えて、検査用の配線や端子を設ける必要があるので、本来必要な接続配線、端子以外に、接続配線、端子を特別に設ける必要があり、コストアップの原因となる。また、検査用の配線や端子を設けるためのスペースが必要となり、省スペース化の面においても好ましくない。
さらに、最近の配線の高密度化に伴い、駆動回路ユニット201側の接続端子201aと配線基板202側の端子部203aとの接続時における位置ズレ量が公差の範囲内にあり、実装時の機能検査で問題なくとも、経時変化によりマイグレーションなどにより電子部品が駆動している最中に短絡に至る可能性が高くなることがあり、そのような潜在的な短絡を引き起こさせるような位置ズレは、従来の機能検査では検知できないという問題もあった。
However, in the thing of the said patent documents 1-3, since it is necessary to provide the wiring and terminal for a test | inspection in addition to the connection wiring and terminal which play an electrical role in the drive of each electronic component, it is essential originally In addition to connection wiring and terminals, connection wiring and terminals need to be specially provided, leading to an increase in cost. In addition, a space for providing inspection wiring and terminals is required, which is not preferable in terms of space saving.
Further, with the recent increase in the density of wiring, the positional deviation amount at the time of connection between the connection terminal 201a on the drive circuit unit 201 side and the terminal portion 203a on the wiring board 202 side is within a tolerance range, and the function at the time of mounting Even if there is no problem in the inspection, there is a possibility that a short circuit may occur while the electronic component is driven by migration or the like due to a change over time, and a positional shift that causes such a potential short circuit is There was also a problem that it could not be detected by a conventional function test.

そこで、本発明は,このような潜在的な短絡を起こさせるような位置ズレを検知できるとともに、位置ズレ検出用のバンプを電子部品に設け、配線基板が本来備える端子に、位置ズレを検査する機能を持たせる(つまり兼用させる)ことで、少ない部品構成で位置ズレを安価に検査することができる電子部品の接続構造およびその接続検査方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can detect a positional shift that causes such a potential short circuit, and also provides a bump for detecting a positional shift on an electronic component, and inspects the positional shift on a terminal that the wiring board originally has. It is an object of the present invention to provide an electronic component connection structure and a connection inspection method thereof that can inspect a positional shift at a low cost with a small number of component configurations by providing a function (that is, sharing).

請求項1の発明は、電子部品の接続構造を対象とするもので、配線基板は、複数の配線が形成され、前記各配線が複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記各電極端子部と、電子部品の各接続端子とが対応して電気的に接続されることを前提とする。そして、請求項1の発明は、前記電子部品の実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプが設けられ、前記電極端子部のうち特定の電極端子部が、前記位置ズレ検出用のバンプとの間隔が他の隣り合う電極端子部同士の間隔よりも小さい間隔となる、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する検査部を備えていることを特徴とする。   The invention according to claim 1 is directed to a connection structure for an electronic component, and the wiring board has a configuration in which a plurality of wirings are formed, and each of the wirings is installed with a plurality of electrode terminal portions arranged side by side. It is assumed that each electrode terminal portion and each connection terminal of the electronic component are electrically connected correspondingly. According to a first aspect of the present invention, in the mounting region of the electronic component, a displacement detection bump for inspecting a displacement between the electrode terminal portion and the connection terminal is provided, and a specific electrode terminal among the electrode terminal portions is provided. The inspection unit for inspecting the positional deviation between the electrode terminal part and the connection terminal, wherein the gap between the bumps for detecting the positional deviation is smaller than the distance between the other adjacent electrode terminal parts. It is characterized by that.

このようにすれば、特定の電極端子部の検査部と位置ズレ検出用のバンプとの導通状態の有無により、接続状態つまり電極端子部と接続端子の位置ズレを簡単に検査することができる。さらに、配線基板に本来設けられている電極端子部のうち特定の電極端子部に、位置ズレ検出用のバンプとの間隔が、他の隣り合う電極端子部同士の間隔よりも小さい間隔となる検査部が設けられているので、潜在的な短絡を起こさせるような位置ズレが起こった場合、他の隣り合う電極端子部同士が短絡しなくても、特定の端子部と検査部が短絡する。そのため、前述したような位置ズレを簡単に検査することができる。加えて、配線基板本来設けられている電極端子部と、検査部を設けているだけであるから、構造が簡単であり、安価である。   In this way, it is possible to easily inspect the connection state, that is, the positional deviation between the electrode terminal portion and the connection terminal, depending on the presence / absence of conduction between the inspection portion of the specific electrode terminal portion and the bump for detecting the positional deviation. Further, the inspection of the specific electrode terminal portion of the electrode terminal portions originally provided on the wiring board with a gap smaller than the gap between the other adjacent electrode terminal portions in the gap for detecting the misalignment. Since the portion is provided, when a positional shift that causes a potential short-circuit occurs, the specific terminal portion and the inspection portion are short-circuited even if the other adjacent electrode terminal portions are not short-circuited. Therefore, it is possible to easily inspect the positional deviation as described above. In addition, since the electrode terminal portion and the inspection portion that are originally provided on the wiring board are only provided, the structure is simple and inexpensive.

請求項2に記載のように、請求項1の電子部品の接続構造において、前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向に延びる第1の部分を有する構成とすることができる。   According to a second aspect of the present invention, in the electronic component connection structure according to the first aspect, the inspection unit includes a first portion extending in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged. can do.

このようにすれば、請求項1の効果に加えて、第1の部分によって、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向における電子部品の位置ズレ、つまり電極端子部と接続端子の位置ズレを検査することができる。   According to this configuration, in addition to the effect of the first aspect, the position of the electronic component in the direction orthogonal to the direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged by the first portion, that is, the electrode terminal portion and the connection terminal Can be inspected.

請求項3に記載のように、請求項2の電子部品の接続構造において、前記第1の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられていることが望ましい。   According to a third aspect of the present invention, in the electronic component connection structure according to the second aspect, it is desirable that the first portion is provided on both sides of the bump for detecting displacement.

このようにすれば、請求項2の効果に加えて、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向において、いずれの側に電子部品の位置ズレが生じても、検査することができる。   In this way, in addition to the effect of claim 2, it is possible to inspect whether the electronic component is misaligned on either side in the direction orthogonal to the direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged. it can.

請求項4に記載のように、請求項1〜3のいずれかの電子部品の接続構造において、前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に延びる第2の部分を有することが望ましい。   The electronic component connection structure according to any one of claims 1 to 3, wherein the inspection portion has a second portion extending in a direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged. Is desirable.

このようにすれば、請求項1から3のいずれかの効果に加えて、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向だけでなく、前記複数の電極端子部が並んでいる方向についても電子部品の位置ズレを検査することができる。   In this case, in addition to the effect of any one of claims 1 to 3, not only the direction orthogonal to the direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged, but also the direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged. Also, the positional deviation of the electronic component can be inspected.

請求項5に記載のように、請求項4記載の電子部品の接続構造において、前記第2の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられている構成とすることも可能
である。
According to a fifth aspect of the present invention, in the electronic component connection structure according to the fourth aspect, the second part may be provided on both sides with the bump for detecting the displacement. It is.

このようにすれば、請求項4の効果に加えて前記複数の電極端子部が並んでいる方向においても、いずれの側に電子部品の位置ズレが生じても、検査することができる。   In this manner, in addition to the effect of the fourth aspect, even in the direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged, it is possible to inspect whether the electronic component is misaligned on either side.

請求項6に記載のように、請求項1〜5のいずれかの電子部品の接続構造において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられている構成とすることができる。   The electronic component connection structure according to any one of claims 1 to 5, wherein the electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head. In addition, an individual electrode and a piezoelectric layer are provided corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied through the wiring of the wiring board, and the wiring of the specific electrode terminal portion is a wiring that is connected to the driving circuit unit and supplies an inspection signal. In the mounting area of the drive circuit unit, the displacement detection bar is set so that the distance from the specific electrode terminal portion is smaller than the distance from other adjacent electrode terminal portions. It may be configured to flop is provided.

このようにすれば、請求項1〜5のいずれかの効果に加えて、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって検査用信号を供給する配線の電極端子部として、特定の電極端子部を利用しているので、検査用の配線や端子を設けるためのスペースを設ける必要がなくなる。よって、省スペース化でき、配線の高密度化にも対応できる。また、低コストである。さらに、特定の電極端子部の配線は、検査用信号を供給する配線なので、インクジェットヘッドが通常使用されている時には、検査用の配線や端子には電流が流れない。そのため、使用している間の経時変化によって短絡しても、その短絡が駆動動作に影響することがない。   According to this configuration, in addition to the effect of any one of claims 1 to 5, a specific electrode terminal portion is used as an electrode terminal portion of a wiring that is connected to the drive circuit unit and supplies a test signal. Therefore, it is not necessary to provide a space for providing inspection wiring and terminals. Therefore, it is possible to save space and cope with higher wiring density. In addition, the cost is low. Furthermore, since the wiring of the specific electrode terminal portion is a wiring for supplying an inspection signal, no current flows through the inspection wiring or terminal when the inkjet head is normally used. Therefore, even if a short circuit occurs due to a change over time during use, the short circuit does not affect the driving operation.

請求項7に記載のように、請求項1〜5のいずれかの電子部品の接続構造において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていて、前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子とすることも可能である。   The electronic component connection structure according to any one of claims 1 to 5, wherein the electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head. In addition, an individual electrode and a piezoelectric layer are provided corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied through the wiring of the wiring board, and the wiring of the specific electrode terminal portion is connected to the internal electrode. In the mounting region of the drive circuit unit, the specific signal The position deviation detection bump is provided so that the distance between the electrode terminal portion and the wiring is smaller than the distance between other electrode terminal portions, and the position deviation detection The bump can be used as a connection terminal of an electronic component that is connected to the wiring used when the piezoelectric layer is polarized by applying a predetermined voltage between the bump and the internal electrode in the manufacturing process. .

このようにすれば、請求項1〜5のいずれかの効果に加えて、特定の電極端子部は、圧電層を分極する際に用いる配線に対応して接続する電子部品の接続端子を利用しているので、検査用の配線や端子を設けるスペースは必要なく、省スペース化できる。また、低コストである。さらに、インクジェットヘッドが通常使用されている時には、検査用の配線や端子は同電位であり、また接地されているため、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。   In this case, in addition to the effect of any one of claims 1 to 5, the specific electrode terminal portion uses a connection terminal of an electronic component connected corresponding to the wiring used when the piezoelectric layer is polarized. Therefore, a space for providing inspection wiring and terminals is not necessary, and the space can be saved. In addition, the cost is low. Further, when the ink jet head is normally used, the inspection wiring and terminals are at the same potential and are grounded. Therefore, even if a short circuit occurs due to aging, the short circuit does not affect the operation.

請求項8に記載のように、請求項1〜7のいずれかの電子部品の接続構造において、前記特定の電極端子部は、前記接続端子が配列される方向の端付近に配置されていることが望ましい。   As described in claim 8, in the electronic component connection structure according to any one of claims 1 to 7, the specific electrode terminal portion is arranged near an end in a direction in which the connection terminals are arranged. Is desirable.

このようにすれば、請求項1〜7のいずれかの効果に加えて、特定の電極端子部は電子部品の接続端子が配列される方向の端付近に配置されているので、他の電極端子部や接続端子に与える影響が小さい。   In this way, in addition to the effect of any one of claims 1 to 7, the specific electrode terminal portion is disposed near the end in the direction in which the connection terminals of the electronic components are arranged, so that the other electrode terminals The effect on parts and connection terminals is small.

請求項9の発明は、電子部品の接続検査方法を対象とするもので、配線基板は複数の配線が形成され、前記各配線は複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査することを前提とする。そして、請求項9の発明は、前記電子部品の実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部と隣の電極端子部との導通状態の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする。   The invention of claim 9 is directed to an electronic component connection inspection method, wherein the wiring board is formed with a plurality of wires, and each of the wires has a plurality of electrode terminal portions arranged side by side, It is assumed that when each connection terminal of an electronic component is connected to each electrode terminal portion of the wiring board, the connection state is inspected. According to a ninth aspect of the present invention, in the mounting region of the electronic component, a bump for detecting a displacement is provided for inspecting a displacement between the electrode terminal portion and the connection terminal, and a specific electrode terminal portion among the electrode terminal portions. Are arranged adjacent to the positional deviation detection bumps, and when the connection terminals of the electronic component are connected to the electrode terminal portions of the wiring board, the positional deviation detection bumps, The connection state is inspected based on the presence or absence of a conduction state between a specific electrode terminal portion and an adjacent electrode terminal portion.

このようにすれば、位置ズレ検出用のバンプを介しての特定の電極端子部の検査部と隣の電極端子部との導通状態の有無により、配線基板の各電極端子部と電子部品の各接続端子との接続状態を簡単に検査することができる。   In this way, each electrode terminal portion of the wiring board and each of the electronic components is determined depending on whether or not there is a conduction state between the inspection portion of the specific electrode terminal portion and the adjacent electrode terminal portion through the bump for detecting the displacement. The connection state with the connection terminal can be easily inspected.

請求項10の発明は、電子部品の接続検査方法を対象とするもので、配線基板は複数の配線が形成され、前記各配線は複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査することを前提とする。そして、請求項10の発明は、前記電子部品の実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記電子部品への所定の信号入力により、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部からの設定信号の出力の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする。   The invention of claim 10 is directed to an electronic component connection inspection method, wherein a wiring board is formed with a plurality of wirings, and each of the wirings is configured with a plurality of electrode terminal portions arranged side by side, It is assumed that when each connection terminal of an electronic component is connected to each electrode terminal portion of the wiring board, the connection state is inspected. According to a tenth aspect of the present invention, in the mounting region of the electronic component, a bump for detecting a displacement is provided for inspecting a displacement between the electrode terminal portion and the connection terminal, and a specific electrode terminal portion among the electrode terminal portions. Is arranged next to the bump for detecting the displacement, and when the connection terminals of the electronic component are connected to the electrode terminal portions of the wiring board, the position is determined by a predetermined signal input to the electronic component. The connection state is inspected based on the presence / absence of a setting signal output from the specific electrode terminal portion via a deviation detection bump.

このようにすれば、電子部品に所定の信号を入力して、位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部からの設定信号の出力の有無をみることにより、前記接続状態を簡単に検査することができる。   In this case, the connection state is determined by inputting a predetermined signal to the electronic component and checking whether or not the setting signal is output from the specific electrode terminal portion via the bump for detecting the displacement. Can be easily inspected.

請求項11に記載のように、請求項9または10の電子部品の接続検査方法において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられている構成とすることができる。ここで、検査用信号を供給する配線とは、インクジェットヘッドを駆動するために用いられる配線ではなく、正常に駆動できるかどうかを検査するための検査用信号を供給するものを意味する。   The electronic component connection inspection method according to claim 9 or 10, wherein the electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to an inkjet head, and the inkjet head is An individual electrode and a piezoelectric layer are provided corresponding to the plurality of pressure chambers, and a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers across the piezoelectric layer, and the wiring is connected to the individual electrode and the internal electrode. The drive signal is supplied through a wiring of a substrate, and the wiring of the specific electrode terminal portion is a wiring that is connected to the driving circuit unit and supplies an inspection signal, In the mounting region of the drive circuit unit, the positional deviation detection is performed so that the distance from the specific electrode terminal portion is smaller than the distance from other adjacent electrode terminal portions. It may be configured to pump is provided. Here, the wiring for supplying the inspection signal means a wiring for supplying an inspection signal for inspecting whether or not it can be normally driven, not the wiring used for driving the inkjet head.

このようにすれば、請求項9または10の効果に加えて、特定の電極端子部として検査用信号を供給する配線の電極端子部を用いているため、インクジェットヘッドの製造工程において、外観検査よりも精度よく、前記位置ズレを簡単に検査することができ、生産性も良い。また、インクジェットヘッドを駆動する通常使用時には、電流が流れず、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。   In this way, in addition to the effect of the ninth or tenth aspect, since the electrode terminal portion of the wiring that supplies the inspection signal is used as the specific electrode terminal portion, in the manufacturing process of the ink jet head, the appearance inspection is performed. In addition, the positional deviation can be easily inspected with high accuracy, and the productivity is good. Further, during normal use for driving the ink jet head, no current flows, and even if a short circuit occurs due to changes over time, the short circuit does not affect the operation.

請求項12に記載のように、請求項9または10の電子部品の接続検査方法において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設け、前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程の分極の際に、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子である構成としてもよい。   The electronic component connection inspection method according to claim 9 or 10, wherein the electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head. An individual electrode and a piezoelectric layer are provided corresponding to the plurality of pressure chambers, and a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers across the piezoelectric layer, and the wiring is connected to the individual electrode and the internal electrode. The drive signal is supplied through the wiring of the substrate, the wiring of the specific electrode terminal portion is connected to the internal electrode, and the specific electrode terminal in the mounting area of the drive circuit unit The position deviation detection bump is provided so that the distance between the wiring and the wiring is smaller than the distance between the adjacent electrode terminal parts, and the position deviation detection bump. In addition, when polarization is applied in the manufacturing process, a predetermined voltage is applied between the internal electrodes, and the structure is a connection terminal of an electronic component that is connected corresponding to the wiring used when the piezoelectric layer is polarized. Good.

このようにすれば、請求項9または10の効果に加えて、圧電層を分極する際に用いる配線に対応して接続する電子部品の接続端子を利用して検査するため、インクジェットヘッドの製造工程において、従来の外観検査よりも精度よく、前記位置ズレを簡単に検査することができ、生産性も良い。また、通常のインクジェットヘッドの使用時には、互いに同電位になっているため、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。   In this case, in addition to the effect of claim 9 or 10, since the inspection is performed using the connection terminals of the electronic components connected corresponding to the wiring used when the piezoelectric layer is polarized, the inkjet head manufacturing process Therefore, the positional deviation can be easily inspected with higher accuracy than the conventional appearance inspection, and the productivity is also good. In addition, when using a normal ink jet head, since they are at the same potential, even if a short circuit occurs due to changes over time, the short circuit does not affect the operation.

本発明は、位置ズレ検出用のバンプを電子部品に設け、配線基板が本来備える端子に、位置ズレを検査する機能を持たせる(つまり兼用させる)ことで、潜在的な短絡を起こさせる可能性のある位置ズレを簡単に検査できるとともに、少ない部品構成で位置ズレを安価に検査することができる。   The present invention has a possibility of causing a potential short circuit by providing a bump for detecting a positional deviation in an electronic component and having a function of inspecting a positional deviation in a terminal that is originally provided on a wiring board (that is, by making it also serve as a combined use). In addition to being able to easily inspect misalignment, it is possible to inexpensively inspect misalignment with a small number of components.

本発明は、電子機器などの基板上への電子部品の実装、および加工などの接続構造およびその接続検査方法に関し、例えば、インクジェットヘッドに適用されたものである。図1は本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブル配線基板が接合された状態を示す斜視図である。   The present invention relates to a connection structure such as mounting and processing of an electronic component on a substrate such as an electronic device, and a connection inspection method thereof. For example, the present invention is applied to an inkjet head. FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a flexible wiring board is bonded to the upper surface of an inkjet head to which the present invention is applied.

図1に示すように、インクジェットヘッド1は、特開2006−198903号公報に記載された公知のものと同様に流路ユニット2の上に、アクチュエータユニット3、およびフレキシブル配線材4を積層して構成をしている。インクジェットヘッド1は、インクジェット式記録装置に用いられるもので、具体的に図示していないが、インクジェットヘッド1は、記録用紙の搬送方向Y(副走査方向)と直交する方向X(主走査方向)に往復移動するキャリッジに搭載されている。
インクジェットヘッド1の流路ユニット2は、複数のプレートが積層された積層体で、複数の配列された圧力室2aと、各圧力室2aに連通する複数のノズル(図示せず)と、図示しないインク供給源からのインクを各圧力室2aおよびノズルに連通するインク流路(図示せず)とを備える。また、アクチュエータユニット3は、複数の圧電層23(例えば、PZT)が積層された積層体で、複数の圧力室2aに対応して形成された複数の個別電極(図示せず)と、複数の圧力室2aに共通の内部電極(図示せず)が各圧電層23を挟んで構成されている。共通の内部電極はグランドに接続され、個別電極に選択的に電圧を印加することにより、個別電極および前記内部電極とで挟まれる圧電層23の部分が、各圧力室あるいはノズルに対応する複数の圧電変形部として選択的に駆動されることで、圧電変形部が変形し、対応する圧力室内のインクに圧力を与え複数のノズルから選択的にインクを吐出して記録用紙(被記録媒体)に記録を行う。
As shown in FIG. 1, the inkjet head 1 is formed by laminating an actuator unit 3 and a flexible wiring member 4 on a flow path unit 2 in the same manner as the known one described in JP-A-2006-198903. Has a configuration. The ink jet head 1 is used in an ink jet recording apparatus, and although not specifically illustrated, the ink jet head 1 is a direction X (main scanning direction) orthogonal to the recording paper transport direction Y (sub scanning direction). It is mounted on a carriage that reciprocates.
The flow path unit 2 of the inkjet head 1 is a laminated body in which a plurality of plates are laminated, and a plurality of arranged pressure chambers 2a, a plurality of nozzles (not shown) communicating with the pressure chambers 2a, and not shown. An ink flow path (not shown) that communicates ink from an ink supply source to each pressure chamber 2a and nozzles is provided. The actuator unit 3 is a laminate in which a plurality of piezoelectric layers 23 (for example, PZT) are laminated, a plurality of individual electrodes (not shown) formed corresponding to the plurality of pressure chambers 2a, and a plurality of An internal electrode (not shown) common to the pressure chamber 2 a is configured with the piezoelectric layers 23 interposed therebetween. The common internal electrode is connected to the ground, and by selectively applying a voltage to the individual electrode, a portion of the piezoelectric layer 23 sandwiched between the individual electrode and the internal electrode has a plurality of corresponding pressure chambers or nozzles. By being selectively driven as a piezoelectric deformation portion, the piezoelectric deformation portion is deformed, pressure is applied to the ink in the corresponding pressure chamber, and the ink is selectively ejected from a plurality of nozzles to the recording paper (recording medium). Make a record.

また、アクチュエータユニット3の最上面には、表面個別電極22および表面内部電極24が銀―パラジウム系の導電部材にてスクリーン印刷形成され、表面個別電極22および表面内部電極24は、特開2003-80709号公報に記載の公知の構成と同様に、積層された圧電層23の積層方向に貫通したスルーホール(図示せず)に充填された導電性材料を介して、圧電層23内の個別電極および共通の内部電極にそれぞれ導通されている。   Further, on the uppermost surface of the actuator unit 3, the surface individual electrode 22 and the surface internal electrode 24 are screen-printed and formed by a silver-palladium conductive member, and the surface individual electrode 22 and the surface internal electrode 24 are disclosed in JP-A-2003- Similarly to the known configuration described in Japanese Patent No. 80709, individual electrodes in the piezoelectric layer 23 are formed through a conductive material filled in through holes (not shown) penetrating in the stacking direction of the stacked piezoelectric layers 23. And are connected to a common internal electrode.

このアクチュエータ3の上面には、フレキシブル配線材4が積層される。フレキシブル配線材4は、電気絶縁性を有し可撓性の剛性樹脂材(例えばポリイミド樹脂))からなる帯状のベース材の片面に、後述する銅などの複数の配線11A〜11D、12がフォトレジスト等により形成されていて、これらの表面を電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂(例えばポリイミド樹脂)からなるカバーレイにて被覆させている。   A flexible wiring material 4 is laminated on the upper surface of the actuator 3. The flexible wiring material 4 has a plurality of wirings 11A to 11D, 12 such as copper, which will be described later, on one side of a strip-like base material made of a flexible rigid resin material (for example, polyimide resin) having electrical insulation. These surfaces are formed of a resist or the like, and these surfaces are covered with a cover lay made of a flexible synthetic resin (for example, polyimide resin) having electrical insulation.

フレキシブル配線材4は、その長手方向(X方向)の一端側の裏面に、各表面個別電極22および表面内部電極23に対応して形成された個別電極バンプ12Bおよび表面電極バンプ11AAが設けられていて、他端側(ドライバIC5が設けられている側)には、後述する電極端子部11Aa、11Ba、11Ca、11Da・・・(総じる場合は電極端子部11とする)が一定のピッチで並んで設置されている。個別電極バンプ12Bおよび表面電極バンプ11AAは、ベース材の対応する部位に孔を開けて配線12の一部分を露出させ、その上にハンダ等の導電性ろう材を溶融させてバンプ電極を固着している。また、電極端子部は、カバーレイの上面側(アクチュエータ3と反対側)を露出していて形成されている。   The flexible wiring material 4 is provided with individual electrode bumps 12 </ b> B and surface electrode bumps 11 </ b> AA formed on the back surface on one end side in the longitudinal direction (X direction) corresponding to each surface individual electrode 22 and the surface internal electrode 23. In addition, on the other end side (side where the driver IC 5 is provided), electrode terminal portions 11Aa, 11Ba, 11Ca, 11Da (to be referred to as the electrode terminal portion 11 in a general case) described later have a constant pitch. It is installed side by side. The individual electrode bumps 12B and the surface electrode bumps 11AA have holes formed in corresponding portions of the base material to expose a part of the wiring 12, and a conductive brazing material such as solder is melted thereon to fix the bump electrodes. Yes. Further, the electrode terminal portion is formed by exposing the upper surface side (the side opposite to the actuator 3) of the cover lay.

また、配線基板4上には、配線基板4の幅方向(Y方向)に延びる駆動回路ユニットであるドライバIC5(電子部品)が実装されている。ドライバIC5は、本体側からの印字データなどの駆動信号や駆動電圧などをアクチュエータユニット3に伝達して、アクチュエータユニット3を選択的に駆動させている。また、配線基板4には、その駆動信号および駆動電圧等をドライバIC5に入力するための複数の入力側配線11B(VSS2),11C(VDD2)、11Dおよび、ドライバIC5から圧電変形部に出力する複数の出力側配線12と、表面内部電極24と接続される配線11A(COM)が、配線基板4の長手方向(X方向)に延びて形成されている。そして、個別電極バンプ12BはドライバIC5から長手方向に延びる出力配線12と接続されている。   A driver IC 5 (electronic component) that is a drive circuit unit extending in the width direction (Y direction) of the wiring board 4 is mounted on the wiring board 4. The driver IC 5 transmits a drive signal such as print data from the main body side and a drive voltage to the actuator unit 3 to selectively drive the actuator unit 3. Also, the wiring board 4 outputs a plurality of input-side wirings 11B (VSS2), 11C (VDD2), 11D and the driver IC 5 to the piezoelectric deformation portion for inputting the driving signal, the driving voltage, and the like to the driver IC 5. A plurality of output-side wirings 12 and wirings 11 </ b> A (COM) connected to the front surface internal electrodes 24 are formed extending in the longitudinal direction (X direction) of the wiring board 4. The individual electrode bumps 12B are connected to the output wirings 12 extending from the driver IC 5 in the longitudinal direction.

各電極端子部11Ba,11Ca,11Da,・・・は、それらと対応して形成されたドライバIC5の各入力側接続端子(配線11B,11Cに対応する入力側接続端子5Aa,5Abのみ図示)に、配線11B,11C,11D,・・・を介して電気的に接続されている。また、ドライバIC5には複数の出力側接続端子5B,・・・が設けられている。これら出力側接続端子5B,・・・は、各圧力室2aに対応する個別電極に駆動信号を供給するため、配線基板4の出力側配線12の各電極端子部12Aに電気的に接続され、これによりドライバIC5が配線基板4上に実装される。入力側接続端子および出力側接続端子は、ドライバIC5に金を溶融させて接続電極として形成されている。   The electrode terminal portions 11Ba, 11Ca, 11Da,... Are connected to the input side connection terminals of the driver IC 5 formed corresponding to them (only the input side connection terminals 5Aa and 5Ab corresponding to the wirings 11B and 11C are shown). Are electrically connected via wirings 11B, 11C, 11D,. Further, the driver IC 5 is provided with a plurality of output side connection terminals 5B,. These output side connection terminals 5B,... Are electrically connected to the respective electrode terminal portions 12A of the output side wiring 12 of the wiring board 4 in order to supply drive signals to the individual electrodes corresponding to the respective pressure chambers 2a. As a result, the driver IC 5 is mounted on the wiring board 4. The input side connection terminal and the output side connection terminal are formed as connection electrodes by melting gold in the driver IC 5.

そして、電極端子部11Aa,11Ba,11Caは、複数の電極端子部11が配列される方向(Y方向)の両端付近に略対称に、この順に並んで配置されている。そして、複数の電極端子部11が配列される方向(Y方向)の中央部分には、残りの他の電極端子部11Da,・・・が複数並んで配置されている。つまり、配線基板4の幅方向(Y方向)の両端縁には、それぞれ端子部11Aa、11Ba、11Caがこの順で略対称に2箇所設けられていて、その内側に端子部11Daが複数並んで配置されている。   And electrode terminal part 11Aa, 11Ba, and 11Ca are arrange | positioned along with this order substantially symmetrically near the both ends of the direction (Y direction) where the several electrode terminal part 11 is arranged. In the central portion in the direction (Y direction) in which the plurality of electrode terminal portions 11 are arranged, a plurality of other electrode terminal portions 11Da,. That is, two end portions 11Aa, 11Ba, and 11Ca are provided approximately symmetrically in this order at both ends in the width direction (Y direction) of the wiring board 4, and a plurality of terminal portions 11Da are arranged inside. Has been placed.

配線基板4の最外両端縁には、電極端子11Aa、11Aaから延びる配線11Aが配線基板4の長手方向の側縁に沿って平行に延びていて、表面内部電極24と接続されていて、アース電位となっている。   At the outermost end edges of the wiring board 4, wirings 11A extending from the electrode terminals 11Aa and 11Aa extend in parallel along the side edges in the longitudinal direction of the wiring board 4 and are connected to the front surface internal electrodes 24. It is a potential.

その電極端子部11Aa、11Aaの隣で、かつ内側に略対称に並んだ電極端子部11Ba、11Baから延びる配線11Bは、配線11Aの内側においてドライバIC5付近まで延び、ドライバIC5の実装位置において、両者の電極端子部11Ba、11Baを結ぶループを形成するように互いに接続されている。そして、そのループ近傍の配線部分で、ドライバIC5の下で接続端子5Aa,・・・とが接続されている。この配線11Bは、後述するように、製造工程において、アース電位となる前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記各アクチュエータを分極する際に用いる配線VSS2である。   The wiring 11B extending from the electrode terminal portions 11Ba and 11Ba arranged substantially symmetrically next to the electrode terminal portions 11Aa and 11Aa extends to the vicinity of the driver IC 5 inside the wiring 11A. Are connected to each other so as to form a loop connecting the electrode terminal portions 11Ba and 11Ba. And the connection terminals 5Aa,... Are connected under the driver IC 5 at the wiring portion near the loop. As will be described later, the wiring 11B is a wiring VSS2 used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the ground potential in the manufacturing process to polarize the actuators.

電極端子部11Ba、11Baの隣かつ内側で、略対称に並んだ電極端子部11Ca、11Caから延びる配線11Cも、配線11A,11Bの内側においてドライバIC5付近まで延び、ドライバIC5の実装位置において、両者の電極端子部11Ca、11Caを結ぶループを形成するように互いに接続されている。そしてそのループ近傍の配線部分で、ドライバIC5の接続端子5Abとが接続されている。この配線11Cは導線VDD2で、駆動電圧(ここでは30V)を供給するためのものである。   The wiring 11C extending from the electrode terminal portions 11Ca and 11Ca arranged substantially symmetrically next to and inside the electrode terminal portions 11Ba and 11Ba also extends to the vicinity of the driver IC 5 inside the wirings 11A and 11B. Are connected to each other so as to form a loop connecting the electrode terminal portions 11Ca and 11Ca. The connection portion 5Ab of the driver IC 5 is connected at the wiring portion near the loop. This wiring 11C is a conductive wire VDD2 for supplying a drive voltage (here, 30V).

そして、両側の電極端子部11Ca、11Caの間の複数の電極端子部11Da・・・の配線11Dは、ドライバIC5まで延びて接続され、入力信号を供給する信号線として機能している。   And wiring 11D of several electrode terminal part 11Da ... between the electrode terminal parts 11Ca of both sides is extended and connected to driver IC5, and functions as a signal line which supplies an input signal.

電極端子部11Daに入力された入力信号が、ドライバIC5を介して特開2002-160372号公報に公知の駆動制御と同様にして制御されることで、圧電変形部(図3におけるPZT)を変形させる。図3を参照すると、ドライバIC5内には、シフトレジスタ111、Dフリップフロップ112、ドライバ105等が構成されている。ノズル数に対応して、シフトレジスタ111、Dフリップフロップ112が複数設けられ、これらの駆動電圧を供給するための導線が、導線VDD1,VSS1である。また、ドライバ105、符号C(PZT)の圧電変形部もノズル数に応じて複数用意されていて、これらの駆動電圧(ここでは30V)を供給するための導線が導線VDD2、VSS2であり、前述した配線基板4の配線11B、配線11Cである。VSS2は、ドライバ105の共通電位の部分に共通して接続されていて、通常アースされている。また、圧電変形部PZTのドライバIC5と反対側の電極を共通接続した導線COMが、前述した配線11Aであり、アースされている。そして、導線COMと導線VSS2とが導線65で接続されている。   The input signal input to the electrode terminal portion 11Da is controlled through the driver IC 5 in the same manner as the drive control known in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-160372, thereby deforming the piezoelectric deformation portion (PZT in FIG. 3). Let Referring to FIG. 3, the driver IC 5 includes a shift register 111, a D flip-flop 112, a driver 105, and the like. A plurality of shift registers 111 and D flip-flops 112 are provided corresponding to the number of nozzles, and conducting wires for supplying these driving voltages are conducting wires VDD1 and VSS1. Also, a plurality of piezoelectric deformation portions of the driver 105 and the reference C (PZT) are prepared according to the number of nozzles, and the conductive wires for supplying these drive voltages (30V in this case) are the conductive wires VDD2 and VSS2. These are the wiring 11B and the wiring 11C of the wiring board 4 that has been prepared. VSS2 is commonly connected to the common potential portion of the driver 105, and is normally grounded. In addition, the conducting wire COM that commonly connects the electrodes on the opposite side of the driver IC 5 of the piezoelectric deformation portion PZT is the wiring 11A described above, and is grounded. The conducting wire COM and the conducting wire VSS2 are connected by a conducting wire 65.

このドライバIC5に入力信号がシリアルに入力され、パラレル信号に変換されるとともに、配線11C(VDD2)から入力された駆動電圧に対応した電圧を有する駆動信号に変換される。その駆動信号は、ドライバIC5の出力側接続端子5Bから、配線12および個別電極バンプ12Bを通してアクチュエータ3内の個別電極に供給され、各アクチュエータの圧電変形部(PZT)が駆動される。各圧電変形部(PZT)に供給する駆動信号を生成するドライバ105は、各圧電変形部(PZT)ごとに独立して設けられ(図3参照)、それぞれ配線11C(VDD2)から駆動電圧を供給され、各配線12を通して駆動信号を出力する。なお、前記内部電極は、配線11A(COM)を通して接地されている。   An input signal is serially input to the driver IC 5 and converted into a parallel signal, and also converted into a drive signal having a voltage corresponding to the drive voltage input from the wiring 11C (VDD2). The drive signal is supplied from the output side connection terminal 5B of the driver IC 5 to the individual electrode in the actuator 3 through the wiring 12 and the individual electrode bump 12B, and the piezoelectric deformation portion (PZT) of each actuator is driven. A driver 105 that generates a drive signal to be supplied to each piezoelectric deformation portion (PZT) is provided independently for each piezoelectric deformation portion (PZT) (see FIG. 3), and supplies a drive voltage from the wiring 11C (VDD2). Then, a drive signal is output through each wiring 12. The internal electrode is grounded through the wiring 11A (COM).

また、ドライバIC5は、その実装領域において、電極端子部12Aと接続端子5Bの位置ズレを検査するための位置ズレ検出用のバンプ5Cが設けられている。この位置ズレ検出用のバンプ5Cは、後述するように、製造工程の分極の際に、各個別電極と前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、圧電層23を分極する際に用いる配線11B(VSS2)に対応して接続するドライバIC5の接続端子そのものである。つまり、バンプ5Cは、圧電層23を分極する際に用いられる配線11B(VSS2)に、ドライバIC5内の回路を経由して接続される接続端子である。   Further, the driver IC 5 is provided with a positional deviation detection bump 5C for inspecting the positional deviation between the electrode terminal portion 12A and the connection terminal 5B in the mounting region. As will be described later, this positional deviation detection bump 5C is used when a predetermined voltage is applied between each individual electrode and the internal electrode to polarize the piezoelectric layer 23 during polarization in the manufacturing process. This is the connection terminal itself of the driver IC 5 connected corresponding to the wiring 11B (VSS2). That is, the bump 5C is a connection terminal connected to the wiring 11B (VSS2) used when polarizing the piezoelectric layer 23 via a circuit in the driver IC 5.

配線11A(COM)には、ドライバIC5(電子部品)の実装領域において、複数の電極端子部12Aに並ぶ位置に、検査部としての電極端子部11Aba(特定の電極端子部)が分岐して形成されている。   The wiring 11A (COM) is formed by branching an electrode terminal portion 11Aba (specific electrode terminal portion) as an inspection portion at a position aligned with the plurality of electrode terminal portions 12A in the mounting region of the driver IC 5 (electronic component). Has been.

この検査部11Abaは、配線11Aから電極端子部12Aが並んでいる方向に突出して分岐する分岐部分11Abbと、この分岐部分11Abbに接続され電極端子部12Aが並んでいる方向に延びる幅狭部分11Abc(第2の部分)と、この幅狭部分11Abcの先端に接続され電極端子部12Aが並んでいる方向に直交する方向に延びる延長部分11Abd(第1の部分)とを備える。よって、分岐部分11Abbと延長部分11Abdとは、位置ズレ検出用のバンプ5Cを挟んで両側に設けられていることになる。また、これらの部分11Abb,11Abdに幅狭部分11Abcを加えた3つの部分で、位置ズレ検出用のバンプ5Cを囲むようになっている。さらに、分岐部分11Abbと延長部分11Abdは、位置ズレ検出用のバンプ5Cとの間隔が、他の隣り合う電極端子部12A、12A同士の間隔(配列ピッチ)よりも小さい間隔となっている。   The inspection portion 11Aba includes a branch portion 11Abb that protrudes and branches from the wiring 11A in the direction in which the electrode terminal portions 12A are arranged, and a narrow portion 11Abc that is connected to the branch portion 11Abb and extends in the direction in which the electrode terminal portions 12A are arranged. (Second portion) and an extension portion 11Abd (first portion) connected to the tip of the narrow portion 11Abc and extending in a direction perpendicular to the direction in which the electrode terminal portions 12A are arranged. Therefore, the branch portion 11Abb and the extension portion 11Abd are provided on both sides of the bump 5C for detecting the positional deviation. Further, three portions obtained by adding a narrow portion 11Abc to these portions 11Abb and 11Abd surround the bump 5C for detecting the positional deviation. Further, the distance between the branch portion 11Abb and the extension portion 11Abd is smaller than the distance (arrangement pitch) between the other adjacent electrode terminal portions 12A and 12A.

この検査部11Abaが、各配線12の電極端子部12AとドライバIC5の各出力側接続端子5Bの潜在的な短絡を誘発する位置ズレを検査するのに利用される。つまり、電極端子部11Aa(配線11A)と電極端子部11Ba(配線11B)との導通の有無により、バンプ5Cと検査部11Abaが接触しているかどうかがわかる。そして、検査部11Abaとバンプ5Cとの間隔が、他の隣合う電極端子部12A、12A同士の間隔よりも小さい間隔であるため、位置ズレ検知の精度が高くなり、バンプ5Cと検査部11Abaが接触していれば、ドライバIC5が配線基板4に対し、潜在的な短絡を誘発させる位置ズレ状態で実装されていることがわかる。   This inspection part 11Aba is used for inspecting a positional shift that induces a potential short circuit between the electrode terminal part 12A of each wiring 12 and each output side connection terminal 5B of the driver IC 5. That is, whether or not the bump 5C is in contact with the inspection portion 11Aba can be determined based on whether or not the electrode terminal portion 11Aa (wiring 11A) and the electrode terminal portion 11Ba (wiring 11B) are electrically connected. And since the space | interval of test | inspection part 11Aba and bump 5C is a space | interval smaller than the space | interval of other adjacent electrode terminal parts 12A and 12A, the precision of position shift detection becomes high and bump 5C and test | inspection part 11Aba If they are in contact, it can be seen that the driver IC 5 is mounted on the wiring board 4 in a misaligned state that induces a potential short circuit.

また、バンプ5Cが配線VSS2、検査部11Abaが配線COMに接続しているが、これらの配線VSS2およびCOMは、圧電層23を分極する際に電圧が供給されていて、通常使用時には、互いに同電位になっていて接地されている。そのため、通常使用時には、そのバンプ5Cと検査部11Aabは同電位であり、経時変化によりバンプ5Cと検査部11Aabが短絡しても、その短絡がインクジェットヘッド1の動作に影響することはない。   Further, the bump 5C is connected to the wiring VSS2, and the inspection unit 11Aba is connected to the wiring COM. However, these wirings VSS2 and COM are supplied with a voltage when the piezoelectric layer 23 is polarized. It is at a potential and is grounded. Therefore, during normal use, the bump 5C and the inspection unit 11Aab are at the same potential, and even if the bump 5C and the inspection unit 11Aab are short-circuited due to changes over time, the short-circuit does not affect the operation of the inkjet head 1.

このような構成を用いた接続検査方法を用いれば、従来の外観検査で検知し難かった潜在的な短絡を誘発するような位置ズレも検知できるため、より精度の高い位置ズレ検知ができ、さらに本来ある配線および端子を用いて、その導通状態を検知するだけであるから、簡単で生産性も良い。   By using a connection inspection method using such a configuration, it is possible to detect a positional shift that induces a potential short circuit that was difficult to detect by conventional visual inspection, and therefore, it is possible to detect a positional shift with higher accuracy, and Since it is only necessary to detect the conduction state using the original wiring and terminals, it is simple and has good productivity.

続いて、バンプ5Cが関連する分極工程について、図3に沿って説明する。   Next, the polarization process related to the bump 5C will be described with reference to FIG.

インクジェットヘッド1の製造工程において、まず複数のプレートを積層、接着した流路ユニット2の上に、複数の圧電層23(PZT)を積層し焼成したアクチュエータユニット3を予め別々に作製し、両者を接着あるいは接合させた後、そのアクチュエータユニット3の最上面の表面個別電極22および表面内部電極24と、フレキシブル配線基板4の個別電極バンプ12Bおよび内部電極バンプ11AAを導電性ろう材を用いて電気的に接続する。   In the manufacturing process of the inkjet head 1, first, the actuator unit 3 in which a plurality of piezoelectric layers 23 (PZT) are laminated and fired on the flow path unit 2 in which a plurality of plates are laminated and bonded together is separately prepared in advance. After the bonding or bonding, the top surface individual electrode 22 and the surface internal electrode 24 of the actuator unit 3 and the individual electrode bump 12B and the internal electrode bump 11AA of the flexible wiring board 4 are electrically connected using a conductive brazing material. Connect to.

その後、アクチュエータユニット3の各圧電変形部(PZT)を分極する。   Then, each piezoelectric deformation part (PZT) of the actuator unit 3 is polarized.

この分極工程において用いる分極装置101は、分極用電圧の一部を発生する回路102と、分極用電圧の残りの部分を発生するための上記吐出動作を行う電源と同等の電源103と、イネーブル信号およびリセット信号等の信号を発生する信号回路104とを備える。その電源103、信号発生回路104は、吐出動作を行うために記録装置の本体部内に設ける例えば特開2002-160372号の公知のものと同等であるので、詳細には説明しない。   The polarization device 101 used in this polarization step includes a circuit 102 that generates a part of the polarization voltage, a power supply 103 that is equivalent to the power supply that performs the above-described discharge operation to generate the remaining part of the polarization voltage, and an enable signal. And a signal circuit 104 for generating a signal such as a reset signal. The power supply 103 and the signal generation circuit 104 are the same as those known, for example, disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-160372, which are provided in the main body of the recording apparatus for performing the ejection operation, and will not be described in detail.

それらの各回路104,102及び電源103は、フレキシブル配線基板4上に形成された各配線11A〜11Dの端子部分に接続される。回路102は、圧電層23下側の共通電極(アース電位)に接続した配線COM(配線11A)と、圧電層23上側の各個別電極22に接続したドライバIC5の各ドライバ105に接続される配線VSS2(配線11B)との間に分極用電圧を印加するための回路である。そのため、回路102は、負電源−VCC2と、スイッチSW1,SW2と、抵抗R2とを備える。また、配線VDD1と配線VSS1との間、及び配線VDD2(配線11C)と配線VSS2との間には、上記吐出動作を行うための電源と同等の電源103が接続される。なお、配線COMと配線VSS2との間が配線65にて接続されていない状態において、前記各圧電変形部の分極が行われる。   The circuits 104 and 102 and the power source 103 are connected to the terminal portions of the wirings 11A to 11D formed on the flexible wiring board 4. The circuit 102 includes a wiring COM (wiring 11A) connected to the common electrode (ground potential) below the piezoelectric layer 23 and a wiring connected to each driver 105 of the driver IC 5 connected to each individual electrode 22 above the piezoelectric layer 23. This is a circuit for applying a polarization voltage to VSS2 (wiring 11B). Therefore, the circuit 102 includes a negative power supply −VCC2, switches SW1 and SW2, and a resistor R2. A power supply 103 equivalent to the power supply for performing the above-described ejection operation is connected between the wiring VDD1 and the wiring VSS1 and between the wiring VDD2 (wiring 11C) and the wiring VSS2. In addition, in the state where the wiring COM and the wiring VSS2 are not connected by the wiring 65, the polarization of each piezoelectric deformation portion is performed.

続いてこの分極の詳細な処理について、図3および図4に沿って説明する。なお、分極をする際には、スイッチSW1をG側、スイッチSW2をG側(グランド側))にしておく。換言すると、負電圧―VCC2と導線COMとを接続しない側にしておき、この状態において、シフトレジスタ111及びDフリップフロップ112のリセット信号をHレベルとし、シフトレジスタ111及びDフリップフロップ112の全データを吐出あり0の状態にする。そして、イネーブル信号をLレベルからHレベルに立ち上げると、ORゲートの出力がHレベルとなり、全てのドライバ105が圧電変形部PZTへの通電を開始する。このときには、まだスイッチSW1,SW2がG側になっているため、圧電変形部PZTにかかる電圧Vpztは30V(抵抗R2による電圧低下分をここでは無視する)となる。これは吐出時に圧電変形部PZTに掛かる電圧と同じであるため、分極はなされない。   Next, detailed processing of this polarization will be described with reference to FIGS. When polarization is performed, the switch SW1 is set to the G side and the switch SW2 is set to the G side (ground side). In other words, the negative voltage −VCC2 is not connected to the conductor COM, and in this state, the reset signal of the shift register 111 and the D flip-flop 112 is set to the H level, and all the data of the shift register 111 and the D flip-flop 112 are set. Is set to 0 with discharge. When the enable signal is raised from the L level to the H level, the output of the OR gate becomes the H level, and all the drivers 105 start energizing the piezoelectric deformation portion PZT. At this time, since the switches SW1 and SW2 are still on the G side, the voltage Vpzt applied to the piezoelectric deformation portion PZT is 30 V (the voltage drop due to the resistor R2 is ignored here). Since this is the same as the voltage applied to the piezoelectric deformation portion PZT during ejection, no polarization is performed.

この状態からややあって、スイッチSW1,SW2がN側にされる。すると電源VCC2の電圧(ここでは−20V)が加わり、圧電変形部PZTの両端電圧は先の30Vに加えて合計50Vとなる。この電圧により分極が開始される。分極が完了するとイネーブル信号をLレベルにする。Dフリップフロップ112の出力はリセット信号によりLレベルにされているため、イネーブル信号がLレベルになるとORゲートの出力もLレベルになる。これによりドライバ105により圧電変形部PZTへの通電が停止され、圧電変形部PZTには電源VCC2による電圧40Vのみが掛かる。そしてここから所定時間経過後、スイッチSW2がG側に戻され、圧電変形部PZTの電圧Vpztがゼロとなる。こうして分極が完了すると、分極装置101をフレキシブル配線基板4から取り外し、配線65で配線VSS2と配線COMを結線し、インクジェットヘッド1を前記記録装置に取り付ける。   Slightly from this state, the switches SW1 and SW2 are set to the N side. Then, the voltage of the power source VCC2 (here, −20V) is applied, and the voltage across the piezoelectric deformation portion PZT becomes 50V in addition to the previous 30V. This voltage starts polarization. When the polarization is completed, the enable signal is set to L level. Since the output of the D flip-flop 112 is set to L level by the reset signal, when the enable signal becomes L level, the output of the OR gate also becomes L level. As a result, the driver 105 stops energization of the piezoelectric deformation portion PZT, and only the voltage 40V from the power supply VCC2 is applied to the piezoelectric deformation portion PZT. Then, after a predetermined time has elapsed from here, the switch SW2 is returned to the G side, and the voltage Vpzt of the piezoelectric deformation portion PZT becomes zero. When the polarization is completed in this way, the polarization device 101 is removed from the flexible wiring board 4, the wiring VSS2 and the wiring COM are connected by the wiring 65, and the inkjet head 1 is attached to the recording apparatus.

このような製造方法によれば、インクジェットヘッド1のフレキシブル配線基板4を接合させた後に分極を行うので、分極の劣化が起きない。しかも分極に用いる電圧は、吐出用の電源電圧に対し、ドライバIC5とは逆側の電極の電位を下げることにより行われるので、ドライバIC5には高い電圧が掛かることはなく、従ってドライバIC5が分極中に故障するのが防止される。   According to such a manufacturing method, since the polarization is performed after the flexible wiring substrate 4 of the inkjet head 1 is joined, the polarization does not deteriorate. In addition, since the voltage used for the polarization is performed by lowering the potential of the electrode opposite to the driver IC 5 with respect to the power supply voltage for ejection, a high voltage is not applied to the driver IC 5, and therefore the driver IC 5 is polarized. It is prevented from breaking inside.

そして電圧印加の順序が、分極電圧−VDD2印加時には、ドライバIC5の出力電圧V0がVDD2電圧(30V)であるため、電流はドライバIC5から圧電変形部PZTに流れ出る方向となり、また、分極電圧−VDD2の放電時には、ドライバIC5の出力電圧V0はゼロ(0V)であるため、電流は圧電変形部PZTからドライバIC7に流入する方向となるように行われる。   When the polarization voltage -VDD2 is applied, since the output voltage V0 of the driver IC5 is the VDD2 voltage (30V), the current flows in the direction from the driver IC5 to the piezoelectric deformation portion PZT, and the polarization voltage -VDD2 Since the output voltage V0 of the driver IC5 is zero (0V) at the time of discharging, the current is directed so as to flow from the piezoelectric deformation portion PZT to the driver IC7.

従って、ドライバIC5の出力電圧V0は0〜VDD2の範囲の電圧のみが加えられるため、ドライバIC7が、分極中に故障する可能性が一層低くなる。   Therefore, since only the voltage in the range of 0 to VDD2 is applied to the output voltage V0 of the driver IC5, the possibility that the driver IC7 breaks down during polarization is further reduced.

ところで、本発明は、前記実施の形態を、次のように変更することも可能である。   By the way, in the present invention, the above-described embodiment can be modified as follows.

(i)図5に示すように、位置ズレ検出用のバンプ5Cと隣り合って、2つの第1の部分が並ぶように形成することも可能である。つまり、複数の電極端子部12aが並んでいる方向に直交する方向に延びる第1の部分13A,13Aを有する検査部13とすることができる。これら第1の部分13A,13Aはいずれも図示しない配線で配線11Bに接続されている。この場合、第1の部分13A,13Aは、位置ズレ検出用のバンプ5Cを挟んで両側に設けられているが、位置ズレが起こりやすい一方の側にのみ設ける構成とすることも可能である。   (i) As shown in FIG. 5, it is also possible to form the two first portions so as to be adjacent to the bump 5C for detecting displacement. That is, it can be set as the test | inspection part 13 which has 1st part 13A, 13A extended in the direction orthogonal to the direction where the several electrode terminal part 12a is located in a line. These first portions 13A and 13A are both connected to the wiring 11B by a wiring (not shown). In this case, the first portions 13A and 13A are provided on both sides of the position deviation detection bump 5C, but it is also possible to provide the first portions 13A and 13A only on one side where the position deviation is likely to occur.

また、図6に示すように、第1の部分13A,13Aに加えて、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に延び第1の部分13A,13Aの端部を接続する第2の部分13B,13Bを2つ有し、バンプ5Cの周囲を囲む検査部13’とすることもできる。なお、第2の部分13Bは、図2に示す場合と同様に、位置ズレが起こりやすい側に、1つだけ設ける構成としてもよい。   Further, as shown in FIG. 6, in addition to the first portions 13A and 13A, a second portion extending in the direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged and connecting the end portions of the first portions 13A and 13A. It can also be set as inspection part 13 'which has two 13B and 13B and surrounds the circumference of bump 5C. Note that, as in the case shown in FIG. 2, only one second portion 13B may be provided on the side where misalignment is likely to occur.

(ii)図7に示すように、位置ズレ検出用のバンプ5C,5Cを、複数の電極端子部12aが並んでいる方向の端付近であって左右両側に設け、それらの外側に、配線11Aに接続される平面視矩形状の検査部14A,14Bを設けるようにしてもよい。このようにすれば、位置ズレ検出用のバンプ5Cを挟んで両側に設ける場合と同様な効果を得るができる。なお、各バンプ5C,5Cと各検査部14A,14Bとの間隔は、他の隣り合う電極端子部12A、12A同士の間隔よりも小さい間隔となっている。   (ii) As shown in FIG. 7, bumps 5C and 5C for detecting misalignment are provided near the ends in the direction in which the plurality of electrode terminal portions 12a are arranged, on both the left and right sides, and the wiring 11A is provided outside them. The inspection parts 14A and 14B having a rectangular shape in plan view connected to may be provided. In this way, it is possible to obtain the same effect as that provided on both sides of the position deviation detection bump 5C. The intervals between the bumps 5C and 5C and the inspection portions 14A and 14B are smaller than the intervals between the other adjacent electrode terminal portions 12A and 12A.

(iii)例えば電極端子部11Baから検査用信号(所定の信号)の入力により、バンプ5Cを介して、電極端子部11Aaから設定信号の出力があるかどうかをみることにより、位置ズレを検査することも可能である。この場合、前記検査用信号の入力は、電極端子部11Baに代えて、他の電極端子部11Ca,11Daを用いることも可能である。   (iii) For example, when an inspection signal (predetermined signal) is input from the electrode terminal portion 11Ba, the positional deviation is inspected by checking whether the setting signal is output from the electrode terminal portion 11Aa via the bump 5C. It is also possible. In this case, the input of the inspection signal may use other electrode terminal portions 11Ca and 11Da instead of the electrode terminal portion 11Ba.

(iv)配線基板4の各電極端子部11Aa.11Ba,11Ca,11DaにドライバIC5の各入力側接続端子を接続した際に、各電極端子部11Ba,11Ca,11DaからのドライバIC5へ所定の信号を入力することにより検査することもできる。つまり、前記所定の信号の入力により、位置ズレ検出用のバンプ5Cを介しての、電極端子部11Aaから設定信号の出力があるかどうかをみることにより、位置ズレを検査することができる。   (iv) Each electrode terminal portion 11Aa. When the input side connection terminals of the driver IC 5 are connected to 11Ba, 11Ca, and 11Da, the inspection can be performed by inputting a predetermined signal to the driver IC 5 from the electrode terminal portions 11Ba, 11Ca, and 11Da. That is, the positional deviation can be inspected by checking whether or not the setting signal is output from the electrode terminal portion 11Aa via the bump 5C for detecting the positional deviation by inputting the predetermined signal.

(v)上述の(iii)、(iv)の実施形態の場合、検査用信号を入力する電極端子部11B
aや電極端子部11Aaは、電子部品の駆動時において、ハイインピーダンスもしくは同電位状態にするなどして、検査用端子部に電流が流れないように構成しておくのがよい。そのような構成であれば、経時変化により短絡がおこったとしても、電子部品の駆動動作に影響が出ることはない。
(v) In the case of the above-described embodiments (iii) and (iv), the electrode terminal portion 11B for inputting the inspection signal.
It is preferable that a and the electrode terminal portion 11Aa are configured so that no current flows to the inspection terminal portion by, for example, setting them to high impedance or the same potential state when driving the electronic component. With such a configuration, even if a short circuit occurs due to changes over time, the driving operation of the electronic component is not affected.

(vi)電子部品は、インクジェットヘッドのドライバIC(駆動回路ユニット)に制限されるものではなく、配線基板に実装する電子部品であれば、本発明を適用することができる。   (vi) The electronic component is not limited to the driver IC (driving circuit unit) of the inkjet head, and the present invention can be applied to any electronic component that is mounted on a wiring board.

本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブル配線基板が接合された状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state by which the flexible wiring board was joined to the upper surface of the inkjet head to which this invention is applied. 配線基板とドライバIC(電子部品)との接続状態の説明図である。It is explanatory drawing of the connection state of a wiring board and driver IC (electronic component). 分極工程を説明する回路である。It is a circuit explaining a polarization process. 分極工程の説明図である。It is explanatory drawing of a polarization process. 位置ズレ検出用のバンプと検査部との関係についての別の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows another embodiment about the relationship between the bump for position shift detection, and a test | inspection part. 前記関係についてのさらに別の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows another embodiment about the said relationship. 前記関係についての他の実施の形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment about the said relationship. (a)〜(c)はそれぞれ従来例の説明図である。(A)-(c) is explanatory drawing of a prior art example, respectively.

符号の説明Explanation of symbols

1 インクジェットヘッド
4 配線基板
5 ドライバIC(駆動回路ユニット)
5Aa,5Ab,5B 接続端子
5C 位置ズレ検出用のバンプ
11A,11B,11C,11D 配線
11Aa,11Ba,11Ca,11Da 電極端子部
11Aba、13,13’ 検査部
12 配線
12A,12B 電極端子部
13A 第1の部分
13B 第2の部分
14A,14B 検査部
1 Inkjet head 4 Wiring board 5 Driver IC (Drive circuit unit)
5Aa, 5Ab, 5B Connection terminal 5C Bump for detecting misalignment 11A, 11B, 11C, 11D Wiring 11Aa, 11Ba, 11Ca, 11Da Electrode terminal 11Aba, 13, 13 ′ Inspection part 12 Wiring 12A, 12B Electrode terminal 13A First 1 part 13B 2nd part 14A, 14B Inspection part

Claims (12)

配線基板は、複数の配線が形成され、前記各配線が複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記各電極端子部と、電子部品の各接続端子とが対応して電気的に接続される電子部品の接続構造であって、
前記電子部品は、その実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプが設けられ、
前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプとの間隔が他の隣り合う電極端子部同士の間隔よりも小さい間隔となる、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する検査部を備えていることを特徴とする電子部品の接続構造。
The wiring board has a structure in which a plurality of wirings are formed and each of the wirings is installed with a plurality of electrode terminal portions arranged side by side, and each electrode terminal portion and each connection terminal of an electronic component correspond to each other electrically. A connection structure for electronic components connected to
In the mounting region, the electronic component is provided with a positional deviation detection bump for inspecting the positional deviation between the electrode terminal portion and the connection terminal,
Among the electrode terminal portions, a specific electrode terminal portion is located at a position where the distance from the bump for detecting displacement is smaller than the distance between other adjacent electrode terminal portions. An electronic component connection structure comprising an inspection section for inspecting misalignment.
前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向に延びる第1の部分を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品の接続構造。   The electronic component connection structure according to claim 1, wherein the inspection unit includes a first portion extending in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged. 前記第1の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられていることを特徴とする請求項2記載の電子部品の接続構造。   3. The electronic component connection structure according to claim 2, wherein the first part is provided on both sides of the bump for detecting misalignment. 前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に延びる第2の部分を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電子部品の接続構造。   The electronic component connection structure according to claim 1, wherein the inspection unit includes a second portion extending in a direction in which the plurality of electrode terminal portions are arranged. 前記第2の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられていることを特徴とする請求項4記載の電子部品の接続構造。   The electronic component connection structure according to claim 4, wherein the second portion is provided on both sides of the bump for detecting the displacement. 前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、
前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電子部品の接続構造。
The electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head,
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the internal electrode through the wiring of the wiring board,
The wiring of the specific electrode terminal portion is a wiring connected to the drive circuit unit, and a wiring for supplying a test signal,
In the mounting region of the drive circuit unit, the positional deviation detection bump is provided so that the distance from the specific electrode terminal part is smaller than the distance from other adjacent electrode terminal parts. The connection structure for an electronic component according to any one of claims 1 to 5.
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、
前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていて、
前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電子部品の接続構造。
The electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head,
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the internal electrode through the wiring of the wiring board,
The wiring of the specific electrode terminal portion is connected to the internal electrode,
In the mounting region of the drive circuit unit, the position deviation detection bumps are provided so that the interval between the wiring of the specific electrode terminal portion is smaller than the interval between other adjacent electrode terminal portions,
The bump for detecting misalignment is a connection terminal of an electronic component that is connected in correspondence with the wiring used when a predetermined voltage is applied between the internal electrode and the piezoelectric layer is polarized in the manufacturing process. The electronic component connection structure according to claim 1, wherein the electronic component connection structure is provided.
前記特定の電極端子部は、前記接続端子が配列される方向の端付近に配置されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の電子部品の接続構造。   The electronic component connection structure according to claim 1, wherein the specific electrode terminal portion is arranged near an end in a direction in which the connection terminals are arranged. 配線基板は複数の配線が形成され、前記各配線は複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査する電子部品の接続検査方法であって、
前記電子部品は、その実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、
前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、
前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部と隣の電極端子部との導通状態の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする電子部品の接続検査方法。
A plurality of wirings are formed on the wiring board, and each wiring has a configuration in which a plurality of electrode terminal portions are arranged side by side. When each connection terminal of an electronic component is connected to each electrode terminal portion of the wiring board, An electronic component connection inspection method for inspecting their connection state,
In the mounting region, the electronic component is provided with a positional deviation detection bump for inspecting the positional deviation between the electrode terminal portion and the connection terminal,
Among the electrode terminal portions, a specific electrode terminal portion is arranged next to the bump for detecting the displacement,
When each connection terminal of the electronic component is connected to each electrode terminal portion of the wiring board, the conductive state between the specific electrode terminal portion and the adjacent electrode terminal portion through the bump for detecting misalignment A connection inspection method for electronic parts, wherein the connection state is inspected based on the presence or absence of the electronic component.
配線基板は、複数の配線が形成され、前記各配線が複数の電極端子部を並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査する電子部品の接続検査方法であって、
前記電子部品は、その実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、
前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、
前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記電子部品への所定の信号入力により、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部からの設定信号の出力の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする電子部品の接続検査方法。
The wiring board has a configuration in which a plurality of wirings are formed, and each wiring is arranged side by side with a plurality of electrode terminal portions, and when each connection terminal of an electronic component is connected to each electrode terminal portion of the wiring board. In addition, there is an electronic component connection inspection method for inspecting their connection state,
In the mounting region, the electronic component is provided with a positional deviation detection bump for inspecting the positional deviation between the electrode terminal portion and the connection terminal,
Among the electrode terminal portions, a specific electrode terminal portion is arranged next to the bump for detecting the displacement,
When each connection terminal of the electronic component is connected to each electrode terminal portion of the wiring board, the specific electrode terminal via the position deviation detection bump by a predetermined signal input to the electronic component A connection inspection method for an electronic component, wherein the connection state is inspected based on whether or not a setting signal is output from the unit.
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、
前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていることを特徴とする請求項9または10記載の電子部品の接続検査方法。
The electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head,
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the internal electrode through the wiring of the wiring board,
The wiring of the specific electrode terminal portion is a wiring connected to the drive circuit unit, and a wiring for supplying a test signal,
In the mounting region of the drive circuit unit, the positional deviation detection bump is provided so that the distance from the specific electrode terminal part is smaller than the distance from other adjacent electrode terminal parts. The connection inspection method for electronic parts according to claim 9 or 10.
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設け、
前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程の分極の際に、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子そのものであることを特徴とする請求項9または10記載の電子部品の接続検査方法。
The electronic component is a drive circuit unit that generates a drive signal to be supplied to the inkjet head,
The inkjet head is provided with individual electrodes and piezoelectric layers corresponding to the plurality of pressure chambers, while a common internal electrode is provided for the plurality of pressure chambers with the piezoelectric layer interposed therebetween. The drive signal is supplied to the internal electrode through the wiring of the wiring board,
The wiring of the specific electrode terminal portion is connected to the internal electrode, and in the mounting region of the drive circuit unit, the distance between the wiring of the specific electrode terminal portion and another adjacent electrode terminal portion The position deviation detection bump is provided so as to be smaller than the interval of
The positional deviation detection bump is an electronic component that is connected in accordance with the wiring used when the piezoelectric layer is polarized by applying a predetermined voltage between the internal electrode and the internal electrode during polarization in the manufacturing process. The connection inspection method for electronic parts according to claim 9, wherein the connection terminals are themselves.
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