JP4915422B2 - Wiring structure of droplet discharge head - Google Patents

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本発明は、液体を吐出させるための圧電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドに適用される配線構造に関する。   The present invention relates to a wiring structure applied to a droplet discharge head provided with a piezoelectric actuator for discharging a liquid.

液滴吐出ヘッドの一例として、被記録媒体に画像を記録するインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドが知られている。インクジェットヘッドでは、ノズル数を増やして記録される画像を高品質にするため、各ノズルに対応して設けられる圧力室の高密化が求められている。圧力室を高密化すると、隣接する圧力室間の距離が短くなるため、圧電アクチュエータを駆動する際の隣接する圧力室への影響、所謂クロストークが生じる。例えば特許文献1のインクジェットヘッドによれば、圧電アクチュエータを構成する圧電層のうち最も圧力室から離れた層に個別電極が形成され、個別電極の両側に溝が形成されている。このため圧電効果による活性部の変形時に、圧力室間の領域の変形をこの溝で吸収可能となる。   As an example of a droplet discharge head, an inkjet head mounted on an inkjet printer that records an image on a recording medium is known. In an ink jet head, in order to increase the number of nozzles and make a recorded image high quality, it is required to increase the density of pressure chambers provided corresponding to each nozzle. When the pressure chambers are made dense, the distance between the adjacent pressure chambers is shortened, so that the influence on the adjacent pressure chambers when driving the piezoelectric actuator, so-called crosstalk, occurs. For example, according to the ink-jet head of Patent Document 1, individual electrodes are formed on the layer farthest from the pressure chamber among the piezoelectric layers constituting the piezoelectric actuator, and grooves are formed on both sides of the individual electrodes. For this reason, when the active portion is deformed by the piezoelectric effect, the deformation of the region between the pressure chambers can be absorbed by this groove.

特開2003−311954号公報JP 2003-311954 A

このように個別電極の両側に溝を形成すると、溝を形成しない場合と比べ、活性部の変形が隣接する圧力室に伝播しにくくなり、上記クロストークを抑制することができる。しかし、更なる高品質化の要求により圧力室もより一層高密に配列することが求められており、より優れたクロストークの対策が求められている。   When grooves are formed on both sides of the individual electrode in this way, the deformation of the active part is less likely to propagate to the adjacent pressure chambers compared to the case where grooves are not formed, and the crosstalk can be suppressed. However, the pressure chambers are required to be arranged more densely due to the demand for higher quality, and more excellent measures against crosstalk are required.

そこで本発明は、圧力室を高密化しても良好にクロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッドを提供することを目的とし、このような目的を達成すべく構成された液滴吐出ヘッドに適用するに相応しい配線構造を提供することを目的としている。   Therefore, the present invention has an object to provide a droplet discharge head that can satisfactorily suppress crosstalk even when the pressure chamber is made dense, and is applied to a droplet discharge head configured to achieve such an object. The purpose is to provide an appropriate wiring structure.

上記目的を達成すべく、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、複数の圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室内の液体を選択的に吐出させるために選択的に駆動電圧が付与される個別電極と、第1の定電位が付与される第1定電位電極と、第2の定電位が付与される第2定電位電極とを備えている。この液滴吐出ヘッドによれば、圧電アクチュエータに個別電極と第1定電位電極とにより形成される活性部と、個別電極と第2定電位電極とにより形成される活性部とを設けることができ、2種の活性部の動作により所謂クロストークを良好に抑制可能となる。   In order to achieve the above object, a droplet discharge head according to the present invention is a droplet discharge head including a piezoelectric actuator for selectively discharging liquid in a plurality of pressure chambers, and the piezoelectric actuator includes In order to selectively discharge the liquid in the pressure chamber, an individual electrode to which a drive voltage is selectively applied, a first constant potential electrode to which a first constant potential is applied, and a second constant potential are applied. And a second constant potential electrode. According to this droplet discharge head, the piezoelectric actuator can be provided with an active portion formed by the individual electrode and the first constant potential electrode and an active portion formed by the individual electrode and the second constant potential electrode. So-called crosstalk can be satisfactorily suppressed by the operation of the two active portions.

本発明に係る液滴吐出ヘッドの配線構造は、このような液滴吐出ヘッドに適用され、前記圧電アクチュエータを駆動するための配線を有した液滴吐出ヘッドの配線構造であって、複数の前記配線が設けられた配線板と、前記配線板上に実装されて前記駆動電圧を選択的に出力するドライバとを有し、前記複数の配線には、前記ドライバに電源供給するための電源線と、前記ドライバをグランド電位とするためのグランド線と、前記第1定電位を前記第1定電位電極に供給するための第1定電位配線と、前記第2定電位を前記第2定電位電極に供給するための第2定電位配線と、前記電源線と前記第1定電位配線とを短絡する第1短絡線と、前記グランド線と前記第2定電位配線とを短絡する第2短絡線とが含まれ、前記配線板において幅方向に対向する2つの外縁において、前記第1及び第2の定電位配線のうちいずれか一方の定電位配線は、前記2つの外縁おいて最外側に配置され、他方の定電位配線は前記2つの外縁のうちの一方の外縁において、前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記ドライバに接続されるグランド線及び電源線のうち前記他方の定電位配線と短絡される配線は、前記一方の外縁において前記他方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記一方の定電位配線と短絡される配線は、前記2つの外縁のうち他方の外縁において前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記第1短絡線と前記第2短絡線が、それぞれが短絡する配線と同じ面上に設けられていることを特徴としている。   A wiring structure of a droplet discharge head according to the present invention is a wiring structure of a droplet discharge head that is applied to such a droplet discharge head and has a wiring for driving the piezoelectric actuator, A wiring board provided with wiring; and a driver that is mounted on the wiring board and selectively outputs the drive voltage, and the plurality of wirings include a power supply line for supplying power to the driver; A ground line for setting the driver to a ground potential; a first constant potential wiring for supplying the first constant potential to the first constant potential electrode; and the second constant potential for the second constant potential electrode. A second constant potential wiring for supplying to the power supply, a first short-circuit line for short-circuiting the power supply line and the first constant-potential wiring, and a second short-circuit line for short-circuiting the ground line and the second constant-potential wiring. In the width direction in the wiring board In the two opposing outer edges, one of the first and second constant potential wirings is arranged on the outermost side at the two outer edges, and the other constant potential wiring is the two outer edges. Is arranged adjacent to the inside of the one constant potential wiring at one outer edge, and the wiring that is short-circuited to the other constant potential wiring among the ground line and the power supply line connected to the driver, A wiring that is arranged adjacent to the inside of the other constant potential wiring at one outer edge and short-circuited with the one constant potential wiring is located inside the one constant potential wiring at the other outer edge of the two outer edges. The first short circuit line and the second short circuit line are provided on the same plane as the wiring to be short-circuited.

このような配線構造により、圧電アクチュエータの各電極に所定の電位を付与することができる。そして、第1及び第2短絡線を含めて配線板の同一の面に複数の配線を設けることができる。そのため、表裏両面に配線を設ける場合と比べ、配線構造の製造コストを低くすることができる。また、アクチュエータの分極工程後に容易に第1及び第2短絡線を容易に接続することができる。   With such a wiring structure, a predetermined potential can be applied to each electrode of the piezoelectric actuator. And a some wiring can be provided in the same surface of a wiring board including a 1st and 2nd short circuit line. Therefore, the manufacturing cost of the wiring structure can be reduced as compared with the case where wiring is provided on both the front and back surfaces. Further, the first and second short-circuit lines can be easily connected after the actuator polarization step.

前記配線板は前記圧電アクチュエータに接合される中央部と、前記中央部に対して互いに反対方向に引き延ばされる第1及び第2延在部とを有し、前記中央部には第1の前記ドライバと第2の前記ドライバとが実装され、前記第1延在部には、前記第1ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられ、前記第2延在部には、前記第2ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられており、前記第1延在部に設けられている配線が、前記第2延在部に設けられている配線に対して前記中央部を中心にして180度回転対称の関係で配置されていてもよい。   The wiring board includes a central portion joined to the piezoelectric actuator, and first and second extending portions extending in opposite directions with respect to the central portion, and the central portion includes the first The driver and the second driver are mounted, the ground line and the power line corresponding to the first driver are provided in the first extension part, and the second extension part is provided with the first extension part. The ground line and the power line corresponding to two drivers are provided, and the wiring provided in the first extension portion is arranged in the central portion with respect to the wiring provided in the second extension portion. May be arranged in a 180-degree rotational symmetry relationship.

前記第2定電位配線が最外側に配置されていてもよい。   The second constant potential wiring may be disposed on the outermost side.

前記2つの外縁の各々に沿って一対の前記グランド線が設けられており、前記一対のグランド線が前記ドライバを介して接続されていてもよい。   A pair of the ground lines may be provided along each of the two outer edges, and the pair of ground lines may be connected via the driver.

前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室の中央部に対向する第1活性部と前記複数の圧力室の中央部分よりも外側の部分と対向する第2活性部とが形成されていて、前記個別電極と前記第1定電位電極とで挟まれた領域に形成された第1活性部と、前記個別電極と前記第2定電位電極とで挟まれた領域に形成された第2活性部とを有し、前記第1及び第2活性部はそれぞれ、電圧印加時に圧力室に向かう第1方向に伸長するとともにその第1方向と直交する第2方向に収縮する変形状態となるよう構成され、前記第1活性部への電圧印加時には前記第2活性部に電圧が印加されず、前記第1活性部に電圧を印加しないときには前記第2活性部に電圧が印加される構成であってもよい。   The piezoelectric actuator includes a first active portion facing a central portion of the plurality of pressure chambers and a second active portion facing a portion outside the central portion of the plurality of pressure chambers. A first active portion formed in a region sandwiched between an electrode and the first constant potential electrode; and a second active portion formed in a region sandwiched between the individual electrode and the second constant potential electrode. Each of the first and second active portions is configured to be in a deformed state that extends in a first direction toward the pressure chamber when a voltage is applied and contracts in a second direction orthogonal to the first direction, A voltage may be applied to the second active part when no voltage is applied to the second active part when a voltage is applied to the first active part, and a voltage is applied to the second active part when no voltage is applied to the first active part.

本発明によると、圧力室を高密化しても良好にクロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッドを提供することができ、このような作用効果を奏する液滴吐出ヘッドに適した配線構造を提供することができるとともに、この配線構造の製造コストを下げることができる。   According to the present invention, it is possible to provide a droplet discharge head that can satisfactorily suppress crosstalk even if the pressure chamber is made dense, and to provide a wiring structure suitable for the droplet discharge head that exhibits such effects. In addition, the manufacturing cost of the wiring structure can be reduced.

本発明の第1実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of an inkjet head according to a first embodiment of the present invention. 図1に示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。It is a partial longitudinal cross-sectional view of the inkjet head shown in FIG. 図1に示すインクジェットヘッドの部分横断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the ink jet head shown in FIG. 1. 図1に示すインクジェットヘッドに適用される配線構造の平面図である。It is a top view of the wiring structure applied to the inkjet head shown in FIG. 図1乃至図4に示す圧電アクチュエータ及び配線構造の電気的構成を示す電気回路図である。FIG. 5 is an electric circuit diagram showing an electrical configuration of the piezoelectric actuator and the wiring structure shown in FIGS. 1 to 4. 図4に示す本発明の第1実施形態に係る配線構造と対比される別構成の配線構造の説明図であって、(a)がその平面図、(b)がその背面図である。It is explanatory drawing of the wiring structure of another structure contrasted with the wiring structure which concerns on 1st Embodiment of this invention shown in FIG. 4, Comprising: (a) is the top view, (b) is the back view. 図1乃至図3に示す圧電アクチュエータの分極工程の説明図である。It is explanatory drawing of the polarization process of the piezoelectric actuator shown in FIG. 1 thru | or FIG. 本発明の第2実施形態に係る配線構造の平面図である。It is a top view of the wiring structure concerning a 2nd embodiment of the present invention.

これら図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。ここでは、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに適用した場合を例示し、該ヘッドよりインクが吐出する方向を下方として説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to these drawings. Here, a case where the droplet discharge head according to the present invention is applied to an ink jet head mounted on an ink jet printer will be described as an example, and the direction in which ink is discharged from the head will be described below.

図1乃至図3に示すインクジェットヘッド1は、流路ユニット2の上側から圧電アクチュエータ3を重ねて接合して構成される。両部品2,3は平面視略矩形状であり、便宜的にその長辺方向を「縦方向」、短辺方向を「横方向」とする。   The ink jet head 1 shown in FIGS. 1 to 3 is configured by overlapping and joining piezoelectric actuators 3 from above the flow path unit 2. Both parts 2 and 3 have a substantially rectangular shape in plan view, and the long side direction is “vertical direction” and the short side direction is “lateral direction” for convenience.

図3には一部のみ示すが、流路ユニット2の下面にはノズル4が開口し、上面にはノズル4に連通する圧力室孔5が開口している。図1を参照すると、圧力室孔5は、横方向に長い略矩形状で、多数の圧力室孔5が流路ユニット2の上面に高密に配列されている。これら圧力室孔5は縦方向に略一定ピッチで並設されて複数の列をなし、横方向には千鳥状に配置されている。なお、各圧力室孔5は対応する1つのノズル4と連通し、流路ユニット2の下面には多数のノズル4が圧力室孔5と略同パターンで配列される。図3に戻り、これら圧力室孔5が圧電アクチュエータ3の下面で閉鎖されることによりインクジェットヘッド1に多数の圧力室6が形成される。流路ユニット2には、外部のインク供給源からのインクをその種類毎に貯留する共通インク室7が形成され、各圧力室6はこの共通インク室7の何れか1つと連通している。図1にはインクを流路ユニット2に導入するインク供給口47を示しており、流路ユニット2内には、該インク供給口47から共通インク室7及び各圧力室6を介して各ノズル4にインクを供給するためのインク流路が形成されている。   Although only a part is shown in FIG. 3, the nozzle 4 is opened on the lower surface of the flow path unit 2, and the pressure chamber hole 5 communicating with the nozzle 4 is opened on the upper surface. Referring to FIG. 1, the pressure chamber holes 5 have a substantially rectangular shape that is long in the lateral direction, and a large number of pressure chamber holes 5 are densely arranged on the upper surface of the flow path unit 2. These pressure chamber holes 5 are arranged side by side at a substantially constant pitch in the vertical direction to form a plurality of rows, and are arranged in a staggered manner in the horizontal direction. Each pressure chamber hole 5 communicates with a corresponding one nozzle 4, and a large number of nozzles 4 are arranged in the same pattern as the pressure chamber holes 5 on the lower surface of the flow path unit 2. Returning to FIG. 3, the pressure chamber holes 5 are closed by the lower surface of the piezoelectric actuator 3, whereby a number of pressure chambers 6 are formed in the ink jet head 1. The flow path unit 2 is formed with a common ink chamber 7 that stores ink from an external ink supply source for each type, and each pressure chamber 6 communicates with one of the common ink chambers 7. FIG. 1 shows an ink supply port 47 for introducing ink into the flow path unit 2, and each nozzle is provided in the flow path unit 2 through the common ink chamber 7 and each pressure chamber 6 from the ink supply port 47. An ink flow path for supplying ink to 4 is formed.

図2及び図3に示すように、圧電アクチュエータ3は、振動板であるボトム層8上に2つの圧電層9,10を積層してなる。ここでは、これら圧電層のうち下側を「中間層9」、上側を「トップ層10」と呼ぶ。ボトム層8は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室6を覆うように、流路ユニット2の上面に配置されている。また、ボトム層8の厚みは20μm程度となっている。なお、ボトム層8の材料は、圧電材料には限られない。圧電層9,10は、ボトム層8と同様の圧電材料からなり、互いに積層されてボトム層8の上面に配置されている。この厚みも各20μm程度となっている。トップ層10の上部側には各圧力室6に対応し、各圧力室6の面積のほぼ全域と対向するように配置された略矩形状の個別電極11が設けられている。中間層9とトップ層10との間には各圧力室6に対応する上部定電位電極12が設けられ、ボトム層8と中間層9との間には多数の圧力室6に共通する下部定電位電極13が設けられている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the piezoelectric actuator 3 is formed by laminating two piezoelectric layers 9 and 10 on a bottom layer 8 which is a diaphragm. Here, the lower side of these piezoelectric layers is referred to as “intermediate layer 9”, and the upper side is referred to as “top layer 10”. The bottom layer 8 is made of a piezoelectric material mainly composed of lead zirconate titanate, which is a mixed crystal of lead titanate and lead zirconate, and is formed on the upper surface of the flow path unit 2 so as to cover the plurality of pressure chambers 6. Has been placed. The bottom layer 8 has a thickness of about 20 μm. The material of the bottom layer 8 is not limited to the piezoelectric material. The piezoelectric layers 9 and 10 are made of the same piezoelectric material as that of the bottom layer 8 and are stacked on each other and disposed on the upper surface of the bottom layer 8. This thickness is also about 20 μm. A substantially rectangular individual electrode 11 corresponding to each pressure chamber 6 and disposed so as to face almost the entire area of each pressure chamber 6 is provided on the upper side of the top layer 10. An upper constant potential electrode 12 corresponding to each pressure chamber 6 is provided between the intermediate layer 9 and the top layer 10, and a lower constant electrode common to many pressure chambers 6 is provided between the bottom layer 8 and the intermediate layer 9. A potential electrode 13 is provided.

図2に示すように、個別電極11及び上部定電位電極12は互いの縦方向中心が略一致し、個別電極11の縦方向寸法は上部定電位電極12のそれよりも長い。そのため、個別電極11の縦方向中央部は上部定電位電極12と平面視で重なり、縦方向両端部は下部定電位電極13と平面視で重なっている。個別電極11の縦方向中央部と上部定電位電極12とで挟まれた部分は、これら電極11,12間で分極された第1活性部14をなす。また、個別電極11の縦方向各端部と下部定電位電極12とで挟まれた部分は、これら電極11,13間で分極された第2活性部15をなす。つまり、第1活性部14は圧力室6の中央部に対応して配置され、第2活性部15はこの第1活性部14の外側であって圧力室6の中央部の外側の部分に対応して配置される。   As shown in FIG. 2, the vertical center of the individual electrode 11 and the upper constant potential electrode 12 substantially coincide with each other, and the vertical dimension of the individual electrode 11 is longer than that of the upper constant potential electrode 12. For this reason, the central portion of the individual electrode 11 in the vertical direction overlaps with the upper constant potential electrode 12 in plan view, and both ends in the vertical direction overlap with the lower constant potential electrode 13 in plan view. The portion sandwiched between the central portion in the vertical direction of the individual electrode 11 and the upper constant potential electrode 12 forms a first active portion 14 that is polarized between the electrodes 11 and 12. Further, a portion sandwiched between each longitudinal end portion of the individual electrode 11 and the lower constant potential electrode 12 forms a second active portion 15 polarized between the electrodes 11 and 13. That is, the first active part 14 is arranged corresponding to the central part of the pressure chamber 6, and the second active part 15 corresponds to a part outside the first active part 14 and outside the central part of the pressure chamber 6. Arranged.

図1,図3に示すように、各個別電極11は、横方向に関してノズル4と反対側の端縁から、圧力室6と対向しない領域にまで横方向に突出するよう延びる部分を有し、この部分に端子部17が一体的に設けられている。上下の定電位電極12,13(図2及び図3参照)はそれぞれ、図示しない領域を上下に貫通するスルーホールを介し、トップ層10の上面に設けられた端子部18,19と電気的に導通している。このトップ層10の上面側には配線板20が重ねて設けられる。配線板20の下面側には、端子部17〜19と対応する接続端子が設けられており、配線板20は、これら接続端子が金属などの導電性材料からなる図示しないバンプ等を介して対応する端子部17〜19のそれぞれと電気的に導通するようにして、圧電アクチュエータ3に接合される。   As shown in FIG. 1 and FIG. 3, each individual electrode 11 has a portion extending from the edge opposite to the nozzle 4 in the lateral direction so as to project laterally to a region not facing the pressure chamber 6. A terminal portion 17 is integrally provided at this portion. The upper and lower constant potential electrodes 12 and 13 (see FIGS. 2 and 3) are electrically connected to the terminal portions 18 and 19 provided on the upper surface of the top layer 10 through through holes that vertically penetrate regions not shown. Conducted. A wiring board 20 is provided on the upper surface side of the top layer 10 in an overlapping manner. Connection terminals corresponding to the terminal portions 17 to 19 are provided on the lower surface side of the wiring board 20, and the wiring board 20 corresponds via bumps (not shown) made of a conductive material such as metal. It is joined to the piezoelectric actuator 3 so as to be electrically connected to each of the terminal portions 17 to 19 to be performed.

図2及び図3を参照し、各個別電極11に付与される電位は、配線板20に実装されたドライバ23によって高電位とグランド電位との間で切り替えられるようになっている。対応する圧力室6の容積を変動させる駆動時には、個別電極11には例えば20V程度の高電位(以下「第1電位」と呼ぶ)が選択的に付与され、その後グランド電位(以下「第2電位」と呼ぶ)が付与される。一方、インクの吐出を要しない待機時には第2電位が付与される。また、配線板20を通じて上部定電位電極12には第1電位が常時付与され、下部定電位電極13には第2電位が常時付与される。このため、第1活性部14は、待機時に印加される電圧の方向と同方向に分極されて活性化され、第2活性部15は、駆動時に印加される電圧の方向と同方向に分極されて活性化されている。これら活性部を形成する一対の電極間に電位差が生じると、これら電極に挟まれた圧電層に電圧が印加されることとなり、積層方向の電界が生じる。圧電層の分極方向と電界方向とが同じ場合には逆圧電効果が生じ、圧電層9,10はその分極方向である積層方向に伸長し、該積層方向に直交する方向である水平方向に収縮する。   Referring to FIGS. 2 and 3, the potential applied to each individual electrode 11 is switched between a high potential and a ground potential by a driver 23 mounted on the wiring board 20. At the time of driving to change the volume of the corresponding pressure chamber 6, for example, a high potential of about 20 V (hereinafter referred to as “first potential”) is selectively applied to the individual electrode 11, and then a ground potential (hereinafter referred to as “second potential”). "). On the other hand, the second potential is applied during standby when ink ejection is not required. In addition, the first potential is always applied to the upper constant potential electrode 12 through the wiring board 20, and the second potential is always applied to the lower constant potential electrode 13. For this reason, the first active unit 14 is polarized and activated in the same direction as the voltage applied during standby, and the second active unit 15 is polarized in the same direction as the voltage applied during driving. Activated. When a potential difference is generated between the pair of electrodes forming these active portions, a voltage is applied to the piezoelectric layer sandwiched between these electrodes, and an electric field in the stacking direction is generated. When the polarization direction of the piezoelectric layer is the same as the electric field direction, an inverse piezoelectric effect occurs, and the piezoelectric layers 9 and 10 expand in the lamination direction that is the polarization direction and contract in the horizontal direction that is perpendicular to the lamination direction. To do.

従って、待機時には、逆圧電効果の発揮に有効となる電圧が印加されていない第2活性部15は変形せず、有効となる電圧が印加されている第1活性部14は積層方向に伸張して水平方向に収縮する。このとき、中間層9はボトム層8に接合されているので、トップ層10と中間層9との間で水平方向への歪みに差が生じる。これによりボトム層8及び圧電層9,10は、圧力室6に向かう積層方向に突出変形する。駆動時は、逆圧電効果の発揮に有効となる電圧が印加されていない第1活性部14は変形から回復する。他方、有効となる電圧が印加された第2活性部15は積層方向に伸長して水平方向に収縮しようとするので、第2活性部15が圧力室6から離れる方向に反るように変形する。これら活性部14,15の変形の複合により圧力室6の容積が増大し、共通インク室7から圧力室6へとインクが供給されることとなる。そして、個別電極11の電位を下部定電位電極13と同電位にすると、上記同様ボトム層8及び圧電層9,10が圧力室6に向かうようにして積層方向に突出変形して圧力室6の容積が瞬時に減少する。これにより、この圧力室6内のインクがノズル4より下方に吐出される。   Therefore, at the time of standby, the second active part 15 to which the voltage effective for the reverse piezoelectric effect is not applied is not deformed, and the first active part 14 to which the effective voltage is applied extends in the stacking direction. Contract horizontally. At this time, since the intermediate layer 9 is bonded to the bottom layer 8, there is a difference in distortion in the horizontal direction between the top layer 10 and the intermediate layer 9. As a result, the bottom layer 8 and the piezoelectric layers 9 and 10 project and deform in the stacking direction toward the pressure chamber 6. During driving, the first active part 14 to which no voltage effective for exhibiting the reverse piezoelectric effect is applied is recovered from deformation. On the other hand, since the second active portion 15 to which an effective voltage is applied extends in the stacking direction and tends to contract in the horizontal direction, the second active portion 15 is deformed so as to warp away from the pressure chamber 6. . The volume of the pressure chamber 6 increases due to the combination of the deformation of the active portions 14 and 15, and ink is supplied from the common ink chamber 7 to the pressure chamber 6. When the electric potential of the individual electrode 11 is set to the same electric potential as that of the lower constant potential electrode 13, the bottom layer 8 and the piezoelectric layers 9 and 10 are protruded and deformed in the stacking direction so as to face the pressure chamber 6 as described above. Volume decreases instantly. As a result, the ink in the pressure chamber 6 is discharged downward from the nozzle 4.

このように本インクジェットヘッド1においては、第1活性部14に対する電圧の印加と非印加との切替によって第1活性部14が変形する。これと同時に、第2活性部15に対する電圧の印加と非印加との切替が行われるが、この切替によって第2活性部15は、第1活性部14の変形が隣接する圧力室6に伝播するのを抑制するようにして変形する。このため、多数の圧力室6を高密化しても良好にクロストークを抑制することができる。   As described above, in the inkjet head 1, the first active portion 14 is deformed by switching between application and non-application of voltage to the first active portion 14. At the same time, switching between application and non-application of voltage to the second active part 15 is performed, and by this switching, the second active part 15 propagates deformation of the first active part 14 to the adjacent pressure chamber 6. It deforms so as to suppress this. For this reason, even if the number of pressure chambers 6 is increased, crosstalk can be suppressed satisfactorily.

なお、本発明に係る液滴吐出ヘッド1の圧電アクチュエータ3の構成は上記のものに限られない。圧電アクチュエータが、各圧力室に対し2種の定電位電極と、1種の個別電極とを有し、これら3種の電極によって圧力室の中央部に対応する第1活性部と、この中央部よりも外側の部分に対応する第2活性部とが形成されていれば、どのように構成されていてもよい。なお、第2活性部15は圧力室6の外周縁よりも内側の領域を含んでいてもよい。これにより、第1活性部14だけでなく第2活性部15も圧力室6の容積変化に貢献することとなり、第1活性部14だけによる場合と比べ、圧力室6の容積変動量が大きくなる。   The configuration of the piezoelectric actuator 3 of the droplet discharge head 1 according to the present invention is not limited to the above. The piezoelectric actuator has two types of constant potential electrodes and one type of individual electrode for each pressure chamber. The first active portion corresponding to the central portion of the pressure chamber by these three types of electrodes, and the central portion As long as the 2nd active part corresponding to a part outside is formed, it may be constituted in any way. The second active portion 15 may include a region inside the outer peripheral edge of the pressure chamber 6. As a result, not only the first active part 14 but also the second active part 15 contributes to the volume change of the pressure chamber 6, and the volume fluctuation amount of the pressure chamber 6 becomes larger than the case of using only the first active part 14. .

この圧電アクチュエータ3の製造時には、まずボトム層8、中間層9、トップ層10および各電極11〜13を前述した位置関係になるように互いに積層する。次に、この圧電アクチュエータ3の第1及び第2活性部14,15を分極するための分極工程を行うことにより、前述したようにインクを吐出するよう動作可能な圧電アクチュエータ3が作成される。この分極工程の詳細については後述する。   When the piezoelectric actuator 3 is manufactured, first, the bottom layer 8, the intermediate layer 9, the top layer 10, and the electrodes 11 to 13 are stacked on each other so as to have the above-described positional relationship. Next, by performing a polarization process for polarizing the first and second active portions 14 and 15 of the piezoelectric actuator 3, the piezoelectric actuator 3 operable to eject ink as described above is created. Details of this polarization step will be described later.

次に、図1を参照しつつ図4及び図5に基づき、圧電アクチュエータ3に電圧を印加するための配線構造について説明する。図4に示すように本配線構造は前述した配線板20を備えている。配線板20には、圧電アクチュエータ3に上側から重ねられて圧電アクチュエータ3の上部側に接合される矩形状のCOF部21と、このCOF部21の一端縁に接合された帯状の第1FPC部22と、COF部21の他端縁に接合された帯状の第2FPC部72とが含まれている。   Next, a wiring structure for applying a voltage to the piezoelectric actuator 3 will be described based on FIGS. 4 and 5 with reference to FIG. As shown in FIG. 4, the wiring structure includes the wiring board 20 described above. On the wiring board 20, a rectangular COF portion 21 that is superimposed on the piezoelectric actuator 3 from the upper side and joined to the upper side of the piezoelectric actuator 3, and a belt-like first FPC portion 22 joined to one end edge of the COF portion 21. And a band-shaped second FPC part 72 joined to the other end edge of the COF part 21.

COF部21を圧電アクチュエータ3に接合した状態において、第1FPC部22は圧電アクチュエータ3から外側へと一方向に引き出されるように設けられる。第2FPC部72は圧電アクチュエータ3から外側へと第1FPC部22とは反対の方向に引き出されるように設けられる。COF部21及び各FPC部22,72は何れも公知のフレキシブル配線板である。各FPC部22,72は例えばハンダ付けによってCOF部21の端縁に接合され、この接合によって両部21,22,72に設けられている配線が電気的に導通し合う。なお、各FPC部22,72には、COF部21との接合部分とは反対側の端縁において、各配線のコンタクトが設けられている。これらコンタクトはインクジェットプリンタの所定箇所に配設された基板上に実装されているレセプタクルコネクタに接続され得る。   In a state where the COF unit 21 is bonded to the piezoelectric actuator 3, the first FPC unit 22 is provided so as to be drawn out in one direction from the piezoelectric actuator 3. The second FPC portion 72 is provided so as to be drawn outward from the piezoelectric actuator 3 in the direction opposite to the first FPC portion 22. The COF unit 21 and the FPC units 22 and 72 are all known flexible wiring boards. Each FPC part 22 and 72 is joined to the edge of the COF part 21 by soldering, for example, and the wiring provided in both parts 21, 22 and 72 is electrically connected by this joining. Each FPC part 22, 72 is provided with a contact for each wiring at the edge opposite to the joint part with the COF part 21. These contacts can be connected to a receptacle connector mounted on a substrate disposed at a predetermined location of the ink jet printer.

配線板20のCOF部21には、各個別電極11に印加する電圧を選択的に出力する2つのドライバ23,73が実装されている。図中左側に配置された第1ドライバ23は第1FPC部22に設けられた配線に対応して設けられたものであり、図中右側に配置された第2ドライバ73は第2FPC部72に設けられた配線に対応して設けられたものである。また、配線板20には、多数の個別配線24,74、電源線(VDD2)25,125,75,175、グランド線(VSS2)26,176、上部定電位配線(VCOM)127,77、下部定電位配線(COM)28,128,78,178、第1短絡線29,79、及び第2短絡線30,80が設けられている。なお、図示しないが配線板20の各FPC部22,72には、その他に、圧電アクチュエータ3の駆動態様を指定する波形信号線、ドライバ23,73から個別電極11へ出力される駆動信号をチャンネルごと指示する印字データ線、クロック信号等を出力するための複数の制御信号線、ドライバ23,73自体の電源電圧線(VDD1)(例えば3.3V)及び接地電圧線(VSS1)(例えば0V)等が設けられており、これら配線がドライバ23,73に接続されている。   Two drivers 23 and 73 for selectively outputting a voltage applied to each individual electrode 11 are mounted on the COF portion 21 of the wiring board 20. The first driver 23 arranged on the left side in the drawing is provided corresponding to the wiring provided in the first FPC unit 22, and the second driver 73 arranged on the right side in the drawing is provided in the second FPC unit 72. The wiring is provided corresponding to the provided wiring. The wiring board 20 includes a large number of individual wirings 24, 74, power supply lines (VDD2) 25, 125, 75, 175, ground lines (VSS2) 26, 176, upper constant potential wirings (VCOM) 127, 77, and lower parts. Constant potential wiring (COM) 28, 128, 78, 178, first short lines 29, 79, and second short lines 30, 80 are provided. Although not shown, the FPC units 22 and 72 of the wiring board 20 are additionally provided with waveform signal lines that specify the driving mode of the piezoelectric actuator 3 and drive signals output from the drivers 23 and 73 to the individual electrodes 11. A plurality of control signal lines for outputting a clock data signal, a power supply voltage line (VDD1) (for example, 3.3 V) and a ground voltage line (VSS1) (for example, 0 V) of the drivers 23 and 73 themselves Etc., and these wirings are connected to the drivers 23 and 73.

各個別配線24,74は、各個別電極11に対応して設けられ、各個別電極11に第1及び第2の電位をインクの吐出タイミングに応じて付与するための配線である。各個別配線24,74は、対応するドライバ23,73から各個別電極11の端子部17に対応する配線板20上の接続端子に向けて延びている。   The individual wires 24 and 74 are provided corresponding to the individual electrodes 11 and are wires for applying the first and second potentials to the individual electrodes 11 according to the ink ejection timing. The individual wires 24 and 74 extend from the corresponding drivers 23 and 73 toward the connection terminals on the wiring board 20 corresponding to the terminal portions 17 of the individual electrodes 11.

電源線(VDD2)25,125,75,175は、対応するドライバ23,73に電源供給するための配線であり、ドライバ23,73に接続されている。グランド線(VSS2)26,176は対応するドライバ23,73をグランド電位に接続するための配線であり、ドライバ23,73に接続されている。   The power supply lines (VDD2) 25, 125, 75, and 175 are wirings for supplying power to the corresponding drivers 23 and 73, and are connected to the drivers 23 and 73. The ground lines (VSS2) 26 and 176 are wirings for connecting the corresponding drivers 23 and 73 to the ground potential, and are connected to the drivers 23 and 73.

上部定電位配線(VCOM)127,77は、上部定電位電極12に高電位である第1電位を常時付与するための配線であり、上部定電位電極12の端子部18に対応する配線板20上の接続端子に向けて延びている。下部定電位配線(COM)28,128,78,178は、下部定電位電極13にグランド電位である第2電位を常時付与するための配線であり、下部定電位電極13の端子部19に対応する配線板20上の接続端子に向けて延びている。   The upper constant potential wirings (VCOM) 127 and 77 are wirings for constantly applying a high first potential to the upper constant potential electrode 12, and the wiring board 20 corresponding to the terminal portion 18 of the upper constant potential electrode 12. It extends toward the upper connection terminal. The lower constant potential wirings (COM) 28, 128, 78, and 178 are wirings for constantly applying a second potential that is a ground potential to the lower constant potential electrode 13, and correspond to the terminal portion 19 of the lower constant potential electrode 13. It extends toward the connection terminal on the wiring board 20 to be connected.

第1短絡線29,79は、電源線125,75と上部定電位配線127,77とを接続する配線であり、第2短絡線30,80は、グランド線26,176と下部定電位配線28,178とを接続する配線である。なお、第1短絡線29,79および第2短絡線30,80は、圧電アクチュエータ3の作製工程において、後述する圧電アクチュエータ3の分極工程が終了した後に設けられる。   The first short-circuit lines 29 and 79 are wirings for connecting the power supply lines 125 and 75 and the upper constant potential wirings 127 and 77, and the second short-circuit lines 30 and 80 are the ground lines 26 and 176 and the lower constant potential wiring 28. , 178 are connected to each other. The first short-circuit lines 29 and 79 and the second short-circuit lines 30 and 80 are provided after the polarization process of the piezoelectric actuator 3 described later in the manufacturing process of the piezoelectric actuator 3 is completed.

図5は上記圧電アクチュエータ3及び配線構造の電気的構成を説明する電気回路が示されている。但し、図5には第1ドライバ23に関連する構成のみを示している。図5に示すように、第1及び第2活性部14,15は、各電極11〜13を極板とする第1及び第2コンデンサ31,32とそれぞれ等価である。上部定電位配線(VCOM)127と下部定電位配線(COM)28,128とはこれらコンデンサ31,32を介して接続され、第1コンデンサ31が高電位側に位置する。コンデンサ31,32の充電時にはこれと等価の活性部14,15が変形し、コンデンサ31,32の放電時にはこれと等価の活性部14,15が変形状態から回復する。   FIG. 5 shows an electrical circuit for explaining the electrical configuration of the piezoelectric actuator 3 and the wiring structure. However, FIG. 5 shows only the configuration related to the first driver 23. As shown in FIG. 5, the first and second active portions 14 and 15 are equivalent to the first and second capacitors 31 and 32 having the electrodes 11 to 13 as electrode plates, respectively. The upper constant potential wiring (VCOM) 127 and the lower constant potential wiring (COM) 28, 128 are connected via these capacitors 31, 32, and the first capacitor 31 is located on the high potential side. When the capacitors 31 and 32 are charged, the equivalent active portions 14 and 15 are deformed, and when the capacitors 31 and 32 are discharged, the equivalent active portions 14 and 15 are recovered from the deformed state.

ドライバ23は、第1コンデンサ31の充電/放電の状態と第2コンデンサ32の充電/放電の状態とが互いに逆の関係となるようにして、両コンデンサ31,32の状態を切り替える回路と等価であり、該回路は例えば電源線(VDD2)25,125とグランド線(VSS2)26との間に直列的に介在する2つのトランジスタ34,35より構成される。つまり、電源線25,125が第1トランジスタ34のコレクタに接続され、第1トランジスタ34のエミッタが第2トランジスタ35のコレクタに接続され、第2トランジスタ35のエミッタがグランド線26に接続される。そして個別配線24が、両トランジスタ34,35間を結ぶ配線と個別電極11との間を接続する。個別電極11は、第1活性部14と等価である第1コンデンサ31の低電位側極板として機能し、第2活性部15と等価である第2コンデンサ32の高電位側極板としても機能する。   The driver 23 is equivalent to a circuit that switches the states of the capacitors 31 and 32 so that the charging / discharging state of the first capacitor 31 and the charging / discharging state of the second capacitor 32 are opposite to each other. The circuit includes, for example, two transistors 34 and 35 interposed in series between a power supply line (VDD2) 25 and 125 and a ground line (VSS2) 26. That is, the power supply lines 25 and 125 are connected to the collector of the first transistor 34, the emitter of the first transistor 34 is connected to the collector of the second transistor 35, and the emitter of the second transistor 35 is connected to the ground line 26. The individual wiring 24 connects between the wiring connecting the transistors 34 and 35 and the individual electrode 11. The individual electrode 11 functions as a low potential side electrode plate of the first capacitor 31 equivalent to the first active part 14 and also functions as a high potential side electrode plate of the second capacitor 32 equivalent to the second active part 15. To do.

前述したようにインクの吐出に際しては、個別電極11の電位をグランド電位である第2電位から高電位である第1電位へと立ち上げ、その後第1電位から第2電位へと立ち下げるという手順がとられる。また、待機時は個別電極11に第2電位が印加される。   As described above, when ink is ejected, the potential of the individual electrode 11 is raised from the second potential, which is the ground potential, to the first potential, which is a high potential, and then lowered from the first potential to the second potential. Is taken. In addition, the second potential is applied to the individual electrode 11 during standby.

個別電極11の電位の立ち上げは、第1トランジスタ34をONにして第2トランジスタ35をOFFにすることと等価である。このとき、電源線25,125が、第1トランジスタ34及び第2コンデンサ32を介して下部定電位配線28,128と接続され、第2コンデンサ32が充電される。個別電極11の電位の立ち下げは、第1トランジスタ34をOFFにして第2トランジスタ35をONにすることと等価である。このとき、上部定電位配線127が第1コンデンサ31及び第2トランジスタ35を介してグランド線26と接続され、第1コンデンサ31が充電される。また、立ち上げ時に充電された第2コンデンサ32が個別配線24、グランド線26、第2短絡線30及び下部定電位配線28,128により構成される閉回路上にあり、第2コンデンサ32に貯められた電荷が放電される。このときの各トランジスタ34,35のON/OFF設定は待機時にも維持される。そのため、個別電極11の電位の立ち上げ時を再び考慮すると、待機時に充電された第1コンデンサ31が上部定電位配線127、第1短絡線29及び個別配線24により構成される閉回路上にあり、第1コンデンサ31に貯められた電荷が放電される。   Raising the potential of the individual electrode 11 is equivalent to turning on the first transistor 34 and turning off the second transistor 35. At this time, the power supply lines 25 and 125 are connected to the lower constant potential wirings 28 and 128 via the first transistor 34 and the second capacitor 32, and the second capacitor 32 is charged. The fall of the potential of the individual electrode 11 is equivalent to turning off the first transistor 34 and turning on the second transistor 35. At this time, the upper constant potential wiring 127 is connected to the ground line 26 via the first capacitor 31 and the second transistor 35, and the first capacitor 31 is charged. The second capacitor 32 charged at the time of start-up is on a closed circuit constituted by the individual wiring 24, the ground line 26, the second short-circuit line 30, and the lower constant potential wirings 28 and 128, and is stored in the second capacitor 32. The generated charge is discharged. The ON / OFF setting of the transistors 34 and 35 at this time is maintained even during standby. Therefore, considering again the rise of the potential of the individual electrode 11, the first capacitor 31 charged during standby is on a closed circuit constituted by the upper constant potential line 127, the first short-circuit line 29 and the individual line 24. The electric charge stored in the first capacitor 31 is discharged.

本配線構造には、個別配線24(74)、電源線25,125(75、175)、グランド線26(176)、上部定電位配線127(77)及び下部定電位配線28,128(78,178)と共に2本の短絡線29,30(79,80)が設けられているため、3種の電極11〜13に第1及び/又は第2電位を付与することができ、これら3種の電極11〜13によって構成される2種の活性部14,15を、クロストークが抑制されるようにして動作させることができる。   This wiring structure includes individual wiring 24 (74), power supply lines 25 and 125 (75 and 175), ground line 26 (176), upper constant potential wiring 127 (77) and lower constant potential wirings 28 and 128 (78, 178) and two short-circuit wires 29, 30 (79, 80) are provided, the first and / or second potentials can be applied to the three types of electrodes 11-13. The two active parts 14 and 15 constituted by the electrodes 11 to 13 can be operated so that crosstalk is suppressed.

ここで、本実施形態に係る配線構造の特徴を明確にするために示す別構成の配線構造について図6を参照して説明する。図6に示す配線構造の配線板920においては、そのCOF部921において第1及び第2ドライバ923,973が実装され、各ドライバに対応する配線を設けた2つのFPC部922,972がCOF部921に接合されている。各FPC部922,927の構成は互いに同じである。即ち、何れのFPC部922,972においても、対応するドライバ923,973に接続される電源線925,975及びグランド線926,927と、圧電アクチュエータ3に所定の電位を付与するための上部定電位配線927,977及び下部定電位配線928,978と、電源線925,975及び上部定電位配線927,977を短絡する第1短絡線929,979と、グランド線926,976及び下部定電位配線928,978を短絡する第2短絡線930,980とが設けられている。以下では、第1FPC部922にのみ着目して説明し、第2FPC部927についての説明を省略する。   Here, a wiring structure having another configuration shown in order to clarify the characteristics of the wiring structure according to the present embodiment will be described with reference to FIG. In the wiring board 920 having the wiring structure shown in FIG. 6, the first and second drivers 923 and 973 are mounted in the COF portion 921, and the two FPC portions 922 and 972 provided with wirings corresponding to the drivers are the COF portions. 921 is joined. The configurations of the FPC units 922 and 927 are the same. That is, in any of the FPC units 922 and 972, the power supply lines 925 and 975 and the ground lines 926 and 927 connected to the corresponding drivers 923 and 973 and the upper constant potential for applying a predetermined potential to the piezoelectric actuator 3. Wirings 927 and 977 and lower constant potential wirings 928 and 978, first short-circuit lines 929 and 979 that short-circuit the power supply lines 925 and 975 and upper constant potential wirings 927 and 977, ground lines 926 and 976, and lower constant potential wiring 928 , 978 and second short-circuit lines 930, 980 are provided. Hereinafter, only the first FPC unit 922 will be described, and description of the second FPC unit 927 will be omitted.

第1FPC部922には電源線925、グランド線926、上部定電位配線927及び下部定電位配線928の4つの配線からなる配線群が2群設けられており、各配線925〜928はFPC部922の延在方向と互いに平行に延在している。各配線群においては、下部定電位配線928、上部定電位配線927、グランド線926、電源線925が外縁側から中央側へとこの順で並んで設けられている。2つの定電位配線927,928は第1ドライバ923の外縁側領域を通過させて圧電アクチュエータ3側と接続させる必要があるという観点と、高電位側よりもグランド側を外側に配置したほうがショートなど、電気的な不具合を防ぎ易いという観点とに基づいて、4つの配線925〜928がこのようにして並べられている。従って、第1短絡線929は電源線925と上部定電位配線927とを接続するため、これら配線925,927間に介在するグランド線926と干渉しないよう配置され、第2短絡線930はグランド線926と下部定電位配線928とを接続するため、これら配線926,928間に介在する上部定電位配線927と干渉しないよう配置される必要がある。また、配線群が配線板920の外縁に2群設けられているのは、たとえば、どちらか一方の外縁のみに配線群が設けられた場合、各配線925〜928,975〜978が接続されるドライバ923,973および圧電アクチュエータ3の長手方向に対して、一方側からのみ電圧が供給されることとなり、ドライバ923,973及び圧電アクチュエータ3の長手方向他方側に対して内部で電圧降下が発生して、吐出特性のばらつきを呈することがある。そのため、配線群は、ドライバ923,973及び圧電アクチュエータ3の長手方向の両方側から電圧を供給することで、電圧降下が起こらないようにしている。また、各配線群の間には、図示しない複数の制御信号線や接地電圧線(VSS1)、電源電圧線(VDD1)がFPC部922,972の延在方向と平行に延在している。   The first FPC portion 922 is provided with two groups of four wiring groups including a power supply line 925, a ground line 926, an upper constant potential wiring 927, and a lower constant potential wiring 928, and each of the wirings 925 to 928 includes the FPC portion 922. Extending in parallel with each other. In each wiring group, a lower constant potential wiring 928, an upper constant potential wiring 927, a ground line 926, and a power supply line 925 are provided in this order from the outer edge side to the center side. The two constant potential wirings 927 and 928 pass through the outer edge side region of the first driver 923 and need to be connected to the piezoelectric actuator 3 side, and it is short-circuited if the ground side is arranged outside the high potential side. The four wirings 925 to 928 are arranged in this way based on the viewpoint that it is easy to prevent electrical problems. Therefore, the first short-circuit line 929 connects the power supply line 925 and the upper constant potential wiring 927 so as not to interfere with the ground line 926 interposed between the wirings 925 and 927, and the second short-circuit line 930 is connected to the ground line. In order to connect 926 and the lower constant potential wiring 928, it is necessary to arrange them so as not to interfere with the upper constant potential wiring 927 interposed between these wirings 926 and 928. Also, two groups of wiring groups are provided on the outer edge of the wiring board 920. For example, when a wiring group is provided only on one of the outer edges, the wirings 925 to 928 and 975 to 978 are connected. The voltage is supplied only from one side with respect to the longitudinal direction of the drivers 923 and 973 and the piezoelectric actuator 3, and a voltage drop occurs inside the longitudinal direction of the drivers 923 and 973 and the piezoelectric actuator 3 inside. In some cases, the discharge characteristics may vary. For this reason, the wiring group prevents a voltage drop by supplying a voltage from both sides of the drivers 923 and 973 and the piezoelectric actuator 3 in the longitudinal direction. In addition, a plurality of control signal lines, ground voltage line (VSS1), and power supply voltage line (VDD1) (not shown) extend between the wiring groups in parallel with the extending direction of the FPC portions 922 and 972.

この場合、第1及び第2短絡線929,930は、基板部の裏面に設けたジャンパ線937,938によって実現することができる。本実施形態では、両面フレキシブルプリント基板を用いている。ジャンパ線937,938は、例えば、汎用のジャンパーケーブルで接続したり、ジャンパチップを設けて接続することで、両面フレキシブルプりんと基板を用いなくても、配線が表面のみにある片面フレキシブルプリント基板で行なうことも可能である。しかし、短絡させる配線が高密度に形成されていて、ジャンパーケーブルでの接続は、接続工程において作業困難で製造しにくく、また、ジャンパチップを設ける場合、ジャンパ線を流れる放電電流が大きいため、チップの定格電流を超えてしまうことがあり、チップが壊れやすい。このような構造でジャンパ線を設けることで、上記問題なくジャンパ構造をとることができる。これにより基板部の表側面において第1及び第2短絡線929,930が、グランド線926又は上部定電位配線927を物理的に跨ぎ越すような架橋構造になるのを避けることができ、本配線構造が配線板920の厚さ方向に大型になるのを避けることができる。しかし、この構成によれば、第1FPC部922の表裏両面に配線が印刷形成されている必要があり、第1FPC部922の製造コストが嵩む。所謂両側引き出し方式の配線構造においては、2つのFPC部922の製造コストがかさむこととなり、配線構造のコストが全体的に大きくなってしまう。   In this case, the first and second short-circuit lines 929 and 930 can be realized by jumper lines 937 and 938 provided on the back surface of the substrate portion. In this embodiment, a double-sided flexible printed board is used. The jumper wires 937 and 938 are, for example, a single-sided flexible printed circuit board in which wiring is only on the surface without using a double-sided flexible printed circuit board by connecting with a general-purpose jumper cable or by providing a jumper chip. It is also possible to do this. However, since the wiring to be short-circuited is formed with high density, the connection with the jumper cable is difficult to work in the connection process and difficult to manufacture, and when a jumper chip is provided, the discharge current flowing through the jumper wire is large, so the chip The rated current may be exceeded, and the chip is fragile. By providing a jumper line with such a structure, a jumper structure can be taken without the above problem. As a result, the first and second short-circuit lines 929 and 930 on the front side surface of the substrate portion can be prevented from having a bridging structure that physically straddles the ground line 926 or the upper constant potential wiring 927. The structure can be prevented from becoming large in the thickness direction of the wiring board 920. However, according to this configuration, the wiring needs to be printed on both the front and back surfaces of the first FPC portion 922, and the manufacturing cost of the first FPC portion 922 increases. In the so-called double-sided wiring structure, the manufacturing cost of the two FPC portions 922 is increased, and the cost of the wiring structure is increased as a whole.

図4に戻ると、本実施形態では、第1ドライバ23はCOF部21の上面側に実装され、第1FPC部22との接合部となる端縁に近接して配置されている。第1ドライバ23は平面視矩形状のICチップの形態をなし、その長手方向が端縁の延在方向と平行となるようにして配置されている。第1ドライバ23に対応する各個別配線24は、COF部21上にて、このように配置されるドライバ23から概ね反対側の端縁に向けて延在している。第2ドライバ73及びこれに対応する各個別配線74も同様の構成となっている。   Returning to FIG. 4, in the present embodiment, the first driver 23 is mounted on the upper surface side of the COF unit 21, and is disposed in the vicinity of an end edge that becomes a joint portion with the first FPC unit 22. The first driver 23 is in the form of a rectangular IC chip in plan view, and is arranged such that its longitudinal direction is parallel to the extending direction of the edge. Each individual wiring 24 corresponding to the first driver 23 extends on the COF part 21 from the driver 23 arranged in this way toward the substantially opposite edge. The second driver 73 and the corresponding individual wirings 74 have the same configuration.

第1FPC部22は略矩形帯状に形成され、その延在方向に延びる一対の外縁のそれぞれに近接する2つの配線群が設けられている。図中上側の外縁に近接して設けられた第1配線群は、第1ドライバ23に対応する電源線25、グランド線26及び下部定電位配線28の3つの配線からなり、図中下側の外縁に近接して設けられた第2の配線群は、第1ドライバ23に対応する電源線125、上部定電位配線127、及び下部定電位配線128の3つの配線からなる。つまり、第1配線群は、第2短絡線30により接続される2つの配線26,28が含まれており、図6に示す別構成においてはこれら2つの配線の間に挟まれるようにして配置されていた上部定電位配線が省略されている。同様に、第2配線群には、第1短絡線29により接続される2つの配線125,127が含まれており、図6に示す別構成においてはこれら2つの配線の間に挟まれるようにして配置されていたグランド線が省略されている。   The first FPC portion 22 is formed in a substantially rectangular band shape, and two wiring groups are provided close to each of a pair of outer edges extending in the extending direction. The first wiring group provided in the vicinity of the outer edge on the upper side in the figure is composed of three wirings, that is, a power line 25 corresponding to the first driver 23, a ground line 26, and a lower constant potential wiring 28. The second wiring group provided in the vicinity of the outer edge includes three wirings, that is, a power supply line 125 corresponding to the first driver 23, an upper constant potential wiring 127, and a lower constant potential wiring 128. That is, the first wiring group includes two wirings 26 and 28 connected by the second short-circuit line 30, and is arranged so as to be sandwiched between these two wirings in another configuration shown in FIG. 6. The upper constant potential wiring that has been provided is omitted. Similarly, the second wiring group includes two wirings 125 and 127 connected by the first short-circuit line 29. In another configuration shown in FIG. 6, the second wiring group is sandwiched between these two wirings. The ground line that has been arranged in the above is omitted.

言い換えると、第1配線群は、第2短絡線30で接続されるべき2つの配線26,28が隣り合うようにして配置されている。そのため、第1FPC部22の基板部の表側面上にて、これら2つの配線26,28に跨るようにしてハンダ等の導電材を設置するだけで、該2つの配線26,28を互いに電気的に導通させることができる。同様に、第2配線群は、第1短絡線29で接続されるべき2つの配線125,127が隣り合うようにして配置されている。そのため、第1FPC部22の基板部の表側面上にて、これら2つの配線125,127に跨るようにしてハンダ等の導電材を設置するだけで、これら2つの配線125,127を互いに電気的に導通させることができる。   In other words, the first wiring group is arranged such that two wirings 26 and 28 to be connected by the second short-circuit line 30 are adjacent to each other. Therefore, on the front side surface of the substrate portion of the first FPC portion 22, only by installing a conductive material such as solder so as to straddle the two wires 26 and 28, the two wires 26 and 28 are electrically connected to each other. Can be conducted. Similarly, the second wiring group is arranged such that two wirings 125 and 127 to be connected by the first short-circuit line 29 are adjacent to each other. Therefore, on the front side surface of the substrate portion of the first FPC portion 22, only by installing a conductive material such as solder so as to straddle the two wires 125 and 127, the two wires 125 and 127 are electrically connected to each other. Can be conducted.

このように本配線構造の第1FPC部22においては、第1及び第2短絡線29,30で短絡されるべき配線が互いに隣り合うようにして設けられるようにしている。このため、第1及び第2短絡線29,30を設ける面と該短絡線29,30で短絡される4種の配線25〜28を設ける面とを同一にしつつ、短絡されるべき配線上に導電材を設置するだけで該短絡線29,30を構成することができる。従って、第1FPC部22の基板部の裏側面に配線を印刷形成する必要がなくなり、配線板20の製造コストを下げることができる。また、表側面に短絡用の架橋構造を設ける必要がなく、配線板20が厚み方向に大型化して屈曲性が損なわれるのを避けることができる。   As described above, in the first FPC portion 22 of the present wiring structure, the wirings to be short-circuited by the first and second short-circuit lines 29 and 30 are provided so as to be adjacent to each other. Therefore, on the wiring to be short-circuited, the surface on which the first and second short-circuit lines 29 and 30 are provided and the surface on which the four types of wirings 25 to 28 short-circuited by the short-circuit lines 29 and 30 are provided. The short-circuit wires 29 and 30 can be configured simply by installing a conductive material. Accordingly, it is not necessary to print and form a wiring on the back side surface of the substrate portion of the first FPC portion 22, and the manufacturing cost of the wiring board 20 can be reduced. Further, it is not necessary to provide a short-circuit bridge structure on the front side surface, and the wiring board 20 can be prevented from being enlarged in the thickness direction and the flexibility being impaired.

なお、第1FPC部22の上面には、例えば抵抗器やコンデンサ等の複数の電子素子36が実装されている。ここでは該電子素子36による電気的な作用について詳細に説明しないが、図4に示すように、第1短絡線29及び第2短絡線30を構成する導電材の設置箇所は、これら電子素子36の実装箇所と、第1FPC部22の延在方向と直交する方向に略一直線状に並んで設けられている。即ち、短絡線29,30を構成する導電材及び電子素子36が、第1FPC部22の延在方向に関して略同位置に設けられている。   A plurality of electronic elements 36 such as resistors and capacitors are mounted on the upper surface of the first FPC unit 22. Here, the electrical action by the electronic element 36 will not be described in detail. However, as shown in FIG. 4, the conductive material constituting the first short-circuit line 29 and the second short-circuit line 30 is disposed at the electronic element 36. Are mounted in a substantially straight line in a direction orthogonal to the extending direction of the first FPC portion 22. That is, the conductive material and the electronic element 36 constituting the short-circuit lines 29 and 30 are provided at substantially the same position in the extending direction of the first FPC portion 22.

ここで、第1FPC部22に電子素子36が実装されたり導電材が設置されたりすると、その箇所において第1FPC部22を自在に曲げにくくなってしまう。そこでこれら導電材及び電子素子36を第1FPC部22の延在方向に関して略同位置に配置したことにより、自在に曲げにくくなる箇所を極力減らし、第1FPC部22の取り回し易さや屈曲性が極力損なわれないようにしている。   Here, if the electronic element 36 is mounted on the first FPC portion 22 or a conductive material is installed, the first FPC portion 22 is difficult to bend freely at that location. Therefore, by arranging the conductive material and the electronic element 36 at substantially the same position with respect to the extending direction of the first FPC section 22, the number of places where it becomes difficult to bend freely is reduced as much as possible, and the ease of handling and the flexibility of the first FPC section 22 are impaired as much as possible. I try not to.

また、第1及び第2短絡線29,30は、電子素子36と共に、第1FPC部22上において、なるべくCOF部21との接合部分に近接して配置されている。これにより、第1及び第2活性部14,15から第1及び第2短絡線29,30までの配線長をなるべく短くすることができ、第1ドライバ23に入力する電圧の電圧降下をなるべく小さくすることができ、第1ドライバ23に付与可能な最大定格電圧(VDD1+VDD2の合計)に対して電圧降下分が加わることで、ドライバ23の破壊されることを防止できる。また、活性部14,15における電圧変動をなるべく小さくすることができ、圧電アクチュエータ3を安定して動作させることができるようになる。   Further, the first and second short-circuit lines 29 and 30 are arranged on the first FPC unit 22 together with the electronic element 36 as close as possible to the joint portion with the COF unit 21. Thereby, the wiring length from the 1st and 2nd active part 14 and 15 to the 1st and 2nd short circuit line 29 and 30 can be shortened as much as possible, and the voltage drop of the voltage inputted into the 1st driver 23 is made as small as possible. It is possible to prevent the driver 23 from being destroyed by adding a voltage drop to the maximum rated voltage (VDD1 + VDD2) that can be applied to the first driver 23. In addition, voltage fluctuations in the active portions 14 and 15 can be reduced as much as possible, and the piezoelectric actuator 3 can be stably operated.

ここで、COF部21の一対の外縁にはそれぞれ、下部定電位電極13の端子部19と平面視で重なるよう配置されて該端子部19と導通される下部用接続端子60,160と、上部定電位電極12の端子部18と平面視で重なるよう配置されて該端子部18と導通される上部用接続端子61,161とが設けられている。図中下側の外縁に沿って設けられた下部用接続端子160は、COF部21と第1FPC部22との接合により、第1FPC部22の第2配線群を構成する下部定電位配線128と導通され、上部用接続端子161は、同上部定電位配線127と導通される。また、図中上側の外縁に沿って設けられる上部用接続端子60は、第1FPC部22の第1配線群を構成する上部定電位配線28と導通される。但し、下部用接続端子61は、第1配線群から下部定電位配線27を省略しているために、第1FPC部22に設けられた配線とは電気的に導通されていない。この下部用接続端子61は、第2FPC部72に設けた下部定電位配線77と導通されている。   Here, the pair of outer edges of the COF portion 21 are arranged so as to overlap the terminal portion 19 of the lower constant potential electrode 13 in plan view, and are connected to the lower connecting terminals 60 and 160 which are electrically connected to the terminal portion 19, and the upper portion There are provided upper connection terminals 61 and 161 which are disposed so as to overlap the terminal portion 18 of the constant potential electrode 12 in plan view and are electrically connected to the terminal portion 18. The lower connection terminal 160 provided along the lower outer edge in the figure is connected to the lower constant potential wiring 128 constituting the second wiring group of the first FPC section 22 by joining the COF section 21 and the first FPC section 22. The upper connection terminal 161 is electrically connected to the upper constant potential wiring 127. Further, the upper connection terminal 60 provided along the upper outer edge in the drawing is electrically connected to the upper constant potential wiring 28 constituting the first wiring group of the first FPC portion 22. However, the lower connection terminal 61 is not electrically connected to the wiring provided in the first FPC portion 22 because the lower constant potential wiring 27 is omitted from the first wiring group. The lower connection terminal 61 is electrically connected to a lower constant potential wiring 77 provided in the second FPC portion 72.

第2FPC部72における配線のレイアウトは、第1FPC部22における配線のレイアウトと、COF部21の中央部を中心にして180度回転対称の関係にある。そのため、前述した第1FPC部22の配線レイアウトに基づく、電圧降下の低減や屈曲性の確保等の作用効果は、第2FPC部72においても同様にして得られる。   The wiring layout in the second FPC portion 72 is in a 180-degree rotationally symmetric relationship with the wiring layout in the first FPC portion 22 around the central portion of the COF portion 21. For this reason, the second FPC unit 72 can obtain the same effects such as reduction of voltage drop and securing of flexibility based on the wiring layout of the first FPC unit 22 described above.

つまり、第2FPC部72には、その延在方向に延びる一対の外縁のそれぞれに近接して2つの配線群が設けられている。図中上側の外縁に近接して設けられた第1配線群は、第1FPC部22の第2配線群と同様、第2ドライバ73に対応する電源線75、上部定電位配線77及び下部定電位配線78の3つの配線からなり、図中下側の外縁に近接して設けられた第2配線群は、第1FPC部22の第1配線群と同様、第2ドライバ73に対応する電源線175、グランド線176、及び下部定電位配線178の3つの配線からなる。   That is, the second FPC portion 72 is provided with two wiring groups adjacent to each of the pair of outer edges extending in the extending direction. The first wiring group provided close to the outer edge on the upper side in the figure is the same as the second wiring group of the first FPC section 22, the power line 75 corresponding to the second driver 73, the upper constant potential wiring 77 and the lower constant potential. The second wiring group that is composed of the three wirings 78 and is provided in the vicinity of the lower outer edge in the drawing is the power line 175 corresponding to the second driver 73, similar to the first wiring group of the first FPC unit 22. , A ground line 176, and a lower constant potential wiring 178.

そして、第2FPC部72の第1短絡線79は、第1配線群において隣り合うようにして配置された電源線75と上部定電位配線77とに跨るようにして設置された、ハンダ等の導電材によって構成されている。第2短絡線80は、第3配線群において隣り合うようにして配置されたグランド線176と下部定電位配線178とに跨るようにして設置された、ハンダ等の導電材によって構成されている。   The first short-circuit line 79 of the second FPC portion 72 is a conductive material such as solder that is disposed so as to straddle the power supply line 75 and the upper constant potential wiring 77 that are arranged adjacent to each other in the first wiring group. It is composed of materials. The second short-circuit line 80 is made of a conductive material such as solder that is disposed so as to straddle the ground line 176 and the lower constant potential wiring 178 that are arranged adjacent to each other in the third wiring group.

そして、第2FPC部72においては、図中上側の第1配線群に上部定電位配線77が含まれており、この上部定電位配線77がCOF部21の図中上側の外縁に沿って設けられた上部用接続端子61に接続されている。逆に、図中下側の第2配線群には上部定電位配線が含まれていないため、COF部21の図中下側の外縁に沿って設けられた上部用接続端子161は第2FPC部72に設けられた配線とは電気的に導通していない。但し、前述したように該接続端子161への第1電位の付与は、第1FPC部22により行われており、本配線構造では、2つの上部用接続端子61,161への第1電位の付与を、2つのFPC部22,72のそれぞれが分担して行う構成となっている。これにより、圧電アクチュエータ3の長手方向に対して上部定電位電極12に両側から第1電位を付与可能となるため、圧電アクチュエータ3内部での電圧降下が小さくて済むようになり、インクの吐出特性への影響が小さくなる。   In the second FPC portion 72, the upper constant potential wiring 77 is included in the first wiring group on the upper side in the figure, and the upper constant potential wiring 77 is provided along the outer edge on the upper side in the figure of the COF portion 21. The upper connection terminal 61 is connected. On the contrary, since the upper constant potential wiring is not included in the lower second wiring group in the figure, the upper connection terminal 161 provided along the lower outer edge of the COF part 21 in the figure is the second FPC part. The wiring provided in 72 is not electrically connected. However, as described above, the application of the first potential to the connection terminal 161 is performed by the first FPC unit 22, and in this wiring structure, the application of the first potential to the two upper connection terminals 61 and 161 is performed. Is configured so that each of the two FPC units 22 and 72 performs sharing. As a result, the first potential can be applied to the upper constant potential electrode 12 from both sides with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric actuator 3, so that the voltage drop inside the piezoelectric actuator 3 can be reduced, and the ink ejection characteristics. The impact on is reduced.

このように本配線構造においては、それぞれ2つの配線群を有した各FPC22,72において、一方の配線群からグランド線が省略されている。そのため、ドライバ23,73においては、グランド線が接続されている側から延びる個別配線24,74に出力される電位と、グランド線が接続されていない側から延びる個別配線24,74に出力される電位との間でばらつきが生じる可能性がある。このばらつきがあると、インクの吐出特性が圧力室毎に相違することとなり、高品質の画像を得るための安定したインク吐出制御が難しくなる。   As described above, in this wiring structure, in each of the FPCs 22 and 72 each having two wiring groups, the ground line is omitted from one wiring group. For this reason, in the drivers 23 and 73, the potential output to the individual wirings 24 and 74 extending from the side to which the ground line is connected and the individual wirings 24 and 74 extending from the side to which the ground line is not connected are output. There may be variations between the potential. If there is this variation, the ink ejection characteristics will be different for each pressure chamber, making it difficult to perform stable ink ejection control for obtaining a high-quality image.

ここで、図1を参照すると、本配線構造が適用されるインクジェットヘッド1の流路ユニット2の上面には、4個のインク導入口47が開口している。各インク導入口47は、外部のインク供給源から互いに種類の異なるインクを導入するよう構成されると共に、互いに独立した共通インク室7(図3参照)に連通している。そのため、本インクジェットヘッド1は互いに色の異なる複数種類のインクを選択的に吐出可能になっている。つまり、圧電アクチュエータ3の上面には、4種類のインクの各々に対応して複数の個別電極11が設けられており、第1及び/又は第2電位が付与される個別電極11の選択によって吐出されるインクの種類が決まる構成となっている。以下では説明の便宜のため、これら4種類のインクが、互いに色の異なるブラックインク、シアンインク、イエローインク及びマゼンタインクであるとしている。   Here, referring to FIG. 1, four ink inlets 47 are opened on the upper surface of the flow path unit 2 of the inkjet head 1 to which the present wiring structure is applied. Each ink inlet 47 is configured to introduce different types of ink from an external ink supply source, and communicates with a common ink chamber 7 (see FIG. 3) independent of each other. For this reason, the inkjet head 1 can selectively eject a plurality of types of inks having different colors. That is, a plurality of individual electrodes 11 are provided on the upper surface of the piezoelectric actuator 3 corresponding to each of the four types of ink, and ejection is performed by selecting the individual electrodes 11 to which the first and / or second potentials are applied. The type of ink to be used is determined. In the following, for convenience of explanation, these four types of ink are assumed to be black ink, cyan ink, yellow ink and magenta ink having different colors.

図4に戻ると、配線板20には、第1及び第2ドライバ23,73の何れかに接続された多数の個別配線24,74が設けられているが、これら多数の個別配線24,74は、対応するインクの色毎に固めて配置されている。本実施形態では、例えばブラックインクの吐出に利用される個別電極11と導通されるブラック用配線群48と、同様のシアン用配線群49は、全て第1ドライバ23に接続されている。そして、ブラック用配線群48はグランド線が接続されている側に固めて配置され、シアン用配線群49はその反対側に固めて配置されている。他方、イエロー用配線群50、及びマゼンタ用配線群51は第2ドライバ73に接続されており、イエロー用配線群50はグランド線が接続されていない側に固めて配置され、マゼンタ用配線群51がその反対側に固めて配置されている。   Returning to FIG. 4, the wiring board 20 is provided with a large number of individual wirings 24, 74 connected to any one of the first and second drivers 23, 73. Are arranged for each corresponding ink color. In the present embodiment, for example, the black wiring group 48 that is electrically connected to the individual electrode 11 that is used for discharging black ink and the similar cyan wiring group 49 are all connected to the first driver 23. The black wiring group 48 is firmly arranged on the side to which the ground line is connected, and the cyan wiring group 49 is firmly arranged on the opposite side. On the other hand, the yellow wiring group 50 and the magenta wiring group 51 are connected to the second driver 73, and the yellow wiring group 50 is arranged firmly on the side to which the ground line is not connected, and the magenta wiring group 51. Is placed on the opposite side.

このように、各ドライバ23,73に対して接続された箇所に応じてインク吐出特性が相違する可能性がある場合において、インクの色毎に個別配線を固めて配置することにより、異なるインク間では互いの吐出特性に違いが残るかもしれないものの、配線群48〜51の一つに着目すると、当該配線群を構成する複数の個別配線に関しては互いのインクの吐出特性を均一にすることができる。   As described above, when there is a possibility that the ink ejection characteristics are different depending on the location connected to each of the drivers 23 and 73, by arranging the individual wiring for each ink color, However, although there may be a difference in the ejection characteristics of each other, when attention is paid to one of the wiring groups 48 to 51, the ejection characteristics of the inks can be made uniform with respect to a plurality of individual wirings constituting the wiring group. it can.

ここで、本インクジェットヘッド1及び配線構造の製造手順について説明する。まず未分極状態の圧電アクチュエータ3が、流路ユニット2と積層接合されると共に、各FPC部22,72とは未接合状態のCOF部21と接合される。その後、COF部21に各FPC部22,72が接合され、圧電アクチュエータ3の分極工程が行われる。なお、この段階において各短絡線29,30,79,80は設けられていない。   Here, the manufacturing procedure of the inkjet head 1 and the wiring structure will be described. First, the unpolarized piezoelectric actuator 3 is laminated and bonded to the flow path unit 2, and the FPC units 22 and 72 are bonded to the unbonded COF unit 21. Thereafter, the FPC units 22 and 72 are joined to the COF unit 21, and the polarization process of the piezoelectric actuator 3 is performed. At this stage, each short-circuit line 29, 30, 79, 80 is not provided.

分極工程においては、このような組立体を約100度の雰囲気下におき、各FPC部22,72の端部を分極装置に接続する。そして、個別配線24,74、上部定電位配線127,77及び下部定電位配線28,128,78,178を介し、圧電アクチュエータ3の各電極11〜13間で高電位差を生じさせることにより、第1及び第2活性部14,15を分極させる。   In the polarization step, such an assembly is placed in an atmosphere of about 100 degrees, and the end portions of the FPC portions 22 and 72 are connected to the polarization device. Then, a high potential difference is generated between the electrodes 11 to 13 of the piezoelectric actuator 3 through the individual wires 24 and 74, the upper constant potential wires 127 and 77, and the lower constant potential wires 28, 128, 78, and 178. The first and second active parts 14 and 15 are polarized.

例えば、図7(a)では、上部定電位電極12には36V、個別電極11には0Vの電位を付与することにより、第1活性部14には、高電圧が付与されて第1活性部14が上向きに分極される。そして、図7(b)では、例えば、上部低電位電極12には28V、下部定電位電極13には−60V、個別電極11には28Vの電位をそれぞれ付与することにより、第2活性部15と、第1及び第2定電位電極12,13に挟まれた部分とが下向きに分極させる。   For example, in FIG. 7A, a high voltage is applied to the first active portion 14 by applying a potential of 36 V to the upper constant potential electrode 12 and 0 V to the individual electrode 11, so that the first active portion 14 14 is polarized upward. In FIG. 7B, for example, by applying a potential of 28 V to the upper low potential electrode 12, −60 V to the lower constant potential electrode 13, and 28 V to the individual electrode 11, the second active portion 15. And the portion sandwiched between the first and second constant potential electrodes 12 and 13 are polarized downward.

この後、第1FPC部22が分極装置から取り外されて第1及び第2短絡線29,30が設けられ、第2FPC部72が分極装置から取り外されて第1及び第2短絡線79,80が設けられる。   Thereafter, the first FPC unit 22 is removed from the polarization device to provide the first and second short-circuit wires 29 and 30, and the second FPC unit 72 is removed from the polarization device to provide the first and second short-circuit wires 79 and 80. Provided.

このように、本インクジェットヘッド1及び配線構造においては、分極工程を行っているときには、各短絡線29,30,79,80が設けられていない。逆に設けた上で分極工程を行うと、例えば図7(a)に示す場合においては、電源線と上部定電位配線とが同電位となるため、電源線を介して各ドライバ23,73に36Vの高電位が付与される。各ドライバ23,73は、主に各ドライバ23,73自体の電源電圧(例えば3.3V)と駆動用の電源電圧(例えば28V)とによる電圧値が最大定格電圧として規定されているため、このような状態で分極行程が行われると、この最大定格電圧を超える高電位が各ドライバ23,73に付与されてしまい、各ドライバ23,73の破壊を招く。同様に図7(b)に示す場合においても、グランド線と下部定電位配線とが同電位となるため、グランド線を介して60Vの高電位が各ドライバ23,73に付与されてしまい、各ドライバ23,73の破壊を招く。このため、本配線構造においては、圧電アクチュエータ3の分極工程を終了した後に、各短絡線29,30,79,80が設けられるが、基板部の表側面に各短絡線29,30,79,80が配置されるため、圧電アクチュエータ2の分極工程が終了した後であっても容易に設けることができる。   Thus, in the inkjet head 1 and the wiring structure, when the polarization process is performed, the short-circuit lines 29, 30, 79, and 80 are not provided. If the polarization process is performed after providing the reverse, for example, in the case shown in FIG. 7A, the power supply line and the upper constant potential wiring have the same potential. A high potential of 36V is applied. Each of the drivers 23 and 73 has a voltage value mainly defined by a power supply voltage (for example, 3.3V) and a driving power supply voltage (for example, 28V) of each of the drivers 23 and 73 itself. When the polarization process is performed in such a state, a high potential exceeding the maximum rated voltage is applied to the drivers 23 and 73, and the drivers 23 and 73 are destroyed. Similarly, in the case shown in FIG. 7B, since the ground line and the lower constant potential wiring have the same potential, a high potential of 60 V is applied to the drivers 23 and 73 through the ground line, The drivers 23 and 73 are destroyed. For this reason, in this wiring structure, each short-circuit line 29, 30, 79, 80 is provided after the polarization process of the piezoelectric actuator 3 is completed, but each short-circuit line 29, 30, 79, 80 is provided on the front side surface of the substrate portion. Since 80 is disposed, it can be easily provided even after the polarization step of the piezoelectric actuator 2 is completed.

図8は本発明の第2実施形態に係る配線構造を示す平面図である。この配線構造の配線板220も、第1及び第2ドライバ223,273が実装されたCOF部221の各端縁に、各ドライバ223,273に対応する配線が設けられた第1FPC部222及び第2FPC部272がそれぞれ接合されている。   FIG. 8 is a plan view showing a wiring structure according to the second embodiment of the present invention. The wiring board 220 having this wiring structure also includes the first FPC part 222 and the first FPC part 222 provided with wirings corresponding to the drivers 223 and 273 at the respective edges of the COF part 221 on which the first and second drivers 223 and 273 are mounted. The 2FPC portions 272 are joined.

第1FPC部222においては、図中上側の外縁に近接して、下部定電位配線(COM)228、下部定電位配線(VCOM)227、電源線(VDD2)及びグランド線(VSS2)の4つの配線からなる第1配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。図中下側の外縁に近接して、下部定電位配線(COM)328及びグランド線(VSS2)326の2つの配線からなる第2配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。   In the first FPC unit 222, four wirings of a lower constant potential wiring (COM) 228, a lower constant potential wiring (VCOM) 227, a power supply line (VDD2), and a ground line (VSS2) are adjacent to the upper outer edge in the drawing. The first wiring group consisting of is arranged in this order from the outer edge side. In the vicinity of the outer edge on the lower side in the figure, a second wiring group consisting of two wirings of a lower constant potential wiring (COM) 328 and a ground line (VSS2) 326 is provided in this order from the outer edge side. .

第1配線群に設けられたグランド線226と、第2配線群に設けられたグランド線326とは、第1ドライバ223を介して互いに接続されており、第1FPC部222においてループ状に配置されている。このようにループ状に接続することにより、第1ドライバ223の内部の電圧降下が起こらないので動作が安定するとともに、電源線をループ状に接続した場合と比べ、グランド線をループ状に接続した方が第1ドライバ223の動作を安定させることができるようになる。   The ground line 226 provided in the first wiring group and the ground line 326 provided in the second wiring group are connected to each other via the first driver 223 and are arranged in a loop shape in the first FPC unit 222. ing. By connecting in a loop like this, a voltage drop inside the first driver 223 does not occur, so that the operation is stable, and the ground line is connected in a loop as compared with the case where the power supply line is connected in a loop. Thus, the operation of the first driver 223 can be stabilized.

第1配線群においては、第1短絡線229によって短絡されるべき上部定電位配線227と電源線225とが互いに隣り合うようにして配置されている。従って、第1実施形態と同様にして、これら2つの配線225,227を跨ぐようにしてハンダ等の導電材を第1FPC部222の基板部の表側面に設置するだけで、これら2つの配線225,227を短絡する配線を構成することができる。また、第2配線群は、第2短絡線230によって短絡されるべき下部定電位配線228とグランド線226のみで構成されている。従って、第1実施形態と同様にしてこれら2つの配線226,228を跨ぐようにしてハンダ等の導電材を第1FPC部222の基板部の表側面に設置するだけで、圧電アクチュエータ3の分極工程後にこれら2つの配線を容易に短絡する配線を構成することができる。   In the first wiring group, the upper constant potential wiring 227 and the power supply line 225 to be short-circuited by the first short-circuit line 229 are arranged so as to be adjacent to each other. Accordingly, in the same manner as in the first embodiment, only by installing a conductive material such as solder on the front side surface of the substrate portion of the first FPC portion 222 so as to straddle these two wires 225 and 227, these two wires 225. , 227 can be configured to be short-circuited. Further, the second wiring group is composed of only the lower constant potential wiring 228 and the ground line 226 that are to be short-circuited by the second short-circuit line 230. Accordingly, the polarization process of the piezoelectric actuator 3 can be performed by simply installing a conductive material such as solder on the front side surface of the substrate portion of the first FPC portion 222 so as to straddle the two wirings 226 and 228 as in the first embodiment. A wiring that easily short-circuits these two wirings later can be configured.

第2FPC部272の配線レイアウトは、第1FPC部222の配線レイアウトと、COF部221の中央部を中心にした180度回転対称の関係にある。つまり、図中上側の外縁に近接して、下部定電位配線278及びグランド線276の2つの配線からなる第1配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。図中下側の外縁に近接して、下部定電位配線378、上部定電位配線376、電源線375及びグランド線376の4つの配線からなる第2配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。第1及び第2短絡線279,280はそれぞれ、第2FPC部272の基板部の表側面に設置されたバンプ等の導電材によって構成され、第1短絡線279は第2配線群側に設けられ、第2短絡線280は第1配線群側に設けられている。   The wiring layout of the second FPC unit 272 is in a 180-degree rotationally symmetric relationship with the wiring layout of the first FPC unit 222 around the center of the COF unit 221. That is, in the vicinity of the outer edge on the upper side in the drawing, a first wiring group composed of two wires of the lower constant potential wiring 278 and the ground line 276 is provided in this order from the outer edge side. In the vicinity of the outer edge on the lower side in the figure, a second wiring group including four wirings of a lower constant potential wiring 378, an upper constant potential wiring 376, a power supply line 375, and a ground line 376 is arranged in this order from the outer edge side. Is provided. The first and second short-circuit lines 279 and 280 are each made of a conductive material such as a bump installed on the front side surface of the substrate portion of the second FPC section 272, and the first short-circuit line 279 is provided on the second wiring group side. The second short-circuit line 280 is provided on the first wiring group side.

COF部221の一対の外縁にはそれぞれ、第1実施形態と同様にして、下部用接続端子260,360と上部用接続端子261,361とが設けられている。本実施形態においても、各FPC部において、第1及び第2短絡線を表側面に設けるために2つの配線群のうち一方の配線群において上部定電位配線を省略しているが、各FPC部の配線レイアウトが互いに180度回転対称の関係となっているため、各外縁に設けられた上部用接続端子には、第1及び第2FPC部の何れか一方に設けられた上部定電位配線と接続可能となる。   Similarly to the first embodiment, lower connection terminals 260 and 360 and upper connection terminals 261 and 361 are provided on a pair of outer edges of the COF portion 221, respectively. Also in the present embodiment, in each FPC unit, the upper constant potential wiring is omitted in one of the two wiring groups in order to provide the first and second short-circuit lines on the front side surface. Since the wiring layouts of the first and second FPC sections are symmetrical with each other by 180 degrees, the upper connection terminals provided on the outer edges are connected to the upper constant potential wiring provided on one of the first and second FPC sections. It becomes possible.

このようにして本実施形態においても、第1実施形態と同様の作用効果を奏する。   Thus, also in this embodiment, there exists an effect similar to 1st Embodiment.

これまで本発明の実施形態について説明したが、上記構成は本発明の範囲内で適宜変更可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described so far, the above configuration can be appropriately changed within the scope of the present invention.

例えば、第1実施形態の各配線群において、上部定電位配線(COM)と下部定電位配線(VCOM)の配置を入れ替えると共に、電源線(VDD2)とグランド線(VSS2)の配置を入れ替えたとしても、第1実施形態と同様の作用効果を奏する。さらには、グランド線がループ状に設けられることとなるため、ドライバの動作をより安定させることができるようになる。   For example, in each wiring group of the first embodiment, the arrangement of the upper constant potential wiring (COM) and the lower constant potential wiring (VCOM) is changed, and the arrangement of the power supply line (VDD2) and the ground line (VSS2) is changed. The same effects as the first embodiment can be obtained. Furthermore, since the ground line is provided in a loop shape, the operation of the driver can be further stabilized.

また、「第1電位」が高電位、「第2電位」がグランド電位であるとしたが、この関係は逆となっていても圧電アクチュエータ3を同様にして動作させることができる。その場合、第1短絡線は、高電位を付与する側となる下部定電位配線と電源線とを短絡する配線となっていればよく、第2短絡線は、グランド電位を付与する側となる上部定電位配線とグランド線とを短絡する配線となっていればよい。   Although the “first potential” is a high potential and the “second potential” is a ground potential, the piezoelectric actuator 3 can be operated in the same manner even if this relationship is reversed. In that case, the first short-circuit line only needs to be a wiring that short-circuits the lower constant potential wiring and the power supply line on the side to which the high potential is applied, and the second short-circuit line is on the side to which the ground potential is applied. Any wiring that short-circuits the upper constant potential wiring and the ground line may be used.

本配線構造は、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに限られず、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置や、導電液を吐出して電気配線を形成する装置等に使用する液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドに対しても好適に適用することができる。   This wiring structure is not limited to an ink jet head mounted on an ink jet printer, but a liquid other than ink, for example, a coloring liquid is discharged to manufacture a color filter of a liquid crystal display device, or a conductive liquid is discharged to connect an electric wiring. The present invention can also be suitably applied to a liquid discharge head mounted on a liquid discharge apparatus used in a forming apparatus or the like.

本発明は、圧力室を高密化しても良好にクロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッドを提供することができ、且つクロストーク抑制のために3種の電極より形成された2種の活性部を夫々安定して動作させることができるという作用効果を奏し、被記録媒体にインクを着弾させることによって該媒体に画像を記録するインクジェットプリンタのインクジェットヘッドに適用すると有益である。   The present invention can provide a droplet discharge head that can satisfactorily suppress crosstalk even when the pressure chamber is made dense, and two active parts formed from three kinds of electrodes for suppressing crosstalk. It is advantageous to apply to an ink jet head of an ink jet printer which has an effect of being able to operate each of the ink jets stably and records an image on the recording medium by landing the ink on the recording medium.

1 インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)
3 圧電アクチュエータ
6 圧力室
11 個別電極
12 上部定電位電極(第1定電位電極)
13 下部定電位電極(第2定電位電極)
14 第1活性部
15 第2活性部
20 配線板
21 COF部(中央部)
22,72 FPC部(延在部)
23,73 ドライバ
24,74 個別配線
25,125,75,175 電源線
26,176 グランド線
127,77 上部低電位配線(第1定電位配線)
28,128,78,178 下部定電位配線(第2定電位配線)
29,79 第1短絡線
30,80 第2短絡線
1 Inkjet head (droplet discharge head)
3 Piezoelectric actuator 6 Pressure chamber 11 Individual electrode 12 Upper constant potential electrode (first constant potential electrode)
13 Lower constant potential electrode (second constant potential electrode)
14 1st active part 15 2nd active part 20 Wiring board 21 COF part (central part)
22,72 FPC part (extension part)
23, 73 Driver 24, 74 Individual wiring 25, 125, 75, 175 Power supply line 26, 176 Ground line 127, 77 Upper low potential wiring (first constant potential wiring)
28, 128, 78, 178 Lower constant potential wiring (second constant potential wiring)
29,79 1st short circuit line 30,80 2nd short circuit line

Claims (5)

複数のノズルより液体を選択的に吐出させるよう動作する圧電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドに適用され、前記圧電アクチュエータを駆動するための配線を有した液滴吐出ヘッドの配線構造であって、
前記圧電アクチュエータは、前記ノズルより液体を吐出させるために選択的に駆動電圧が供給される複数の個別電極と、第1の定電位が供給される第1定電位電極と、第2の定電位が供給される第2定電位電極とを有し、
前記配線構造は、複数の前記配線が設けられた配線板と、前記配線板上に実装されて前記駆動電圧を選択的に出力するドライバとを有し、
前記複数の配線には、前記ドライバに電源供給するための電源線と、前記ドライバをグランド電位とするためのグランド線と、前記第1定電位を前記第1定電位電極に供給するための第1定電位配線と、前記第2定電位を前記第2定電位電極に供給するための第2定電位配線と、前記電源線と前記第1定電位配線とを短絡する第1短絡線と、前記グランド線と前記第2定電位配線とを短絡する第2短絡線とが含まれ、
前記配線板において幅方向に対向する2つの外縁において、前記第1及び第2の定電位配線のうちいずれか一方の定電位配線は、前記2つの外縁おいて最外側に配置され、他方の定電位配線は前記2つの外縁のうちの一方の外縁において、前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、
前記ドライバに接続されるグランド線及び電源線のうち前記他方の定電位配線と短絡される配線は、前記一方の外縁において前記他方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記一方の定電位配線と短絡される配線は、前記2つの外縁のうち他方の外縁において前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、
前記第1短絡線と前記第2短絡線が、それぞれが短絡する配線と同じ面上に設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの配線構造。
A wiring structure of a liquid droplet ejection head, which is applied to a liquid droplet ejection head having a piezoelectric actuator that operates to selectively eject liquid from a plurality of nozzles, and has wiring for driving the piezoelectric actuator,
The piezoelectric actuator includes a plurality of individual electrodes to which a driving voltage is selectively supplied to discharge liquid from the nozzle, a first constant potential electrode to which a first constant potential is supplied, and a second constant potential. A second constant potential electrode supplied with
The wiring structure includes a wiring board provided with a plurality of the wirings, and a driver that is mounted on the wiring board and selectively outputs the driving voltage,
The plurality of wirings include a power line for supplying power to the driver, a ground line for setting the driver to a ground potential, and a first line for supplying the first constant potential to the first constant potential electrode. A first constant potential wiring; a second constant potential wiring for supplying the second constant potential to the second constant potential electrode; a first short-circuit line that short-circuits the power line and the first constant potential wiring; A second short-circuit line that short-circuits the ground line and the second constant-potential wiring;
In the two outer edges facing in the width direction on the wiring board, one of the first and second constant potential wirings is arranged on the outermost side at the two outer edges, and the other constant potential wiring is arranged. The potential wiring is arranged adjacent to the inside of the one constant potential wiring at one outer edge of the two outer edges,
Of the ground line and the power supply line connected to the driver, the wiring that is short-circuited with the other constant potential wiring is arranged adjacent to the inside of the other constant potential wiring at the one outer edge, and the one constant voltage wiring is connected. The wiring that is short-circuited with the potential wiring is disposed adjacent to the inside of the one constant potential wiring at the other outer edge of the two outer edges,
The wiring structure of a droplet discharge head, wherein the first short-circuit line and the second short-circuit line are provided on the same plane as the wiring that each short-circuits.
前記配線板は前記圧電アクチュエータに接合される中央部と、前記中央部に対して互いに反対方向に引き延ばされる第1及び第2延在部とを有し、前記中央部には第1の前記ドライバと第2の前記ドライバとが実装され、
前記第1延在部には、前記第1ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられ、前記第2延在部には、前記第2ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられており、
前記第1延在部に設けられている配線が、前記第2延在部に設けられている配線に対して前記中央部を中心にして180度回転対称の関係で配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。
The wiring board includes a central portion joined to the piezoelectric actuator, and first and second extending portions extending in opposite directions with respect to the central portion, and the central portion includes the first A driver and a second driver are mounted;
The first extension portion is provided with the ground line and the power supply line corresponding to the first driver, and the second extension portion is provided with the ground line and the power supply line corresponding to the second driver. Is provided,
The wiring provided in the first extension portion is arranged in a 180-degree rotationally symmetric relationship with respect to the wiring provided in the second extension portion with the central portion as a center. The wiring structure of the droplet discharge head according to claim 1.
前記第2定電位配線が最外側に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。   The wiring structure of the droplet discharge head according to claim 1, wherein the second constant potential wiring is arranged on the outermost side. 前記2つの外縁の各々に沿って一対の前記グランド線が設けられており、前記一対のグランド線が前記ドライバを介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。   The pair of ground lines are provided along each of the two outer edges, and the pair of ground lines are connected via the driver. The wiring structure of the droplet discharge head described in 1. 前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室の中央部に対向する第1活性部と前記複数の圧力室の中央部分よりも外側の部分と対向する第2活性部とが形成されていて、
前記個別電極と前記第1定電位電極とで挟まれた領域に形成された第1活性部と、前記個別電極と前記第2定電位電極とで挟まれた領域に形成された第2活性部とを有し、
前記第1及び第2活性部はそれぞれ、電圧印加時に圧力室に向かう第1方向に伸長するとともにその第1方向と直交する第2方向に収縮する変形状態となるよう構成され、前記第1活性部への電圧印加時には前記第2活性部に電圧が印加されず、前記第1活性部に電圧を印加しないときには前記第2活性部に電圧が印加される構成であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。
The piezoelectric actuator is formed with a first active portion facing a central portion of the plurality of pressure chambers and a second active portion facing a portion outside the central portion of the plurality of pressure chambers,
A first active part formed in a region sandwiched between the individual electrode and the first constant potential electrode, and a second active unit formed in a region sandwiched between the individual electrode and the second constant potential electrode And
Each of the first and second active portions is configured to be in a deformed state that extends in a first direction toward the pressure chamber when a voltage is applied and contracts in a second direction orthogonal to the first direction. The voltage is applied to the second active part when no voltage is applied to the second active part, and the voltage is applied to the second active part when no voltage is applied to the first active part. 5. A wiring structure of a droplet discharge head according to any one of 1 to 4.
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