JP2008140992A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、複数のステーションと複数の基板ステージとを有し、複数のステーションと複数の基板ステージとを用いてジョブを実行することにより、基板を露光する露光装置である。複数の基板ステージは、互いに異なるユニットの構成を有する。露光装置は、ジョブを取得し、かつ取得された複数のジョブの実行順序を決定する制御器を有する。制御器は、複数の基板ステージそれぞれの位置の情報と、複数のジョブそれぞれの実行に必要なユニットの情報とに基づいて、複数のジョブの実行順序を決定する。
【選択図】図1
Description
[第1のジョブ入れ替えの実施形態]
図5は、図4の構成を持つ露光装置に対して、基板1枚に露光処理を行う場合の記憶部7に格納されている各情報の具体的な値の例である。51は初期状態における基板ステージ配置情報、52は要求ジョブ欄、53はジョブ使用ユニット情報、54はジョブ実行位置情報、55はユニット配置情報のそれぞれ具体例である。この実施形態では、実行順序が制約されるジョブの組合せは存在しないとしている。図6は、図5の例において要求ジョブ欄のジョブに対して実行順序が決定されていく様子を示している。61は要求ジョブ欄と実行ジョブ欄の初期状態、62は1回目のジョブ入れ替え判定後の要求ジョブ欄と実行ジョブ欄の状態、63は2回目のジョブ入れ替え判定後の要求ジョブ欄と実行ジョブ欄の状態を示している。
[第2のジョブ入れ替えの実施形態]
図7は、図4の構成を持つ露光装置に対して、基板2枚に連続して露光処理を行う場合の記憶部7に格納されている各情報の具体的な値の例である。71は初期状態における基板ステージ配置情報、72は要求ジョブ欄、73はジョブ使用ユニット情報、74はジョブ実行位置情報、75はユニット配置情報のそれぞれ具体例である。この実施形態でも、実行順序が制約されるジョブの組合せは存在しないとしている。図8は、図7の例において要求ジョブ欄のジョブに対して実行順序が決定されていく様子を示している。81は要求ジョブ欄と実行ジョブ欄の初期状態、82〜85は、それぞれ1〜4回目のジョブ入れ替え判定後の要求ジョブ欄と実行ジョブ欄の状態を示している。86は5回目のジョブ入れ替え判定後の最終的な要求ジョブ欄と実行ジョブ欄の状態を示している。
[デバイス製造の実施形態]
次に、図9及び図10を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図9は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
2:基板ステージ
3,3a,3b:ユニット
4:制御器
5:取得部
6:決定部
7:記憶部
71:基板ステージ配置情報
72:ユニット配置情報
73:ジョブ使用ユニット情報
74:ジョブ実行位置情報
75:ジョブ順序制約情報
Claims (4)
- 複数のステーションと複数の基板ステージとを有し、前記複数のステーションと前記複数の基板ステージとを用いてジョブを実行することにより、基板を露光する露光装置であって、
該ジョブを取得し、かつ該取得された複数のジョブの実行順序を決定する制御器を有し、
前記複数の基板ステージは、互いに異なるユニットの構成を有し、
前記制御器は、前記複数の基板ステージそれぞれの位置の情報と、該複数のジョブそれぞれの実行に必要な該ユニットの情報とに基づいて、該複数のジョブの実行順序を決定する、ことを特徴とする露光装置。 - 前記制御器は、実行順序が制約されるジョブの組合せの情報にさらに基づいて、該複数のジョブの実行順序を決定することを特徴とする請求項1に記載される露光装置。
- 前記制御器は、該複数のジョブを取得順に格納し、かつ前記複数のステーションの間で前記複数の基板ステージを入れ替える回数が少なくなるように、該取得順に格納された該複数のジョブの実行順序を変更することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載される露光装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載される露光装置を用いて基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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