JP2008135561A - フォトダイオード - Google Patents
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Abstract
【課題】分光感度特性に優れたフォトダイオードを提供する。
【解決手段】このフォトダイオード10は、凹凸が形成された受光面26を有し、pn接合28を含む半導体基板11を備え、凹凸を構成する凸部24の頂面40の面積の総和が、凹凸を構成する凹部42の開口44の面積の総和よりも小さい。
【選択図】図1
【解決手段】このフォトダイオード10は、凹凸が形成された受光面26を有し、pn接合28を含む半導体基板11を備え、凹凸を構成する凸部24の頂面40の面積の総和が、凹凸を構成する凹部42の開口44の面積の総和よりも小さい。
【選択図】図1
Description
本発明は、フォトダイオードに関する。
フォトダイオードの受光面は、通常平坦である(特許文献1参照)。
特開平8−330620号公報
しかしながら、上述のようなフォトダイオードの分光感度特性には未だ改善の余地がある。
本発明は、上記事情に鑑みて為されたものであり、分光感度特性に優れたフォトダイオードを提供することを目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明のフォトダイオードは、凹凸が形成された受光面を有し、pn接合を含む半導体基板を備え、前記凹凸を構成する凸部の頂面の面積の総和が、前記凹凸を構成する凹部の開口の面積の総和よりも小さい。受光面には、1又は複数の凹部が形成されていてもよいし、1又は複数の凸部が形成されていてもよい。
本発明によれば、詳細なメカニズムは不明であるが、分光感度特性に優れたフォトダイオードが得られる。
本発明によれば、分光感度特性に優れたフォトダイオードが提供される。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係るフォトダイオードを模式的に示す平面図である。図2は、図1に示されるII−II線に沿った断面図である。図1及び図2に示されるフォトダイオード10は、例えば、フォトダイオードアレイ等の光検出器に好適に用いられる。フォトダイオード10は、例えばSi基板等の半導体基板11を備える。半導体基板11は、光Lを受光する受光面26を有する。受光面26には、複数の凸部24及び複数の凹部42によって凹凸が形成されている。複数の凸部24は、例えば千鳥格子状に配置されている。
図1は、第1実施形態に係るフォトダイオードを模式的に示す平面図である。図2は、図1に示されるII−II線に沿った断面図である。図1及び図2に示されるフォトダイオード10は、例えば、フォトダイオードアレイ等の光検出器に好適に用いられる。フォトダイオード10は、例えばSi基板等の半導体基板11を備える。半導体基板11は、光Lを受光する受光面26を有する。受光面26には、複数の凸部24及び複数の凹部42によって凹凸が形成されている。複数の凸部24は、例えば千鳥格子状に配置されている。
半導体基板11は、pn接合28を含む。半導体基板11は、第1導電型(例えばn型)の半導体基板12と、半導体基板12上に設けられた第2導電型(例えばp型)の半導体層14とを備える。n型ドーパントとしては、例えば砒素等が挙げられる。p型ドーパントとしては、例えばボロン等が挙げられる。pn接合28は、半導体基板12と半導体層14との間に形成される。受光面26からpn接合28までの距離は、受光面26に形成された凹凸の高低差よりも小さい。pn接合28は、受光面26の凹凸に沿って波打っている。
半導体基板12上には、受光面26を取り囲むように第2導電型の半導体領域16が形成されてもよい。半導体層14と半導体領域16とは電気的に接続されている。半導体領域16の深さは、半導体層14の深さよりも深い。半導体領域16上には、半導体領域16に電気的に接続された電極18と、電極18を挟む絶縁膜22とが設けられていてもよい。電極18は、例えばアルミニウムからなる。絶縁膜22は、例えばSiO2からなる。受光面26上には、例えばSiO2等の絶縁体からなる保護膜20が設けられていることが好ましい。
凸部24の頂面40の面積の総和は、凹部42の開口44の面積の総和よりも小さい。凸部24の頂面40の面積の総和は、例えば以下のように算出される。円形パターンの凸部24を作製する場合、設計時の円の直径をφc(μm)、バーズビーク幅をBc(μm)とすると、1つの頂面40の面積Tc(μm2)は以下のように表される。
Tc=((φc−2Bc)/2)2×3.14
Tc=((φc−2Bc)/2)2×3.14
また、第1の方向(X方向)に沿って配列された凸部24のピッチ幅をGc(μm)、第1の方向に直交する第2の方向(Y方向)に沿って配列された凸部24の離間距離をSc(μm)とすると、1mm2当たりの凸部24の数Nc(個)は以下のように表される。
Nc=1000/(φc+Sc)×(1000/Gc)
Nc=1000/(φc+Sc)×(1000/Gc)
よって、1mm2当たりの凸部24の頂面40の面積の総和AC(μm2)は以下のように表される。
AC=Tc×Nc
AC=Tc×Nc
この場合、1mm2当たりの凹部42の開口44の面積の総和AR(μm2)は以下のように表される。
AR=1×106−AC
AR=1×106−AC
本実施形態のフォトダイオード10は、詳細なメカニズムは不明であるが、分光感度特性に優れている。
図3及び図4は、それぞれ、第1実施形態に係るフォトダイオードの製造方法を模式的に示す工程断面図である。以下、図3及び図4を参照してフォトダイオード10の製造方法について説明する。
(凹凸形成工程)
まず、図3(A)に示されるように、半導体基板12a上に酸化膜30及び窒化膜32をこの順に形成する。半導体基板12aは半導体基板12の母体となる。酸化膜30は、例えば半導体基板の表面を酸化することによって形成される。酸化膜30の厚さは、例えば50nm程度である。酸化膜30は、例えばSiO2膜である。窒化膜32の厚さは、例えば100nm程度である。窒化膜32は、例えばSi3N4膜である。
まず、図3(A)に示されるように、半導体基板12a上に酸化膜30及び窒化膜32をこの順に形成する。半導体基板12aは半導体基板12の母体となる。酸化膜30は、例えば半導体基板の表面を酸化することによって形成される。酸化膜30の厚さは、例えば50nm程度である。酸化膜30は、例えばSiO2膜である。窒化膜32の厚さは、例えば100nm程度である。窒化膜32は、例えばSi3N4膜である。
次に、図3(B)に示されるように、窒化膜32をパターニングすることによって、窒化膜32aを酸化膜30上に形成する。窒化膜32aのパターン形状は、例えば円形である。これにより、酸化膜30の一部が露出する。窒化膜32aの形成には、フォトリソグラフィー技術を用いることができる。例えば、まず、レジスト膜を窒化膜32上に形成する。その後、窒化膜32aのパターン形状に対応したパターンを有するフォトマスクを介して光をレジスト膜に照射する。フォトマスクとしては、例えば、円形の光透過部又は遮光部を有するもの、矩形の光透過部及び矩形の遮光部が互いに隣接して千鳥格子状に配置されたもの等が挙げられる。レジスト膜を現像した後、窒化膜32をエッチングすることによって、窒化膜32aを得ることができる。エッチングの後、レジスト膜を剥離除去する。
次に、図3(C)に示されるように、窒化膜32aをマスクとして酸化膜30の表面を選択酸化することによって、半導体基板12b上に凹凸が形成された選択酸化膜30aを形成する。窒化膜32aが形成されている領域では酸化が進行せず、窒化膜32aが形成されていない領域が選択的に酸化される。選択酸化膜30aが凹凸を有することから、半導体基板12bの一方の面上に、複数の窒化膜32aに対応する複数の凸部24aが形成される。なお、このような選択酸化技術を、LOCOS(LocalOxidation of Silicon)という。その後、図3(D)に示されるように、窒化膜32aをエッチングにより除去する。さらに、図3(E)に示されるように、選択酸化膜30aをエッチングにより除去する。
(pn接合形成工程)
次に、図4(A)に示されるように、半導体基板12bの表面の外周領域26bに、p型ドーパント又はn型ドーパント等の不純物を拡散することによって、半導体領域16を形成する。半導体領域16の形成はイオン注入でもよい。
次に、図4(A)に示されるように、半導体基板12bの表面の外周領域26bに、p型ドーパント又はn型ドーパント等の不純物を拡散することによって、半導体領域16を形成する。半導体領域16の形成はイオン注入でもよい。
続いて、半導体基板12cの表面を酸化して、ウエハ全体に絶縁膜22を形成する。その後、フォトレジストを絶縁膜22の上に塗布して、フォトリソグラフィとエッチングにより、受光面26上の絶縁膜22を除去する。フォトレジストを除去した後、受光面26上に保護膜20を形成する。図4(B)に示されるように、半導体基板12cの表面の中央領域26aに、p型ドーパント又はn型ドーパント等の不純物を保護膜20を通してイオン注入することによって、半導体層14を形成する。これにより、半導体基板12内にpn接合28が形成される。なお、中央領域26aには凸部24aが形成されている。
(電極形成工程)
次に、図4(C)に示されるように、フォトリソグラフィとエッチングにより、半導体領域16上の絶縁膜22の一部を除去して、半導体領域16上に電極18を形成する。
次に、図4(C)に示されるように、フォトリソグラフィとエッチングにより、半導体領域16上の絶縁膜22の一部を除去して、半導体領域16上に電極18を形成する。
上述のように、フォトダイオード10はMOSプロセスによって形成される。よって、フォトダイオード10を例えばCMOSイメージセンサの受光部に用いることができる。
(第2実施形態)
図5は、第2実施形態に係るフォトダイオードを模式的に示す平面図である。図6は、図5に示されるVI−VI線に沿った断面図である。図5及び図6に示されるフォトダイオード110の受光面26には、複数の凸部24に代えて、複数の凹部124が形成されている。よって、受光面26には、複数の凹部124及び凸部142によって凹凸が形成されている。複数の凹部124は、例えば、複数の凸部24と同様のパターンで配置されている。複数の凹部124は、例えば、複数の凸部24を形成するためのフォトマスクの光透過部のパターンと遮光部のパターンとを反転させたフォトマスクを用いることによって形成される。その他は、フォトダイオード10の製造方法と同様の方法を用いることによって、フォトダイオード110を製造することができる。
図5は、第2実施形態に係るフォトダイオードを模式的に示す平面図である。図6は、図5に示されるVI−VI線に沿った断面図である。図5及び図6に示されるフォトダイオード110の受光面26には、複数の凸部24に代えて、複数の凹部124が形成されている。よって、受光面26には、複数の凹部124及び凸部142によって凹凸が形成されている。複数の凹部124は、例えば、複数の凸部24と同様のパターンで配置されている。複数の凹部124は、例えば、複数の凸部24を形成するためのフォトマスクの光透過部のパターンと遮光部のパターンとを反転させたフォトマスクを用いることによって形成される。その他は、フォトダイオード10の製造方法と同様の方法を用いることによって、フォトダイオード110を製造することができる。
凸部142の頂面144の面積の総和は、凹部124の開口140の面積の総和よりも小さい。凹部124の開口140の面積の総和は、例えば以下のように算出される。円形パターンの凹部124を作製する場合、設計時の円の直径をφR(μm)、バーズビーク幅をBR(μm)とすると、1つの開口140の面積TR(μm2)は以下のように表される。
TR=((φR+2BR)/2)2×3.14
TR=((φR+2BR)/2)2×3.14
また、第1の方向(X方向)に沿って配列された凹部124のピッチ幅をGR(μm)、第1の方向に直交する第2の方向(Y方向)に沿って配列された凹部124の離間距離をSR(μm)とすると、1mm2当たりの凹部124の数NR(個)は以下のように表される。
NR=1000/(φR+SR+2BR)×(1000/GR)
NR=1000/(φR+SR+2BR)×(1000/GR)
よって、1mm2当たりの凹部124の開口140の面積の総和AR(μm2)は以下のように表される。
AR=TR×NR
AR=TR×NR
この場合、1mm2当たりの凸部142の頂面144の面積の総和AC(μm2)は以下のように表される。
AC=1×106−AR
AC=1×106−AR
本実施形態のフォトダイオード110は、第1実施形態のフォトダイオード10と同様に、分光感度特性に優れている。
図7は、フォトダイオードの受光面に形成された凹凸の寸法の具体例を示す図表である。図7(A)は、タイプA〜Eのフォトダイオードの受光面の凹凸の寸法を示す。タイプA〜Eでは、凸部の頂面の面積の総和は、凹部の開口の面積の総和よりも小さい。図7(B)は、タイプF〜Jのフォトダイオードの受光面の凹凸の寸法を示す。タイプF〜Jでは、凸部の頂面の面積の総和は、凹部の開口の面積の総和よりも大きい。
図8は、波長200nmの紫外線に対するフォトダイオードの光感度の具体例を示すグラフである。グラフの縦軸は光感度を示す。グラフの横軸はフォトダイオードのタイプを示す。タイプKは、平坦な受光面を有するフォトダイオードである。同一ウエハ上の任意の領域(LEFT:ウエハの左部分、TOP:ウエハの上部分、CENTER:ウエハの中央部分、RIGHT:ウエハの右部分、BOTTOM:ウエハの下部分)から各タイプA〜Kの受光面を持つフォトダイオードを選び出し、光感度を測定している。各タイプにおいて同一ウエハ上の5つの領域から選び出したフォトダイオードのデータであるため、各タイプを比較した場合に得られる光感度の差は、ウエハ間のばらつきやウエハ面内のばらつきではなく、明らかな有意差である。
図8から、タイプF〜Kに比べてタイプA〜Eでは、光感度が上昇していることが分かる。
図9は、フォトダイオードの出力電流値の上昇率を示す図表である。タイプC,F,Kのフォトダイオードのサンプルをそれぞれ3個ずつ用意して、100ルクスの白色光を照射した時の出力電流値(A)を測定した。さらに、3つの出力電流値(A)の平均値を算出して、タイプKに対するタイプC,Fの出力電流値の上昇率をそれぞれ算出した。
図9から、タイプKに比べてタイプFでは、出力電流値が上昇していることが分かる。また、タイプFに比べてタイプCでは、出力電流値が更に上昇していることが分かる。
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。
例えば、受光面26には、凸部24及び凹部124の両方が形成されていてもよい。また、凸部24及び凹部124のパターン形状は、円形に限定されず、長方形であってもよい。さらに、複数の凸部24又は複数の凹部124がストライプ状に配置されてもよい。また、凸部24又は凹部124の数は、1つでも複数でもよい。
10,110…フォトダイオード、11…半導体基板、24,142…凸部、26…受光面、28…pn接合、40,144…凸部の頂面、42,124…凹部、44,140…凹部の開口。
Claims (1)
- 凹凸が形成された受光面を有し、pn接合を含む半導体基板を備え、
前記凹凸を構成する凸部の頂面の面積の総和が、前記凹凸を構成する凹部の開口の面積の総和よりも小さい、フォトダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006320578A JP2008135561A (ja) | 2006-11-28 | 2006-11-28 | フォトダイオード |
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JP2006320578A JP2008135561A (ja) | 2006-11-28 | 2006-11-28 | フォトダイオード |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011024577A1 (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-03 | シャープ株式会社 | 光センサ、半導体装置、及び液晶パネル |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000106453A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2001007369A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2001007380A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2006
- 2006-11-28 JP JP2006320578A patent/JP2008135561A/ja active Pending
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