JP2008134180A - 顕微鏡測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】カラーフィルタなどの被検体の分光計測領域を正確に設定することが可能で、被検体の分光情報を正確に把握できる顕微鏡測定装置を提供する。
【解決手段】被検体B上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う顕微鏡測定装置である。反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源50を備え、被検体B上に計測領域表示スポットSを結像させる。制御手段38は、照明光又は透過光を被検体Bに投射して計測領域表示スポットSが映った画像Iを捉える画像取得手段31と、この画像取得手段31の画像Iに基づいて被検体Bに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知して、上記移動手段11にて計測領域表示スポットSが被検体Bの所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段30とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】被検体B上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う顕微鏡測定装置である。反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源50を備え、被検体B上に計測領域表示スポットSを結像させる。制御手段38は、照明光又は透過光を被検体Bに投射して計測領域表示スポットSが映った画像Iを捉える画像取得手段31と、この画像取得手段31の画像Iに基づいて被検体Bに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知して、上記移動手段11にて計測領域表示スポットSが被検体Bの所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段30とを有する。
【選択図】図1
Description
この発明は、顕微鏡測定装置に関し、特に大型液晶カラーフィルタ基板におけるカラーパターン内部のレジスト膜厚を測定するような場合に使用するのに好適な顕微鏡測定装置に関するものである。
カラー液晶パネルでは、色表示素子としてカラーフィルタが使用されている。カラーフィルタの製膜工程は、近年、基板の大型化に伴いその方法が変化してきている。すなわち、小型のガラスサイズに対しては、レジストをガラス基板に滴下しガラスを回転させて膜厚及び均一性を管理するスピン方式が可能であった。しかしながら、1m角を越える大型サイズのガラス基板に対しては、装置サイズ及びレジスト消費量を押さえるため、隙間を直線状に動かしてレジストを塗布するスリット方式が主流となってきている。このスリット方式では、機械的精度により膜厚の均一性をあげる必要があること、及びテレビジョン(TV)向け需要でより色管理が重要となったことで、大型ガラス基板における製造ライン内でのパターン面内の膜厚測定が重要となっている。
上記膜厚測定に際しては、液晶カラーフィルタ基板におけるカラーパターン内部のレジスト膜厚を測定する顕微鏡測定装置が使用されている。この装置は、光源からの測定光を基板上に微小スポットとして結像させると共に、微小スポットSを合焦させ、カラーパターン上に結像した微小スポットからの反射光を分光測定することによって得られる分光情報から膜厚を測定する装置である。この際、微小スポットを正確にカラーパターン上に合焦させるために、微小スポットを基板上において移動させる移動手段と、カラーパターンに対する微小スポットの相対位置を検知して、これに基づいて移動手段にて微小スポットをカラーパターン上に結像させる制御手段を備えた顕微鏡測定装置が提案されている(例えば、特許文献1、及び特許文献2参照)。
上記特許文献1においては、微小スポットの移動を、屈折光学系を一対のウェッジプリズムにて構成し、各プリズムの独立した回転にて光軸の曲がり度合いの調整を可能とし、この光軸の曲がり度合いの調整によって微小スポットの位置の調整を行うようにしており、また、特許文献2においては、基板を載置したXYステージを移動させることによって、微小スポットの位置調整を行うようにしている。
特開2006−30076号公報
特開2006−184060号公報
上記従来例においては、カラーパターンの所定位置に正確に微小スポットを位置させることが可能である。そして上記各装置においては、微小スポットの結像位置と、分光器における計測領域とが、機械的に常に一致するとの前提のもとに、上記制御がなされている。しかしながら、両者の位置がどの程度一致するかについては、機械的精度の良否に委ねられており、厳密な意味で一致しているとはいい難い状態である。そして分光分析の精度からいえば、微小スポットをどの位置に結像させるのかということよりも、どの領域を計測しているのかという方が重要な因子となる。
この発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであって、その目的は、カラーフィルタなどの被検体の分光計測領域を正確に設定することが可能であり、そのため、被検体の分光情報を正確に把握できる顕微鏡測定装置を提供することにある。
そこで請求項1の顕微鏡測定装置は、光源1と、この光源1からの測定光を被検体B上に微小スポットとして結像させるレンズ群2と、被検体B上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う分光手段5とを備えた顕微鏡測定装置であって、さらに、上記反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源50を備え、被検体B上に計測領域表示スポットSを結像させるようにしたことを特徴としている。
請求項2の顕微鏡測定装置は、さらに、上記被検体Bと計測領域表示スポットSとを相対移動させる移動手段11と、制御手段38とを備え、この制御手段38は、照明光又は透過光を被検体Bに投射して計測領域表示スポットSが映った画像Iを捉える画像取得手段31と、この画像取得手段31の画像Iに基づいて被検体Bに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知して、上記移動手段11にて計測領域表示スポットSが被検体Bの所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段30とを有することを特徴としている。
請求項3の顕微鏡測定装置は、上記計測領域表示光源50を、微小スポットからの分光手段5への反射光の光路に対し出退自在に配置していることを特徴としている。
請求項4の顕微鏡測定装置は、上記計測領域表示光源50を、分光手段5本体に内設していることを特徴としている。
請求項5顕微鏡測定装置は、上記計測領域表示光源50を、LEDで構成したことを特徴としている。
上記請求項1の顕微鏡測定装置によれば、分光手段による分光計測領域を、測定用の微小スポットの結像位置よりも優先して設定するようにしているので、カラーフィルタなどの被検体の分光計測領域を正確に設定することが可能であり、そのため、被検体の分光情報を正確に把握でき、分析精度を向上することが可能となる。
上記請求項2の顕微鏡測定装置では、画像取得手段にて、計測領域表示スポットが映った画像を捉えることができ、画像処理手段にて、被検体Bに対する計測領域表示スポットの相対位置を検知することができる。しかも、この位置情報に基づいて移動手段にて計測領域表示スポットを被検体の所定位置に結像するようにできる。従って、被検体の分光計測領域を正確、かつ迅速に設定することが可能となる。
上記請求項3の顕微鏡測定装置では、分光手段の動作時には、上記計測領域表示光源を、微小スポットからの分光手段へと至る反射光の光路から退避させておくことができるので、分光手段の性能を妨害することなく、測定光の光量を確保して、S/Nの低下を抑制できる。
上記請求項4の顕微鏡測定装置では、上記計測領域表示光源を、分光手段本体に内設しているので、迷光の光路内への侵入を防止でき、分光手段の性能低下を抑制できる。
上記請求項5顕微鏡測定装置では、上記計測領域表示光源を、LEDで構成しているので、装置の小型化を図ることができる。
次に、この発明の顕微鏡測定装置の具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、この顕微鏡測定装置の全体構成図を示し、この顕微鏡測定装置は、液晶カラーフィルタ基板B(被検体)のカラーパターンP(図3参照)内部のレジスト等の膜厚を測定するものである。そして、この顕微鏡測定装置は、ハロゲン光源等にて構成される光源1と、この光源1からの測定光を上記基板Bの上に微小スポットとして結像するレンズ群2と、基板B上に照明光を投射するための反射照明装置3と、基板Bに透過光を投射するための透過照明装置4と、微小スポットからの反射光の分光測定を行う分光手段5等を備える。なお、この装置の可動部分は、XYZテーブル(移動手段)11によって支持され、XY平面内とZ軸方向とに駆動される。
レンズ群2は、鏡筒6内に、第1ビームスプリッタ7aと結像レンズ8と第2ビームスプリッタ7bとが収納された本体部10と、この本体部10の下端に付設される対物レンズ12とを備える。また、光源(光源装置)1とレンズ群2とは、光ファイバ13にて連結され、光源装置1からの測定光がこの光ファイバ13を介してレンズ群2の第1ビームスプリッタ7aに入光する。
また、本体部10は、第3ビームスプリッタ7cを有する副鏡筒26を備え、副鏡筒26にカメラ27が付設されている。そして、この副鏡筒26と上記分光手段5とは、光ファイバ28を介して接続されている。また、副鏡筒26と光ファイバ28とは、筒体21を介して接続されており、筒体21内には、計測領域制限スリット22が配置され、分光手段5に対して、計測領域制限スリット22で制限された所定領域の反射光が入射するようになっている。なお、この計測領域制限スリット22の光軸方向のセンタ位置は、液晶カラーフィルタ基板B(被検体)の表面と光学的に共役の関係にある。
上記分光手段5について、さらに詳しく説明すると、図2に示すように、光ファイバ28の先端部は、分光器入射スリト23に接続されており、この分光器入射スリット23に入射した反射光が、回折格子24を経由して、ラインセンサ25へと入力されるようになっている。また、上記分光器入射スリット23から回折格子24へと至る反射光の光路の途中には、計測領域表示光源としてのLED50が配置されている。このLED50は、小型の駆動アクチュエータ51に支持されており、このアクチュエータ51によって上下動され、反射光の光路に侵入した状態と、反射光の光路から退避した状態とを切り替え可能となっている。上記LED50が光路から退避した状態では、通常の分光分析を行い、LED50が光路内に位置して点灯した状態では、この光が、分光器入射スリト23、連結線28、計測領域制限スリット22、第3ビームスプリッタ7c、第1ビームスプリッタ7a、結像レンズ8、第2ビームスプリッタ7b、対物レンズ12を経由して、基板B上に照射され、計測領域表示スポットS(図3参照)を形成する。
さらに図1に示すように、カメラ27には、電気的連結線29を介して、マイクロコンピュータ等にて構成される画像処理手段30が接続されている。この場合、カメラ27と、上記反射照明装置3(又は透過照明装置4)等にて、後述するように、計測領域表示スポットSを映し出す画像取得手段31が構成される。さらに、画像処理手段30とXYZテーブル11(移動手段)とは信号線43にて接続され、この画像処理手段30からの指示が移動手段25に伝達される。
反射照明装置3は、レンズ群2の鏡筒6に付設される反射照明32と、この反射照明32に連結線33を介して接続される電源部34とを有し、反射照明32からの照明光を、第2ビームスプリッタ7bと対物レンズ12とを介して基板B上に照射する。また、透過照明装置4は、基板Bの裏面側に配設される透過照明35と、この透過照明35に連結線36を介して接続される電源部37とを有し、透過照明35からの透過光を基板Bの裏面側からこの基板Bに向けて照射する。
また、分光手段5は、上記レンズ群2の副鏡筒26とが上記光ファイバ28にて連結される一方、さらに連結線42を介して制御用機器24が連結されている。この制御用機器24は、パーソナルコンピュータなどの演算装置より成るものである。そして、画像処理手段30と、画像取得手段31等とで計測領域表示スポットSをカラーパターンP上に結像する制御手段38を構成することができる。すなわち、制御手段38は、図3に示すように、画像取得手段31の画像Iに映し出される計測領域表示スポットSの位置情報に基づいて基板BのカラーパターンPに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知して、上記移動手段11にて、計測領域表示スポットSがカラーパターンP上の適所に形成されるように移動させるものである。なお、画像処理手段30と制御用機器24と反射照明装置3と透過照明装置4とは信号線44にて接続されている。
次に上記のように構成された顕微鏡測定装置にて、膜厚を検査するため、分光手段5により反射光の計測領域を決定するための方法について説明する。この際、LED50は下降させて、LED50が光路内に位置した状態として、点灯する。そうすると、LED50からの光は、分光器入射スリト23、光ファイバ28、計測領域制限スリット22、第3ビームスプリッタ7c、第1ビームスプリッタ7a、結像レンズ8、第2ビームスプリッタ7b、対物レンズ12を経由して、基板B上に照射され、計測領域表示スポットS(図3参照)を形成する。
次に、上記反射照明装置3から基板Bに照明光を照射、又は透過照明装置4から基板Bに透過光を照射して、この照明光の反射光又は透過光を、対物レンズ12、第2ビームスプリッター7b、屈折光学系9、結像レンズ8、第1ビームスプリッター7a、第3ビームスプリッター7cを介して、カメラ27に入光させて、図3に示すように、基板Bのカラーパターン(カラーフィルタパターン)Pと計測領域表示スポットSとが映った画像Iを捉える。その後、この画像Iに基づいてカラーパターンPに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知して、上記XYZテーブル11を移動させて計測領域表示スポットSをカラーパターンP上の適所に位置させる。この画像Iの中にはカラーパターンPの情報及び計測領域表示スポットSのカラーパターンPに対する相対位置情報が含まれ、本情報を処理することにより計測領域表示スポットSを指定された色パターン内部に駆動する制御量を決定することができる。そして、このように、計測領域表示スポットSがカラーパターンP上に位置すれば、上記照明光又は透過光を消灯すると共に、LED50も消灯し、LED50を反射光の光路から退避させる。
次に、通常の膜厚検査を行う。このときには、光源1を点灯してハロゲン光源等の光源1からの光を光ファイバ13からレンズ群2に伝送し、パターンP内部に400nmから900nmの領域の波長域の可視・近赤外光や900nm以上の赤外光を照射する。この際、光ファイバ13により測定光が鏡筒6内に導かれる。そして、鏡筒6内に入った光(測定光)は、第1ビームスプリッター7a、結像レンズ8、第2ビームスプリッター7bを介して対物レンズ12に入射し、基板Bの表面に微小スポットを結像する。カラーパターンP上に結像している微小スポットからの反射光が、対物レンズ群12、第2ビームスプリッター7b、結像レンズ8、第1ビームスプリッター7a、第3ビームスプリッター7c、計測領域制限スリット22、光ファイバ28を介して、分光手段5に入光し、分光データが制御用機器24に出力され、カラーパターンPの物理量(膜厚)が計算される。このように、パターンP内部からの反射光の分光測定を行うことができ、基板BのパターンP内部のレジストの膜厚を測定することができる。そしでさらに、微小スポットをカラーパターンP内において指定されたパターン位置に移動させて、そのパターン内部の分光情報を得る。
上記顕微鏡測定装置によれば、分光手段5による分光計測領域を、測定用の微小スポットの結像位置よりも優先して設定するようにしているので、カラーフィルタなどの被検体Bの分光計測領域を正確に設定することが可能であり、そのため、被検体Bの分光情報を正確に把握でき、測定精度を向上することが可能となる。また、画像取得手段31にて、計測領域表示スポットSが映った画像を捉えることができ、画像処理手段30にて、被検体Bに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知することができる。しかも、この位置情報に基づいて移動手段11にて計測領域表示スポットSを被検体Bの所定位置に結像するようにできる。従って、被検体Bの分光計測領域を正確、かつ迅速に設定することが可能となる。さらに、LED50を、分光手段5本体に内設しているので、迷光の光路内への侵入を防止でき、分光手段5の性能低下を抑制できる。また、このようにLED50を用いるので、装置の小型化を図ることができる。
以上にこの発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。例えば、図1においては反射照明装置3と透過照明装置4とを具備しているが、どちらか一方を省略したものであってもよく、両方を具備している場合、検査者(測定者)の意思や検査する基板B等に応じて切換えてどちらか一方を使用するようにすればよい。また、上記実施形態では、LED50を反射光の光路内に配置する構成を採用しているが、計測領域制限スリット22と分光手段5との間の光路の途中を、ハーフミラや光ファイバで分岐して、LEDの光を計測領域制限スリット22に照射するようにしてもよい。もっともこの場合には、分光手段5への反射光強度が半減することになるが、上記実施形態によれば、分光手段5の性能を妨害することなく、測定光の光量を確保して、S/Nの低下を抑制できるとの利点が生じることになる。また、実施形態において、LEDの移動にアクチュエータ51を用いているが手動にて行うことも可能である。
1・・光源、2・・レンズ群、5・・分光手段、11・・移動手段(XYテーブル)、30・・画像処理手段、31・・画像取得手段、38・・制御手段、50・・計測領域表示光源(LED)、B・・液晶カラーフィルタ基板、I・・画像、P・・カラーパターン、S・・計測領域表示スポット
Claims (5)
- 光源1と、この光源(1)からの測定光を被検体(B)上に微小スポットとして結像させるレンズ群(2)と、被検体(B)上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う分光手段(5)とを備えた顕微鏡測定装置であって、さらに、上記反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源(50)を備え、被検体(B)上に計測領域表示スポット(S)を結像させるようにしたことを特徴とする顕微鏡測定装置。
- さらに、上記被検体(B)と計測領域表示スポット(S)とを相対移動させる移動手段(11)と、制御手段(38)とを備え、この制御手段(38)は、照明光又は透過光を被検体(B)に投射して計測領域表示スポット(S)が映った画像(I)を捉える画像取得手段(31)と、この画像取得手段(31)の画像(I)に基づいて被検体Bに対する計測領域表示スポットSの相対位置を検知して、上記移動手段(11)にて計測領域表示スポット(S)が被検体(B)の所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段(30)とを有することを特徴とする請求項1の顕微鏡測定装置。
- 上記計測領域表示光源(50)を、微小スポットから分光手段(5)への反射光の光路に対し出退自在に配置していることを特徴とする請求項1または請求項2の顕微鏡測定装置。
- 上記計測領域表示光源(50)を、分光手段(5)本体に内設していることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかの顕微鏡測定装置。
- 上記計測領域表示光源(50)を、LEDで構成したことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかの顕微鏡測定装置。
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JP2006321632A JP2008134180A (ja) | 2006-11-29 | 2006-11-29 | 顕微鏡測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006321632A Pending JP2008134180A (ja) | 2006-11-29 | 2006-11-29 | 顕微鏡測定装置 |
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- 2006-11-29 JP JP2006321632A patent/JP2008134180A/ja active Pending
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