JP2008134137A - バーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バーンイン装置は、被試験デバイスが挿入されたバーンインボードが収納される、測定ユニットと、前記測定ユニットに分離可能に連結される温度調整ユニットであって、冷媒を循環させるための冷却コンプレッサと、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間を循環する空気と前記冷媒との間で熱交換をしてこの空気を冷却するための熱交換器と、前記熱交換器と前記冷却コンプレッサとの間で冷媒を循環させるためのパイプとを有する、温度調整ユニットと、を備えて構成されている。
【選択図】図5
Description
被試験デバイスが挿入されたバーンインボードが収納される、測定ユニットと、
前記測定ユニットに分離可能に連結される温度調整ユニットであって、冷媒を循環させるための冷却コンプレッサと、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間を循環する空気と前記冷媒との間で熱交換をしてこの空気を冷却するための熱交換器と、前記熱交換器と前記冷却コンプレッサとの間で冷媒を循環させるためのパイプとを有する、温度調整ユニットと、
を備えることを特徴とする。
前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が送り出される試験領域開口に対応する位置に、前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が流れ込む調整領域開口が位置しており、前記試験領域開口と前記調整領域開口とが連結されることにより、前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が流れるようにしてもよい。
20 ドア
30 断熱壁
40 恒温槽
50 コネクタ
70 ファン
100 温度調整ユニット
200 測定ユニット
300 制御ユニット
BIB バーンインボード
CR キャリアラック
Claims (6)
- 被試験デバイスが挿入されたバーンインボードが収納される、測定ユニットと、
前記測定ユニットに分離可能に連結される温度調整ユニットであって、冷媒を循環させるための冷却コンプレッサと、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間を循環する空気と前記冷媒との間で熱交換をしてこの空気を冷却するための熱交換器と、前記熱交換器と前記冷却コンプレッサとの間で冷媒を循環させるためのパイプとを有する、温度調整ユニットと、
を備えることを特徴とするバーンイン装置。 - 前記温度調整ユニットは、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間を循環する空気を加熱するためのヒーターを、さらに備えることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン装置。
- 前記温度調整ユニットは、前記測定ユニットと当該温度調整ユニットとの間で、空気を循環させるためのファンを、さらに備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のバーンイン装置。
- 前記測定ユニットは、バーンインボードが収納される領域に設けられた予備ヒーターを備える、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のバーンイン装置。
- 前記温度調整ユニットから前記測定ユニットに空気が送り出される第1ダクト開口に対応する位置に、前記温度調整ユニットから前記測定ユニットに空気が流れ込む第2ダクト開口が位置しており、前記第1ダクト開口と前記第2ダクトが連結されることにより、前記温度調整ユニットから前記測定ユニットに空気を流すためのダクトが形成され、
前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が送り出される試験領域開口に対応する位置に、前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が流れ込む調整領域開口が位置しており、前記試験領域開口と前記調整領域開口とが連結されることにより、前記測定ユニットから前記温度調整ユニットに空気が流れるようになる、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のバーンイン装置。 - 前記温度調整ユニット又は前記測定ユニットに分離可能に連結されて、前記冷却コンプレッサの駆動制御を行う制御ユニットをさらに備える、ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のバーンイン装置。
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