JP2008116469A - 顕微分光気体分析装置 - Google Patents
顕微分光気体分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008116469A JP2008116469A JP2007313925A JP2007313925A JP2008116469A JP 2008116469 A JP2008116469 A JP 2008116469A JP 2007313925 A JP2007313925 A JP 2007313925A JP 2007313925 A JP2007313925 A JP 2007313925A JP 2008116469 A JP2008116469 A JP 2008116469A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- detector
- infrared beam
- scanning mirror
- spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 37
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 11
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 230000000241 respiratory effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 239000003994 anesthetic gas Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003434 inspiratory effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
【解決手段】赤外ビームを照射する赤外線光源と、ビームの光路内に配置される気体試料セルと、気体試料セルを通過した後の光路内に配置される走査ミラーと、走査ミラーを揺動させるミラー駆動装置と、複数の平行線を含む回折格子を支持し、走査ミラーから反射される光路内に配置されかつ赤外ビームの目標となる帯域光を反射し、回折し及び集束する第1の集束ミラーと、目標となる帯域光の光路内に配置される第1の検出器と、第1の検出器に作動接続され、第1の検出器から信号を受信する第1の検出器読出回路と、ミラー駆動装置及び第1の検出器読出回路に作動接続され、第1の検出器読出回路の出力に走査ミラーの揺動を同期させる同期装置とを備える分光計。
【選択図】図4B
Description
Claims (40)
- 赤外ビームを照射する赤外線光源と、
赤外ビームの光路内に配置される気体試料セルと、
気体試料セルを通過した後の赤外ビームの光路内に配置される走査ミラーと、
走査ミラーを揺動させるミラー駆動装置と、
複数の平行線を含む回折格子を支持し、走査ミラーから反射される赤外ビームの光路内に配置されかつ赤外ビームの目標となる帯域光を反射し、回折し及び集束する第1の集束ミラーと、
目標となる帯域光の光路内に配置される第1の検出器と、
第1の検出器に作動接続され、第1の検出器から信号を受信する第1の検出器読出回路と、
ミラー駆動装置及び第1の検出器読出回路に作動接続され、第1の検出器読出回路の出力に走査ミラーの揺動を同期させる同期装置とを備えることを特徴とする分光計。 - ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項1に記載の分光計。
- 同期装置は、第1の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項1に記載の分光計。
- 同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項1に記載の分光計。
- 走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項1に記載の分光計。
- 赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する反射ミラーを備える請求項1に記載の分光計。
- 赤外ビームが走査ミラーに2度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを反射ミラーにより反射する請求項6に記載の分光計。
- 赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項1に記載の分光計。
- 走査ミラーから反射された赤外ビームの光路内に配置されかつ赤外ビームを複数の目標となる帯域光に分離するダイクロイックスプリッタと、
複数の線を含む回折格子を支持し、目標となる帯域光の光路内に配置されかつ目標となる各帯域光を反射し、回折し及び集束する第2の集束ミラーと、
目標となる反射され、集束された帯域光を受光する第2の検出器と、
第1の検出器及び第2の検出器に作動接続されて第1の検出器及び第2の検出器から信号を受信する第2の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第1の検出器読出回路及び第2の検出器読出回路の少なくとも一方の出力に走査ミラーの揺動を同期させる請求項1に記載の分光計。 - ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項9に記載の分光計。
- 同期装置は、第1の検出器読出回路又は第2の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項9に記載の分光計。
- 同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項9に記載の分光計。
- 走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項9に記載の分光計。
- 赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する反射ミラーを備える請求項9に記載の分光計。
- 赤外ビームが走査ミラーに2度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを反射ミラーにより反射する請求項14に記載の分光計。
- 赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項9に記載の分光計。
- 走査ミラーは、平面状走査ミラーである請求項1に記載の分光計。
- ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項17に記載の分光計。
- 同期装置は、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項17に記載の分光計。
- 同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項17に記載の分光計。
- 平面状走査ミラーに近接して取り付けられ、平面状走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項17に記載の分光計。
- 赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、平面状走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する反射ミラーを備える請求項17に記載の分光計。
- 赤外ビームが平面状走査ミラーに2度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを反射ミラーにより反射する請求項22に記載の分光計。
- 赤外ビームを照射する赤外線光源と、
赤外ビームの光路内に配置される気体試料セルと、
気体試料セルを通過した後の赤外ビームの光路内に配置される走査ミラーと、
走査ミラーを揺動するミラー駆動装置と、
走査ミラーから反射された赤外ビームの光路内に配置されかつ赤外ビームを回折する第1の回折格子と、
回折された赤外ビームの一部の光路内に配置されかつ目標となる帯域光を集束する第1の集束ミラーと、
目標となる集束された帯域光を受光する第1の検出器と、
第1の検出器に作動接続され、第1の検出器から信号を受信する第1の検出器読出回路と、
ミラー駆動装置及び第1の検出器読出回路に作動接続され、第1の検出器読出回路の出力に走査ミラーの揺動を同期させる同期装置とを備えることを特徴とする分光計。 - ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項24に記載の分光計。
- 同期装置は、第1の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項24に記載の分光計。
- 同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項24に記載の分光計。
- 走査ミラーに近接して取り付けられ、走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項24に記載の分光計。
- 赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する反射ミラーを備える請求項24に記載の分光計。
- 赤外ビームが走査ミラーに2度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを反射ミラーにより反射する請求項29に記載の分光計。
- 赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項24に記載の分光計。
- 走査ミラーから反射された赤外ビームを受光して、赤外ビームを複数の帯域光に分離する第1のダイクロイックスプリッタと、
第1のダイクロイックスプリッタから目標となる少なくとも1つの帯域光を受光する第2の回折格子と、
第2の回折格子により回折した後の目標となる少なくとも1つの帯域光の光路内に配置される第2の集束ミラーと、
第2の集束ミラーにより集束された目標となる回折された少なくとも1つの帯域光の光路内に配置される第2の検出器と、
第2の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第1の検出器読出回路及び第2の検出器読出回路の少なくとも一方の出力に走査ミラーの揺動を同期させる請求項24に記載の分光計。 - ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項32に記載の分光計。
- 同期装置は、第1の検出器読出回路又は第2の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項32に記載の分光計。
- 同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項32に記載の分光計。
- 走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項32に記載の分光計。
- 赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する反射ミラー備える請求項32に記載の分光計。
- 赤外ビームが走査ミラーに2度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを反射ミラーにより反射する請求項37に記載の分光計。
- 赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項32に記載の分光計。
- 第1のダイクロイックスプリッタ又は第2のダイクロイックスプリッタから目標となる少なくとも1つの帯域光を受光する第3の回折格子と、
第3の回折格子により回折した後の目標となる少なくとも1つの帯域光の光路内に配置される第3の集束ミラーと、
第1の集束ミラー、第2の集束ミラー又は第3の集束ミラーの1つにより集束された目標となる回折された帯域光の光路内に配置される第3の検出器と、
第1の検出器、第2の検出器又は第3の検出器に作動接続されて第1の検出器、第2の検出器又は第3の検出器から信号を受信する第3の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第1の検出器読出回路、第2の検出器読出回路及び第3の検出器読出回路の1つに走査ミラーの揺動を同期させる請求項32に記載の分光計。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US31676301P | 2001-08-31 | 2001-08-31 | |
US10/227,135 US6791086B2 (en) | 2001-08-31 | 2002-08-23 | Microspectrometer gas analyzer |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003525244A Division JP2005518524A (ja) | 2001-08-31 | 2002-08-27 | 顕微分光気体分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008116469A true JP2008116469A (ja) | 2008-05-22 |
JP2008116469A5 JP2008116469A5 (ja) | 2008-08-07 |
Family
ID=26921195
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003525244A Pending JP2005518524A (ja) | 2001-08-31 | 2002-08-27 | 顕微分光気体分析装置 |
JP2007313925A Pending JP2008116469A (ja) | 2001-08-31 | 2007-12-04 | 顕微分光気体分析装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003525244A Pending JP2005518524A (ja) | 2001-08-31 | 2002-08-27 | 顕微分光気体分析装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6791086B2 (ja) |
EP (1) | EP1430279A4 (ja) |
JP (2) | JP2005518524A (ja) |
BR (1) | BR0212115A (ja) |
WO (1) | WO2003021211A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009300236A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Sony Corp | 変位検出装置 |
JP2013513793A (ja) * | 2009-12-09 | 2013-04-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ガス測定モジュール |
JP2013522633A (ja) * | 2010-06-09 | 2013-06-13 | エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー | ガス濃度モニタ |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2004224921B2 (en) * | 1999-08-11 | 2004-12-23 | Luckoff Display Corporation | Diffractive Display |
JP2003506753A (ja) * | 1999-08-11 | 2003-02-18 | ラックオフ ディスプレイ コーポレイション | 回折ディスプレイ |
US7630063B2 (en) * | 2000-08-02 | 2009-12-08 | Honeywell International Inc. | Miniaturized cytometer for detecting multiple species in a sample |
US7605370B2 (en) * | 2001-08-31 | 2009-10-20 | Ric Investments, Llc | Microspectrometer gas analyzer |
US6791086B2 (en) * | 2001-08-31 | 2004-09-14 | Respironics, Inc. | Microspectrometer gas analyzer |
AU2003299796A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-07-22 | University Of South Florida | Variable exposure rotary spectrometer |
DE102004026373B4 (de) * | 2004-05-29 | 2008-04-17 | Eads Astrium Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung optischer Spektren |
US7265842B2 (en) * | 2004-10-14 | 2007-09-04 | Picarro, Inc. | Method for detecting a gaseous analyte present as a minor constituent in an admixture |
DE102005002106B3 (de) * | 2005-01-14 | 2006-04-13 | Drägerwerk AG | Vorrichtung zur Analyse der qualitativen Zusammensetzung von Gasen |
DE102005025675A1 (de) * | 2005-06-03 | 2006-11-16 | Siemens Ag | Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator |
US7817274B2 (en) | 2007-10-05 | 2010-10-19 | Jingyun Zhang | Compact spectrometer |
WO2009070459A1 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Jingyun Zhang | Miniature spectrometers working with cellular phones and other portable electronic devices |
US20100014296A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Chuang Ping Han | Light distribution board having gratings with multiple focuses |
US8422013B2 (en) * | 2008-11-11 | 2013-04-16 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Optical multiplexer/demultiplexer |
WO2010058311A2 (en) | 2008-11-18 | 2010-05-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Filter wheel spectrometer |
US8264689B1 (en) * | 2008-12-22 | 2012-09-11 | ISC8 Inc. | Micro gas cell array device and method |
JP2010169493A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 分光放射計 |
US20110181885A1 (en) * | 2010-01-22 | 2011-07-28 | Irvine Sensors Corporation | Large Displacement Micro-Lamellar Grating Interferometer |
JP5803478B2 (ja) * | 2011-09-20 | 2015-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 描画装置、描画方法 |
CN102359949A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-02-22 | 重庆大学 | 一种基于mems扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪 |
US9291501B2 (en) * | 2012-07-26 | 2016-03-22 | Raytheon Company | High efficiency multi-channel spectrometer |
JP6166049B2 (ja) * | 2013-01-25 | 2017-07-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置および光検出方法 |
US20150369665A1 (en) * | 2013-02-01 | 2015-12-24 | Tornado Spectral Systems Inc. | Multi backend ultra-broadband dispersive spectrometer |
CN103344335B (zh) * | 2013-06-18 | 2014-04-02 | 武汉大学 | 一种基于mems检测器的中红外光谱仪 |
CN105092516A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-11-25 | 深圳莱特光电有限公司 | 一种基于数字光处理技术的便携式液体食物近红外光谱分析仪 |
US10905836B2 (en) | 2015-04-02 | 2021-02-02 | Hill-Rom Services Pte. Ltd. | Manifold for respiratory device |
CN105136293B (zh) * | 2015-06-09 | 2019-05-14 | 河南理工大学 | 一种基于透射光栅的mems微镜微型光谱仪 |
CN104880433B (zh) * | 2015-06-09 | 2018-07-10 | 河南理工大学 | 基于离轴抛物反射镜的高分辨率mems微镜红外光谱仪 |
US9851255B2 (en) | 2015-06-11 | 2017-12-26 | The Aerospace Corporation | Windowless microbolometer array |
CN107942460B (zh) * | 2017-12-14 | 2023-12-15 | 苏州康代智能科技股份有限公司 | 一种线性光源分光镜的调节机构 |
JP7159823B2 (ja) * | 2018-11-29 | 2022-10-25 | 株式会社リコー | 光学装置 |
JP7324619B2 (ja) * | 2019-06-04 | 2023-08-10 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及び光走査装置 |
US11692934B2 (en) | 2020-07-23 | 2023-07-04 | Masimo Corporation | Solid-state spectrometer |
KR20230155182A (ko) * | 2022-05-03 | 2023-11-10 | 국방과학연구소 | 분광 시스템 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62203023A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-07 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 分光器 |
JPH01197617A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-08-09 | Hewlett Packard Co <Hp> | 分光器 |
JPH01227043A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-09-11 | Gretag Ag | 光学的反射特性測定用マニュアル装置 |
JPH02113135A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Tamagawa Seiki Co Ltd | ブレーキ装置 |
JPH034130A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-10 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4060327A (en) * | 1976-09-13 | 1977-11-29 | International Business Machines Corporation | Wide band grating spectrometer |
US4320971A (en) * | 1978-08-28 | 1982-03-23 | Nippon Kogaku K.K. | Spectrophotometer |
EP0271602A1 (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-22 | Shimadzu Corporation | Spectroscopic measurement system |
US5454787A (en) * | 1991-02-15 | 1995-10-03 | Lundquist; Ingemar H. | Torquable tubular assembly and torquable catheter utilizing the same |
US5451787A (en) * | 1993-05-04 | 1995-09-19 | Westinghouse Electric Corporation | Hazardous air pollutants monitor |
US5731874A (en) * | 1995-01-24 | 1998-03-24 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Discrete wavelength spectrometer |
US5807750A (en) * | 1995-05-02 | 1998-09-15 | Air Instruments And Measurements, Inc. | Optical substance analyzer and data processor |
US5905571A (en) * | 1995-08-30 | 1999-05-18 | Sandia Corporation | Optical apparatus for forming correlation spectrometers and optical processors |
US5880834A (en) * | 1996-10-16 | 1999-03-09 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Convex diffraction grating imaging spectrometer |
US5801826A (en) * | 1997-02-18 | 1998-09-01 | Williams Family Trust B | Spectrometric device and method for recognizing atomic and molecular signatures |
US5999319A (en) * | 1997-05-02 | 1999-12-07 | Interscience, Inc. | Reconfigurable compound diffraction grating |
US6201629B1 (en) * | 1997-08-27 | 2001-03-13 | Microoptical Corporation | Torsional micro-mechanical mirror system |
US6039697A (en) * | 1998-03-20 | 2000-03-21 | Datex-Ohmeda, Inc. | Fiber optic based multicomponent infrared respiratory gas analyzer |
US6249346B1 (en) * | 1998-12-21 | 2001-06-19 | Xerox Corporation | Monolithic spectrophotometer |
US6791086B2 (en) * | 2001-08-31 | 2004-09-14 | Respironics, Inc. | Microspectrometer gas analyzer |
-
2002
- 2002-08-23 US US10/227,135 patent/US6791086B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-27 EP EP02757417A patent/EP1430279A4/en not_active Withdrawn
- 2002-08-27 JP JP2003525244A patent/JP2005518524A/ja active Pending
- 2002-08-27 BR BR0212115-8A patent/BR0212115A/pt not_active Application Discontinuation
- 2002-08-27 WO PCT/US2002/027309 patent/WO2003021211A1/en active Application Filing
-
2004
- 2004-09-10 US US10/939,279 patent/US7157711B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-12-04 JP JP2007313925A patent/JP2008116469A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62203023A (ja) * | 1986-03-03 | 1987-09-07 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 分光器 |
JPH01197617A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-08-09 | Hewlett Packard Co <Hp> | 分光器 |
JPH01227043A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-09-11 | Gretag Ag | 光学的反射特性測定用マニュアル装置 |
JPH02113135A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Tamagawa Seiki Co Ltd | ブレーキ装置 |
JPH034130A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-10 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009300236A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Sony Corp | 変位検出装置 |
JP2013513793A (ja) * | 2009-12-09 | 2013-04-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ガス測定モジュール |
JP2013522633A (ja) * | 2010-06-09 | 2013-06-13 | エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー | ガス濃度モニタ |
US8648731B2 (en) | 2010-06-09 | 2014-02-11 | Empire Technology Development Llc | Gas concentration monitor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1430279A1 (en) | 2004-06-23 |
US6791086B2 (en) | 2004-09-14 |
WO2003021211A1 (en) | 2003-03-13 |
US7157711B1 (en) | 2007-01-02 |
EP1430279A4 (en) | 2008-01-23 |
BR0212115A (pt) | 2005-12-13 |
US20030043373A1 (en) | 2003-03-06 |
JP2005518524A (ja) | 2005-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008116469A (ja) | 顕微分光気体分析装置 | |
EP2100110B1 (en) | Microspectrometer gas analyzer | |
US6486474B1 (en) | Infrared spectrometer for the measurement of isotopic ratios | |
US4022529A (en) | Feature extraction system for extracting a predetermined feature from a signal | |
JPS6331730B2 (ja) | ||
JPH02236441A (ja) | 複数のガスの同定装置および方法 | |
EP0699898A2 (en) | A dual beam tunable spectrometer | |
JPS58120135A (ja) | 分光装置 | |
CN206656801U (zh) | 紧凑型ccd阵列光谱仪以及拉曼光谱检测系统 | |
US20130063714A1 (en) | Emission and Transmission Optical Spectrometer | |
US20080129991A1 (en) | Alignment System for Spectroscopic Analysis | |
JPS591971B2 (ja) | ブンコウコウドケイ | |
JP2002516994A (ja) | 対象物検査用光学装置 | |
CN104267015B (zh) | 用于生理检测的光信号检测装置及分析样本成分的方法 | |
US5963320A (en) | Active spectrometer | |
USRE32598E (en) | Feature extraction system for extracting a predetermined feature from a signal | |
US7149033B2 (en) | UV visual light beam combiner | |
EP1447651B1 (en) | Optical measuring device with wavelength-selective light source | |
JP5857499B2 (ja) | 測定装置 | |
JPS5919305B2 (ja) | 螢光分光光度計 | |
US20150208957A1 (en) | Transmission-Reflectance Swappable Raman Probe for Physiological Detections | |
JPH05281041A (ja) | 分光器 | |
JP7486178B2 (ja) | 分光分析装置 | |
WO1997025915A1 (en) | Methods and apparatus for non-invasive glucose sensing: spectrograph | |
US6414753B1 (en) | Low stray light czerny-turner monochromator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080620 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100921 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100927 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101222 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110722 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110729 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110819 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111209 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111214 |