JP2008108863A - 基板冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板載置プレートの上面近くの温度を応答性よく検出でき、効率よく冷却制御が行える基板冷却装置を提供する。
【解決手段】 基板載置プレート2の温度を検出するプレート温度センサ15を備え、該プレート温度センサ15による検出温度に応じて基板載置プレート2を冷却制御する。プレート温度センサ15が、可撓性を有する帯状フィルム体16と、該フィルム体16の内部に封止状態に配設された温度測定素子15aおよび該温度測定素子15aから導出されるリード15bとを備える。基板載置プレート2にその上面近くに至るセンサ収容凹部2aが形成され、該センサ収容凹部2a内にプレート温度センサ15の温度測定素子15a部分が配置されると共に、基板載置プレート2の上面近くの裏面側に温度測定素子15a部分が面接触状態で配置されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 基板載置プレート2の温度を検出するプレート温度センサ15を備え、該プレート温度センサ15による検出温度に応じて基板載置プレート2を冷却制御する。プレート温度センサ15が、可撓性を有する帯状フィルム体16と、該フィルム体16の内部に封止状態に配設された温度測定素子15aおよび該温度測定素子15aから導出されるリード15bとを備える。基板載置プレート2にその上面近くに至るセンサ収容凹部2aが形成され、該センサ収容凹部2a内にプレート温度センサ15の温度測定素子15a部分が配置されると共に、基板載置プレート2の上面近くの裏面側に温度測定素子15a部分が面接触状態で配置されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体ウエハ等の基板のリソグラフィー工程等で用いられる基板冷却装置に関するものである。
従来、半導体ウエハ等の基板のリソグラフィー工程において、フォトレジスト液塗布や現像工程の前後において高温に加熱処理された基板を常温付近の目標温度に冷却制御するための基板冷却装置があり、例えば、図5および図6に示されるように、半導体ウエハ等の基板1を僅かのギャップS(間隙)を有した載置状態で支持する基板載置プレート2と、基板載置プレート2の下面側に接触状態で配置されると共に、互いに適宜間隔を有して分散配置された複数の熱電モジュール3と、各熱電モジュール3の下面側に接触状態で配置された冷却体としての水冷式熱交換器である水冷ジャケット4とを備えた構造とされていた。
また、基板載置プレート2には、温度を検出するためのプレート温度センサ5が装着され、水冷ジャケット4には、冷媒としての冷却水を送給・排出するための送給口4aや排出口4bが備えられていた(例えば、特許文献1参照。)。
そして、このような構造の基板冷却装置6の基板載置プレート2上に高温の半導体ウエハ等の基板1が載置されて支持されると、基板載置プレート2に基板1の熱が伝導し、基板載置プレート2に配置されたプレート温度センサ5による検出温度に応じて、各熱電モジュール3に与えられる電圧が制御され、基板載置プレート2は下面側から各熱電モジュール3によって吸熱され、各熱電モジュール3の放熱面が水冷ジャケット4によって冷却され、ここに、制御装置による各熱電モジュール3の制御により、半導体ウエハ等の基板1の温度を所望の温度に冷却制御する構造とされていた。
このような基板冷却装置6に用いられるプレート温度センサ5は、図6にも示されるように、セラミック中に白金測温抵抗体を封入した細長状の温度測定素子5aの各リード5bにリード線7をそれぞれ接続し、温度測定素子5aの周囲やリード線7との接続部分に樹脂フィルム8を巻くと共に、リード5bとリード線7との接続部分に充填材9を充填して保護した構造とされていた。
そして、このような構造のプレート温度センサ5を、基板載置プレート2の下面側から上面近くに至って形成された細長形状のセンサ収容凹部2a内に挿入して配置する構造とされていた。
ところで、半導体ウエハ等の基板1を速やかに目的の温度に冷却するためには、基板載置プレート2の上面(表面)近くの温度をより少ない遅れ時間で測定することが好ましく、特に、基板1と基板載置プレート2上面とのギャップSをより狭く(例えば60μm以下)して高速に冷却制御する場合には、その効果がより顕著に現れる。
しかしながら、上記従来のプレート温度センサ5による温度の検出構造によれば、上下方向に細長状とされたセンサ収容凹部2a内に、細長状の温度測定素子5aが縦向き姿勢で挿入配置された構造であり、温度測定素子5aは縦方向に長さを有しているため、基板載置プレート2の上面部分だけでなく、上面から遠い部分の基板載置プレート2の温度にも影響され、全体として基板載置プレート2の厚さ方向に平均化された温度の測定値となっていた。
また、温度測定素子5aはセラミックのもろい素材で構成されているため、基板載置プレート2の裏面側へ強く押し付けて取り付けると破損するおそれがある。このため、単に挿入状態で配置して使用するため、基板載置プレート2とプレート温度センサ5とが密着していないおそれもあり、この点からも良好な温度の検出が行えないおそれがあった。
そこで、図7の提案例に示されるように、金属等の熱伝導性のよいケース体10内に温度測定素子11aを横向き姿勢で配置すると共に、リード11bとリード線7との接続部分等を保護すべく、絶縁物12を充填した構造のプレート温度センサ11を、基板載置プレート2の上面近くに至って形成されたセンサ収容凹部2a内に取り付ける構造とすることも考えられる。
このような構造のプレート温度センサ11においては、ケース体10が丈夫であるため、基板載置プレート2の裏面側にしっかりと押し付けて取り付けることが可能であるが、ケース体10等の熱容量が大きくなって、温度測定素子11aによる温度の検出時における応答性が悪くなるという欠点が生じる。
そこで、本発明の解決しようとする課題は、基板載置プレートの上面近くの温度を応答性よく検出でき、効率よく冷却制御が行える基板冷却装置を提供することにある。
前記課題を解決するための技術的手段は、基板を載置状態で支持する基板載置プレートの温度を検出するプレート温度センサを備え、該プレート温度センサによる検出温度に応じて基板載置プレートを冷却制御する基板冷却装置において、前記プレート温度センサが、可撓性を有する帯状フィルム体と、該フィルム体の内部に封止状態に配設された温度測定素子および該温度測定素子から導出されるリードとを備え、前記基板載置プレートにその上面近くに至るセンサ収容凹部が形成され、該センサ収容凹部内に前記プレート温度センサの前記温度測定素子部分が配置されると共に、基板載置プレートの上面近くの裏面側に温度測定素子部分が面接触状態で配置されている点にある。
また、前記プレート温度センサの前記温度測定素子部分が、前記基板載置プレートの上面近くの前記裏面側に接着もしくは熱融着により取り付けられている構造としてもよい。
さらに、前記センサ収容凹部は、前記基板載置プレートの下面から上面方向に向けて形成され、前記プレート温度センサの前記温度測定素子部分を前記裏面側に圧接する弾性体が温度測定素子部分の下面側に配置されると共に、その弾性体を保持する押さえ板が基板載置プレートの下面側に着脱自在に取り付けられている構造としてもよい。
本発明の基板冷却装置によれば、プレート温度センサが、可撓性を有する帯状フィルム体と、該フィルム体の内部に封止状態に配設された温度測定素子および該温度測定素子から導出されるリードとを備え、基板載置プレートにその上面近くに至るセンサ収容凹部が形成され、該センサ収容凹部内にプレート温度センサの温度測定素子部分が配置されると共に、基板載置プレートの上面近くの裏面側に温度測定素子部分が面接触状態で配置されている構造とされており、いわゆるプレート温度センサが可撓性を有した構造となるため、温度測定素子部分を基板載置プレートの上面近くの裏面側に面接触状態で配置することが可能となると共に、押し付け状態で配置することも可能となる。
従って、基板載置プレートの上面近くの温度を、その上面から遠い部分の影響を受けずに広い接触面積を通じて検出でき、また、フィルム体の熱容量は、上記のようなケース体等で保護された構造のプレート温度センサよりもはるかに小さいため、応答性よく検出でき、ここに、基板載置プレートの上面近くの温度を応答性よく検出でき、冷却制御時における基板載置プレートの温度の乱れを少なくして、速やかに目的の温度に効率よく制御することができ、その結果、基板を効率よく冷却制御することができる利点がある。
また、プレート温度センサの温度測定素子部分が、基板載置プレートの上面近くの裏面側に接着もしくは熱融着により取り付けられている構造とすれば、簡単な構造でプレート温度センサを取り付けることができる利点がある。
さらに、センサ収容凹部は、基板載置プレートの下面から上面方向に向けて形成され、プレート温度センサの温度測定素子部分を裏面側に圧接する弾性体が温度測定素子部分の下面側に配置されると共に、その弾性体を保持する押さえ板が基板載置プレートの下面側に着脱自在に取り付けられている構造とすれば、メンテナンス時等において、押さえ板を取り外すことにより、プレート温度センサの交換を容易に行うことができる利点がある。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明すると、図5に示される前述基板冷却装置6と同様、半導体ウエハ等の基板1を僅かのギャップSを有した載置状態で支持する基板載置プレート2と、該基板載置プレート2の下面側に接触状態で分散配置された複数の熱電モジュール3と、各熱電モジュール3の下面側に接触状態で配置された冷却体としての水冷式熱交換器である水冷ジャケット4とを備えた構造とされている。
前記水冷ジャケット4は、アルミニウムやアルミニウム合金等から形成された平面視円形のブロック状とされたジャケット本体を備え、また該ジャケット本体内には蛇行状に配置された冷媒送給パイプとを備え、冷媒送給パイプの一端部である送給口4aから冷媒としての冷却水を送給し、他端部である排出口4bから排出する構造とされている。なお、水冷ジャケット4は冷却対象である基板1よりも一回り大きな円形とされている。
そして、水冷ジャケット4のジャケット本体上面に、各熱電モジュール3が互いに適宜間隔を有した所定の位置に分散配置されている。
また、各熱電モジュール3の上面にまたがってアルミニウムやアルミニウム合金等から形成された基板載置プレート2が配置されており、基板載置プレート2は、水冷ジャケット4のジャケット本体と同様、平面視円形でジャケット本体と同径のブロック状に形成されている。
そして、平面視で基板載置プレート2と水冷ジャケット4のジャケット本体とが重なり合った状態で、基板載置プレート2と水冷ジャケット4とを各熱電モジュール3を避けた適宜位置で互いにネジ締結する構造とされ、このネジ締結により、基板載置プレート2と水冷ジャケット4との互いの対向面間に各熱電モジュール3を挟み込んだ状態で連結して固定する構造とされている。
また、各熱電モジュール3は図示省略の制御装置に配線接続され、各熱電モジュール3の水冷ジャケット4側の当接面は放熱面とされ、基板載置プレート2側の当接面は吸熱面として機能する構成とされている。
図1ないし図3に示されるように、前記基板載置プレート2には、従来同様、温度を検出するためのプレート温度センサ15が装着されており、本実施形態では、プレート温度センサ5が、白金測温抵抗体等からなる薄肉矩形状の温度測定素子15aと、該温度測定素子15aから導出される導電線等からなるリード15bと、これら温度測定素子15aとリード15bを上下から挟んで互いに接着もしくは融着された細長帯状の可撓性を有する対のフィルム16a,16b(例えば、ポリイミドやシリコンラバー等からなる)とを備えた構造とされている。
従って、プレート温度センサ15は、上下のフィルム16a,16bからなる可撓性を有する帯状フィルム体16の内部に温度測定素子15aやリード15bが封止状態で配設された構造とされており、フィルム体16の長さ方向他端部で露出状とされた各リード15bにそれぞれリード線17が接続されて、その接続部分18が絶縁テープ等で巻装された構造とされ、リード線17の他端部が従来同様、図示省略の制御装置に配線接続される構造とされている。ここに、プレート温度センサ15はフィルム体16の厚み方向に撓み変形可能な可撓性を有した構造とされる。
そして、基板載置プレート2には、プレート温度センサ15のフィルム体16よりも僅かに幅広の矩形のセンサ収容凹部2aが、基板載置プレート2の下面から上面方向に向けて上面近くに至って形成されており、プレート温度センサ15一端部の温度測定素子15a部分がセンサ収容凹部2a内に配置されると共に、センサ収容凹部2aの底部である基板載置プレート2の上面近く(例えば上面から4mm以内)の裏面側に配置された構造とされている。
また、この温度測定素子15a部分の下面側には、クロロプレンゴム等のクッション材からなる直方体形状の弾性体19が圧縮状態で装着されると共に、センサ収容凹部2a内に弾性体19を保持すべく、センサ収容凹部2aを略覆う矩形の押さえ板20が、基板載置プレート2の下面側に固定ネジ21によるネジ締結により着脱自在に取り付けられた構造とされている。
ここに、プレート温度センサ15における温度測定素子15a部分は、弾性体19による付勢力により基板載置プレート2の上面近くの裏面側に押し付けられて面接触状態で密着する構造とされている。
そして、このプレート温度センサ15によって検出された温度に基づき、制御装置により各熱電モジュール3に与えられる電圧が制御され、基板載置プレート2の、特に上面の温度を所定の温度に制御するように構成されている。
また、基板載置プレート2の上面には、図5にも示されるように、少なくとも3箇所以上の複数の微小な支持突起が周方向等に適宜間隔を有して備えられており、各支持突起上に基板1が載置されて支持され、ここに、基板載置プレート2の上面と僅かのギャップSを有して支持される構造とされている。
本実施形態は以上のように構成されており、基板載置プレート2の各支持突起上に高温の半導体ウエハ等の基板1が載置状態で支持されて、基板1の冷却制御が開始されると、プレート温度センサ15により基板載置プレート2の上面部分の温度が検出され、その検出温度に応じて各熱電モジュール3が制御され、基板載置プレート2を介して下面側から各熱電モジュール3によって吸熱され、各熱電モジュール3の放熱面が水冷ジャケット4によって冷却され、ここに、制御装置によるプレート温度センサ15の検出温度に応じた各熱電モジュール3の制御により、基板1の温度を所望の温度に制御することができる。
そして、本実施形態においては、プレート温度センサ15が可撓性を有しており、温度測定素子15a部分を基板載置プレート2の上面近くの裏面側に、弾性体19による付勢力により常時押し付けた面接触状態で配置した構造とされているため、基板載置プレート2の上面近くの温度を、その上面から遠い部分の影響を受けずに検出できる。
また、センサ収容凹部2aの底部である裏面側の平面に対して、プレート温度センサ15の温度測定素子15a部分を面接触状態で押し付けているため、フィルム体16の可撓性によって温度の測定面である基板載置プレート2の前記裏面側に良好にフィットし、良好な密着状態が得られ、ここに、広い接触面積を通じて基板載置プレート2の上面近くの温度を検出でき、精度よく温度が検出できる。この温度測定素子15a部分の押し付けに際して、フィルム体16が可撓性を有するため、プレート温度センサ15の破損も有効に防止できる。
さらに、フィルム体16の熱容量は、前述のようなケース体10や絶縁物11で保護された構造のプレート温度センサ5よりもはるかに小さいため、応答性よく検出でき、ここに、基板載置プレート2の上面近くの温度を応答性よく検出できるため、冷却制御時における基板載置プレート2の温度の乱れを少なくして、速やかに目的の温度に効率よく制御することができる。その結果、基板1を目的の温度に効率よく冷却制御することができる利点がある。
そして、基板載置プレート2の上面近くの温度を応答性よく検出できることから、基板1と基板載置プレート2上面とのギャップSをより狭く(例えば60μm以下)して高速に冷却制御する場合でも良好に対応できる利点がある。
また、プレート温度センサ15は弾性体19による付勢力でセンサ収容凹部2a内に保持された構造であり、押さえ板20を取り外すことにより、弾性体19やプレート温度センサ15を容易に取り外すことができ、メンテナンス時等において、プレート温度センサ15の交換を容易に行うことができる利点がある。
図4は所定の高温に加熱処理された半導体ウエハからなる基板1を、基板冷却装置6の基板載置プレート2上に載置して目標温度に冷却制御した場合の、本実施形態におけるプレート温度センサ15によって検出された温度測定値および前述従来構造のプレート温度センサ5によって検出された温度測定値と、基板冷却装置6における冷却出力との相互間の関係図を示している。
図4から解るように、高温の基板1が載置されると、基板載置プレート2の温度は基板1からの熱が伝導するために上昇し、各熱電モジュール3の吸熱作用によって下降する。
そして、従来構造のプレート温度センサ5の方が、温度の上がり方が小さく、本実施形態の構造のプレート温度センサ15の方が、温度の上がり方が大きいことが解る。このような原因として、従来構造のプレート温度センサ5の方においては、基板載置プレート2の上面から遠い部分、即ち基板載置プレート2の高さ方向中間部分の温度の低い部分の影響を受けていることや、プレート温度センサ5がセンサ収容凹部2a内において基板載置プレート2の裏面側に良好に密着されていないこと等が考えられる。
これに対して、本実施形態の構造のプレート温度センサ15の方においては、基板載置プレート2の温度の上昇を応答性よく反映しており、冷却時の基板載置プレート2の温度の乱れを少なくして、速やかに目的の温度に冷却制御することができることが解る。
そして、従来構造のプレート温度センサ5の方においては、応答性に劣るため、冷却時にアンダーシュートが生じて、基板載置プレート2の温度に乱れが生じ、効率のよい冷却制御が行い難いことが解る。
なお、上記実施形態においては、プレート温度センサ15における温度測定素子15a部分を弾性体19の付勢力により押圧して、基板載置プレート2の上面近くの裏面側に面接触状態で密着させた構造を示しているが、プレート温度センサ15における温度測定素子15a部分を接着剤による接着や、熱融着により面接触状態で密着させる構造等であってもよい。
このようにプレート温度センサ15の温度測定素子15a部分を、接着や熱融着により、基板載置プレート2の上面近くの裏面側に面接触状態で密着させる構造とすれば、簡単な構造でプレート温度センサ15を容易に取り付けることができるという利点がある。
また、上記実施形態においては、弾性体19によりプレート温度センサ15の温度測定素子15a部分を前記裏面側に押し付ける構造を示しているが、弾性体19に限らず、剛体構造のブロック体等をあてがって押さえ板20で押し付け固定する構造等であってもよく、何ら実施形態の構造に限定されない。
さらに、センサ収容凹部2aが上下方向鉛直状に形成された構造を示しているが、傾斜状に形成する構造等であってもよく、何ら実施形態の構造に限定されない。
1 基板
2 基板載置プレート
2a センサ収容凹部
15 プレート温度センサ
15a 温度測定素子
15b リード
16 フィルム体
19 弾性体
20 押さえ板
21 固定ネジ
2 基板載置プレート
2a センサ収容凹部
15 プレート温度センサ
15a 温度測定素子
15b リード
16 フィルム体
19 弾性体
20 押さえ板
21 固定ネジ
Claims (3)
- 基板(1)を載置状態で支持する基板載置プレート(2)の温度を検出するプレート温度センサ(15)を備え、該プレート温度センサ(15)による検出温度に応じて基板載置プレート(2)を冷却制御する基板冷却装置において、
前記プレート温度センサ(15)が、可撓性を有する帯状フィルム体(16)と、該フィルム体(16)の内部に封止状態に配設された温度測定素子(15a)および該温度測定素子(15a)から導出されるリード(15b)とを備え、
前記基板載置プレート(2)にその上面近くに至るセンサ収容凹部(2a)が形成され、該センサ収容凹部(2a)内に前記プレート温度センサ(15)の前記温度測定素子(15a)部分が配置されると共に、基板載置プレート(2)の上面近くの裏面側に温度測定素子(15a)部分が面接触状態で配置されていることを特徴とする基板冷却装置。 - 請求項1に記載の基板冷却装置において、
前記プレート温度センサ(15)の前記温度測定素子(15a)部分が、前記基板載置プレート(2)の上面近くの前記裏面側に接着もしくは熱融着により取り付けられていることを特徴とする基板冷却装置。 - 請求項1に記載の基板冷却装置において、
前記センサ収容凹部(2a)は、前記基板載置プレート(2)の下面から上面方向に向けて形成され、前記プレート温度センサ(15)の前記温度測定素子(15a)部分を前記裏面側に圧接する弾性体(19)が温度測定素子(15a)部分の下面側に配置されると共に、その弾性体(19)を保持する押さえ板(20)が基板載置プレート(2)の下面側に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする基板冷却装置。
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JP2006289493A JP2008108863A (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 基板冷却装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011145240A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置における測温素子取り付け構造 |
JP2017157617A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 日本特殊陶業株式会社 | 加熱部材及び静電チャック |
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2006
- 2006-10-25 JP JP2006289493A patent/JP2008108863A/ja active Pending
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