JP2008108652A - 有機デバイスの製造方法および有機デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】有機素子上の保護膜の封止性能を向上させる。
【解決手段】基板100上に形成された、第1電極103、有機化合物104、第2電極105を含む有機素子101上に、外部の水分や酸素の侵入を防ぐための保護層102を設ける。保護層102は、プラズマCVD法によって有機素子101にダメージを与えることなく成膜された第1の保護膜106と、第1の保護膜106上にスパッタリング法によって成膜された密着性が高く高密度な第2の保護膜107を有する。
【選択図】図1
【解決手段】基板100上に形成された、第1電極103、有機化合物104、第2電極105を含む有機素子101上に、外部の水分や酸素の侵入を防ぐための保護層102を設ける。保護層102は、プラズマCVD法によって有機素子101にダメージを与えることなく成膜された第1の保護膜106と、第1の保護膜106上にスパッタリング法によって成膜された密着性が高く高密度な第2の保護膜107を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)デバイスあるいは有機TFT等の有機デバイスの製造方法および有機デバイスに関するものである。
有機ELデバイスは、一対の電極とその間に配置される有機化合物層とから少なくとも構成された有機素子を有する。その有機素子の上に保護膜を設けることが知られており、保護膜の成膜技術としては真空中で不純物を断って薄膜を形成する技術がある。例えば、プラズマCVD法(化学的気相蒸着法)を利用した技術は特許文献1に開示され、スパッタリング法(物理的気相蒸着法)を利用した技術は特許文献2に開示されている。
プラズマCVD法では、平坦化性がよく低応力な膜が形成できる反面、膜密着性と高速成膜性には難点がある。また、スパッタリング法では、高速成膜性を実現しながら密着性の高い高密度な薄膜を形成できる反面、膜応力が強く、カバレッジ性、平坦化性には難点がある。
さらに、スパッタリング法とプラズマCVD法を組合わせた技術としては特許文献3がある。しかしながら特許文献3に開示された方法は、有機素子を覆う第1層にスパッタリング法を適用し、第1層を覆う第2層にプラズマCVD法を適用するため、保護膜の封止性能を増幅するには至らない。すなわち、第1層において素子に膜応力ダメージを与え、かつ第1層の表面平坦性を大きく損なってしまう。その上から第2層によって第1層の表面を封止するには大きな困難を伴うため、実用的ではない。
特開平5−335080号公報
特開2004−288543号公報
特開2004−127608号公報
有機素子は一般に微量の水分や酸素分と反応し、その特性が劣化し寿命を損なってしまう。また、有機ELデバイスのような有機デバイスに保護膜を形成する場合、熱ダメージ、プラズマダメージ、膜応力ダメージ等があると、有機素子が変性や分解を起こしてしまう。
したがって有機デバイスの保護膜には、有機素子にダメージを与えずに外部からの水分や酸素分を封止する封止性能が求められる。
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、有機素子上の保護膜の封止性能を向上させることのできる有機デバイスの製造方法および有機デバイスを提供することを目的とするものである。
本発明の有機デバイスの製造方法は、一対の電極の間に配置された有機化合物層を有する有機素子を形成する工程と、前記有機素子を覆うように、プラズマCVD法によって第1の保護膜を形成する第1の保護膜形成工程と、前記第1の保護膜上に、スパッタリング法によって第2の保護膜を形成する第2の保護膜形成工程と、を有することを特徴とする。
プラズマCVD法による第1の保護膜形成時には、有機素子に対するダメージが少なくて平坦化性のよい、低応力な保護膜が形成される。また、スパッタリング法による第2の保護膜形成時には、密着性の高い高密度な保護膜を高速で成膜できる。
プラズマCVD法による成膜後にスパッタリング法による成膜を行うという手順で2つの保護膜を形成することで、封止性能の格段に高い長寿命の有機デバイスを効率よく製造できる。
本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示す有機デバイスは、基板100上に形成された有機素子101と、封止性能の高い保護層102と、を有する。有機素子101は、第1電極103上に有機化合物層104を形成し、その上に第2電極105を重ねた構成を有する。保護層102は、有機素子101を覆う第1の保護膜106と、その上に成膜された第2の保護膜107と、を有する。
有機素子101に密着する第1の保護膜106は、プラズマCVD法を用いて成膜する。この成膜工程(第1の保護膜形成工程)では、膜応力ダメージを与えることなく、段差を有する有機素子101上にカバレッジ性の良い膜が得られる。
さらに、第1の保護膜106を覆う第2の保護膜107をスパッタリング法を用いて成膜する。この成膜工程(第2の保護膜形成工程)では、平坦化のなされた下地の上に密着性の高い高密度な膜が高速で得られる。しかも、カバレッジ性よく第1の保護膜106が形成されているため、有機素子101に及ぼす第2の保護膜107の膜応力ダメージは低減される。
このようにそれぞれの成膜方法の長所を生かし、短所を打消し合いながら保護膜を形成できるので保護膜の特性である封止性能が格段に向上する。
ここでいう保護膜の特性である封止性能とは、より具体的には保護膜で封止した素子が60℃90%RH高温高湿耐久時間500時間以上を経て発光時にダークスポットを生じない性能である。より好ましくは1000時間以上を経て発光時にダークスポットを生じない性能である。この数値500時間以上とは第1の保護膜の成膜と第2の保護膜の成膜を以上の方法で行わなければ単純には達成し得ない数値である。以上の製法で得られる有機デバイスの保護膜の特性については後述する実施例と比較例において詳しく説明する。
第1および第2の保護膜は、窒化シリコンあるいは窒化酸化シリコンからなる膜、あるいはこれらの組成にさらに水素等が付加された膜等であり、スパッタリング法やプラズマCVD法により得られる膜である。保護膜の上にさらに別の部材、例えばカバーガラスのようなガラスや樹脂部材等が配置されていてもよい。
本実施の形態の有機素子とは有機EL素子や有機TFT等である。
有機EL素子の場合は、一対の電極とその間に配置される発光層である有機化合物とから少なくとも構成される。
有機TFTの場合は、ソース、ゲート、ドレイン各電極と、ソースドレイン電極間に配置される有機半導体層とから少なくとも構成され、保護膜は、ゲート電極側に配置されていてもよい。あるいはゲート電極とは反対側に配置されてもよい。
2インチ角TFT基板の上に次の公知の材料を用いて図1に示す膜構成の有機EL素子を作製した。すなわち第1電極としてCrを配設したTFT基板にUV/オゾン洗浄処理を施した上に、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層からなる有機発光層をそれぞれ以下の材料によって真空蒸着法で形成した。
さらに電子注入層として上記のフェナントロリン化合物と炭酸セシウムCs2 CO3 を100:1の重量比で共蒸着し40nmの膜厚で形成した。
この上にスパッタリング法によるITO薄膜である第2電極を220nmの膜厚で成膜し画素を形成した。
その後、プラズマCVD法によって第1の保護膜を1μmの膜厚で形成した。この保護膜は、SiH4 ガス4sccm、N2 ガス200sccm、高周波電力40W、圧力70Paの条件の下で成膜した。次に、スパッタリング法によって第2の保護膜を1μmの膜厚で形成した。この保護膜は、Siターゲットを用いてArガス30sccm、N2 ガス8sccm、O2 ガス2sccm、直流電流2A、圧力0.7Paの条件の下で成膜した。
こうして作製したサンプルAに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間500時間までダークスポットは検出されなかった。
(比較例1)
図2に示すように、実施例と同様の方法で基板200上に、第1電極203、有機化合物層204、第2電極205からなる有機素子201を形成した上に、スパッタリング法によって保護膜202を膜厚2μmで実施例の第2の保護膜と同様の条件で成膜した。こうして作製したサンプルBに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間100時間にてダークスポットが検出された。
図2に示すように、実施例と同様の方法で基板200上に、第1電極203、有機化合物層204、第2電極205からなる有機素子201を形成した上に、スパッタリング法によって保護膜202を膜厚2μmで実施例の第2の保護膜と同様の条件で成膜した。こうして作製したサンプルBに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間100時間にてダークスポットが検出された。
(比較例2)
実施例と同様の方法で第2電極まで形成し、プラズマCVD法による保護膜を膜厚2μmで実施例の第1の保護膜と同様の条件で成膜した。こうして作製したサンプルCに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間300時間にてダークスポットが検出された。
実施例と同様の方法で第2電極まで形成し、プラズマCVD法による保護膜を膜厚2μmで実施例の第1の保護膜と同様の条件で成膜した。こうして作製したサンプルCに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間300時間にてダークスポットが検出された。
(比較例3)
実施例と同様の方法で第2電極まで形成した基板に、スパッタリング法による第1の保護膜1μmを実施例の第2の保護膜と同様の条件で成膜した。次に、プラズマCVD法による第2の保護膜1μmを実施例の第1の保護膜と同様の条件で成膜した。こうして作製したサンプルDに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間300時間にてダークスポットが検出された。
実施例と同様の方法で第2電極まで形成した基板に、スパッタリング法による第1の保護膜1μmを実施例の第2の保護膜と同様の条件で成膜した。次に、プラズマCVD法による第2の保護膜1μmを実施例の第1の保護膜と同様の条件で成膜した。こうして作製したサンプルDに60℃90%RH高温高湿耐久試験を行い、一定時間後に発光してダークスポットの数を計測したところ、高温高湿耐久時間300時間にてダークスポットが検出された。
以上の結果を表1にまとめた。
表1から、第1の保護膜をプラズマCVD法で形成し第2の保護膜をスパッタリング法で形成した有機デバイスであるサンプルAは、保護膜の封止性能において比較例1〜3のサンプルB、C、Dに比べて優位であることがわかる。また、近い封止性能を有するものと比較しても成膜時間に遜色がない。したがって、本実施例の有機デバイスはデバイスの特性長寿命化と作製の高効率化に寄与することが判明した。
100 基板
101 有機素子
102 保護層
106 第1の保護膜
107 第2の保護膜
101 有機素子
102 保護層
106 第1の保護膜
107 第2の保護膜
Claims (3)
- 一対の電極の間に配置された有機化合物層を有する有機素子を形成する工程と、
前記有機素子を覆うように、プラズマCVD法によって第1の保護膜を形成する第1の保護膜形成工程と、
前記第1の保護膜上に、スパッタリング法によって第2の保護膜を形成する第2の保護膜形成工程と、を有することを特徴とする有機デバイスの製造方法。 - 前記有機化合物層は有機発光層であり、前記有機素子は有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項1記載の有機デバイスの製造方法。
- 一対の電極の間に配置された有機化合物層を有する有機素子と、前記有機素子を覆うようにプラズマCVD法によって形成された第1の保護膜と、前記第1の保護膜上にスパッタリング法によって形成された第2の保護膜と、を備えたことを特徴とする有機デバイス。
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Cited By (2)
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JP2009037811A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 有機el装置の製造方法 |
JP2012209209A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
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2006
- 2006-10-27 JP JP2006291923A patent/JP2008108652A/ja active Pending
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