JP2008103755A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2008103755A5
JP2008103755A5 JP2007319013A JP2007319013A JP2008103755A5 JP 2008103755 A5 JP2008103755 A5 JP 2008103755A5 JP 2007319013 A JP2007319013 A JP 2007319013A JP 2007319013 A JP2007319013 A JP 2007319013A JP 2008103755 A5 JP2008103755 A5 JP 2008103755A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
link body
wafer
axis
substrate
link
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007319013A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4746027B2 (ja
JP2008103755A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007319013A priority Critical patent/JP4746027B2/ja
Priority claimed from JP2007319013A external-priority patent/JP4746027B2/ja
Publication of JP2008103755A publication Critical patent/JP2008103755A/ja
Publication of JP2008103755A5 publication Critical patent/JP2008103755A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4746027B2 publication Critical patent/JP4746027B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007319013A 2007-12-10 2007-12-10 基板搬送方法 Active JP4746027B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007319013A JP4746027B2 (ja) 2007-12-10 2007-12-10 基板搬送方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007319013A JP4746027B2 (ja) 2007-12-10 2007-12-10 基板搬送方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006198771A Division JP4098338B2 (ja) 2006-07-20 2006-07-20 ウェハ移載装置および基板移載装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2008103755A JP2008103755A (ja) 2008-05-01
JP2008103755A5 true JP2008103755A5 (https=) 2009-09-03
JP4746027B2 JP4746027B2 (ja) 2011-08-10

Family

ID=39437782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007319013A Active JP4746027B2 (ja) 2007-12-10 2007-12-10 基板搬送方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4746027B2 (https=)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5364769B2 (ja) 2011-09-26 2013-12-11 株式会社安川電機 搬送ロボットおよび基板処理装置
TWI725303B (zh) * 2012-02-10 2021-04-21 美商布魯克斯自動機械公司 基材處理設備
US9293355B2 (en) 2012-11-09 2016-03-22 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Substrate transfer system and substrate processing system
JP6468159B2 (ja) * 2015-10-15 2019-02-13 株式会社安川電機 搬送システムおよび搬送方法
WO2023188181A1 (ja) * 2022-03-30 2023-10-05 平田機工株式会社 基板搬送システム及び移載ロボット
WO2025062703A1 (ja) * 2023-09-20 2025-03-27 株式会社Kokusai Electric 基板処理装置、基板処理ユニット、基板処理方法及びプログラム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3453223B2 (ja) * 1994-08-19 2003-10-06 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JPH11135595A (ja) * 1997-10-30 1999-05-21 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 基板受渡し装置
AU2002322504A1 (en) * 2001-07-13 2003-01-29 Broks Automation, Inc. Trajectory planning and motion control strategies for a planar three-degree-of-freedom robotic arm

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4098338B2 (ja) ウェハ移載装置および基板移載装置
JP4980127B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP4746027B2 (ja) 基板搬送方法
CN115088062B (zh) 水平多关节机器人以及包括水平多关节机器人的基板运送系统
JP7841197B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP2008103755A5 (https=)
EP1892755B1 (en) Substrate Container Opener and Opener-Side Door Drive Mechanism Thereof
JP2012035408A (ja) 基板搬送ロボット
TWI839595B (zh) 機器人以及包括機器人的基板運送系統
JP6027661B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP2017017355A (ja) 基板搬送ロボット
JP5819357B2 (ja) 基板搬送装置および基板搬送ロボット
JP6649995B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP6640923B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP2011161629A (ja) 基板搬送ロボット
JP5819356B2 (ja) 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
JP2013016843A (ja) 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体処理設備
JP2018152609A (ja) 基板搬送ロボット
JP2004096075A (ja) 真空処理装置