JP2008095160A - Treatment tank - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a treatment tank which can prevent a pressure difference from forming between treatment liquids jetted from nozzle holes in the base side and the end side of a nozzle pipe which jets the treatment liquid. <P>SOLUTION: The treatment tank has a structure comprising: the main body of the treatment tank to be filled with the treatment liquid; a nozzle pipe 4 arranged therein; and a plurality of nozzle holes 16 which are arranged in the nozzle pipe 4 and jet the treatment liquid to a thin sheet to be treated. The nozzle pipe 4 comprises: the main body 12 of the pipe for passing the treatment liquid 2 therein; a plurality of branched holes 14 for diverging the treatment liquid from the main body 12 and passing the diverged treatment liquids therein; and a chamber 15 which is arranged between the plurality of the branched holes 14 and the plurality of the nozzle holes 16. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は薄物シートを処理するための処理槽に関する。   The present invention relates to a processing tank for processing a thin sheet.

従来、電気メッキ装置におけるクリップ式のワークハンガーとして、メッキ液中に入れられてメッキ処理される略平板状のワークを懸垂状態に支持し、電流を陰極バーに横移動自在に吊り下げ支持されるとともに、該陰極バーに導電的に接触される支持部材と、この支持部材の下部に導電的に接続されるように面接触状態に固着され、前記ワークの横長辺の方向に沿って延ばされた横長基板と、この横長基板にそれぞれ取り付けられ、前記ワークの上部を挟持し、該ワークを懸垂状態に吊り下げ支持する複数の挟持クリップとから構成されるものが提供されている（特許文献１参照）。
また従来、薄形基板のめっき装置として、被めっき部材である薄形基板の大きさに合わせて中央部に開口部を形成し、開口部に薄形基板を着脱自在に装着し得る構造とした金属製の枠を有するものが提供されている（特許文献２参照）。 Conventionally, as a clip-type work hanger in an electroplating apparatus, a substantially flat work put into a plating solution and plated is supported in a suspended state, and a current is supported by being suspended horizontally on a cathode bar. And a support member that is conductively contacted with the cathode bar, and is fixed in a surface contact state so as to be conductively connected to a lower portion of the support member, and is extended along the direction of the lateral long side of the workpiece. And a plurality of holding clips that are attached to the horizontal board, hold the upper part of the work, and support the work in a suspended state (Patent Document 1). reference).
Conventionally, as a thin substrate plating apparatus, an opening is formed in the central portion according to the size of the thin substrate that is a member to be plated, and the thin substrate can be detachably mounted in the opening. The thing with a metal frame is provided (refer patent document 2).

特開２００３−３２８１９３号公報（第４−６頁、第２図）JP 2003-328193 A (page 4-6, FIG. 2) 特開平０８−１０４９９８号公報（第２−３頁、第１図）Japanese Patent Laid-Open No. 08-104998 (page 2-3, FIG. 1)

上記従来のワークハンガーのような薄物シートを処理するための処理槽にあっては、処理液を噴射するためのノズル管において、その基端側と末端側との間でノズル孔から噴射される処理液に圧力差が生じ、該処理液の均一な噴射ができず、ワークの表面を均一にメッキ処理することができない場合があるという問題があった。
本発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、処理液を噴射するノズル管の基端側と末端側との間でノズル孔から噴射される処理液に圧力差が生じることを抑制することができる処理槽を提供することにある。 In a processing tank for processing a thin sheet such as the conventional work hanger, a nozzle tube for injecting a processing liquid is injected from a nozzle hole between a base end side and a terminal end side. There is a problem that a pressure difference is generated in the processing liquid, and the processing liquid cannot be uniformly sprayed, and the surface of the workpiece may not be uniformly plated.
The present invention has been made paying attention to such problems existing in the prior art. The object is to provide a treatment tank capable of suppressing the occurrence of a pressure difference in the treatment liquid ejected from the nozzle hole between the proximal end side and the distal end side of the nozzle tube that ejects the treatment liquid. There is.

本発明は上記従来の課題を解決するための手段として、処理液が充填される処理槽本体内にノズル管を配設し、該ノズル管に設けられた複数のノズル孔から被処理材である薄物シートに処理液を噴射するように構成した処理槽において、該ノズル管には、処理液を流動させる管本体と、該管本体から処理液を分岐して流動させる複数の分岐孔とが設けられるとともに、該複数の分岐孔と該複数のノズル孔の間にチャンバー室が設けられている処理槽を提供するものである。   As a means for solving the above-mentioned conventional problems, the present invention provides a material to be treated from a plurality of nozzle holes provided in a nozzle tube provided in a treatment tank body filled with a treatment liquid. In the treatment tank configured to inject the treatment liquid onto the thin sheet, the nozzle pipe is provided with a pipe body for flowing the treatment liquid and a plurality of branch holes for branching and flowing the treatment liquid from the pipe body. And a treatment tank in which a chamber chamber is provided between the plurality of branch holes and the plurality of nozzle holes.

本発明の処理槽によれば、複数の分岐孔と複数のノズル孔の間にチャンバー室が設けられているため、管本体から複数の分岐孔へ分岐した処理液は、一旦チャンバー室に集められた後、複数のノズル孔に分かれて送り出されるようになっている。したがって、処理液は、チャンバー室に集められた際に圧力を略均一とされて各ノズル孔へと送り出される。こように圧力を略均一とされて各ノズル孔へと送り出された処理液は、各ノズル孔から略均一な圧力で被処理材に噴射されるため、被処理材である薄物シートを揺動させにくく、該薄物シートの表面を均一に処理することができるようになる。
なお、一般には処理液が管本体から直接的にノズル孔へと分岐して送られるため、ノズル孔からの処理液の噴射に係る圧力は、管本体内における処理液の流動によって生じる圧力に影響され、また処理液の流動によって生じる圧力は、処理液がノズル管の基端から末端へと流動する間に損失する。したがって、各ノズル孔から噴射される処理液は、ノズル管の末端から噴射されるものほど圧力が低く、またこのような圧力差に起因して被処理材である薄物シートが揺動してしまい、該薄物シートの表面を均一に処理することが難しくなってしまう。 According to the treatment tank of the present invention, since the chamber chamber is provided between the plurality of branch holes and the plurality of nozzle holes, the treatment liquid branched from the pipe body to the plurality of branch holes is once collected in the chamber chamber. After that, it is divided into a plurality of nozzle holes and sent out. Therefore, when the processing liquid is collected in the chamber, the pressure is made substantially uniform and is sent out to each nozzle hole. Since the processing liquid sent to each nozzle hole in such a manner that the pressure is substantially uniform is ejected from each nozzle hole to the material to be processed with substantially uniform pressure, the thin sheet as the material to be processed is swung. The surface of the thin sheet can be processed uniformly.
In general, since the processing liquid is branched and sent from the pipe body directly to the nozzle hole, the pressure related to the injection of the processing liquid from the nozzle hole affects the pressure generated by the flow of the processing liquid in the pipe body. The pressure generated by the flow of the processing liquid is lost while the processing liquid flows from the proximal end to the distal end of the nozzle tube. Accordingly, the processing liquid sprayed from each nozzle hole has a lower pressure as it is sprayed from the end of the nozzle tube, and the thin sheet as the material to be processed swings due to such a pressure difference. , It becomes difficult to uniformly treat the surface of the thin sheet.

また、該チャンバー室において、分岐孔から処理液が流れ込む部位を入口とし、処理液がノズル孔へ流れ込む部位を出口として、該入口の中心から処理液の流動方向に沿って延びる直線と、該出口の中心から処理液の流動方向に沿って延びる直線とが一直線上で重ならないように、該入口に対して該出口の位置がずらされていることが望ましい。
上記のようにチャンバー室において入口に対して出口の位置をずらした場合、チャンバー室内で処理液が入口から出口へと直接的に流れ込むことにより、管本体における処理液の流動の圧力がノズル孔における処理液の噴射の圧力に影響を与えることを抑制することができる。 In the chamber chamber, a portion where the processing liquid flows from the branch hole is an inlet, a portion where the processing liquid flows into the nozzle hole is an outlet, a straight line extending along the flow direction of the processing liquid from the center of the inlet, and the outlet It is desirable that the position of the outlet is shifted with respect to the inlet so that the straight line extending in the flow direction of the processing liquid from the center of the nozzle does not overlap on a straight line.
When the position of the outlet is shifted with respect to the inlet in the chamber chamber as described above, the processing liquid flows directly from the inlet to the outlet in the chamber chamber, so that the flow pressure of the processing liquid in the tube body is changed in the nozzle hole. It is possible to suppress the influence of the pressure of the treatment liquid injection.

また、該ノズル孔には、噴射される処理液の助走区間が設けられていることが望ましい。
上記のように送出路に処理液の助走区間を設けた場合、ノズル孔から被処理材に向かって処理液がまっすぐに噴射されるように、該処理液に方向性を付与することができる。 Moreover, it is desirable that the nozzle hole is provided with a run-up section for the sprayed processing liquid.
In the case where the processing liquid running section is provided in the delivery path as described above, directionality can be imparted to the processing liquid so that the processing liquid is sprayed straight from the nozzle hole toward the target material.

本発明によれば、処理液を噴射するノズル管の基端側と末端側との間で圧力差が生じることを抑制することによって、該薄物シートの表面を均一に処理することができる。   According to the present invention, it is possible to uniformly treat the surface of the thin sheet by suppressing the occurrence of a pressure difference between the proximal end side and the distal end side of the nozzle tube that injects the treatment liquid.

本発明を図１〜図４に示す一実施例によって説明する。
図１および図２に示すように、例えばスルーホールやビアホールのめっき処理等に使用される処理槽１は、処理液であるめっき液２が充填されている処理槽本体３と、該処理槽本体３内に三段に配設されている左右一対のノズル管４と、例えば薄形プリント基板等の被処理材である薄物シート５を挟持して該左右一対のノズル管４の間に通過させるクリップ６とを有している。
なお本実施例では、該左右一対のノズル管４は薄物シート５の移動方向に対して斜めに傾いて設けられている（図２参照）。 The present invention will be described with reference to an embodiment shown in FIGS.
As shown in FIGS. 1 and 2, for example, a processing tank 1 used for plating processing of a through hole or a via hole includes a processing tank main body 3 filled with a plating solution 2 as a processing liquid, and the processing tank main body. 3, a pair of left and right nozzle tubes 4 arranged in three stages and a thin sheet 5 which is a material to be processed, such as a thin printed circuit board, are sandwiched and passed between the pair of left and right nozzle tubes 4. Clip 6.
In this embodiment, the pair of left and right nozzle tubes 4 are provided obliquely with respect to the moving direction of the thin sheet 5 (see FIG. 2).

該処理槽１の処理槽本体３の底部には処理液循環経路７の一端にある処理液吸引口８が開口しており、該処理液循環経路７の他端は該処理槽本体３の上方に配置される左右一対のヘッダー９に連絡しており、該左右一対のヘッダー９はそれぞれ左右一対の三段のノズル管４に連絡している。また、該処理液循環経路７には、該処理液吸引口８からめっき液２を吸引してヘッダー９を介してノズル管４に循環させるための循環ポンプ１０が介在されている。   A treatment liquid suction port 8 at one end of the treatment liquid circulation path 7 is opened at the bottom of the treatment tank body 3 of the treatment tank 1, and the other end of the treatment liquid circulation path 7 is located above the treatment tank body 3. Are connected to a pair of left and right headers 9, and the pair of left and right headers 9 are respectively connected to a pair of left and right three-stage nozzle tubes 4. Further, a circulation pump 10 for sucking the plating solution 2 from the treatment solution suction port 8 and circulating it to the nozzle tube 4 through the header 9 is interposed in the treatment solution circulation path 7.

図３および図４（ａ），（ｂ）に示すように、該ノズル管４は、管本体１２と、該管本体１２から差し出された帯板１３とを備えている。管本体１２の周壁において、帯板１３で覆われた箇所には、複数の分岐孔１４が設けられている。
該帯板１３には、その内部にチャンバー室１５が設けられるとともに、複数のノズル孔１６が並設されている。チャンバー室１５は、複数の分岐孔１４に連通し、かつ複数のノズル孔１６に連通するように、複数の分岐孔１４と複数のノズル孔１６の間に設けられている。したがって各ノズル孔１６は、１つのチャンバー室１５を介して各分岐孔１４に連通している。そして、管本体１２内を流動する処理液は、複数の分岐孔１４でそれぞれ分岐されるとともに、１つのチャンバー室１５に集まり、該チャンバー室１５から複数のノズル孔１６にそれぞれ分岐して送られるようになっている。 As shown in FIG. 3 and FIGS. 4A and 4B, the nozzle tube 4 includes a tube body 12 and a band plate 13 that is inserted from the tube body 12. A plurality of branch holes 14 are provided in a portion of the peripheral wall of the tube body 12 that is covered with the strip plate 13.
The strip plate 13 is provided with a chamber chamber 15 and a plurality of nozzle holes 16 arranged in parallel. The chamber 15 is provided between the plurality of branch holes 14 and the plurality of nozzle holes 16 so as to communicate with the plurality of branch holes 14 and to communicate with the plurality of nozzle holes 16. Accordingly, each nozzle hole 16 communicates with each branch hole 14 via one chamber chamber 15. The processing liquid flowing in the tube body 12 is branched at the plurality of branch holes 14, gathers in one chamber chamber 15, and is branched and sent from the chamber chamber 15 to the plurality of nozzle holes 16. It is like that.

該チャンバー室１５において、分岐孔１４から処理液が流れ込む部位を入口１４ａとし、処理液がノズル孔１６へ流れ込む部位を出口１６ａとする。また、入口１４ａ中心から分岐孔１４内における処理液の流動方向に沿って延びる直線を第１直線Ｌ１とし、出口１６ａの中心からノズル孔１６内における処理液の流動方向に沿って延びる直線を第２直線Ｌ２とする。該チャンバー室１５において、該出口１６ａは、該第１直線Ｌ１と該第２直線Ｌ２とが一直線上で重ならないように、該入口１４ａに対する位置がずらされている。すなわち、本実施例では、該ノズル管４を側面視した場合（管本体１２の延びる方向から見た場合、図４（ａ）参照）、入口１４ａの開口方向と、出口１６ａの開口方向とがそれぞれ異なっている。さらに、該ノズル管４を平面視した場合（管本体１２の延びる方向及びノズル孔１６の延びる方向の両方向に対して垂直な方向から見た場合、図４（ｂ）参照）、入口１４ａに対して出口１６ａが互い違いとなるように、分岐孔１４及びノズル孔１６が形成されている。   In the chamber 15, a part where the processing liquid flows from the branch hole 14 is an inlet 14 a, and a part where the processing liquid flows into the nozzle hole 16 is an outlet 16 a. A straight line extending from the center of the inlet 14a along the flow direction of the processing liquid in the branch hole 14 is a first straight line L1, and a straight line extending from the center of the outlet 16a along the flow direction of the processing liquid in the nozzle hole 16 is the first straight line L1. Let it be two straight lines L2. In the chamber 15, the outlet 16 a is shifted with respect to the inlet 14 a so that the first straight line L 1 and the second straight line L 2 do not overlap on a straight line. That is, in this embodiment, when the nozzle tube 4 is viewed from the side (see FIG. 4A when viewed from the direction in which the tube body 12 extends), the opening direction of the inlet 14a and the opening direction of the outlet 16a are as follows. Each is different. Furthermore, when the nozzle tube 4 is viewed in plan (when viewed from a direction perpendicular to both the direction in which the tube body 12 extends and the direction in which the nozzle hole 16 extends, see FIG. 4B), the inlet tube 14a The branch holes 14 and the nozzle holes 16 are formed so that the outlets 16a are staggered.

帯板１３の内部においてノズル孔１６は、管状に延長されている（図４（ａ），（ｂ）参照）。すなわち、管状に延長されたノズル孔１６の内部は、処理液であるめっき液２の助走区間Ａとなっており、該助走区間Ａを通過して噴出するめっき液２の液流が直線的に配向され、まっすぐに噴射されるように、該めっき液２に方向性を付与している。また、該ノズル管４は、めっき液２を内側に向けて斜め下方に噴射するように、すなわちノズル孔１６が斜め下方に延びるようにして配置されている。そして、各ノズル孔１６は、帯板１３に並設されることにより、めっき液２をそれぞれから平行に噴出するように構成されている（図３参照）。   Inside the band plate 13, the nozzle hole 16 is extended in a tubular shape (see FIGS. 4A and 4B). That is, the inside of the nozzle hole 16 extended in a tubular shape is a running section A of the plating solution 2 that is the processing solution, and the flow of the plating solution 2 ejected through the running section A is linear. Orientation is imparted to the plating solution 2 so that it is oriented and sprayed straight. The nozzle tube 4 is arranged so that the plating solution 2 is sprayed obliquely downward toward the inside, that is, the nozzle hole 16 extends obliquely downward. And each nozzle hole 16 is comprised in parallel with the strip | belt board 13, and is comprised so that the plating solution 2 may be ejected in parallel from each (refer FIG. 3).

上記の処理槽１を使用して薄物シート５にめっき処理を施す場合には、まず、該処理槽１の処理槽本体３内にめっき液２を充填し、該左右一対のノズル管４のノズル孔１６より左右等しい圧力および流速でめっき液２を噴射させる。
つぎに、クリップ６で薄物シート５を挟持して、該クリップ６で支持した薄物シート５を該処理槽本体３の一端よりめっき液２内に挿入する。
そして、該処理槽本体３の内部において該薄物シート５を該左右一対のノズル管４の中間で他端側に移動させ、その間に該めっき液２によって該薄物シート５をめっき処理し、最後に、他端において処理槽本体３内のめっき液２から該薄物シート５を引き上げる（図２参照）。 When performing the plating process on the thin sheet 5 using the processing tank 1, first, the plating solution 2 is filled in the processing tank body 3 of the processing tank 1, and the nozzles of the pair of left and right nozzle tubes 4 are used. The plating solution 2 is sprayed from the hole 16 at equal pressure and flow rate on the left and right.
Next, the thin sheet 5 is sandwiched by the clip 6, and the thin sheet 5 supported by the clip 6 is inserted into the plating solution 2 from one end of the treatment tank body 3.
Then, the thin sheet 5 is moved to the other end side in the middle of the pair of left and right nozzle tubes 4 in the inside of the treatment tank body 3, and the thin sheet 5 is plated with the plating solution 2 in the meantime. At the other end, the thin sheet 5 is pulled up from the plating solution 2 in the treatment tank body 3 (see FIG. 2).

上記のように、本実施例の処理槽１および薄物シート５の処理方法では、薄物シート５の両面には左右一対のノズル管４のノズル孔１６から噴出するめっき液２が等圧かつ等流速で及ぼされるので、薄物シート５の左右におけるめっき液２の液圧が拮抗し、薄物シート５はめっき液２中で揺動することを抑制される。該めっき液２は左右一対のノズル管４のノズル孔１６から内側に向けて斜め下向きに噴出されるので、めっき液２の液圧も該薄物シート５の両面に斜め下向きに及ぼされ、該薄物シート５の下端は浮力で浮き上がることを阻止される。   As described above, in the processing tank 1 and the processing method for the thin sheet 5 according to the present embodiment, the plating solution 2 ejected from the nozzle holes 16 of the pair of left and right nozzle tubes 4 has an equal pressure and a constant flow velocity on both surfaces of the thin sheet 5. Therefore, the liquid pressure of the plating solution 2 on the left and right of the thin sheet 5 is antagonized, and the thin sheet 5 is suppressed from swinging in the plating solution 2. Since the plating solution 2 is ejected obliquely downward from the nozzle holes 16 of the pair of left and right nozzle tubes 4, the liquid pressure of the plating solution 2 is also exerted obliquely downward on both surfaces of the thin sheet 5, The lower end of the sheet 5 is prevented from being lifted by buoyancy.

さらに、ノズル管４において、管本体１２から各分岐孔１４に分岐しためっき液２が一旦はチャンバー室１５に集まることにより、ノズル管４の基端と末端の間における圧力差が解消される。このように圧力差が解消された状態でチャンバー室１５から各ノズル孔１６に分岐するため、各ノズル孔１６からは処理液であるめっき液２がそれぞれ均等な圧力で噴射される。さらにまた、入口１４ａに対して出口１６ａの位置がずらされ、入口１４ａから出ためっき液２が出口１６ａへ直接的に辿り着かないようになっており、管本体１２から流動してきためっき液２が該管本体１２内における圧力を保持したまま、入口１４ａから出口１６ａへと直接的に到達することが抑制される。
従って本実施例では、その上端をクリップ６でとめたのみの薄物シート５において、該薄物シート５がノズル管４のノズル孔１６から噴出するめっき液２に圧力差に影響されて揺れ動くことを抑制することができ、その結果、薄物シート５の上端にクリップ６を取り付けるだけの簡単な作業によって、該薄物シート５の表面を均一にめっき処理することができる。 Further, in the nozzle tube 4, the plating solution 2 branched from the tube body 12 to each branch hole 14 is once collected in the chamber chamber 15, thereby eliminating the pressure difference between the proximal end and the distal end of the nozzle tube 4. Since the branching from the chamber chamber 15 to each nozzle hole 16 in a state where the pressure difference is eliminated in this way, the plating solution 2 as the processing liquid is sprayed from each nozzle hole 16 at an equal pressure. Furthermore, the position of the outlet 16a is shifted with respect to the inlet 14a, so that the plating solution 2 coming out of the inlet 14a does not reach the outlet 16a directly, and the plating solution 2 flowing from the pipe body 12 is used. However, it is suppressed that the pressure reaches the outlet 16a directly from the inlet 14a while maintaining the pressure in the pipe body 12.
Therefore, in the present embodiment, in the thin sheet 5 whose upper end is only stopped by the clip 6, the thin sheet 5 is prevented from swinging due to the pressure difference due to the plating solution 2 ejected from the nozzle hole 16 of the nozzle tube 4. As a result, the surface of the thin sheet 5 can be uniformly plated by a simple operation of simply attaching the clip 6 to the upper end of the thin sheet 5.

該処理槽１の底部にはノズル管４に連絡する処理液循環経路７が開口しており、該処理槽１の底部から該循環経路７にめっき液２を吸引してノズル管４に循環するので、めっき液２を別途補給する必要がなく、めっき液２の補給に要する手間や労力を削減することができる。
また、左右一対のノズル管４のノズル孔１６がそれぞれ相対する位置に設けられているので、薄物シート５の両面に左右一対のノズル管４のノズル孔１６から噴出するめっき液２がより等圧かつ等流速で及ぼされる。そのため、薄物シート５の左右におけるめっき液２の液圧がより拮抗し、薄物シート５はめっき液２中で揺動することを更に抑制される。
更に、該ノズル管４のノズル孔１６が管状に延長されているので、該ノズル孔１６から噴出するめっき液２の液流が直線的に配向される。そのため、薄物シート５の両面に左右一対のノズル管４のノズル孔１６から噴出するめっき液２が更に等圧かつ等流速で及ぼされ、薄物シート５の左右におけるめっき液２の液圧がより更に拮抗し、薄物シート５はめっき液２中で揺動することをより更に抑制される。 A treatment liquid circulation path 7 communicating with the nozzle tube 4 is opened at the bottom of the treatment tank 1, and the plating solution 2 is sucked into the circulation path 7 from the bottom of the treatment tank 1 and circulated through the nozzle pipe 4. Therefore, it is not necessary to replenish the plating solution 2 separately, and labor and labor required for replenishing the plating solution 2 can be reduced.
In addition, since the nozzle holes 16 of the pair of left and right nozzle tubes 4 are provided at positions facing each other, the plating solution 2 ejected from the nozzle holes 16 of the pair of left and right nozzle tubes 4 on both surfaces of the thin sheet 5 is more isobaric. And at an equal flow rate. Therefore, the hydraulic pressure of the plating solution 2 on the left and right of the thin sheet 5 is more antagonized, and the thin sheet 5 is further suppressed from swinging in the plating solution 2.
Furthermore, since the nozzle hole 16 of the nozzle tube 4 is extended in a tubular shape, the flow of the plating solution 2 ejected from the nozzle hole 16 is linearly oriented. Therefore, the plating solution 2 ejected from the nozzle holes 16 of the pair of left and right nozzle tubes 4 is further applied to both surfaces of the thin sheet 5 at an equal pressure and an equal flow rate, and the liquid pressure of the plating solution 2 on the left and right sides of the thin sheet 5 is further increased. The thin sheet 5 is further inhibited from swinging in the plating solution 2 by antagonizing.

また更に、ノズル管４が薄物シート５の移動方向に対して平行に設けられた場合には、薄物シート５の一部に該ノズル管４によって常にめっき処理が妨害される部分が生じるのに対して、本実施例では、ノズル管４が薄物シート５の移動方向に対して斜めに傾いて設けられているので、薄物シート５に該ノズル管４によって常にめっき処理が妨害されることがなく、薄物シート５の表面を均一にめっき処理することができる。
加えて、管状に延長されたノズル孔１６の内部は、処理液であるめっき液２の助走区間Ａとなっており、該助走区間Ａを通過して噴出するめっき液２の液流が直線的に配向されるため、噴出するめっき液２の液流が不安定となってめっき処理が妨害されることを抑制することができ、薄物シート５の表面を均一にめっき処理することができる。 Furthermore, when the nozzle tube 4 is provided in parallel to the moving direction of the thin sheet 5, a part of the thin sheet 5 is always obstructed by the plating process by the nozzle tube 4. In this embodiment, the nozzle tube 4 is provided obliquely with respect to the moving direction of the thin sheet 5, so that the thin tube 5 is not obstructed by the nozzle tube 4 at all times, The surface of the thin sheet 5 can be uniformly plated.
In addition, the inside of the nozzle hole 16 extended in a tubular shape is a running section A of the plating solution 2 that is the processing solution, and the flow of the plating solution 2 ejected through the running section A is linear. Therefore, it is possible to suppress an unstable flow of the sprayed plating solution 2 and hinder the plating process, and the surface of the thin sheet 5 can be uniformly plated.

以上、本発明の実施の形態を実施例により説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて変更・変形することが可能である。例えば、分岐孔１４は、必ずしも断面円形状の穴に限らず、スリット状に形成してもよい。また、チャンバー室１５において、入口１４ａと出口１６ａは、第１直線Ｌ１と該第２直線Ｌ２とが一直線上で重ならないように互いの位置がずらされているならば、例えば、入口１４ａの開口方向と出口１６ａの開口方向を違えるのみ、あるいは入口１４ａと出口１６ａを互い違いにするのみとしてもよい。   The embodiments of the present invention have been described above by way of examples. However, the scope of the present invention is not limited to these embodiments, and can be changed or modified in accordance with the purpose within the scope of the claims. It is. For example, the branch hole 14 is not necessarily a hole having a circular cross section, and may be formed in a slit shape. In the chamber 15, if the positions of the inlet 14 a and the outlet 16 a are shifted so that the first straight line L 1 and the second straight line L 2 do not overlap with each other, for example, the opening of the inlet 14 a The direction may be different from the opening direction of the outlet 16a, or the inlet 14a and the outlet 16a may be alternately changed.

本発明は、薄物シートの上端にクリップを取り付けるだけの簡単な作業によって、該薄物シートの表面を均一に処理することができる処理槽として、産業上利用することが出来る。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used industrially as a treatment tank that can uniformly treat the surface of a thin sheet by a simple operation of simply attaching a clip to the upper end of the thin sheet.

第１実施形態の処理槽の説明正面図である。It is a description front view of the processing tank of 1st Embodiment. 第１実施形態の処理槽の説明側面図である。It is explanatory side view of the processing tank of 1st Embodiment. ノズル管の斜視図である。It is a perspective view of a nozzle tube. （ａ）はノズル管の側断面図であり、（ｂ）はノズル管の平断面図である。(A) is a sectional side view of the nozzle tube, (b) is a plan sectional view of the nozzle tube.

符号の説明Explanation of symbols

１ 処理槽
２ 処理液（めっき液）
３ 処理槽本体
４ ノズル管
５ 薄物シート
６ クリップ
７ 処理液循環経路
１１ ノズル孔
１２ 管本体
１３ 帯板
１４ 分岐孔
１５ チャンバー室
１６ ノズル孔
1 treatment tank 2 treatment solution (plating solution)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Processing tank main body 4 Nozzle pipe 5 Thin sheet 6 Clip 7 Process liquid circulation path 11 Nozzle hole 12 Pipe main body 13 Band plate 14 Branch hole 15 Chamber chamber 16 Nozzle hole

Claims (3)

処理液が充填される処理槽本体内にノズル管を配設し、該ノズル管に設けられた複数のノズル孔から被処理材である薄物シートに処理液を噴射するように構成した処理槽において、
該ノズル管には、処理液を流動させる管本体と、該管本体から処理液を分岐して流動させる複数の分岐孔とが設けられるとともに、該複数の分岐孔と該複数のノズル孔の間にチャンバー室が設けられていることを特徴とする処理槽。 In a processing tank configured to dispose a nozzle pipe in a processing tank body filled with a processing liquid and to inject the processing liquid from a plurality of nozzle holes provided in the nozzle pipe onto a thin sheet as a processing target material ,
The nozzle tube is provided with a tube main body for flowing the processing liquid and a plurality of branch holes for branching the processing liquid from the pipe main body, and between the plurality of branch holes and the plurality of nozzle holes. A processing tank characterized in that a chamber chamber is provided. 該チャンバー室において、分岐孔から処理液が流れ込む部位を入口とし、処理液がノズル孔へ流れ込む部位を出口として、
該入口の中心から処理液の流動方向に沿って延びる直線と、該出口の中心から処理液の流動方向に沿って延びる直線とが一直線上で重ならないように、該入口に対して該出口の位置がずらされている請求項１に記載の処理槽。 In the chamber chamber, a part where the processing liquid flows from the branch hole is an inlet, and a part where the processing liquid flows into the nozzle hole is an outlet.
The straight line extending along the flow direction of the processing liquid from the center of the inlet and the straight line extending along the flow direction of the processing liquid from the center of the outlet do not overlap on the straight line. The processing tank according to claim 1, wherein the position is shifted. 該ノズル孔には、噴射される処理液の助走区間が設けられている請求項１または請求項２に記載の処理槽。
The processing tank according to claim 1, wherein the nozzle hole is provided with a running section of the sprayed processing liquid.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010216006A (en) * 2009-02-19 2010-09-30 Denso Corp Method for jet stream type plating, and device
CN103079716A (en) * 2010-08-19 2013-05-01 Lg化学株式会社 Fluid supply apparatus and system and method for cleaning thin plate using same
JP2016180144A (en) * 2015-03-24 2016-10-13 株式会社荏原製作所 Substrate treatment apparatus

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4413723Y1 (en) * 1965-12-03 1969-06-09
JPS61133566A (en) * 1984-12-03 1986-06-20 Fuji Electric Co Ltd Molten carbonate fuel cell
JPS62106967A (en) * 1985-11-01 1987-05-18 Nitto Electric Ind Co Ltd Polyurethane paint for use in coating wire
JPH04313363A (en) * 1990-01-09 1992-11-05 Hoechst Ag Method and device for applying fluid
JP2002373876A (en) * 2001-06-14 2002-12-26 Toho Kasei Kk Substrate processing apparatus
JP2005336582A (en) * 2004-05-28 2005-12-08 Sumitomo Bakelite Co Ltd Etching apparatus, and method for manufacturing circuit board

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4413723Y1 (en) * 1965-12-03 1969-06-09
JPS61133566A (en) * 1984-12-03 1986-06-20 Fuji Electric Co Ltd Molten carbonate fuel cell
JPS62106967A (en) * 1985-11-01 1987-05-18 Nitto Electric Ind Co Ltd Polyurethane paint for use in coating wire
JPH04313363A (en) * 1990-01-09 1992-11-05 Hoechst Ag Method and device for applying fluid
JP2002373876A (en) * 2001-06-14 2002-12-26 Toho Kasei Kk Substrate processing apparatus
JP2005336582A (en) * 2004-05-28 2005-12-08 Sumitomo Bakelite Co Ltd Etching apparatus, and method for manufacturing circuit board

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010216006A (en) * 2009-02-19 2010-09-30 Denso Corp Method for jet stream type plating, and device
CN103079716A (en) * 2010-08-19 2013-05-01 Lg化学株式会社 Fluid supply apparatus and system and method for cleaning thin plate using same
JP2013538680A (en) * 2010-08-19 2013-10-17 エルジー・ケム・リミテッド Fluid supply apparatus, thin plate cleaning system using the same, and method thereof
US9943887B2 (en) 2010-08-19 2018-04-17 Lg Chem, Ltd. Fluid supplying apparatus and system and method for cleaning thin film using the same
JP2016180144A (en) * 2015-03-24 2016-10-13 株式会社荏原製作所 Substrate treatment apparatus
US10468274B2 (en) 2015-03-24 2019-11-05 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
US11024520B2 (en) 2015-03-24 2021-06-01 Ebara Corporation Substrate processing apparatus

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