JP3340724B2 - Plating solution jet nozzle device for plating equipment - Google Patents

Plating solution jet nozzle device for plating equipment

Info

Publication number
JP3340724B2
JP3340724B2 JP2000367067A JP2000367067A JP3340724B2 JP 3340724 B2 JP3340724 B2 JP 3340724B2 JP 2000367067 A JP2000367067 A JP 2000367067A JP 2000367067 A JP2000367067 A JP 2000367067A JP 3340724 B2 JP3340724 B2 JP 3340724B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating solution
pipe
nozzle
plating
ejection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000367067A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2002173793A (en
Inventor
正次 長倉
Original Assignee
丸仲工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=18837572&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3340724(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 丸仲工業株式会社 filed Critical 丸仲工業株式会社
Priority to JP2000367067A priority Critical patent/JP3340724B2/en
Publication of JP2002173793A publication Critical patent/JP2002173793A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3340724B2 publication Critical patent/JP3340724B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、メッキ皮膜の均一
性を向上させるようにしたメッキ装置のメッキ液噴出ノ
ズル装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plating solution jet nozzle device for a plating apparatus which improves the uniformity of a plating film.

【0002】[0002]

【従来の技術】メッキされる製品に向けてメッキ液を噴
出する多数のノズルを備えたメッキ液噴出ノズル装置を
設けたメッキ装置が知られている。一方、平坦な表面を
もつ製品、又は図6に示したようなスルーホールやブラ
インドビアホール(BlindVia hole)を形
成されたプリント基板などの製品(W)の表面にメッキ
する場合、平坦な製品表面(H1)に均一な厚さのメッ
キ皮膜を付ける必要があり、またスルーホールやブライ
ンドビアホールを形成された製品にあってはこれらのス
ルーホール部(H2)やブラインドビアホール部(H
3)にも他の製品表面(H1)と同様な均一な厚さのメ
ッキ皮膜(P)を付ける必要がある。しかしながら、特
に、スルーホール部やブラインドビアホール部にも他の
製品表面と同様な均一な厚さのメッキ皮膜を付けること
は困難とされている。
2. Description of the Related Art There is known a plating apparatus provided with a plating solution jetting nozzle device having a large number of nozzles for jetting a plating solution toward a product to be plated. On the other hand, when plating on the surface of a product (W) such as a product having a flat surface or a printed circuit board having a through hole or a blind via hole as shown in FIG. 6, a flat product surface ( It is necessary to apply a plating film having a uniform thickness to H1). In the case of a product having a through hole or a blind via hole, these through hole (H2) or blind via hole (H
It is necessary to apply a plating film (P) having a uniform thickness similar to that of the other product surface (H1) also in 3). However, in particular, it is difficult to apply a plating film having a uniform thickness similar to that of other product surfaces also on the through hole portion and the blind via hole portion.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような実情に鑑み
本発明者は、メッキ処理される製品の表面に向けてメッ
キ液を均一に噴射できるようにしてメッキ処理される製
品の表面に均一な厚さのメッキ皮膜を形成できるように
するものであり、特に、スルーホールやブラインドビア
ホールを形成されたプリント基板などの製品に対しても
スルーホール部やブラインドビアホール部に他の製品表
面と同様な均一なメッキ皮膜を形成できるようにしたメ
ッキ液噴出ノズル装置を提供しようとするものである。
In view of such circumstances, the present inventor has proposed that the plating solution can be uniformly sprayed onto the surface of the product to be plated, so that the surface of the product to be plated can be uniformly coated. The thickness of the plating film can be formed, especially for products such as printed circuit boards with formed through holes and blind via holes. An object of the present invention is to provide a plating solution jetting nozzle device capable of forming a uniform plating film.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明で提供するメッキ
装置のメッキ液噴出ノズル装置は、管内のメッキ液供給
方向に沿って多数の噴出孔を形成され、これらの噴出孔
をメッキ液用タンク内のメッキ液内に配設されるように
設置されたノズル管と、当該ノズル管を分岐配管を介し
て前記メッキ液用タンク外に設置された循環ポンプと接
続するメッキ液供給配管と、前記メッキ液用タンク内の
メッキ液内に吸込み口を配設され、他端側を前記循環ポ
ンプに接続されたメッキ液回収配管とを備え、前記ノズ
ル管の噴出孔からメッキ液をメッキ処理される製品に向
けて噴出するように構成されたメッキ装置のメッキ液噴
出ノズル装置であり、前記ノズル管を、メッキ処理され
る製品の移送方向に沿って併設された前記分岐配管から
分岐され、当該分岐配管に所要の間隔をおいて立設状態
に並設し、且つメッキ処理される製品を介して立設状態
に対設させたものであり、以下に記載する特徴を有して
いる。
The plating solution jetting nozzle device of the plating apparatus provided by the present invention has a large number of jetting holes formed along the direction of supplying the plating solution in the pipe, and these jetting holes are formed in a plating solution tank. A nozzle pipe installed to be disposed in the plating solution in the plating solution supply pipe connecting the nozzle pipe to a circulation pump installed outside the plating solution tank via a branch pipe; A suction port is provided in the plating solution in the plating solution tank, and a plating solution recovery pipe connected to the circulation pump at the other end is provided, and the plating solution is plated from the ejection hole of the nozzle tube. A plating solution jetting nozzle device of a plating device configured to jet toward a product, wherein the nozzle pipe is branched from the branch pipe provided side by side along a transfer direction of a product to be plated. At a predetermined interval in the piping arranged in upright position, and a and that through the product to be plated processed by oppositely arranged in upright position, and has the features described below.

【0005】すなわち、本発明のメッキ液噴出ノズル装
置は、前記分岐配管に立設状態に取付けられた前記ノズ
ル管を、当該ノズル管に形成された噴出孔から噴出され
るメッキ液の噴出方向を該ノズル管の管周り方向の任意
な位置に向けられるよう当該ノズル管の管端部を前記分
岐配管に螺着状態に取付けたことを特徴とするものであ
る。
In other words, the plating solution jetting nozzle device of the present invention comprises the nozzle mounted on the branch pipe in an upright state.
The nozzle pipe is ejected from the ejection hole formed in the nozzle pipe.
The direction of jetting of the plating solution is arbitrary in the direction around the nozzle tube.
So that the end of the nozzle tube is
Characterized by being attached to the branch pipe in a threaded state.
You.

【0006】このように構成したことにより、ブライン
ドビアホールを形成された製品のブラインドビアホール
部に対して、各ノズル管の噴出孔から噴出されるメッキ
液の噴出方向を各ノズル管ごと効果的な噴出角度位置に
向けることができ、ブラインドビアホール部にも他の製
品表面と同様な均一な厚さのメッキ皮膜を形成すること
ができ、よって特にブラインドビアホールを形成された
製品に対するメッキの均一化を向上させることができ
る。
[0006] With this configuration, the jetting direction of the plating solution spouted from the spout hole of each nozzle tube can be effectively spouted into the blind via hole portion of the product in which the blind via hole is formed. Can be oriented at an angular position and can form a plating film with a uniform thickness on the blind via hole as well as other product surfaces, thus improving the uniformity of plating especially on products with blind via holes Can be done.

【0007】また、本発明のメッキ液噴出ノズル装置
は、前記分岐配管に立設状態に取付けられた前記ノズル
管に当該ノズル管の管方向に沿って所定の間隔をおいて
形成された多数の噴出孔の孔径を、各噴出孔から噴出さ
れるメッキ液の噴出量を均等化できるように上方から下
方に行くに従い徐々に小さく形成したことを特徴とする
ものである。このように構成したことにより、ノズル管
に形成された高低差のある各噴出孔から噴出されるメッ
キ液の噴出量を水圧に影響されることなく均等化でき、
メッキの均一化を向上させることができる。
Further, the plating solution jetting nozzle device of the present invention is characterized in that a plurality of nozzle tubes formed at predetermined intervals along the pipe direction of the nozzle pipe are provided on the nozzle pipe which is attached to the branch pipe in an upright state. The diameter of the ejection holes is gradually reduced from the upper side to the lower side so as to equalize the ejection amount of the plating solution ejected from each ejection hole. With this configuration, it is possible to equalize the ejection amount of the plating solution ejected from each ejection hole having a height difference formed in the nozzle tube without being affected by the water pressure,
The uniformity of plating can be improved.

【0008】また、本発明のメッキ液噴出ノズル装置
は、前記ノズル管に該ノズル管の管方向に添って延設さ
れた補強部材を添設状態に固着してあり、この補強部材
に所定の間隔をおいて多数の長孔を形成してあり、これ
らの長孔を前記ノズル管の管内と連通させることによ
り、前記各長孔を前記噴出孔として構成したことを特徴
とするものである。このように構成したことにより、プ
ラスチック管から成るノズル管の管形態や直線精度がメ
ッキ液内の熱などの影響で変形されないように補強でき
ると共に、長孔を通して噴出されるメッキ液の直進性を
向上させることができ、特に長い穴や穴径の小さな穴か
ら成るスルーホールを形成された製品に対するメッキの
均一化を向上させることができる。
Further, in the plating solution jetting nozzle apparatus of the present invention, a reinforcing member extending along the pipe direction of the nozzle pipe is fixedly attached to the nozzle pipe, and a predetermined member is fixed to the reinforcing member. A large number of long holes are formed at intervals, and these long holes are formed as the ejection holes by communicating these long holes with the inside of the nozzle tube. With this configuration, the shape and linear accuracy of the nozzle tube made of plastic tube can be reinforced so as not to be deformed by the influence of heat in the plating solution, and the straightness of the plating solution ejected through the long holes can be improved. In particular, it is possible to improve the uniformity of plating on a product in which a through hole including a long hole or a small hole diameter is formed.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1はメッキ液噴出ノズル
装置を設けたメッキ装置の一部縦断側面図、図2は図1
に示したメッキ液噴出ノズル装置の部分拡大正面図、図
3は図2のA−A矢視線に沿って切断した拡大横断平面
図、図4はメッキ液噴出ノズル装置の概略を示した平面
図、図5はメッキ液噴出ノズル装置の概略を示した平面
図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial longitudinal side view of a plating apparatus provided with a plating solution jet nozzle apparatus, and FIG.
2 is a partially enlarged front view of the plating solution jetting nozzle device shown in FIG. 3, FIG. 3 is an enlarged cross-sectional plan view taken along the line AA of FIG. 2, and FIG. 4 is a plan view schematically showing the plating solution jetting nozzle device. FIG. 5 is a plan view schematically showing a plating solution jetting nozzle device.

【0010】図1乃至図5に示したメッキ装置のメッキ
液噴出ノズル装置は、管内のメッキ液供給方向に沿って
多数の噴出孔2を形成され、これらの噴出孔2をメッキ
液用タンク3内のメッキ液A内に配設されるように設置
されたノズル管1と、当該ノズル管1を分岐配管4を介
して前記メッキ液用タンク3外に設置された循環ポンプ
5と接続するメッキ液供給配管6と、前記メッキ液用タ
ンク3内のメッキ液A内に吸込み口8を配設され、他端
側を前記循環ポンプ5に接続されたメッキ液回収配管7
とを備え、前記ノズル管1の噴出孔2からメッキ液をメ
ッキ処理される製品(この実施形態では略シート状のプ
リント基板を示している。)Wに向けて噴出するように
構成されている。そして、前記ノズル管1は、メッキ処
理される製品Wの移送方向に沿って併設された前記分岐
配管4から分岐され、当該分岐配管4に所要の間隔をお
いて立設状態に並設され、且つメッキ処理される製品W
を介して立設状態に対設されている。なお、メッキ処理
される製品Wを介して前記ノズル管1を立設状態に対設
させたとは、図4乃至図5に示したようにメッキ処理さ
れる製品Wを挟んで左右対称位置に対設したものの他、
前記製品Wを挟んで該製品Wの移送方向にずれた位置に
対設されたものも含むものである。
The plating solution jetting nozzle device of the plating apparatus shown in FIGS. 1 to 5 has a large number of jetting holes 2 formed along the direction of supplying the plating solution in the tube. And a nozzle pipe 1 provided to be disposed in the plating solution A therein and a circulating pump 5 provided outside the plating solution tank 3 via the branch pipe 4. A liquid supply pipe 6 and a plating liquid recovery pipe 7 having a suction port 8 disposed in the plating liquid A in the plating liquid tank 3 and having the other end connected to the circulation pump 5.
The plating liquid is ejected from the ejection hole 2 of the nozzle tube 1 toward a product W (in this embodiment, a substantially sheet-shaped printed circuit board is shown) to be plated. . Then, the nozzle pipe 1 branches from the branch pipe 4 provided side by side along the transfer direction of the product W to be plated, and is arranged in a standing state at a predetermined interval to the branch pipe 4, And the product W to be plated
It is opposed to an upright state via. In addition, that the nozzle tube 1 is opposed to the upright state via the product W to be plated means that the nozzle tube 1 is opposed to the left-right symmetric position across the product W to be plated as shown in FIGS. In addition to what you set up,
This also includes a device that is provided at a position shifted in the transfer direction of the product W across the product W.

【0011】また、図1において、10はアノードバッ
グ内に陽極ボールなどを収納した陽極であり、11は陰
極として機能するメッキされる製品Wの上端部を懸垂状
態に保持する治具(ハンガーと通称されている。)を示
し、この治具11は陰極バー12にスライド自在に保持
されている。また、図1のメッキ装置は前記メッキ液用
タンク3内のメッキ液A中を図4乃至図5に示すように
製品Wが水平に移送されながらメッキ処理されるもので
あり、前記ノズル管1は製品Wの移送軌道に沿って設置
された前記分岐配管4から垂設状態に分岐されていて、
垂設された前記ノズル管1の下端部はめくらキャップ1
3で塞がれている。なお、前記メッキ液用タンク3内の
メッキ液A内に配設される前記ノズル管1は、非導電性
素材好ましくは非導電性素材のプラスチックで形成され
る。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes an anode in which an anode ball or the like is housed in an anode bag, and 11 denotes a jig (a hanger and a hanger) for holding an upper end of a product W to be plated serving as a cathode in a suspended state. This jig 11 is slidably held by a cathode bar 12. The plating apparatus shown in FIG. 1 performs plating while the product W is transferred horizontally in the plating solution A in the plating solution tank 3 as shown in FIGS. Is branched vertically from the branch pipe 4 installed along the transfer path of the product W,
A blind cap 1 is provided at the lower end of the vertically provided nozzle tube 1.
It is blocked by 3. The nozzle tube 1 provided in the plating solution A in the plating solution tank 3 is formed of a non-conductive material, preferably a plastic of a non-conductive material.

【0012】前記ノズル管1の各噴出孔2は、図1に矢
印で示したメッキ液の噴出状態のように、メッキ処理さ
れる製品Wを介して立設状態に対設された前記ノズル管
1の各噴出孔2を立設方向に沿って交互に互い違いに配
設して構成してある。このように構成したことにより、
多数のスルーホールを形成された製品の各スルーホール
部(H2)に対して、各噴出孔2から噴出されるメッキ
液の噴出位置を対応させやすくなり、スルーホール部
(H2)にも他の製品表面(H1)と同様な均一な厚さ
のメッキ皮膜(P)を形成することができ、よって多数
のスルーホールを形成された製品に対するメッキの均一
化を向上させることができる。
Each nozzle hole 2 of the nozzle tube 1 has a nozzle tube opposed to an upright state via a product W to be plated, as shown by an arrow of a plating solution in FIG. Each of the ejection holes 2 is arranged alternately and alternately along the standing direction. With this configuration,
It is easy to make the ejection position of the plating solution ejected from each ejection hole 2 correspond to each through-hole portion (H2) of the product in which a large number of through-holes are formed. It is possible to form a plating film (P) having a uniform thickness similar to that of the product surface (H1), and thus it is possible to improve the uniformity of plating on a product having a large number of through holes.

【0013】また、前記分岐配管4に立設状態に取付け
られた前記ノズル管1は、図5に示したように、当該ノ
ズル管1に形成された噴出孔2から噴出されるメッキ液
の噴出方向を該ノズル管1の管周り方向(図示した実施
形態のように前記ノズル管1を円筒形状にした場合は管
円周方向)の任意な位置に向けられるよう当該ノズル管
1の管端部を前記分岐配管4に螺着状態に取付けてあ
る。図2に示した実施形態では、前記ノズル管1の管端
部の外周に雄ネジ部15(ネジ形状は省略した)を形成
し、この雄ネジ部15を角管より成る前記分岐配管4の
下面に固着された雌ネジ部16(この雌ネジ部16は前
記分岐配管4の管内と連通されている。)に螺着してい
る。なお、前記分岐配管4側を雄ネジに、前記ノズル管
1の管端部側を雌ネジにしても良いことは勿論である。
このように構成したことにより、ブラインドビアホール
を形成された製品のブラインドビアホール部(H3)に
対して、各ノズル管1の噴出孔2から噴出されるメッキ
液の噴出方向を各ノズル管1ごと効果的な噴出角度位置
に向けることができ、ブラインドビアホール部(H3)
にも他の製品表面(H1)と同様な均一な厚さのメッキ
皮膜(P)を形成することができ、よって特にブライン
ドビアホールを形成された製品に対するメッキの均一化
を向上させることができる。
The nozzle pipe 1 attached to the branch pipe 4 in an upright state, as shown in FIG. 5, ejects a plating solution ejected from an ejection hole 2 formed in the nozzle pipe 1. The pipe end of the nozzle tube 1 is directed to an arbitrary position in the direction around the nozzle tube 1 (in the case of forming the nozzle tube 1 into a cylindrical shape as in the illustrated embodiment, the circumferential direction of the tube). Is screwed to the branch pipe 4. In the embodiment shown in FIG. 2, a male screw part 15 (screw shape is omitted) is formed on the outer periphery of the pipe end of the nozzle pipe 1, and this male screw part 15 is formed on the branch pipe 4 formed of a square pipe. It is screwed to a female screw portion 16 fixed to the lower surface (the female screw portion 16 is communicated with the inside of the branch pipe 4). Of course, the branch pipe 4 side may be a male thread, and the pipe end side of the nozzle pipe 1 may be a female thread.
With this configuration, the jetting direction of the plating solution jetted from the jet holes 2 of each nozzle tube 1 can be effectively controlled for each of the nozzle tubes 1 with respect to the blind via hole portion (H3) of the product in which the blind via hole is formed. Blind beer hole (H3)
In addition, a plating film (P) having a uniform thickness similar to that of the other product surface (H1) can be formed, and therefore, it is possible to improve the uniformity of plating particularly on a product in which a blind via hole is formed.

【0014】また、本発明のメッキ液噴出ノズル装置
は、前記分岐配管4に立設状態に取付けられた前記ノズ
ル管1に当該ノズル管1の管方向に沿って所定の間隔を
おいて形成された多数の噴出孔2の孔径を、図示してな
いが、各噴出孔2から噴出されるメッキ液の噴出量を均
等化できるように上方から下方に行くに従い徐々に小さ
くなるように形成してある。前記各噴出孔2の孔径は、
上方から下方に行くに従い少しずつ徐々に小さくなるよ
うに形成しても良く、又は同径の複数の噴出孔2のグル
ープを上方から下方に行くに従い段階的に徐々に小さく
なるように形成しても良いものである。このように構成
したことにより、前記ノズル管1に形成された高低差の
ある各噴出孔2から噴出されるメッキ液の噴出量を水圧
に影響されることなく均等化でき、メッキの均一化を向
上させることができる。
Further, the plating solution jetting nozzle device of the present invention is formed at a predetermined interval along the pipe direction of the nozzle pipe 1 on the nozzle pipe 1 attached to the branch pipe 4 in an upright state. Although not shown, the diameter of the large number of ejection holes 2 is formed so as to gradually decrease from the top to the bottom so that the ejection amount of the plating solution ejected from each ejection hole 2 can be equalized. is there. The diameter of each of the jet holes 2 is
It may be formed so that it gradually decreases gradually from the upper part to the lower part, or a group of the plurality of ejection holes 2 having the same diameter is formed so as to gradually decrease from the upper part to the lower part. Is also good. With such a configuration, the amount of the plating solution jetted from each of the jet holes 2 having a height difference formed in the nozzle tube 1 can be equalized without being affected by the water pressure, and the plating can be made uniform. Can be improved.

【0015】また、本発明のメッキ液噴出ノズル装置
は、図1乃至図3に示すように、前記ノズル管1に該ノ
ズル管1の直管方向に添って延設されたプラスチック製
の肉厚の補強部材20を添設状態に接着手段で固着して
あり、この補強部材20に所定の間隔をおいて多数の長
孔21を形成してあり、これらの長孔21を前記ノズル
管1の管内と連通させることにより、前記各長孔21を
前記噴出孔2として構成してある。前記補強部材20の
各長孔21を前記ノズル管1の管内に連通させる手段と
しては、前記ノズル管1に形成された各噴出孔2と前記
補強部材20の各長孔21とを一致させるようにしても
良いが、前記ノズル管1に前記各長孔21の全形成範囲
に対応した縦長溝22を形成しておけば容易に達成でき
る。このように構成したことにより、プラスチック管か
ら成る前記ノズル管1の管形態や直線精度がメッキ液内
の熱などの影響で変形されないように補強できると共
に、前記長孔21を通して噴出されるメッキ液の直進性
を向上させることができ、特に長い穴や穴径の小さな穴
から成るスルーホールを形成された製品に対するメッキ
の均一化を向上させることができる。
As shown in FIGS. 1 to 3, the plating solution jetting nozzle apparatus of the present invention has a plastic wall thickness extending from the nozzle tube 1 along the direction of the nozzle tube 1. The reinforcing member 20 is fixed to an attached state by an adhesive means, and a number of long holes 21 are formed in the reinforcing member 20 at predetermined intervals. Each of the long holes 21 is configured as the ejection hole 2 by communicating with the inside of the pipe. Means for connecting each elongated hole 21 of the reinforcing member 20 to the inside of the nozzle tube 1 is such that each ejection hole 2 formed in the nozzle tube 1 matches each elongated hole 21 of the reinforcing member 20. However, this can be easily achieved by forming the longitudinal grooves 22 corresponding to the entire formation range of each of the long holes 21 in the nozzle tube 1. With this configuration, the pipe shape and linear accuracy of the nozzle tube 1 made of a plastic tube can be reinforced so as not to be deformed by the influence of heat in the plating solution, and the plating solution ejected through the long holes 21. The straightness of the product can be improved, and in particular, the uniformity of plating can be improved for a product in which a through hole formed of a long hole or a small hole diameter is formed.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上のように構成された本発明のメッキ
装置のメッキ液噴出ノズル装置によれば、メッキ処理さ
れる製品の表面に向けてメッキ液を均一に噴射できるた
め、メッキ処理される製品の表面に均一な厚さのメッキ
皮膜を形成することができる。特に、スルーホールやブ
ラインドビアホールを形成されたプリント基板などの製
品に対してもスルーホール部やブラインドビアホール部
に他の製品表面と同様な均一なメッキ皮膜を形成させる
ことができ、スルーホールやブラインドビアホールを形
成されたプリント基板などの製品に対するメッキの均一
性を飛躍的に向上させることができる。
According to the plating liquid jet nozzle apparatus of the plating apparatus of the present invention having the above-described structure, the plating liquid can be uniformly jetted toward the surface of the product to be plated. A plating film having a uniform thickness can be formed on the surface of the product. In particular, even for products such as printed circuit boards with through holes and blind via holes, a uniform plating film similar to the surface of other products can be formed in the through holes and blind via holes. The uniformity of plating on a product such as a printed circuit board having a via hole can be remarkably improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】メッキ液噴出ノズル装置を設けたメッキ装置の
一部縦断側面図である。
FIG. 1 is a partial longitudinal side view of a plating apparatus provided with a plating solution jetting nozzle apparatus.

【図2】図1に示したメッキ液噴出ノズル装置の部分拡
大正面図である。
FIG. 2 is a partially enlarged front view of the plating solution jetting nozzle device shown in FIG.

【図3】図2のA−A矢視線に沿って切断した拡大横断
平面図である。
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional plan view taken along the line AA of FIG. 2;

【図4】メッキ液噴出ノズル装置の概略を示した平面図
である。
FIG. 4 is a plan view schematically showing a plating solution jetting nozzle device.

【図5】メッキ液噴出ノズル装置の概略を示した平面図
である。
FIG. 5 is a plan view schematically showing a plating solution ejection nozzle device.

【図6】メッキ状態を示した製品の拡大縦断側面図であ
る。
FIG. 6 is an enlarged vertical sectional side view of a product showing a plating state.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ノズル管 2 噴出孔 3 メッキ液用タンク 4 分岐配管 5 循環ポンプ 6 メッキ液供給配管 7 メッキ液回収配管 8 吸込み口 10 陽極 11 治具 12 陰極バー 13 めくらキャップ 15 雄ネジ部 16 雌ネジ部 20 補強部材 21 長孔 22 縦長溝 A メッキ液 W 製品 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nozzle pipe 2 Injection hole 3 Plating liquid tank 4 Branch pipe 5 Circulation pump 6 Plating liquid supply pipe 7 Plating liquid recovery pipe 8 Suction port 10 Anode 11 Jig 12 Cathode bar 13 Blind cap 15 Male screw part 16 Female screw part 20 Reinforcing member 21 Slot 22 Vertical slot A Plating solution W Product

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 管内のメッキ液供給方向に沿って多数の
噴出孔を形成され、これらの噴出孔をメッキ液用タンク
内のメッキ液内に配設されるように設置されたノズル管
と、当該ノズル管を分岐配管を介して前記メッキ液用タ
ンク外に設置された循環ポンプと接続するメッキ液供給
配管と、前記メッキ液用タンク内のメッキ液内に吸込み
口を配設され、他端側を前記循環ポンプに接続されたメ
ッキ液回収配管とを備え、前記ノズル管の噴出孔からメ
ッキ液をメッキ処理される製品に向けて噴出するように
構成されたメッキ装置のメッキ液噴出ノズル装置であ
り、前記ノズル管を、メッキ処理される製品の移送方向
に沿って併設された前記分岐配管から分岐され、当該分
岐配管に所要の間隔をおいて立設状態に並設し、且つメ
ッキ処理される製品を介して立設状態に対設させたもの
において、 前記分岐配管に立設状態に取付けられた前記ノズル管
を、当該ノズル管に形成された噴出孔から噴出されるメ
ッキ液の噴出方向を該ノズル管の管周り方向の任意な位
置に向けられるよう当該ノズル管の管端部を前記分岐配
管に螺着状態に取付けたことを特徴とするメッキ装置の
メッキ液噴出ノズル装置。
1. A nozzle pipe having a number of ejection holes formed along a plating solution supply direction in a tube, the nozzle holes being provided so as to be arranged in the plating solution in a plating solution tank, A plating solution supply pipe for connecting the nozzle pipe to a circulation pump provided outside the plating solution tank via a branch pipe, and a suction port provided in the plating solution in the plating solution tank; A plating solution recovery pipe connected to the circulation pump, and a plating solution ejection nozzle device of a plating device configured to eject a plating solution from an ejection hole of the nozzle tube toward a product to be plated. And the nozzle pipe is branched from the branch pipe provided side by side along the transfer direction of the product to be plated, and the nozzle pipe is arranged in an upright state at a required interval to the branch pipe, and the plating processing is performed. Products The nozzle pipe attached to the branch pipe in the upright state is connected to the branch pipe by changing the jetting direction of the plating solution ejected from an ejection hole formed in the nozzle pipe into the nozzle pipe. A plating solution jetting nozzle device for a plating apparatus, wherein a pipe end of the nozzle pipe is screwed to the branch pipe so as to be directed to an arbitrary position in a pipe circumferential direction of the pipe.
【請求項2】 管内のメッキ液供給方向に沿って多数の
噴出孔を形成され、これらの噴出孔をメッキ液用タンク
内のメッキ液内に配設されるように設置されたノズル管
と、当該ノズル管を分岐配管を介して前記メッキ液用タ
ンク外に設置された循環ポンプと接続するメッキ液供給
配管と、前記メッキ液用タンク内のメッキ液内に吸込み
口を配設され、他端側を前記循環ポンプに接続されたメ
ッキ液回収配管とを備え、前記ノズル管の噴出孔からメ
ッキ液をメッキ処理される製品に向けて噴出するように
構成されたメッキ装置のメッキ液噴出ノズル装置であ
り、前記ノズル管を、メッキ処理される製品の移送方向
に沿って併設された前記分岐配管から分岐され、当該分
岐配管に所要の間隔をおいて立設状態に並設し、且つメ
ッキ処理される製品を介して立設状態に対設させたもの
において、 前記分岐配管に立設状態に取付けられた前記ノズル管に
当該ノズル管の管方向に沿って所定の間隔をおいて形成
された多数の噴出孔の孔径を、各噴出孔から噴出される
メッキ液の噴出量を均等化できるように上方から下方に
行くに従い徐々に小さく形成したことを特徴とするメッ
キ装置のメッキ液噴出ノズル装置。
2. A nozzle tube having a plurality of ejection holes formed along a plating solution supply direction in the tube, and having these ejection holes disposed in the plating solution in the plating solution tank. A plating solution supply pipe for connecting the nozzle pipe to a circulation pump provided outside the plating solution tank via a branch pipe, and a suction port provided in the plating solution in the plating solution tank; A plating solution recovery pipe connected to the circulation pump, and a plating solution ejection nozzle device of a plating device configured to eject a plating solution from an ejection hole of the nozzle tube toward a product to be plated. And the nozzle pipe is branched from the branch pipe provided side by side along the transfer direction of the product to be plated, and the nozzle pipe is arranged in an upright state at a required interval to the branch pipe, and the plating processing is performed. Products A large number of ejection holes formed at predetermined intervals along the pipe direction of the nozzle pipe in the nozzle pipe attached to the branch pipe in an upright state. Characterized in that the hole diameter of the plating liquid is gradually reduced from the upper part to the lower part so that the amount of the plating liquid ejected from each ejection hole can be equalized.
【請求項3】 管内のメッキ液供給方向に沿って多数の
噴出孔を形成され、これらの噴出孔をメッキ液用タンク
内のメッキ液内に配設されるように設置されたノズル管
と、当該ノズル管を分岐配管を介して前記メッキ液用タ
ンク外に設置された循環ポンプと接続するメッキ液供給
配管と、前記メッキ液用タンク内のメッキ液内に吸込み
口を配設され、他端側を前記循環ポンプに接続されたメ
ッキ液回収配管とを備え、前記ノズル管の噴出孔からメ
ッキ液をメッキ処理される製品に向けて噴出するように
構成されたメッキ装置のメッキ液噴出ノズル装置であ
り、前記ノズル管を、メッキ処理される製品の移送方向
に沿って併設された前記分岐配管から分岐され、当該分
岐配管に所要の間隔をおいて立設状態に並設し、且つメ
ッキ処理される製品を介して立設状態に対設させたもの
において、 前記ノズル管に該ノズル管の管方向に添って延設された
補強部材を添設状態に固着してあり、この補強部材に所
定の間隔をおいて多数の長孔を形成してあり、これらの
長孔を前記ノズル管の管内と連通させることにより、前
記各長孔を前記噴出孔として構成したことを特徴とする
メッキ装置のメッキ液噴出ノズル装置。
3. A nozzle tube having a plurality of ejection holes formed along a plating solution supply direction in the tube, the nozzle holes being provided so as to be arranged in the plating solution in a plating solution tank, and A plating solution supply pipe for connecting the nozzle pipe to a circulation pump provided outside the plating solution tank via a branch pipe, and a suction port provided in the plating solution in the plating solution tank; A plating solution recovery pipe connected to the circulation pump, and a plating solution ejection nozzle device of a plating device configured to eject a plating solution from an ejection hole of the nozzle tube toward a product to be plated. And the nozzle pipe is branched from the branch pipe provided side by side along the transfer direction of the product to be plated, and the nozzle pipe is arranged in an upright state at a required interval to the branch pipe, and the plating processing is performed. Products A reinforcing member extending along the pipe direction of the nozzle pipe is fixed to the nozzle pipe in an attached state, and a predetermined interval is provided between the reinforcing members. A plurality of long holes are formed, and these long holes are communicated with the inside of the nozzle tube to form each of the long holes as the ejection hole. Nozzle device.
JP2000367067A 2000-12-01 2000-12-01 Plating solution jet nozzle device for plating equipment Expired - Fee Related JP3340724B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000367067A JP3340724B2 (en) 2000-12-01 2000-12-01 Plating solution jet nozzle device for plating equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000367067A JP3340724B2 (en) 2000-12-01 2000-12-01 Plating solution jet nozzle device for plating equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002173793A JP2002173793A (en) 2002-06-21
JP3340724B2 true JP3340724B2 (en) 2002-11-05

Family

ID=18837572

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000367067A Expired - Fee Related JP3340724B2 (en) 2000-12-01 2000-12-01 Plating solution jet nozzle device for plating equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3340724B2 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4805141B2 (en) * 2003-03-11 2011-11-02 株式会社荏原製作所 Electroplating equipment
DE102005005095A1 (en) * 2005-02-04 2006-08-10 Höllmüller Maschinenbau GmbH Process and device for the electrochemical treatment of components in continuous flow systems
JP2007169700A (en) * 2005-12-21 2007-07-05 Victor Co Of Japan Ltd Copper electroplating method using insoluble anode
KR100961665B1 (en) * 2009-07-28 2010-06-14 주식회사 네오스코 Apparatus for plating pcb with reflection plate for led package
CN103305882B (en) * 2012-03-07 2016-08-10 深南电路有限公司 Pcb board electro-plating method and device
CN104480519B (en) * 2014-11-21 2017-01-04 朱和平 A kind of gold-plated equipment of vertical continuous PCB nickel plating
JP6937669B2 (en) * 2017-11-21 2021-09-22 富士通インターコネクトテクノロジーズ株式会社 Board processing equipment
EP3828316B1 (en) * 2019-11-26 2023-09-13 Semsysco GmbH Distribution system for a process fluid for chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002173793A (en) 2002-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102023328B1 (en) Surface treating apparatus
JP3340724B2 (en) Plating solution jet nozzle device for plating equipment
KR101412767B1 (en) Apparatus for supplying fluid and system and method for cleaning thin film utilizing thereof
CN103774147B (en) Etching method and etching device with nozzle group reciprocating in etching region
CN209832977U (en) Reservoir, supply circuit for an ink jet printer and ink jet printer
US7650897B2 (en) Nozzle arrangement
JP2008034436A (en) Etching device
JP3501747B2 (en) Plating solution jet nozzle system with adjustable flow rate of plating equipment
JP4677216B2 (en) Flat surface treatment equipment
JP3115047U (en) Jet floating plating tank
KR200482218Y1 (en) Knife capable of adjusting nozzle gap
CN212229419U (en) Circuit board developer spray set
JP2008095160A (en) Treatment tank
CN208898997U (en) It is a kind of to flow feed flow spray equipment
JP2004238690A (en) Submerged delivery-type plating machine equipped with plating liquid-ejecting nozzle system
EP3437868B1 (en) Ink jet head and ink jet recording apparatus
JPS5818798B2 (en) Through-hole plating method and device for printed wiring board
KR101735563B1 (en) One-piece device having a vortex nozzle Holes
CN220004493U (en) Spray circulation system
CN2538743Y (en) Device for vertically conveying and blowing circuit boards
CN221409276U (en) Etching spraying device for circuit board
JP2005336582A (en) Etching apparatus, and method for manufacturing circuit board
CN209813423U (en) PVC decorative film printing ink circulating device
CN218875116U (en) Jet flow device
CN209832976U (en) Reservoir cover, reservoir and ink jet printer

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070816

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120816

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130816

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees