JP2008090075A - 半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008090075A JP2008090075A JP2006272088A JP2006272088A JP2008090075A JP 2008090075 A JP2008090075 A JP 2008090075A JP 2006272088 A JP2006272088 A JP 2006272088A JP 2006272088 A JP2006272088 A JP 2006272088A JP 2008090075 A JP2008090075 A JP 2008090075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical waveguide
- optical
- clock
- light shielding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【課題】光信号のチップ上の各所でのスキューを大幅に減らす。
【解決手段】本発明の例に関わる半導体集積回路は、チップ基板201と、チップ基板201の上方に交互にスタックされる複数の光導波層203,205及び複数の光遮蔽層202,204,206と、複数の光導波層203,205内に配置され、光信号の進行方向を変えるための複数の反射板209a,209b,211a,211bと、複数の光導波層203,205を接続する複数の縦穴210とを備え、複数の光遮蔽層202,204,206は、光信号を反射し、複数の光導波層203,205は、光信号を放射状に伝送し、光信号は、複数の縦穴210を介して異なる光導波層に移動する。
【選択図】図3
【解決手段】本発明の例に関わる半導体集積回路は、チップ基板201と、チップ基板201の上方に交互にスタックされる複数の光導波層203,205及び複数の光遮蔽層202,204,206と、複数の光導波層203,205内に配置され、光信号の進行方向を変えるための複数の反射板209a,209b,211a,211bと、複数の光導波層203,205を接続する複数の縦穴210とを備え、複数の光遮蔽層202,204,206は、光信号を反射し、複数の光導波層203,205は、光信号を放射状に伝送し、光信号は、複数の縦穴210を介して異なる光導波層に移動する。
【選択図】図3
Description
本発明は、光導波層を有する半導体集積回路に関する。
近年の半導体集積回路は、多機能を実現するために、チップに搭載される回路規模が一段と大きくなる傾向にあり、その結果、チップ面積が増大の一途をたどっている。それに伴い、例えば、チップ上の各所で、クロックの到達時間、即ち、位相を揃えることが難しくなっている。
そこで、クロックやデータなどの信号を光で伝送するというアイデアが出され、検討が進められている。
光により信号を伝送する技術の一つに、ライン状の光導波路を用いるものがある。しかし、この場合、光導波路の幅を光の波長より小さくできないため、素子の微細化に合わせて光導波路を微細に形成することが難しいという問題がある。
また、光により信号を伝送する技術の他の一つに、光導波面を用いて信号を伝送するというものがある(例えば、特許文献1参照)。
光導波面を用いれば、光導波路で生じる問題を解決できるが、光の速度は無限ではないため、光源からチップ上の各所までの距離が異なれば、電気信号の場合と同様に、チップ上の各所での信号の到達時間を一致させることが難しくなる。
また、光により信号を伝送しても、その信号を受ける素子は、電気により動作するため、光電変換素子、さらには、光から電気に変換された信号を素子に導くローカル導電線が必要となる。これらのために、チップレイアウトが複雑化し、チップ面積が増大する。
従って、光導波面により信号を伝送する技術をさらに実現に近づけるためには、その信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすための新たな技術開発が不可欠である。
特開2001−237411号公報
本発明の例では、光導波面を用いて伝送された信号のチップ上の各所でのスキューを大幅に減らす技術について提案する。
本発明の例に関わる半導体集積回路は、チップ基板と、チップ基板の上方に交互にスタックされる複数の光導波層及び複数の光遮蔽層と、複数の光導波層内に配置され、光信号の進行方向を変えるための複数の反射板と、複数の光導波層を接続する複数の縦穴とを備え、複数の光遮蔽層は、光信号を反射し、複数の光導波層は、光信号を放射状に伝送し、光信号は、複数の縦穴を介して異なる光導波層に移動する。
本発明の例によれば、光導波面を用いて伝送された信号のチップ上の各所でのスキューを大幅に減らすことができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の例を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
1. 概要
本発明の例では、まず、複数の光導波面(光導波層)をスタックし、各光導波面は、縦穴で接続し、光は、縦穴を介してのみ異なる光導波面に移動できる、という構成を採用する。これにより、三次元低スキューツリー構造を作り、チップ上の各所での信号のタイミングスキューを大幅に減らす。
本発明の例では、まず、複数の光導波面(光導波層)をスタックし、各光導波面は、縦穴で接続し、光は、縦穴を介してのみ異なる光導波面に移動できる、という構成を採用する。これにより、三次元低スキューツリー構造を作り、チップ上の各所での信号のタイミングスキューを大幅に減らす。
また、本発明の例では、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子を用いて、フリップフロップなどのロジック回路を構成する。これにより、光電変換素子、さらには、ローカル導電線を不要にし、チップレイアウトの簡略化とチップ面積の縮小を図る。
2. 実施の形態
最良と思われるいくつかの実施の形態について説明する。
最良と思われるいくつかの実施の形態について説明する。
(1) 第1実施の形態
A. 参考例
まず、光導波面(光導波層)用いて信号を伝送する半導体集積回路の例について説明する。
A. 参考例
まず、光導波面(光導波層)用いて信号を伝送する半導体集積回路の例について説明する。
図1は、光クロック半導体集積回路を示している。図2は、図1の半導体集積回路を光源側から見た平面図である。
チップ基板101の最上層としてのメタル層上には、光を遮断する機能を有する光遮蔽層102が配置される。光遮蔽層102上には、光クロックを面内で放射状に伝える光導波層103が配置される。光導波層103上には、さらに、光を遮断する機能を有する光遮蔽層104が配置される。
光遮蔽層104のほぼ中央には、光射入孔106が開けられている。光射入孔106の上方には、光源105が配置される。光源105は、明滅することでクロックの“H”/“L”を表現する。
光射入孔106から入射された光クロックは、進行方向を直角に曲げられ、そこからチップ基板101の縁に向かって光導波層103内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層102には、多数の光射出孔107が開けられ、その真下には、光電変換素子(光→電気)・ローカルクロックドライバー108が配置される。光クロックは、そこで光電変換され、電気信号としてのクロックになる。
電気信号としてのクロックは、例えば、金属層から構成されるローカルクロック線109を経由して、フリップフロップなどのロジック回路に伝送される。
ローカルクロック線109は、チップ上の各所におけるクロックスキューを少なくするために、例えば、Hツリー構造を有する。
このような半導体集積回路の特徴は、光クロックを、光導波層(光導波面)103を用いて伝送する点にある。
しかし、光の速度は、超高速とはいえ、有限であるため、光射入孔107に近い光射出孔107には、光射入孔107から遠い光射出孔107よりも先に光クロックが到達する。
従って、光射出孔107直下の光電変換素子・ローカルクロックドライバー108から延びるローカルクロック線109をHツリー構造にしたとしても、光電変換素子・ローカルクロックドライバー108に光クロックが到達した時点で、既にスキューが発生しているため、チップ上の各所でのクロックスキューを解消することはできない。
また、光導波層(光導波面)103を用いず、Hツリー構造の光導波路を形成することもできるが、この場合、光導波路の幅を光の波長よりも小さくできないため、素子の微細化に対応することができない。
B. 基本構造
第1実施の形態では、複数の光導波面(光導波層)をスタックし、各光導波面は、縦穴で接続し、光は、縦穴を介してのみ異なる光導波面に移動できる、という三次元低スキューツリー構造を提案する。
第1実施の形態では、複数の光導波面(光導波層)をスタックし、各光導波面は、縦穴で接続し、光は、縦穴を介してのみ異なる光導波面に移動できる、という三次元低スキューツリー構造を提案する。
ここで、低スキューツリー構造とは、従来のHツリー構造に対応し、スキューを発生させないための信号経路を意味する。この言葉を採用したのは、第1実施の形態では、光は、光導波面を放射状に伝送するため、信号経路としては、Hツリー構造にならないからである。
図3は、第1実施の形態の半導体集積回路を示している。図4は、図3の半導体集積回路を光源側から見た平面図である。
チップ基板201の最上層としてのメタル層上には、光を遮断する機能を有する光遮蔽層202が配置される。
光遮蔽層202上には、光クロックを面内で放射状に伝える第1光導波層203が配置される。第1光導波層203内には、光クロックを反射する反射板211a,211bが配置される。第1光導波層203上には、さらに、光を遮断する機能を有する光遮蔽層204が配置される。
光遮蔽層204上には、光クロックを面内で放射状に伝える第2光導波層205が配置される。第2光導波層205内には、光クロックを反射する反射板209a,209bが配置される。第2光導波層205上には、さらに、光を遮断する機能を有する光遮蔽層206が配置される。
光遮蔽層202,204,206は、第1及び第2光導波層203,205を構成する材料よりも低い屈折率を有する材料、光クロックを反射する金属などの材料、又は、反射板209a,209b,211a,211bと同じ材料から構成される。
光遮蔽層206のほぼ中央には、光射入孔208が開けられている。光射入孔208の上方には、光源207が配置される。光源207は、明滅することでクロックの“H”/“L”を表現する。
光射入孔208から第2光導波層205内に入射された光クロックは、反射板209aにより、進行方向を直角に曲げられ、そこからチップ基板201の縁に向かって第2光導波層205内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層204には、光射入孔208から一定距離に、複数の光射出孔210が開けられている。光射出孔210の上部には、反射板209bが配置される。
第2光導波層205の内部を伝送してきた光は、反射板209bにより、進行方向を直角に曲げられ、第2光導波層205内から光射出孔210を経由して第1光導波層203内に移動する。
光射出孔210から第1光導波層203内に入射された光クロックは、反射板211aにより、進行方向を直角に曲げられ、そこから第1光導波層203内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層202には、光射出孔210から一定距離に、複数の光射出孔212が開けられている。光射出孔212の上部には、反射板211bが配置される。
第1光導波層203の内部を伝送してきた光は、反射板211bにより、進行方向を直角に曲げられ、第1光導波層203内から光射出孔212を経由して、その直下の光電変換素子(光→電気)・ローカルクロックドライバー213に入力される。光クロックは、そこで光電変換され、電気信号としてのクロックになる。
電気信号としてのクロックは、例えば、金属層から構成されるローカルクロック線214を経由して、フリップフロップなどのロジック回路に伝送される。
第1実施の形態の半導体集積回路によれば、第1及び第2光導波層(光導波面)203,205及びこれを繋ぐ光射出孔210,212により、光クロックの伝送路としての三次元低スキューツリー構造が実現される。
従って、光源207から光電変換素子・ローカルクロックドライバー213までの光信号経路が全て等しくなるため、光導波面を用いても、クロックスキューが発生することはない。
また、光電変換素子・ローカルクロックドライバー213から延びるローカルクロック線214をHツリー構造にすれば、チップ上の各所におけるクロックスキューを大幅に減らすことができる。
第1実施の形態では、光導波層(光導波面)の数を2つとしているが、三次元低スキューツリー構造によれば、光導波層の数が増えるに従い、チップ上の各所におけるクロックスキューの低減効果も向上する。つまり、光導波層の数は、2つに限られず、3つ以上であってもよい。
また、反射板は、鏡のような光を反射する金属材料を想定しているが、光の進行方向を、屈折、反射などの方法により、直角に曲げられるものであれば、何でも構わない。
第1実施の形態では、光導波層(光導波面)を用いてクロックを伝送したが、本発明の例は、クロック以外の信号(データなど)にも適用可能である。
C. 第1変形例
図5は、第1変形例の半導体集積回路を示している。図6は、図5の半導体集積回路の平面図である。
図5は、第1変形例の半導体集積回路を示している。図6は、図5の半導体集積回路の平面図である。
第1変形例も、基本構造と同様に、第1及び第2光導波層(光導波面)203,205及びこれを繋ぐ光射出孔210,212により、光クロックの伝送路としての三次元低スキューツリー構造が実現される。
第1変形例が基本構造と異なる点は、光源の位置にある。第1変形例では、チップ基板201上に光源としての光電変換素子(電気→光)215が配置される。また、チップ基板201上には、クロックを発生するPLL回路216(図6)が配置される。
PLL回路216で生成された電気信号としてのクロックは、光電変換素子215により、光クロックに光電変換される。光電変換素子215は、電気信号としてのクロックに基づき、明滅することで、クロックの“H”/“L”を表現する。
光電変換素子215からチップ基板201の上方に向かって放出された光クロックは、反射板209aにより、進行方向を直角に曲げられ、そこからさらにチップ基板201の縁に向かって第2光導波層205内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層204には、光射入孔208から一定距離に、複数の光射出孔210が開けられている。光射出孔210の上部には、反射板209bが配置される。
第2光導波層205の内部を伝送してきた光は、反射板209bにより、進行方向を直角に曲げられ、第2光導波層205内から光射出孔210を経由して第1光導波層203内に移動する。
光射出孔210から第1光導波層203内に入射された光クロックは、反射板211aにより、進行方向を直角に曲げられ、そこから第1光導波層203内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層202には、光射出孔210から一定距離に、複数の光射出孔212が開けられている。光射出孔212の上部には、反射板211bが配置される。
第1光導波層203の内部を伝送してきた光は、反射板211bにより、進行方向を直角に曲げられ、第1光導波層203内から光射出孔212を経由して、その直下の光電変換素子(光→電気)・ローカルクロックドライバー213に入力される。光クロックは、そこで光電変換され、電気信号としてのクロックになる。
電気信号としてのクロックは、例えば、金属層から構成されるローカルクロック線214を経由して、フリップフロップなどのロジック回路に伝送される。
第1変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第1実施の形態の効果を得ることができる。
D. 第2変形例
図7は、第2変形例の半導体集積回路を示している。図8は、図7の半導体集積回路の平面図である。
図7は、第2変形例の半導体集積回路を示している。図8は、図7の半導体集積回路の平面図である。
第2変形例も、基本構造と同様に、第1及び第2光導波層(光導波面)203,205及びこれを繋ぐ光射出孔210,212により、光クロックの伝送路としての三次元低スキューツリー構造が実現される。
第2変形例が基本構造と異なる点は、光源の位置にある。第2変形例では、チップ基板201が搭載されるプリント回路基板219上に光源220が配置される。
光源220は、基本構造のような光源であってもよいし、第1変形例のような光電変換素子(電気→光)であってもよい。
光源220が第1変形例のような光電変換素子である場合には、光電変換素子の他に、電気信号としてのクロックを発生するPLL回路をプリント回路基板219上に搭載する。
この場合、光電変換素子とPLL回路を1チップ内に形成し、これをプリント回路基板219に搭載するのが好ましい。
光源220は、明滅によりクロックの“H”/“L”を表現する。
チップ基板201の裏面には、チップ基板201をプリント回路基板219に搭載するための複数のバンプ(半田ボール)218が配置される。また、チップ基板201のほぼ中央には、光射入孔217が開けられている。
光源220から光射入孔217を介してチップ基板201の上方に向かって放出された光クロックは、反射板209aにより、進行方向を直角に曲げられ、そこからさらにチップ基板201の縁に向かって第2光導波層205内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層204には、光射入孔208から一定距離に、複数の光射出孔210が開けられている。光射出孔210の上部には、反射板209bが配置される。
第2光導波層205の内部を伝送してきた光は、反射板209bにより、進行方向を直角に曲げられ、第2光導波層205内から光射出孔210を経由して第1光導波層203内に移動する。
光射出孔210から第1光導波層203内に入射された光クロックは、反射板211aにより、進行方向を直角に曲げられ、そこから第1光導波層203内を放射状に進んでいく。
光遮蔽層202には、光射出孔210から一定距離に、複数の光射出孔212が開けられている。光射出孔212の上部には、反射板211bが配置される。
第1光導波層203の内部を伝送してきた光は、反射板211bにより、進行方向を直角に曲げられ、第1光導波層203内から光射出孔212を経由して、その直下の光電変換素子(光→電気)・ローカルクロックドライバー213に入力される。光クロックは、そこで光電変換され、電気信号としてのクロックになる。
電気信号としてのクロックは、例えば、金属層から構成されるローカルクロック線214を経由して、フリップフロップなどのロジック回路に伝送される。
第2変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第1実施の形態の効果を得ることができる。
E. まとめ
第1実施の形態によれば、複数の光導波面を用いた三次元低スキューツリー構造により、信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすことができる。従って、同一プロセスで作成されるならば、従来品に比べて、より高い周波数で半導体集積回路を動作させることができる。
第1実施の形態によれば、複数の光導波面を用いた三次元低スキューツリー構造により、信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすことができる。従って、同一プロセスで作成されるならば、従来品に比べて、より高い周波数で半導体集積回路を動作させることができる。
(2) 第2実施の形態
A. 参考例
図9は、光クロック半導体集積回路を示している。図10は、図9の半導体集積回路を光源側から見た平面図である。
A. 参考例
図9は、光クロック半導体集積回路を示している。図10は、図9の半導体集積回路を光源側から見た平面図である。
この半導体集積回路は、図1及び図2の参考例と比べると、Hツリー構造のローカルクロック線109の先端にフリップフロップ110が接続されている点が異なる。
光導波層(光導波面)103を伝送してきた光クロックは、光射出孔107を介して、光電変換素子・ローカルクロックドライバー108に入力される。
光電変換素子・ローカルクロックドライバー108は、光クロックを電気クロックに変換し、かつ、波形整形及び駆動力増強を行った後に、ローカルクロック線109を介して、その電気クロックをフリップフロップ110に供給する。
図11は、図9の光クロック半導体集積回路の回路図を示している。
ここで分かることは、この半導体集積回路は、光電変換素子108a及びローカルクロックドライバー108bを除き、電気クロックのみを用いた半導体集積回路と同じであるということである。
つまり、ローカルクロック線109によるHツリー構造とフリップフロップ110については、光クロック半導体集積回路と電気クロックのみを用いた半導体集積回路とで何ら変わるところはない。
図12は、図11のフリップフロップの回路図を示している。
フリップフロップ110は、CMOSインバータとCMOSトランスファーゲートとから構成される。クロックCKは、フリップフロップ110のクロック端子に入力される。そして、クロックCKから、さらに、2つのクロックCKB,CKDが生成される。
クロックCKBは、クロックCKに対して位相が逆(inverted)のクロックであり、クロックCKDは、クロックCKの位相が複写(duplicate)されたクロックである。
そして、クロックCKが“L”のとき、D入力端子からフリップフロップ110内にデータが取り込まれ、クロックCKが“L”から“H”になる瞬間のD入力端子の値をフリップフロップ110内で保持し、その値をQ出力端子から出力する。
Q出力端子の値は、この後、クロックCKが、再び、“L”から“H”に変化するまで保持される。
このような半導体集積回路では、光クロックを電気クロックに変換した後に、その電気クロックをローカルクロック線109によりフリップフロップ110に伝送しなければならない。
このため、光電変換素子108aの直前において光クロックの位相が揃っていたとしても、例えば、光電変換素子の特性のばらつきなどに起因して、フリップフロップ110に入力される電気クロックの位相がずれることがある。
また、光クロックを用いても、最終的には、それを電気クロックに変換してからフリップフロップ110に供給しなければならないため、光電変換素子108a、ローカルクロックドライバー108b及びローカルクロック線109により、チップレイアウトの複雑化、さらには、チップ面積及び消費電力が増大する。
B. 基本構造
第2実施の形態では、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子を用いて、フリップフロップなどのロジック回路を実現する技術を提案する。
第2実施の形態では、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子を用いて、フリップフロップなどのロジック回路を実現する技術を提案する。
図13は、第2実施の形態の半導体集積回路を示している。図14は、図13の半導体集積回路を光源側から見た平面図である。
チップ基板301上の表面領域には、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子302,303が配置される。
例えば、光強度を、強と弱の2種類用意した場合に、スイッチ素子302は、光強度=強でオン、光強度=弱でオフとなる素子であり、スイッチ素子303は、光強度=弱でオン、光強度=強でオフとなる素子である。
スイッチ素子302,303により、例えば、フリップフロップ312が構成される。
スイッチ素子302,303の構造については、特に、制限されることはなく、光信号により電気信号経路のオン/オフを制御できれば、どのような構造を有していてもよい。
チップ基板301上には、メタル配線領域304が配置される。メタル配線領域304は、スタックされた複数のメタル層から構成される。メタル配線領域304上には、光を遮蔽する機能を有する光遮蔽層305が配置される。
光遮蔽層305上には、光クロックを面内で放射状に伝える光導波層(光導波面)306が配置される。光導波層306内には、光クロックを反射する反射板313が配置される。反射板313は、鏡のような光を反射する金属材料、その他、屈折、反射などの方法により、光の進行方向を直角に曲げられるものであれば、何でもよい。
光導波層306上には、さらに、光を遮蔽する機能を有する光遮蔽層307が配置される。
スイッチ素子302,303と光導波層306との間には、光射出孔308が配置される。光射出孔308内には、光導波層306と同じ材料が満たされ、かつ、その周囲は、光遮蔽層309により取り囲まれる。
光遮蔽層305,307,309は、光導波層306を構成する材料よりも低い屈折率を有する材料、光クロックを反射する金属などの材料、又は、反射板313と同じ材料から構成される。
光遮蔽層307のほぼ中央には、光射入孔310が開けられている。光射入孔310の上方には、光源311が配置される。光源311は、明滅することでクロックの“H”/“L”を表現する。
光射入孔310から光導波層306内に入射された光クロックは、反射板313により、進行方向を直角に曲げられ、そこからチップ基板301の縁に向かって光導波層306内を放射状に進んでいく。
光クロックは、光遮蔽層305に設けられた光射出孔308を介してスイッチ素子302,303に供給される。
スイッチ素子302,303は、光クロックの光強度(強/弱)に基づいて、直接、オン/オフとなるため、光クロックにより、フリップフロップ312の動作が直接制御される。
第2実施の形態の半導体集積回路によれば、例えば、図15に示すように、光クロックを、直接、フリップフロップ312に与えて、その動作を制御することができる。つまり、光クロックを電気クロックに変換する必要がないため、光電変換素子、ローカルクロックドライバー、Hツリー構造のローカルクロック線などが不要である。
従って、光クロックの超高速という特長を十分に発揮させ、チップ上の各所でのクロックスキューを大幅に減らすことができる。
また、光電変換素子、ローカルクロックドライバー、ローカルクロック線などが不要であるため、チップレイアウトの簡単化、さらには、チップ面積の縮小及び消費電力の低減を実現できる。
図16は、フリップフロップの回路図を示している。
フリップフロップ312は、CMOSインバータと光スイッチ素子とから構成される。このようなフリップフロップを光ゲーテッドフリップフロップと称する。
光クロックCKは、フリップフロップ312のクロック端子に直接入力される。
光クロックCKの光強度(光クロック強度)が“弱”のとき、D入力端子からフリップフロップ312内にデータが取り込まれ、光クロックCKの光強度が“弱”から“強”になる瞬間のD入力端子の値をフリップフロップ312内で保持し、その値をQ出力端子から出力する。
Q出力端子の値は、この後、光クロックCKが、再び、“弱”から“強”に変化するまで保持される。
このように、光クロックにより直接制御されるスイッチ素子302,303を用いると、図12と図16とを比較すれば明らかなように、素子数が著しく減るという付随的効果が得られる。
即ち、図16のフリップフロップによれば、2種類のクロックとトランスファーゲートが不要となる。
尚、第2実施の形態では、光導波層(光導波面)の数が1つであるが、第1実施の形態のように、複数の光導波層を利用することもできる。
即ち、第2実施の形態において、複数の光導波層をスタックして、三次元低スキューツリー構造を完成させれば、チップ上の各所におけるクロックスキューの低減効果がさらに向上する。
第2実施の形態では、光導波層(光導波面)を用いてクロックを伝送しているが、本発明の例は、クロック以外の信号(データなど)にも適用可能である。
C. 第1変形例
図17は、第1変形例の半導体集積回路を示している。図18は、図17の半導体集積回路の平面図である。
図17は、第1変形例の半導体集積回路を示している。図18は、図17の半導体集積回路の平面図である。
第1変形例が基本構造と異なる点は、光源の位置にある。第1変形例では、チップ基板301上に光源としての光電変換素子(電気→光)314が配置される。また、チップ基板301上には、クロックを発生するPLL回路315(図18)が配置される。
PLL回路315で生成された電気クロックは、光電変換素子314により、光クロックに変換される。光クロックは、反射板313により、進行方向を直角に曲げられ、そこからさらにチップ基板301の縁に向かって光導波層306内を放射状に進んでいく。
光クロックは、光射出孔308を経由して、その直下のスイッチ素子302,303に供給される。スイッチ素子302,303は、フリップフロップなどのロジック回路を構成しており、そのオン/オフは、光クロックにより直接制御される。
第1変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第2実施の形態の効果を得ることができる。
D. 第2変形例
図19は、第2変形例の半導体集積回路を示している。図20は、図19の半導体集積回路の平面図である。
図19は、第2変形例の半導体集積回路を示している。図20は、図19の半導体集積回路の平面図である。
第2変形例が基本構造と異なる点も、光源の位置にある。第2変形例では、チップ基板301が搭載されるプリント回路基板318上に光源319が配置される。
光源319は、基本構造のような光源であってもよいし、第1変形例のような光電変換素子(電気→光)であってもよい。
光源319が第1変形例のような光電変換素子である場合には、光電変換素子の他に、電気クロックを発生するPLL回路をプリント回路基板318上に搭載する。
この場合、光電変換素子とPLL回路を1チップ内に形成し、これをプリント回路基板318に搭載するのが好ましい。
チップ基板301の裏面には、チップ基板301をプリント回路基板318に搭載するための複数のバンプ(半田ボール)317が配置される。また、チップ基板301のほぼ中央には、光射入孔316が開けられている。
光源319により生成された光クロックは、反射板313により、進行方向を直角に曲げられ、そこからさらにチップ基板301の縁に向かって光導波層306内を放射状に進んでいく。
光クロックは、光射出孔308を経由して、その直下のスイッチ素子302,303に供給される。スイッチ素子302,303は、フリップフロップなどのロジック回路を構成しており、そのオン/オフは、光クロックにより直接制御される。
第2変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第2実施の形態の効果を得ることができる。
E. 第3変形例
図21は、第3変形例の半導体集積回路を示している。
図21は、第3変形例の半導体集積回路を示している。
第3変形例の特徴は、SOI(silicon on insulator)チップ基板401を使用した点にある。即ち、SOIチップ基板401の絶縁層403を利用して光導波層(光導波面)405を形成する。
SOIチップ基板401は、半導体基板402と、シリコン層407と、これらの間の絶縁層403とから構成される。
絶縁層402は、光遮蔽層404,406と、これらの間の光導波層(光導波面)405とから構成される。光遮蔽層404,406は、光を遮蔽する機能を有し、光導波層405は、光クロックを面内で放射状に伝える機能を有する。
光導波層405内には、光クロックを反射する反射板415が配置される。反射板415は、鏡のような光を反射する金属材料、その他、屈折、反射などの方法により、光の進行方向を直角に曲げられるものであれば、何でもよい。
シリコン層407内には、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子408,409が配置される。
例えば、光強度を、強と弱の2種類用意した場合に、スイッチ素子408は、光強度=強でオン、光強度=弱でオフとなる素子であり、スイッチ素子409は、光強度=弱でオン、光強度=強でオフとなる素子である。
スイッチ素子408,409により、例えば、フリップフロップなどのロジック回路が構成される。
スイッチ素子408,409の構造については、特に、制限されることはなく、光信号により電気信号経路のオン/オフを制御できれば、どのような構造を有していてもよい。
シリコン層407上には、メタル配線領域411が配置される。メタル配線領域411は、スタックされた複数のメタル層から構成される。
光導波層405とスイッチ素子408,409との間には、光射出孔410が配置される。光射出孔410内には、光導波層405と同じ材料が満たされる。
また、半導体基板402には、光導波層405まで達する光射入孔412が開けられている。光射入孔412内には、光導波層405と同じ材料が満たされ、かつ、その周囲は、光遮蔽層413により取り囲まれる。
光遮蔽層404,406,413は、光導波層405を構成する材料よりも低い屈折率を有する材料、光クロックを反射する金属などの材料、又は、反射板415と同じ材料から構成される。
光射入孔412の下方には、光源414が配置される。光源414は、明滅することでクロックの“H”/“L”を表現する。
光射入孔412から入射された光クロックは、反射板415により、進行方向を直角に曲げられ、そこからSOIチップ基板401の縁に向かって光導波層405内を放射状に進んでいく。
光クロックは、光遮蔽層406に設けられた光射出孔410を介してスイッチ素子408,409に供給される。
スイッチ素子408,409は、光クロックの光強度(強/弱)に基づいて、直接、オン/オフとなるため、光クロックにより、フリップフロップなどのロジック回路の動作が直接制御される。
第3変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第2実施の形態の効果を得ることができる。
F. 第4変形例
図22は、第4変形例の半導体集積回路を示している。
図22は、第4変形例の半導体集積回路を示している。
第4変形例の特徴は、2つの光源を用意し、この2つの光源により、位相が180°異なる2種類の光クロックを生成し、さらに、チップ基板の両面に、それぞれ、2種類の光クロックを別々に伝送するための2つの光導波層(光導波面)を設けた点にある。
チップ基板301の表面領域には、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子302,303が配置される。
スイッチ素子302,303は、例えば、共に、閾値以上の光強度の光でオンとなり、光無し、又は、閾値未満の光強度の光でオフとなる素子である。スイッチ素子302,303により、例えば、フリップフロップなどのロジック回路が構成される。
スイッチ素子302,303の構造については、特に、制限されることはなく、光信号により電気信号経路のオン/オフを制御できれば、どのような構造を有していてもよい。
チップ基板301上面上には、メタル配線領域304が配置される。メタル配線領域304は、スタックされた複数のメタル層から構成される。
メタル配線領域304上には、光を遮蔽する機能を有する光遮蔽層305が配置される。光遮蔽層305上には、光クロックを面内で放射状に伝える機能を有する光導波層(光導波面)306が配置される。
光導波層306内には、光クロックを反射する反射板313が配置される。反射板313は、鏡のような光を反射する金属材料、その他、屈折、反射などの方法により、光の進行方向を直角に曲げられるものであれば、何でもよい。
光導波層306上には、さらに、光を遮蔽する機能を有する光遮蔽層307が配置される。
光導波層306とスイッチ素子302との間には、光射出孔308が配置される。光射出孔308内には、光導波層306と同じ材料が満たされ、かつ、その周囲は、光遮蔽層309により取り囲まれる。
光遮蔽層307のほぼ中央には、光射入孔310が開けられている。光射入孔310の上方には、光源311が配置される。光源311は、明滅することで光クロックAを生成する。
チップ基板301下面下には、光を遮蔽する機能を有する光遮蔽層320が配置される。光遮蔽層320下には、光クロックを面内で放射状に伝える機能を有する光導波層(光導波面)321が配置される。
光導波層321内には、光クロックを反射する反射板327が配置される。反射板327は、鏡のような光を反射する金属材料、その他、屈折、反射などの方法により、光の進行方向を直角に曲げられるものであれば、何でもよい。
光導波層321下には、さらに、光を遮蔽する機能を有する光遮蔽層322が配置される。
光導波層321とスイッチ素子303との間には、光射出孔323が配置される。光射出孔323内には、光導波層321と同じ材料が満たされ、かつ、その周囲は、光遮蔽層324により取り囲まれる。
光遮蔽層322のほぼ中央には、光射入孔325が開けられている。光射入孔325の下方には、光源326が配置される。光源326は、明滅することで光クロックBを生成する。
光クロックA,Bは、相補の関係を有し、位相が180°ずれている。
光源311により生成された光クロックAは、反射板313により、進行方向を直角に曲げられ、そこからチップ基板301の縁に向かって光導波層306内を放射状に進んでいく。光クロックは、光射出孔308を介してスイッチ素子302に供給される。
また、光源326により生成された光クロックBは、反射板327により、進行方向を直角に曲げられ、そこからチップ基板301の縁に向かって光導波層321内を放射状に進んでいく。光クロックは、光射出孔323を介してスイッチ素子303に供給される。
図23は、フリップフロップの回路図を示している。
光ゲーテッドフリップフロップ312は、CMOSインバータと光スイッチ素子とから構成される。光クロックA,Bは、フリップフロップ312のクロック端子に直接入力される。
そして、光クロックB(bCK)の光強度(光クロック強度)が閾値を超える値(=強)のとき、D入力端子からフリップフロップ312内にデータが取り込まれ、光クロックA(CK)の光強度が閾値を超える値(=強)になる瞬間のD入力端子の値をフリップフロップ312内で保持し、その値をQ出力端子から出力する。
Q出力端子の値は、この後、光クロックA(CK)の光強度が、再び、閾値を超える値(=強)に変化するまで保持される。
このように、光クロックにより直接制御されるスイッチ素子302,303を用いると、図16の場合と同様に、素子数が著しく減るという付随的効果が得られる。
第4変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第2実施の形態の効果を得ることができる。
G. 第5変形例
図24は、第5変形例の半導体集積回路を示している。
図24は、第5変形例の半導体集積回路を示している。
第5変形例が基本構造と異なる点は、光導波層(光導波面)306内の光クロックをスイッチ素子302,303に導く構造にある。
基本構造では、光射出孔により、光導波層内の光クロックを光スイッチ素子に導いたが、第5変形例では、光遮蔽層305Xの厚さを制御し、光が光遮蔽層305Xを通してその外に漏れ出す現象を利用して、光クロックを光スイッチ素子302,303に導く。
このような光は、「近接場光(エバネッセント光)」と呼ばれる。
チップ基板301には、スイッチ素子302,303が配置される。チップ基板301の一面(本例では、下面)側には、メタル配線領域304が配置され、他面(本例では、上面)側には、光遮蔽層305Xが配置される。
チップ基板301の他面は、メタル配線領域304が形成されない裏面であり、この裏面を、研削又は研磨し、この後、十分薄い光遮蔽層305Xを形成する。
光遮蔽層305X上には、光導波層306が配置される。光導波層306内には、反射板313が配置される。また、光導波層306上には、さらに、光遮蔽層307が配置される。
光遮蔽層307のほぼ中央には、光射入孔310が開けられている。光射入孔310の上方には、光源311が配置される。
光源311から発生した光クロックは、反射板313により、進行方向を直角に曲げられ、そこからさらにチップ基板301の縁に向かって光導波層306内を放射状に進んでいく。
光クロックは、光導波層306内を放射状に進むと共に、光遮蔽層305Xから漏れ出し、スイッチ素子302,303に供給される。スイッチ素子302,303は、フリップフロップなどのロジック回路を構成しており、そのオン/オフは、光クロックにより直接制御される。
第5変形例によれば、光遮蔽層305Xの厚さを制御し、近接場光を利用することで、わざわざ光射出孔を開けなくても、スイッチ素子に光クロックを直接導くことが可能になる。
従って、デバイス構造及びプロセスが簡略化され、製造コストを低減することができる。
第5変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第2実施の形態の効果を得ることができる。
H. 第6変形例
図25は、第6変形例の半導体集積回路を示している。
図25は、第6変形例の半導体集積回路を示している。
第6変形例が基本構造と異なる点は、第一に、SOIチップを使用した点、第二に、近接場光を利用した点にある。即ち、第6変形例は、第3変形例と第5変形例との組み合わせということができる。
SOIチップ基板401は、半導体基板402と、シリコン層407と、これらの間の絶縁層403とから構成される。
絶縁層402は、光遮蔽層404,406Xと、これらの間の光導波層(光導波面)405とから構成される。光遮蔽層404は、光をほぼ完全に遮蔽する機能を有するが、光遮蔽層406Xは、光の一部が漏れ出す程度に十分に薄く形成される。光導波層405は、光クロックを面内で放射状に伝える機能を有する。
光導波層405内には、光クロックを反射する反射板415が配置される。反射板415は、鏡のような光を反射する金属材料、その他、屈折、反射などの方法により、光の進行方向を直角に曲げられるものであれば、何でもよい。
シリコン層407内には、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子408,409が配置される。
例えば、光強度を、強と弱の2種類用意した場合に、スイッチ素子408は、光強度=強でオン、光強度=弱でオフとなる素子であり、スイッチ素子409は、光強度=弱でオン、光強度=強でオフとなる素子である。
スイッチ素子408,409により、例えば、フリップフロップなどのロジック回路が構成される。
スイッチ素子408,409の構造については、特に、制限されることはなく、光信号により電気信号経路のオン/オフを制御できれば、どのような構造を有していてもよい。
シリコン層407上には、メタル配線領域411が配置される。メタル配線領域411は、スタックされた複数のメタル層から構成される。
半導体基板402には、光導波層405まで達する光射入孔412が開けられている。光射入孔412内には、光導波層405と同じ材料が満たされ、かつ、その周囲は、光遮蔽層413により取り囲まれる。
光遮蔽層404,406X,413は、光導波層405を構成する材料よりも低い屈折率を有する材料、光クロックを反射する金属などの材料、又は、反射板415と同じ材料から構成される。
光射入孔412の下方には、光源414が配置される。光源414は、明滅することでクロックの“H”/“L”を表現する。
光射入孔412から入射された光クロックは、反射板415により、進行方向を直角に曲げられ、そこからSOIチップ基板401の縁に向かって光導波層405内を放射状に進んでいく。
光クロックは、光導波層405内を放射状に進んでいくと共に、光遮蔽層406Xから漏れ出すため、スイッチ素子408,409に直接供給されることになる。
スイッチ素子408,409は、光クロックの光強度(強/弱)に基づいて、直接、オン/オフとなるため、光クロックにより、フリップフロップなどのロジック回路の動作が直接制御される。
第6変形例の半導体集積回路においても、基本構造で説明した第2実施の形態の効果を得ることができる。
I. まとめ
第2実施の形態によれば、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子を用いることにより、光の超高速性という特長を最大限に生かし、信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすことができる。
第2実施の形態によれば、光信号により電気信号経路のオン/オフを直接制御できるスイッチ素子を用いることにより、光の超高速性という特長を最大限に生かし、信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすことができる。
従って、同一プロセスで作成されるならば、従来品に比べて、より高い周波数で半導体集積回路を動作させることができる。
また、光電変換素子、さらには、電気クロックをロジック回路に導くローカル導電線が不要になるため、チップレイアウトの簡略化、チップ面積の縮小、消費電力の削減などの効果を得ることができる。
3. その他
本発明の例によれば、光導波面を用いて伝送された信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすことができ、さらに、光により伝送された信号を直接的に素子に導くことができる。
本発明の例によれば、光導波面を用いて伝送された信号のチップ上の各所でのタイミングスキューを大幅に減らすことができ、さらに、光により伝送された信号を直接的に素子に導くことができる。
本発明の例は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、各構成要素を変形して具体化できる。また、上述の実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を構成できる。例えば、上述の実施の形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施の形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
101,201,301,401: チップ基板、 102,104,202,204,206,305,307,309,320,322,324,404,406,413: 光遮蔽層、 103,203,205,306,321,323,405: 光導波層、 105,207,220,311,319,414: 光源、 106,208,217,310,412: 光射入孔、 107,210,212,308,316,410: 光射出孔、 108,213,314: 光電変換素子・ローカルクロックドライバー、 109,214: ローカルクロック線、 110,312: フリップフロップ、 209a,209b,211a,211b,313,415: 反射板、 215: 光電変換素子、 216,315: PLL回路、 218,317: バンプ、 219,318: プリント回路基板、 302,303,408,409: 光スイッチ素子、 304,411: メタル配線領域、 402: 半導体基板、 403: 絶縁層、 407: シリコン層。
Claims (7)
- チップ基板と、前記チップ基板の上方に交互にスタックされる複数の光導波層及び複数の光遮蔽層と、前記複数の光導波層内に配置され、光信号の進行方向を変えるための複数の反射板と、前記複数の光導波層を接続する複数の縦穴とを具備し、前記複数の光遮蔽層は、前記光信号を反射し、前記複数の光導波層は、前記光信号を放射状に伝送し、前記光信号は、前記複数の縦穴を介して異なる光導波層に移動することを特徴とする半導体集積回路。
- 前記複数の光遮蔽層のうち前記チップ基板から最も遠い光遮蔽層に前記光信号を取り込む光射入孔が設けられ、前記複数の光遮蔽層のうち前記チップ基板に最も近い光遮蔽層に前記光信号を取り出す光射出孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記光信号は、前記チップ基板上の素子から前記チップ基板に最も遠い光導波層に向かって発せられ、前記複数の光遮蔽層のうち前記チップ基板に最も近い光遮蔽層に前記光信号を取り出す光射出孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記チップ基板に前記光信号を取り込む光射入孔が設けられ、前記複数の光遮蔽層のうち前記チップ基板に最も近い光遮蔽層に前記光信号を取り出す光射出孔が設けられ、前記光信号は、前記光射入孔の外から前記チップ基板に最も遠い光導波層に向かって発せられることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記複数の光遮蔽層は、前記複数の光導波層よりも低い屈折率を有する材料、前記光信号を反射する金属、又は、前記複数の反射板と同じ材料から構成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
- 前記チップ基板上に形成され、前記光射出孔から放出される前記光信号を電気信号に変換する光電変換素子を具備することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
- 前記光信号は、光の明滅により表現されるクロックであり、前記光信号の信号経路は、三次元低スキューツリー構造を構成していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006272088A JP2008090075A (ja) | 2006-10-03 | 2006-10-03 | 半導体集積回路 |
US11/906,725 US8867868B2 (en) | 2006-10-03 | 2007-10-03 | Semiconductor integrated circuit |
US14/490,468 US20150003779A1 (en) | 2006-10-03 | 2014-09-18 | Semiconductor integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006272088A JP2008090075A (ja) | 2006-10-03 | 2006-10-03 | 半導体集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008090075A true JP2008090075A (ja) | 2008-04-17 |
Family
ID=39374269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006272088A Pending JP2008090075A (ja) | 2006-10-03 | 2006-10-03 | 半導体集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008090075A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019537068A (ja) * | 2016-12-16 | 2019-12-19 | ザ・チャールズ・スターク・ドレイパ・ラボラトリー・インコーポレイテッド | 全ソリッドステート光学伝送/受信端末 |
-
2006
- 2006-10-03 JP JP2006272088A patent/JP2008090075A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019537068A (ja) * | 2016-12-16 | 2019-12-19 | ザ・チャールズ・スターク・ドレイパ・ラボラトリー・インコーポレイテッド | 全ソリッドステート光学伝送/受信端末 |
US10739520B2 (en) | 2016-12-16 | 2020-08-11 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | All-solid state optical transmit/receive terminal |
JP2021012401A (ja) * | 2016-12-16 | 2021-02-04 | ザ・チャールズ・スターク・ドレイパ・ラボラトリー・インコーポレイテッド | 全ソリッドステート光学伝送/受信端末 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8867868B2 (en) | Semiconductor integrated circuit | |
JP6172679B2 (ja) | 光結合構造、半導体デバイス、マルチ・チップ・モジュールのための光インターコネクト構造、および光結合構造のための製造方法 | |
US6741781B2 (en) | Optical interconnection circuit board and manufacturing method thereof | |
US8929693B2 (en) | Semiconductor package and semiconductor device including the same | |
JP6114570B2 (ja) | スポットサイズ変換器、光源、光送信器、光受信器及び光送受信器 | |
JP6072226B2 (ja) | 導波管およびエバネッセント場結合フォトニック検出器を提供する方法および装置 | |
JP6121730B2 (ja) | 光デバイス | |
JP2013514540A (ja) | オンチップ光導波路 | |
CN101872043B (zh) | 光学传输模块 | |
US8983261B2 (en) | Plasmonic waveguides, circuits, and systems | |
US11966090B2 (en) | Heterogeneous packaging integration of photonic and electronic elements | |
KR102230651B1 (ko) | 적층형 집적 회로의 광 인터커넥션 | |
JP2008090075A (ja) | 半導体集積回路 | |
US20140140658A1 (en) | Multichip package having optical interconnection | |
TWI393509B (zh) | 光電混載電路板及其製造方法 | |
JP2008090074A (ja) | 半導体集積回路 | |
CN101128761A (zh) | 包含基于soi的光学部件的多个集成电路的垂直堆叠 | |
CN109188825A (zh) | 基于石墨烯表面等离子激元的光学半加器 | |
JP2004320666A (ja) | 光伝送装置、電子回路と光回路が混在した光電融合回路 | |
US9097845B2 (en) | Optoelectronic chips including coupler region and methods of manufacturing the same | |
KR102062858B1 (ko) | 능동형 광소자 | |
JP2010197675A (ja) | 光導波路およびそれを具備する光電気混載基板 | |
JP2004251949A (ja) | 光導波路およびそれを用いた光/電気集積回路 | |
JP2003029070A (ja) | 光電融合配線基板、および光配線基板 | |
JP2005055809A (ja) | 光配線および光集積回路 |