JP2008088229A - 粘着シート及び粘着シートを用いた電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
粘着シート及び粘着シートを用いた電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】
芳香族ビニル系エラストマー100質量部、スチレン系樹脂5〜25質量部、芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体5〜25質量部以下を含有するフィルムを、粘着剤と積層してなる粘着シート。本発明の粘着シートは、細糸状の切削屑が生じにくく、室温でエキスパンドする際に、MD(マシン・ディレクション)とTD(トランス・ディレクション)のエキスパンドバランスに優れ、半導体チップの粘着剤層貼り付け面に粘着剤が移行しにくいという効果を奏するため、半導体ウエハを加工して電子部品とするための粘着シートとして好適に用いられる。
【選択図】 なし
Description
芳香族ビニル系エラストマーは、芳香族ビニル化合物単位と共役ジエン系化合物単位を有する共重合体と、その水素添加物である。
芳香族ビニル化合物は、ビニル基に直結した芳香族環構造を骨格とする化合物であり、例えばスチレン、α−メチルスチレン、o−、m−、及びp−メチルスチレン、1,3−ジメチルスチレン、ビニルナフタレン、並びにビニルアントラセン等が挙げられる。芳香族ビニル化合物の中ではスチレンが好ましい。
共役ジエンとしては、例えばブタジエン、イソプレン、1,3−ペンタジエン、及び2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。
芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体とは、スチレン骨格を有する芳香族ビニル単量体とエチレン性不飽和カルボン酸単量体の共重合体である。スチレン骨格を有する芳香族ビニル単量体単位80〜99質量%とエチレン性不飽和カルボン酸単量体単位1〜20質量%の共重合体が好ましく、芳香族ビニル単量体85〜98質量%、エチレン性不飽和カルボン酸単量体2〜15質量%、及びビニル単量体0.1〜10質量%の共重合体がより好ましい。上記範囲であれば樹脂の流動性が良く、芳香族ビニル系エラストマーと溶融混合しやすく、フィルム成形性が良いため好ましい。
粘着シートの基材は、原料である芳香族ビニル系エラストマー、スチレン系樹脂、及び芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体を混合し、フィルム状に成形して得られる。
粘着剤は、例えばシリコン系、天然ゴム系、アクリル系、又はアクリルゴム系の成分を主体とするものが使用可能である。粘着剤にはウレタンアクリレートオリゴマー、放射線重合開始剤、及び硬化剤等を添加して放射線重合性又は加熱重合性としてもよい。
粘着シートは、基材上に粘着剤を含有する粘着剤層を塗布又は印刷等により形成する。粘着シートの製造方法としては、例えば粘着剤層成分をそのまま、又は適当な有機溶剤により溶液化し、塗布又は散布等により基材上に塗工し、例えば80〜100℃、30秒〜10分間程度、加熱処理等により乾燥させる方法等が挙げられる。粘着剤層の厚さは乾燥後の厚みを5〜50μmとすることが好ましい。
粘着シートを使用して、半導体ウエハを加工して電子部品を製造する方法は、例えばシリコンウエハ上に回路パターンを形成して電子部品集合体とし、粘着シートを電子部品集合体に貼り付けて固定した後、回転丸刃でダイシングして電子部品のチップとする方法が挙げられる。
芳香族ビニル系エラストマーA:スチレン−ブタジエンランダム共重合体の水素添加物(旭化成ケミカルズ株式会社製 S.O.E. SS9000)
芳香族ビニル系エラストマーB:スチレン−ブタジエンランダム共重合体の水素添加物(旭化成ケミカルズ株式会社製 S.O.E.−SS L607)
スチレン系樹脂: 東洋スチレン株式会社製GPPS G−14L
芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体:芳香族ビニル単量体としてスチレン92質量%、エチレン性不飽和カルボン酸単量体8質量%を重合してなる共重合体、東洋スチレン株式会社製 T−080、ビカット軟化点115℃
LDPE:東ソー社製、ペトロセン226
実施例1の基材フィルムは、芳香族ビニル系エラストマーA、芳香族ビニル系エラストマーB、スチレン系樹脂、及び芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体を表1記載の配合で2軸押出機に投入して混合し、混合物をTダイにより成形して厚さ100μmのフィルムとし、幅300mmのテープ状に切断した。
粘着剤:アクリル系重合体100質量部、ウレタンアクリレートオリゴマ100質量部、ラジカル重合禁止剤0.5質量部、放射線重合開始剤3質量部、硬化剤3質量部からなる放射線重合性の粘着剤。
アクリル酸エステル系重合体:重量平均分子量60万のアクリル酸エステル共重合体(ブチルアクリレート単位97質量%、2−ヒドロキシエチルアクリレート単位3質量%)。
ラジカル重合禁止剤:p−メトキシフェノールを主体、市販品。
アクリル系重合体:アクリル酸メチル及び2−ヒドロキシルエチルアクリレート由来の単量体単位を主体、市販品。
ウレタンアクリレートオリゴマー:6官能ウレタンアクリレートオリゴマー、分子量3000、市販品。
放射線重合開始剤 :1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、市販品。
硬化剤 :トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートを主体、市販品。
粘着シートの評価方法を示す。評価試験は特に断りがないものは温度23±2℃、湿度50±5%RHに設定された評価試験室内で実施した。
良 :粘着剤が見つからなかった
不良:粘着剤が見つかった
良 :白化の無いもの
不良:白化の有るもの
Claims (9)
- 芳香族ビニル系エラストマー100質量部、スチレン系樹脂5〜25質量部、芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体5〜25質量部以下を含有するフィルムを、粘着剤と積層してなる粘着シート。
- 芳香族ビニル系エラストマーがスチレン−イソプレン−スチレン共重合体の水素添加物、スチレン−ブタジエンランダム共重合体の水素添加物、スチレン−エチレン・ブチレン共重合体−スチレンブロック共重合体、スチレン−エチレン・プロピレン共重合体−スチレンブロック共重合体、及びスチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体からなる群から選ばれる一種以上である請求項1に記載の粘着シート。
- スチレン系樹脂が汎用ポリスチレン及び/又は耐衝撃性ポリスチレンである請求項1又は請求項2に記載の粘着シート。
- 芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体が、芳香族ビニル単量体単位80〜99質量%とエチレン性不飽和カルボン酸単量体20〜1質量%を重合してなる請求項1乃至3のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 芳香族ビニル−不飽和カルボン酸共重合体が、芳香族ビニル単量体80〜99質量%とエチレン性不飽和カルボン酸単量体1〜20質量%を重合してなり、芳香族ビニル単量体がスチレン、エチレン性不飽和カルボン酸単量体が(メタ)アクリル酸である請求項1乃至4のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 粘着剤がアクリル系重合体を含有する請求項1乃至5のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 粘着剤がアクリル系重合体、ウレタンアクリレートオリゴマ、及び放射線重合開始剤を含有する請求項1乃至6のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 半導体ウエハ加工用である請求項1乃至7のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の粘着シートを用いた電子部品の製造方法。
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