JP2008073631A - 機能液滴吐出方法及びその方法を用いたカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】画素の着色抜け、他色との混色等がない、優れたカラーフィルタを製造することができるカラーフィルタの製造方法及びその機能液滴吐出方法を備えた画像形成装置を提供することである。
【解決手段】被吐物面に、格子状、若しくは行列状に設けられた区切りによりなる開口部に対し、被吐物の搬送方向と直交する方向に等間隔で配置された多数の機能液滴吐出するノズルを有し、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出ヘッドを含む機能液滴吐出ヘッドユニットから被吐物へ機能液滴を吐出する機能液滴吐出方法において、前記機能液滴吐出ノズルから吐出される液滴の着弾位置を各々相毎に被吐物の搬送方向にずらして着弾するようにして、機能液滴を吐出する機能液滴吐出方法。
【選択図】図１

Description

本発明は、機能液滴吐出方法およびその方法を好適に適用できるフィルムベースのカラーフィルタの製造方法、ガラスベースのカラーフィルタの製造方法、薄膜電子回路基板の製造方法に関する。

多数の機能液滴吐出ノズル（以下ノズルと記す）を有する機能液滴吐出ヘッド（以下ヘッドと記す）をライン幅方向（副走査方向）の基板搬送方向と直交する方向に複数列配列してヘッドユニットを構成し、このヘッドユニットをライン幅方向とは直角の方向（主走査方向または搬送方向）に走査することで一度の走査で複数行の画像形成を同時に行う画像形成装置が提案されている。前記画像形成装置は、ヘッドユニット自体が副走査方向及び主走査方向に走査する、又はヘッドユニット自体が副走査方向と、基板自体が搬送方向に走査することで複数行の画像形成を同時に行うことができる。

前記画像形成装置の対象となる画像として、基板、若しくはこの基板上に格子状若しくは行列状に設けられた隔壁に区切られてなる開口部に機能液滴硬化物等が形成された印刷物が挙げられる。例えば、カラーフィルタ用の、有機エレクトルミネッセンス素子用の、回路基板用の、バイオチップ、電子ペーパー用の画像等を挙げることができる。

特許文献１には、機能液滴吐出方式を用いてカラーフィルタを製造する方法が記載されている。これらの方法は、Ｒ（赤）画素、Ｇ（緑）画素、Ｂ（青）画素の三色の色素を各々含有する機能液滴を機能液滴吐出方式で基板上に吐出し、各機能液滴を乾燥させて着色画素の画像部を形成するものである。こうした機能液滴吐出方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行うことが可能となり、フォトプロセスを用いる画素の形成より大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコストダウン効果を得ることが出来る。

上記の従来の機能液滴吐出方式による製造方法においては、一画素において必要な機能液滴量を一度に吐出し、各画素を仕切るためのブラックマトリックス（以下ＢＭと記す）の開口部全体に均一に機能液滴を広げることは困難である。また、吐出される液滴形はほぼ円形であり、長方形状のＢＭの隔壁よりなる開口部には複数個の液滴を吐出する必要がある。この際、単に画一的な吐出方法を採ると、ＢＭの開口部全体に均一に機能液滴を広げることは困難であり、開口部周辺部のＢＭの隔壁において、着色の抜けが生じたりすることがあった。カラーフィルタにとってこうした着色抜けは大きな欠陥であり画質の品質を大きく損なう問題がある。これを防止するために、ＢＭ隔壁の開口部に対して、かなり大きめの機能液滴のドット（ドロップ）を形成すると、ＢＭの隔壁を乗り越えて隣の開口部に形成の他色のドットと混色する恐れがある。この解決策として、機能液滴の物性の改善、受容層（隔壁層）の物性の改良に関する提案が種々なされている。

しかしながらＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の機能液滴の特性によっても着弾後の機能液滴ドットの挙動が大きく異なることが判明しており、単に機能液滴物性、隔壁層物性の改良だけでは、画素の着色抜け、他色との混色を防止したカラーフィルタを機能液滴吐出方式において製造することは困難であった。このように、機能液滴の吐出方法は、カラーフィルタを製造する工程で非常に重要な要素となる。

通常、隔壁内へ機能液滴の吐出を行う場合、隔壁に掛からないように開口部の搬送方向の中央へ吐出を行う。しかし、この場合開口幅が広くなると、隔壁近傍に着色抜けが発生しやすくなる。

図７は、従来の機能液滴を開口部へ直線状に吐出する方法を説明する側断面図である。

図７に示す、液滴の被吐物へ着弾状態は、ヘッドの各相の間隔Ｌ、各相の吐出する時間間隔ｔと被吐物の搬送速度Ｖが関わる。液滴を被吐物へ直線状に吐出する場合、ヘッドの構造上Ｌは定数なので、ｔとＶの関係から決まり、以下の場合、
Ｖ＝Ｌ／ｔ ―――――（式１）
直線状になる。

図７は、図上側にヘッド１のノズル５を配置図であり、Ａ，Ｂ，Ｃのノズル５ａ、５ｂ、５ｃが基板搬送方向にずらして配置されており、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出のシェアウェーブモードのヘッドである。液滴吐出コントローラーより、ヘッドパラメータ情報の発信と同時に各々Ａノズル５ａの開を駆動させ液滴吐出し、次にヘッドパラメータ情報の発信と同時に各々Ｂノズル５ｂの開を駆動させ液滴吐出し、次にヘッドパラメータ情報の発信と同時に各々Ｂノズル５ｃの開を駆動させ液滴吐出するる。その間に基板を式１の速度で搬送するため、隔壁７ａ、７ｂ間の中央部に直線状に吐出する。図７の下側に基板１１の上面図であり、液滴の被吐物へ着弾状態を説明する上面図である。基板１１は、図下側から上側に搬送されながら、各々ノズルからの液滴が直線状に着弾されている。基板１１には隔壁７ａ、７ｂが形成されており、中央部に直線状に液滴が着弾した後、上下の隔壁７ａ、７ｂの近傍まで全体に均一に機能液滴を広げることは困難となる問題がある。

図８は、従来の液滴を開口部へ直線状に吐出する工程を説明する側断面図である。

図８（ａ）は、Ａ相のノズル孔５ａからインクが吐出され、基板１１上の隔壁７ａ、７ｂ間中央近傍に着弾して、Ａ液滴６ａが形成されている。図６（ｂ）は、Ｂ相のノズル孔５ｂからインクが吐出され、基板１１上の隔壁７ａ、７ｂ間中央近傍の近傍に着弾して、Ｂ液滴６ｂが形成されている。図６（ｃ）は、Ｃ相のノズル孔５ｃからインクが吐出され、基板１１上の隔壁７ａ、７ｂ間中央近傍に着弾して、Ｃ液滴６ｃが形成されている。図６（ａ）〜（ｃ）の間では、吐出タイミングを３相に分割した吐出時間毎に、すなわちヘッドパラメータ情報の出力毎にノズル５ａから、次いでノズル５ｂ、次いでノズル５ｃに合わせるように基板搬送速度（式１）を調整する。

以下に公知文献を記す。
特開昭５９−７５２０５号公報 特開昭６３−２３５９０１号公報

上記のことを鑑みて版発明の目的は、画素の着色抜け、他色との混色等がない、優れたカラーフィルタを製造することができるカラーフィルタの製造方法及びその機能液滴吐出方法を備えた画像形成装置を提供することである。

上記の課題を解決するための本発明の構成を以下に示す。

本発明の請求項１に係る発明は、被吐物面に、格子状、若しくは行列状に設けられた区切りによりなる開口部に対し、被吐物の搬送方向と直交する方向に等間隔で配置された多
数の、機能液滴吐出するノズルを有し、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出ヘッドを含む機能液滴吐出ヘッドユニットから被吐物へ機能液滴を吐出する機能液滴吐出方法において、
前記機能液滴吐出ノズルから吐出される液滴の着弾位置を各々相毎に被吐物の搬送方向にずらして着弾するようにして、機能液滴を吐出することを特徴とする機能液滴吐出方法である。

本発明の請求項２に係る発明は、前記開口部の区切りへ機能液滴が掛からぬように機能液滴を吐出することを特徴とする請求項１記載の機能液滴吐出方法である。

本発明の請求項３に係る発明は、格子状、若しくは行列状に設けられた隔壁によりなる開口部を備えたカラーフィルタ用の基板を水平方向に搬送しながら、搬送方向と直交する方向に等間隔で配置された多数の、機能液滴吐出ノズルを有し、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出ヘッドを含む機能液滴吐出ユニットからなる画像形成装置を用いて、基板へ機能液滴を吐出し画素を形成するカラーフィルタの製造方法において、前記画像形成装置の機能液滴吐出ノズルからの吐出される液滴の着弾位置を各々相毎に被吐物の搬送方向にずらして着弾するように機能液滴を吐出する前記請求項１、又は２記載の機能液滴吐出方法により画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。

本発明の請求項４に係る発明は、前記隔壁へ機能液滴が掛かからぬように機能液滴を吐出し画素を形成することを特徴とする請求項３記載のカラーフィルタの製造方法である。

本発明の請求項５に係る発明は、前記機能液滴吐出ヘッドは、機能液滴の微少ドロップを１個以上の連続した吐出数で各ノズルから吐出でき、その吐出数を可変できるマルチドロップレット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いて、基板へ機能液滴を吐出し画素を形成することを特徴とする請求項３、又は４記載のカラーフィルタの製造方法である。

本発明の請求項６に係る発明は、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出は、基板搬送方向と直交する方向に形成した隔壁に同期した同期信号を基準にして液滴の吐出を制御する機能液滴吐出ヘッドを用いて、その同期信号に従って基板へ機能液滴を吐出し画素を形成することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項記載のカラーフィルタの製造方法である。

本発明によれば、隔壁にかからないように液滴を斜めに吐出を行うことにより、開口部の隅まで機能液滴を均一に満たすことが可能になり、また開口幅が広くなればなるほどこの吐出方法が有効となる。

本発明の機能液滴吐出方法及びその方法を用いたカラーフィルタの製造方法を一実施形態に基づいて以下説明する。図１は、本発明の機能液滴吐出装置の全体構成例を示す外形図である。

図１の本発明の機能液滴吐出方法を備えた画像形成装置のヘッドユニット２は、ヘッド１が複数個整列して並んでいるものである。カラーフィルタを各々画素の画像を作成するためには、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の機能液滴を吐出する必要があるため、前述した複数個並んでいるヘッドの組み合わせが各色用として配置されている。また、ヘッドユニット２はライン幅方向（副走査方向）のＸ軸方向に移動し、画像描画を行う。

本発明の機能液滴吐出方法を備えた画像形成装置の搬送ステージ３は、基板搬送方向のＹ軸方向に移動可能であり、さらにθ方向に回転可能である。θ方向に回転可能なため、搬送ステージ３の上に置かれた基板の開口部（以下、セルという）とヘッドユニット２を平行に合わせることができ、Ｙ軸方向に動作させることで画像描画を行うことができる。また、搬送ステージには図示されていない吸着機構を備えており、搬送ステージに置かれた基板を固定することが可能である。また、隔壁を配置された基板に液滴吐出を行う場合には、ヘッドユニットと搬送ステージとの相対移動における位置検出から生成された同期信号に基づいてヘッドの吐出制御を行う。

本発明の吐出パターン情報に基づいてノズルの機能液滴吐出を制御する手段として、機能液滴の吐出を制御する機能液滴吐出コントローラー４を挙げられる。機能液滴吐出コントローラー４は、ヘッドを駆動し、ヘッドパラメータ情報と吐出パターン情報が格納されている。ヘッドパラメータ情報は、ノズルの開閉を駆動させるための情報である。吐出パターン情報は、ヘッドの位置情報を引数として、ノズルの吐出についての情報が格納されている。画素の印刷を行う際に機能液滴吐出コントローラー４から各ヘッドに吐出パターン情報が転送され、描画を行うことが可能である。

また、上記機能液滴吐出コントローラー４からのヘッドを駆動させるためのヘッドパラメータ情報には、各々ヘッド、若しくはノズル毎に最適の電圧値のパラメータを設定できる。全てのヘッドの駆動電圧に同じ値を設定すると、ノズルから吐出される液滴の量が個体差により変わるため、基板内を均一に描画することができなくなる。

画素の描画を行うための吐出パターン情報は、ヘッド及びノズルの基本配列位置、基準配列位置からの隔壁とのズレ量を測定し、このズレ量から所望の印刷パターンに位置を得るための吐出のパターンを算定し、吐出パターン情報に変換する。

吐出パターン情報には、画素の画像の配列、例えばストライプ（行列状）配列、格子状配列、モザイク配列であるかの情報配列パターンが含まれており、ヘッドが吐出パターン情報から得た情報を利用し、所望の画像配列にズレを生ずることなく吐出することができる。吐出パターン情報には、基板面数、基板寸法、画像寸法、セル寸法の情報と、ヘッドの基準位置情報および基準位置からのズレ量の情報をヘッドパラメータ情報として設定する。

そして、これらのヘッドパラメータ情報から、各ヘッドの実際の基板上の位置を想定する。吐出パターン情報の生成時に、実際のヘッドの位置を基に、ノズルから吐出される機能液滴が隔壁に当たらない時のみの吐出を有効とし、隔壁に当たる時は吐出しないといった吐出パターン情報を生成する。

またこの場合、有効と判断されたノズルは基板内の吐出液滴量が均一になるためのノズルから吐出する量の情報を有している。この吐出液滴の量は、目標の座標を任意に指定し部分的に吐出液滴量を増量もしくは減量させることが可能であり、吐出液滴量が均一にすることが可能である。

図２（ａ）〜（ｄ）は、シェアウェーブモードの機能液滴吐出ヘッドのノズルの動作を説明する構成図である。（ａ）は、オフの状態、（ｂ）は、吐出オン（印加アクティブ）の状態、（ｃ）は、吐出オフ（印加インアクティブ）の状態、（ｄ）は、オフの状態である。

まず図２を用いてこの機能液滴吐出ヘッドについて簡単に説明する。この図はノズル面からみた斜視図である。

図２（ａ）の左側の図は、クシバ状に加工した圧電セラミックを貼り合わせたもので、図示していない電極が予め付与されておる。

そして、図中のＡノズル５ａ、Ｂノズル５ｂ、Ｃノズル５ｃと書かれた部分がインクを充填するノズル孔内であり、図面から奥方向に例えば０．５ｍｍとか１ｍｍといった深さの液室が形成される。

図２は、圧電セラミックスに貼り合わせるノズルのプレート部を示したもので、ノズル孔５と同じく、Ａ相ノズル、Ｂ相ノズル、Ｃ相ノズルと３つの周期で切り分ける事が出来る。また、時間的に３相に分割される事から各ノズルは吐出する相毎にノズル穴がオフセットしており、３サイクル毎に意図的にずらしてある。図２（ａ）は、ノズル孔がオフの状態であり、通常のノズル孔の形状である。

さて、実際にインクを吐出させる動作を図２（ｂ）以降で説明する。

図２（ｂ）では、各々Ａノズル孔５ａに接する両側の圧電セラミックスを広げる方向に電圧印可をしたところである。電圧印可をしたアクティブ動作では、孔内壁を広げる方向となる。

図２（ｃ）では、各々Ａノズル孔５ａに接する両側の圧電セラミックス液室を縮める方向に電圧印可（逆極性の電圧を印可する等で実施）したところである。逆極性の電圧を印可するインアクティブ動作では、孔内壁を縮小する方向となる。このとき、Ａ相のノズル孔からインクが吐出される。但し、この吐出条件はＢ相ノズル、Ｃ相ノズルといった隣接相のノズルからは吐出しない条件で調整される。

図２（ｄ）では、各々Ａノズル孔５ａに残る残留振動が減衰して無くなるまで待つ、休止期間（ＯＦＦ動作：オフ）の状態を表している。

次に、この図２（ａ）〜（ｄ）の動作を、図３（ａ）〜（ｄ）を参照して、Ａ相ノズル部の圧電セラミックスへの印加波形を用いて、再度説明する。

図３（ａ）の状態では、圧電セラミックスへの印加電圧は無い、すなわち、ゼロボルトである。

図３（ｂ）の状態では、プラス側に電圧を印可している。プラス側に電圧を印可する事によってピエゾの壁、すなわちノズル孔内壁を両外側に押し広げている。これは、弓矢で言えば弓を引いている状態に近い。

図３（ｃ）の状態では、逆方向の電圧、すなわちマイナス電圧を印可する。広がった圧電セラミックスを逆方向に狭めさせるため、印加する時間はアクティブにする時間に対し、約２倍か、２倍以上の時間を設定する。尚、アクティブとインアクティブの間に若干のゼロボルト電圧を動作の変わり目として入れる場合もある。また、インアクティブ動作は弓矢で言えば矢を放す動作に相当するが、圧電セラミックスのノズル内壁を積極的に狭める事でパルス的にインクを吐出させている。

図３（ｄ）では、圧電セラミックス上に生じた振動が消えて他の相ノズルへの影響が無くなるまでの休止時間なので、印加電圧ゼロボルトである。

以降、吐出ノズルをＢ相、Ｃ相と繰り返す事によって全ノズルからインクのドロップレ
ットを吐出させる事ができる。つまり各々Ａノズル孔〜Ｂノズル孔〜Ｃノズル孔〜Ａノズル孔と繰り返すので３相分割駆動である。

図４は、ノズルから一個以上の連続した液滴を吐出し隔壁間に色材画素層を形成している側断面図である。

図４の様に、ノズルから一個以上の連続した液滴を吐出し、隔壁間に色材層を形成している図である。図４は、図１に対応しており、基板の搬送方向を紙面に対して右から左側方向に搬送されている。図左側には、画素８が形成されており、右側の画素形成位置にインキの吐出が開始されている。図上側のノズル５は、指示された吐出量までドロップレットを吐出し、微少ドロップの液滴６を連続して、基板上に着弾させている。

図５には、液滴を開口部へ斜めに吐出する方法を示す。通常の塗工では液滴の中心が開口部の中心に来るように吐出を行うが、開口部内に液滴を斜めに吐出する場合、搬送速度Ｖを直線状に吐出させる時より早くし（Ｌ／ｔ＜Ｖ）、Ａ相の液滴の着弾位置を隔壁へ近づける必要がある。なお、ヘッドの各相の間隔Ｌ、各相の吐出する時間間隔ｔとした。また、隔壁に液滴を当たらないように吐出するためには、開口幅をａ、液滴の直径をｂとしたとき、
Ｖ＜（ａ―ｂ）／２ｔ ―――――（式２）
とする必要がある。

図５は、図上側にヘッド１のノズル５を配置図であり、Ａノズル５ａ、Ｂノズル５ｂ、Ｃノズル５ｃが基板搬送方向にずらして配置されており、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出のシェアウェーブモードのヘッドである。液滴吐出コントローラーより、ヘッドパラメータ情報の発信と同時に各々Ａノズル５ａを開に駆動させ液滴吐出し、次にヘッドパラメータ情報の発信と同時に各々Ｂノズル５ｂを開に駆動させ液滴吐出し、次にヘッドパラメータ情報の発信と同時に各々Ｃノズル５ｃを開に駆動させ液滴吐出するる。その間に基板を式２の速度で搬送するため、隔壁７ａの近傍、隔壁７ａ、７ｂ間の中央部の近傍、隔壁７ｂの近傍に斜線状に吐出する。図５の下側には基板１１の上面図であり、液滴の被吐物へ着弾状態を説明する上面図である。基板１１は、図下側から上側に搬送されながら、各々ノズルからの液滴が斜線状に着弾されている。基板１１には、隔壁７ａの近傍、中央部、隔壁７ｂの近傍に形成されており、隔壁７ａの近傍から隔壁７ｂ近傍まで斜線状に液滴が着弾した後、上下の隔壁７の近傍まで全体に均一に機能液滴を広げることは容易となり、隔壁間７ａ、７ｂに均一な膜厚を形成することができる。

図６は、本発明の液滴を開口部へ斜めに吐出する工程を説明する側断面図である。

図６（ａ）は、Ａ相のノズル孔５ａからインクが吐出され、基板１１上の隔壁７ａの近傍に着弾して、Ａ液滴６ａが形成されている。図６（ｂ）は、Ｂ相のノズル孔５ｂからインクが吐出され、基板１１上の隔壁７ａ、７ｂ間中央近傍の近傍に着弾して、Ｂ液滴６ｂが形成されている。図６（ｃ）は、Ｃ相のノズル孔５ｃからインクが吐出され、基板１１上の隔壁７ｂの近傍に着弾して、Ｃ液滴６ｃが形成されている。図６（ａ）〜（ｃ）の間では、吐出タイミングを３相に分割した吐出時間毎に、すなわちヘッドパラメータ情報の出力毎にノズル５ａから、次いでノズル５ｂ、次いでノズル５ｃに合わせるように基板搬送速度（式２）を調整する。

次に、本発明の機能液滴吐出方法を用いたカラーフィルタの一実施例の製造方法を説明する。

本発明のカラーフィルタの製造方法では、最初に、格子状、若しくは行列状に設けられた隔壁によりなる開口部を備えたカラーフィルタ用の基板（以下ＢＭ基板と記す）を製造する。

ガラス基板にフォトプロセス法を用いて、ＢＭパターンを形成する。最初に、ガラス基板面に均一な厚さのＢＭ用レジスト液を塗布する。次いで、フォトマスクを用いてレジスト上に露光処理する。次いで、露光したレジストを現像処理して、ＢＭパターンを形成する。

次いで、本発明の画像形成装置を用いて、本発明の機能液滴吐出方法によりＢＭ基板上に画素を形成する。前記画像形成装置は、搬送ステージ上に載置した被吐出物であるＢＭ基板を水平方向に搬送しながら、基板直上にその基板と向き合うように装備した、搬送方向と直交する方向に等間隔で配置した多数の機能液滴吐出ノズルと、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出ヘッドからなる機能液滴吐出ユニットから、被吐物の基板へ機能液滴を吐出し画素を形成する装置である。前記画像形成装置には、機能液滴吐出ノズルからの吐出される液滴の着弾位置を各々相毎に被吐物の搬送方向にずらして着弾するように機能液滴を吐出する本発明の機能液滴吐出方法により画素を形成する。

前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出では、機能液滴の微少ドロップを１個以上の連続した吐出数で各ノズルから吐出でき、その吐出数を可変できるマルチドロップレット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いて、基板へ機能液滴を吐出し画素を形成する機能を備えている。前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出では、基板搬送方向と直交する方向に形成した隔壁の形成位置を測定する機能を備え、その隔壁に同期した同期信号を基準にして液滴の吐出を命令する信号を出力し、そのヘッドパラメータ情報の同期信号に従って基板へ機能液滴を吐出し、画素を形成する。

画素の形成では、本発明の画像形成装置に、吐出量、基板搬送速度、及びヘッドパラメータ情報と吐出パターン情報をデータ登録する。次いで、装置内に所定のＲ（赤）画素用機能インキ、Ｇ（緑）画素用インキ、Ｂ（青）画素のインキを充填し、三色の色素インキを基板上に吐出し、各機能液滴を乾燥させて着色画素の画像部を形成する。

次いで、Ｒ、Ｇ、Ｂの三色の画素を形成した基板上に導電性透明膜を形成し、所定形状の透明電極を形成する。

本発明の実施形態に係わる機能液滴吐出装置の全体構成を説明する外形図である。 シェアウェーブモードの機能液滴吐出ヘッドのノズルの動作を説明する斜視図である。 シェアウェーブモードの機能液滴吐出ヘッドのノズルの動作を説明する正面断面図である。 ヘッドから一個以上の連続した液滴を吐出し隔壁に色材層を形成する側断面図である。 本発明の液滴を開口部へ斜めに吐出する上面図である。 本発明の液滴を開口部へ斜めに吐出する工程を説明する側断面図である。 従来の液滴を開口部へ直線状に吐出する上面図である。 従来の液滴を開口部へ直線状に吐出する工程を説明する側断面図である。

符号の説明

１…（機能液滴吐出）ヘッド
２…（機能液滴吐出）ヘッドユニット
３…搬送ステージ
４…（機能液滴吐出）コントローラー
５…（機能液滴吐出）ノズル
５ａ…Ａノズル
５ｂ…Ｂノズル
５ｃ…Ｃノズル
６…液滴
６ａ…Ａ液滴
６ｂ…Ｂ液滴
６ｃ…Ｃ液滴
７…隔壁
７ａ…隔壁
７ｂ…隔壁
８…画素
１１…基板

Claims (6)

1. 被吐物面に、格子状、若しくは行列状に設けられた区切りによりなる開口部に対し、被吐物の搬送方向と直交する方向に等間隔で配置された多数の、機能液滴吐出するノズルを有し、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出ヘッドを含む機能液滴吐出ヘッドユニットから被吐物へ機能液滴を吐出する機能液滴吐出方法において、
   前記機能液滴吐出ノズルから吐出される液滴の着弾位置を各々相毎に被吐物の搬送方向にずらして着弾するようにして、機能液滴を吐出することを特徴とする機能液滴吐出方法。
2. 前記開口部の区切りへ機能液滴が掛からぬように機能液滴を吐出することを特徴とする請求項１記載の機能液滴吐出方法。
3. 格子状、若しくは行列状に設けられた隔壁によりなる開口部を備えたカラーフィルタ用の基板を水平方向に搬送しながら、搬送方向と直交する方向に等間隔で配置された多数の、機能液滴吐出ノズルを有し、各ノズルは吐出タイミングを３相に分割して駆動制御する機能液滴吐出ヘッドを含む機能液滴吐出ユニットからなる画像形成装置を用いて、基板へ機能液滴を吐出し画素を形成するカラーフィルタの製造方法において、前記画像形成装置の機能液滴吐出ノズルからの吐出される液滴の着弾位置を各々相毎に被吐物の搬送方向にずらして着弾するように機能液滴を吐出する前記請求項１、又は２記載の機能液滴吐出方法により画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
4. 前記隔壁へ機能液滴が掛かからぬように機能液滴を吐出し画素を形成することを特徴とする請求項３記載のカラーフィルタの製造方法。
5. 前記機能液滴吐出ヘッドは、機能液滴の微少ドロップを１個以上の連続した吐出数で各ノズルから吐出でき、その吐出数を可変できるマルチドロップレット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いて、基板へ機能液滴を吐出し画素を形成することを特徴とする請求項３、又は４記載のカラーフィルタの製造方法。
6. 前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の吐出は、基板搬送方向と直交する方向に形成した隔壁に同期した同期信号を基準にして液滴の吐出を制御する機能液滴吐出ヘッドを用いて、その同期信号に従って基板へ機能液滴を吐出し画素を形成することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項記載のカラーフィルタの製造方法。