JP2008072020A - 部品取外し装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】大気中に有害物質を放出することなく、少ないエネルギーで短時間に実装部品を取外す。
【解決手段】電子部品71が配置された空間100内の気体を、循環ポンプ21により外部に漏らすことなく加熱炉30の内部を循環させる。これにより、ヒータ351〜3512によって加熱された後に電子部品71に噴射された気体の余熱を再利用することができ、少ないエネルギーで短時間に電子部品71を基板70から取外すことが可能となる。また、電子部品71に噴射された気体が外部に漏れることがないので、電子部品71の加熱中に発生した有害物質が外部に放出されることもない。
【選択図】図1
【解決手段】電子部品71が配置された空間100内の気体を、循環ポンプ21により外部に漏らすことなく加熱炉30の内部を循環させる。これにより、ヒータ351〜3512によって加熱された後に電子部品71に噴射された気体の余熱を再利用することができ、少ないエネルギーで短時間に電子部品71を基板70から取外すことが可能となる。また、電子部品71に噴射された気体が外部に漏れることがないので、電子部品71の加熱中に発生した有害物質が外部に放出されることもない。
【選択図】図1
Description
本発明は、部品取外し装置に係り、更に詳しくは基板に実装された部品を取外す部品取外し装置に関する。
近年、産業廃棄物による環境問題が重視される中、鉛を含むはんだが使用されたプリント基板や電子デバイスの廃材が問題視されている。EU諸国では、これらの廃材による環境汚染を皮切りに、RohS(Restriction of the Use of Certain Hazardous Substances in Electrical and Electronic Equipment)指令が発令され、鉛は電気製品に使用してはならない有害物質の一つとなった。この鉛フリー化の流れは、全世界に波及することが予想され、我が国おいても、鉛を含まないはんだの研究開発が進められている。
一方、基板実装の分野では、装置の小型化及び多機能化の観点から、高密度実装の技術開発が進められ、近年では、基板への高密度実装が可能なボールグリッドアレイ(BGA(Ball Grid Array))が登場するに至っている。このような電子部品は、一度基板に実装されると破壊することなく基板から取外すことが困難であるため、その取外しは、相当な熟練作業者か又は工場に設置された大型の装置により行われていた。そこで、最近では、例えば特許文献1、及び特許文献2に記載された装置のように、小型で、かつ部品を容易に取外すことを可能にしたリペアツールが提案されている。
しかしながら、最近の実装工程では、上述の観点から融点の高い鉛フリーのはんだがよく用いられるようになったため、電子部品を従来より高い温度で加熱する必要がある。このため、特許文献1、及び特許文献2の装置を用いて電子部品の取外しを行った場合には、電子部品の加熱に長時間を要し省エネルギー化の要請に反することとなる。また、電子部品に噴射した温風はそのまま大気中に排気されるため、加熱時にはんだや基板から発生した有害物質も同時に大気中に放出されてしまうという不都合もある。
本発明は上述の事情の下になされたもので、大気中に有害物質を放出することなく、少ないエネルギーで短時間に実装部品を取外すことが可能な部品取外し装置を提供することにある。
本発明は、基板の表面に実装された部品に加熱した気体を噴射して、前記基板から前記部品を取外す部品取外し装置であって、前記基板の表面を覆うことで、前記基板に実装された前記部品を外部空間から隔離する容体と;前記容体内部の気体を吸気して、前記部品に噴射する循環機構と;前記循環機構により前記部品に噴射される気体を加熱する加熱装置と;を備える部品取外し装置である。
これによれば、基板に実装された電子部品に噴射された気体は、外部に放出されることなく、加熱装置によって加熱され、再度循環機構により電子部品に噴射される。すなわち、循環機構によって、気体が電子部品と加熱装置との間を、外部に漏れることなく循環する。これにより、電子部品に噴射された気体の余熱を再利用することができ、少ないエネルギーで短時間に電子部品を基板から取外すことが可能となる。また、電子部品に噴射された気体が外部に漏れることがないので、電子部品の加熱時に発生した有害物質が外部に放出されることもない。
以下、本発明の一実施形態を図1〜図6に基づいて説明する。図1には一実施形態に係る部品取外し装置10の概略構成が、基板70及び該基板70に実装された電子部品71とともに示されている。この部品取外し装置10は、一例として基板70に実装された電子部品71に、加熱した例えば空気などの気体を噴射することにより、基板70と電子部品71とを接続するはんだを溶解し、電子部品71を基板70から取外す装置である。
図1に示されるように、前記部品取外し装置10は、加熱機構20、コントロールボックス50、インターフェイス60を備えている。
前記加熱機構20は、基板70に実装された電子部品71の周囲に、加熱した気体を循環させることにより、基板70と電子部品71とをはんだにより接続するボンディング部71aを加熱融解して、基板70から電子部品71の取外しを行う装置である。この加熱機構20は、図1に示されるように、循環ポンプ21と、該循環ポンプ21に吸気管22及び供給管23を介して接続された加熱炉30などを有している。
前記循環ポンプ21は、吸気口から吸気した気体を排気口から排出するポンプであり、前記吸気管22及び前記供給管23それぞれは、一端が前記循環ポンプ21の吸気口及び排気口にそれぞれ接続され、他端が加熱炉30の内部に挿入されている。これらの吸気管22と供給管23とは、循環ポンプ21から加熱炉30に向かう途中で、図2のXY断面図に示されるように、供給管23の内部に吸気管22が配置された状態で、加熱炉30の上方(−Z側)から内部に引き込まれている。そして、加熱炉30の内部では、加熱炉30のZX断面を吸気管22及び供給管23とともに示す図である図3(A)に示されるように、吸気管22の端部が供給管23の端部よりも下方に突出した状態となっている。
前記加熱炉30は、図3(A)に示されるように、供給管23に固定された外壁部材31、吸気管22に固定された内壁部材32、該内壁部材32の外周面に沿って固体された例えば12個のヒータ351〜3512、及び吸気管22の端部に装着された吸着部材33を含んで構成されている。
図3(A)、及び加熱炉30を下方(−Z側)から見た図である図3(B)を総合するとわかるように、前記外壁部材31は、下面が開放された略4角錐形状の中空部材であり上部には供給管23の外径と同径の円形開口31aが形成されている。また、この外壁部材31の−Z側端部下面には、例えばテフロン(登録商標)ゴムを素材とする保護部材37が取り付けられている。詳述すると、外壁部材31の−Z側端部近傍の断面を示す図である図4(A)に示されるように、外壁部材31の−Z側端部下面には、その外縁に沿ってT字状の環状溝31bが形成されている。そして、この環状溝31bに、例えば断面が正方形の環状部材から下面側のコーナー部分を切り取る加工を施すことにより形成された保護部材37が機械的に嵌め込まれている。図4(B)に示されるように、環状溝31bと保護部材37との間には、若干の遊び(クリアランス)が設けられており、保護部材37は環状溝31bに嵌め込まれた状態で熱膨張することが可能となっている。更に、図3(A)に示されるように、外壁部材31の外周面には、加熱炉30の内部を外部空間と熱的に絶縁する断熱材31cが貼り付けられている。
前記内壁部材32は、外壁部材31とほぼ同形状で、大きさが僅かに小さい部材であり、上部には吸気管22の外径と同径の円形開口32aが形成されている。
上述のように構成された、外壁部材31及び内壁部材32は、図3(A)に示されるように、外壁部材31が円形開口31aに挿入された供給管23に固定され、内壁部材32が、外壁部材31の内部に収容された状態で、円形開口32aに挿入された吸気管22に固定されている。これにより、基板70に実装された電子部品71の周囲に気体を噴射する噴射口38が形成され、循環ポンプ21から供給管23を介して加熱炉30の内部に供給される気体は、図3(A)中の矢印に示されるように、外壁部材31と内壁部材32とで規定される空間101を介して、内壁部材32の内部空間100へ供給される。そして、内部空間100に供給された気体は、フィルタ26で気体中の有害物質が除去された状態で循環ポンプ21に戻されるようになっている。
前記12個のヒータ351〜3512は、一例として外部から供給される電気エネルギーを熱エネルギーに変換して、噴射口38から噴出される気体を加熱する電気ヒータであり、図3(B)に示されるように、内壁部材32の外周面に沿って等間隔に配置されている。
前記吸着部材33は、図3(A)に示されるように、長手方向をZ軸方向とする筒状部33aと、該筒状部33aの下端部に形成された円形のフランジ部33bの2部分を有している。この吸着部材33の筒状部33aの内周面には雌螺子部が形成されており、この雌螺子部が吸気管22の端部に形成された雄螺子部に螺合することで、吸気管22の端部に装着されている。このため、作業者等は、吸気管22に対して吸着部材33を回転させることで吸着部材33の位置を上下させ、電子部品71との距離を調整することが可能となっている。
図1に戻り、コントロールボックス50は、主制御装置51、ヒータ制御装置52、及びポンプ制御装置53を備えている。
前記ヒータ制御装置52は、主制御装置51からの指令に基づいて、温度センサ36を介して電子部品71近傍の温度を監視しながら、ヒータ351〜3512を駆動して、循環ポンプ21から供給された気体を所定の温度まで加熱する。なお、温度センサ36での検出結果、及びヒータ351〜3512の駆動状況はヒータ制御装置52から主制御装置51へ随時通知されるようになっている。
前記ポンプ制御装置53は、主制御装置51からの指令に基づいて、循環ポンプ21の始動及び停止を行うとともに、圧力センサ24を介して吸気管22の内部圧力を監視する。そして、内部圧力が所定の閾値を上回った場合には、圧力調整弁25を開放して吸気管22の内部圧力がほぼ大気圧と同じになるように調整する。なお、圧力センサ24での検出結果、及び循環ポンプ21の駆動状況は、ポンプ制御装置53から主制御装置51へ随時通知されるようになっている。
前記主制御装置51は、例えばCPUなどを含む計算機を備え、作業者等によりインターフェイス60へ入力された指令や設定値に基づいて、ヒータ制御装置52及びポンプ制御装置53を統括的に制御する。
前記インターフェイス60は、作業者等が装置の運転指令や停止指令を入力したり、電子部品71を加熱する温度を設定するための入力部60aと、装置の運転状態や、炉内温度及び圧力などの各ステータスやパラメータを表示する表示部60bとを備えている。
次に、上述のように構成された部品取外し装置10の動作について説明する。前提として、図3(A)に示されるように、加熱炉30は基板70の表面に設置されているものとし、電子部品71は、例えば下面にはんだボールの端子が格子状に配置されたLSI素子(BGA)であり、基板70に対して例えば融点が230℃程度の鉛フリーはんだで実装されているものとする。また、加熱炉30の内部の圧力は起動時には大気圧と同等であるものとする。
主制御装置51は、インターフェイス60を介して、作業者による目標温度(ここでは250℃とする)の入力、及び運転開始指令の入力が完了すると、ポンプ制御装置53へ循環ポンプ21の運転を指示するとともに、ヒータ制御装置52へ目標温度を通知する。
ポンプ制御装置53は、主制御装置51から運転指令を受けると、循環ポンプ21を運転する。また、上述したように、ポンプ制御装置53は、吸気管22の内部圧力を圧力センサ24を介して常時監視し、必要に応じて圧力調整弁25を開閉することで、吸気管22の内部圧力、すなわち電子部品71の加熱が行われる空間100の気圧が、大気圧と同程度になるように調整する。
一方、ヒータ制御装置52は、主制御装置51から目標温度が通知されると、温度センサ36を介して電子部品71の周囲温度と目標温度との偏差を算出し、この偏差に基づいてヒータ351〜3512を駆動し、噴射口38から噴射される気体を加熱する。
上記のように、ヒータ制御装置52とポンプ制御装置53とが協働すると、加熱炉30内の気体は、循環ポンプ21により吸気管22を介して吸気される。そして、図3(A)中の矢印に示されるように、気体は供給管23を介して加熱炉30の空間101へ供給され、ここでヒータ351〜3512により加熱された後に、噴射口38から電子部品71の周囲へ噴射される。噴射口38から噴出された気体は、基板70の上面に沿ってボンディング部71aに達し、ボンディング部71aとの間で熱交換が行われた後に、再度吸気管22を介して吸気される。このように、循環ポンプ21による循環が継続することで、加熱炉30の内部空間100へ噴射される気体の温度は徐々に上昇し、目標温度である250℃に達した後は、ヒータ制御装置52により、例えばヒータ351〜3512の出力が調整されることで一定(250℃)に維持される。
一方、加熱炉30の内部を上述のように気体が循環すると、電子部品71のボンディング部71aの温度が徐々に上昇する。そして、ボンディング部71aが230℃近傍まで加熱されるとボンディング部71aでのはんだの融解がはじまり、最終的に電子部品71と基板70とが分離し、図5(A)に示されるように、電子部品71は吸気管22の端部に装着された吸着部材33に吸着される。
吸着部材33に電子部品71が吸着されると、吸気管22の内部圧力は急峻に低下する。ポンプ制御装置53は、吸気管22の内部圧力の監視中に、内部圧力の急峻な低下を確認すると、電子部品71が基板70から分離したと判断し、その旨を主制御装置51へ通知する。そして、主制御装置51は、電子部品71の取外し完了をインターフェイス60の表示部60bに表示する。
以上説明したように、本実施形態に係る部品取外し装置10では、電子部品71が配置された空間100内の気体は、循環ポンプ21によって、外部に漏れることなく、吸気管22及び供給管23を介して加熱炉30の内部を循環される。したがって、ヒータ351〜3512によって加熱された後に、電子部品71に噴射された気体の余熱を再利用することができ、少ないエネルギーで短時間に電子部品71を基板70から取外すことが可能となる。また、電子部品71に噴射された気体は、外部に漏れることがないので、電子部品71の加熱中に発生した有害物質が外部に放出されることもない。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、基板70から分離した電子部品71に、循環ポンプ21の吸引力が作用するような位置に、吸着部材33が設けられている。したがって、電子部品71が基板70から分離した後は、図5(B)に示されるように、加熱炉30を基板70から引き上げることで、電子部品71を基板70と干渉させることなく取り外すことが可能となる。なお、この場合には噴射口38からの気体は、図中の矢印に示されるように下方に噴射される。したがって、加熱炉30を基板70から引き上げることで、噴射口38から噴射された気体が基板70に到達することはない。
また、気体の循環中は、フィルタ26により気体に含まれる有害物質が除去されるので、加熱炉30を基板70から引き上げたとしても、外部に有害物質が放出されることがない。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、作業者等が、吸気管22に対して吸着部材33を回転させることで吸着部材33の位置を上下させ、電子部品71との距離を調整することができる。したがって、電子部品71の厚みにかかわらす、吸着部材33を循環ポンプ21の吸引力が効率的に作用する位置に配置することができ、電子部品71をミスなく吸着することが可能となっている。この場合には、例えば、図6(A)に示されるように、吸気管22の外周面にメモリM1を設けるか、又は図6(B)に示されるように、吸気管22の下面に基準マークMRを設け、吸着部材33の下面に基準マークMRに対するメモリM2を設けることで、吸着部材33の変位の調整が容易になる。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、噴射口38が電子部品71の周囲を包囲するように形成されている。したがって、電子部品71のボンディング部71aを温度むらなく加熱することが可能となる。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、吸気管22に圧力調整弁25が設けられている。したがって、加熱炉30内の気体が熱膨張しても、吸気管22から適当な量の気体を放出することで、加熱炉30の内部を外気圧と同等の圧力に維持することが可能となる。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、基板70の表面を覆う外壁部材31の端部に保護部材37が取り付けられている。したがって、基板70と外壁部材31との間の気密性を向上するとともに、基板70に傷等が発生することを回避することが可能となる。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、外壁部材31の外周面に断熱材31cが貼り付けられている。したがって、加熱炉30内の保温性を向上するとともに、作業者の接触事故を防止することが可能となる。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、電子部品71の取り外し完了がインターフェイス60の表示部60bに表示される。したがって、作業者が部品取外しを容易に認識することができ、電子部品71の過熱による損傷を回避することが可能となる。
なお、本実施形態では、図3(A)及び図3(B)に示されるように、吸着部材33が電子部品71の鉛直上方に配置されている場合について説明したが、これに限らず、例えば図7に示されるように、吸着部材33を加熱炉30の中心からオフセットして配置してもよい。この場合には、電子部品71の端部に吸引力を集中させることができ、この端部を引きあげるように電子部品71を基板70から剥離することが可能となる。
また、この場合には、例えば、吸着部材33に最も近いヒータ351,3512からの出力を最も高くし、最も遠いヒータ357,356からの出力を最も低くすることで、噴射口38から噴射される気体の温度分布を、吸着部材33に近い位置から遠い位置にかけて低くすることができる。これにより、電子部品71の吸着をより確実にすることが可能となる。
また、本実施形態に係る部品取外し装置10では、加熱炉30の空間101を介して電子部品71に気体が噴射されたが、これに限らず、例えば電子部品71に外周に沿って複数のノズルを配置し、供給管23からの気体を前記複数のノズルを介して電子部品71に噴射してもよい。
以上説明したように、本発明の部品取外し装置は、基板に実装された実装部品の取り外しに適している。
10…部品取外し装置、20…加熱機構、21…循環ポンプ、22…吸気管、23…供給管、24…圧力センサ、25…圧力調整弁、26…フィルタ、30…加熱炉、31…外壁部材、31a…円形開口、31b…環状溝、31c…断熱材、32…内壁部材、32a…円形開口、33…吸着部材、33a…筒状部、33b…フランジ部、351〜3512…ヒータ、36…温度センサ、37…保護部材、38…噴射口、50…コントロールボックス、51…主制御装置、52…ヒータ制御装置、53…ポンプ制御装置、60…インターフェイス、60a…入力部、60b…表示部、70…基板、71…電子部品、71a…ボンディング部。
Claims (12)
- 基板の表面に実装された部品に加熱した気体を噴射して、前記基板から前記部品を取外す部品取外し装置であって、
前記基板の表面を覆うことで、前記基板に実装された前記部品を外部空間から隔離する容体と;
前記容体内部の気体を吸気して、前記部品に噴射する循環機構と;
前記循環機構により前記部品に噴射される気体を加熱する加熱装置と;を備える部品取外し装置。 - 前記循環機構は、前記容体内部の気体を吸気するときに、前記部品に吸引力が作用する位置に設けられた吸気部を有していることを特徴とする請求項1に記載の部品取外し装置。
- 前記吸気部は、前記部品に対する位置が可変であることを特徴する請求項1又は2に記載の部品取外し装置。
- 前記吸気部は、前記基板と平行な面内における位置が、前記部品に対してオフセットするように設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
- 前記循環機構は、前記部品の周囲に沿って前記気体を噴射する噴射部を有していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
- 前記加熱装置は、前記部品に噴射される気体を、前記噴射口からの噴射位置に応じた温度分布に基づいて加熱することを特徴とする請求項5に記載の部品取外し装置。
- 前記加熱装置は、前記部品に噴射される気体を、前記吸気部に近い位置から遠い位置にかけて温度が低くなる温度分布に基づいて加熱することを特徴とする請求項6に記載の部品取外し装置。
- 前記循環機構は、前記吸気した気体の圧力が前記外部空間の気体の圧力より高くなった場合に、前記吸気した気体を外部に放出する調圧機構を備えていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
- 前記容体は、前記基板の表面を、前記基板よりも柔軟な保護部材を介して覆うことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
- 前記容体の外部は、容体内部からの熱を断熱する断熱部材で被覆されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
- 前記容体から吸気される気体の圧力を監視して、前記気体の圧力が予め設定された圧力よりも低下したことにより、前記部品が前記基板から取外されたことを検知する検知機構を更に備える請求項1〜10のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
- 前記容体から吸気される気体から有害物質を除去するフィルタを更に備える請求項1〜11のいずれか一項に記載の部品取外し装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006250838A JP2008072020A (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 部品取外し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006250838A JP2008072020A (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 部品取外し装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008072020A true JP2008072020A (ja) | 2008-03-27 |
Family
ID=39293338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006250838A Pending JP2008072020A (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 部品取外し装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008072020A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016103800A1 (ja) * | 2014-12-24 | 2016-06-30 | ソニー株式会社 | 部品除去装置、基板、部品除去方法、部品リペア装置および部品実装基板 |
WO2020159338A1 (ko) * | 2019-02-01 | 2020-08-06 | 레이저쎌 주식회사 | 레이저 디본딩 장치의 레이저 헤드 모듈 |
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2006
- 2006-09-15 JP JP2006250838A patent/JP2008072020A/ja active Pending
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