JP2008070196A - レーザ光学系の光軸傾斜装置 - Google Patents

レーザ光学系の光軸傾斜装置 Download PDF

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Abstract

【課題】送りネジ部分の繰り返し駆動による累積誤差、摩耗、変形等による送り誤差が生じても、レーザ光学系の光軸の水平又は垂直に対する傾斜角設定精度を確保できるレーザ光学系の光軸傾斜装置を提供する。
【解決手段】本装置はレーザ光学系が内部に配置された鏡筒と、レーザ光学系の光軸をZ軸としてXZ平面内とYZ平面内との少なくとも一方の平面内で傾動可能に鏡筒に支承されかつ基準位置を検出するチルトセンサが設置されたチルトフレームと、鏡筒に固定されかつチルトフレームを水平面に対し傾動させる傾動機構が設置された固定フレームと、鏡筒を傾動可能に支承し鏡筒を傾動させチルトフレームを整準する整準機構とを備え、傾動機構は、送りネジによって往復動されかつチルトフレームを基準位置に対して傾動させる送りコマと、送りコマの位置を検出する位置検出装置とを備え、送りコマの位置に基づき水平面に対するチルトフレームの傾斜角度を算出する。
【選択図】図1

Description

本発明は、レーザ光学系の光軸傾斜装置に関する。
従来から、例えば、回転レーザ測量機には、傾斜勾配設定装置としてレーザ光学系の光軸傾斜装置を用いたものが知られている。この従来のレーザ光学系の光軸傾斜装置には、レーザ光学系の光軸の水平又は垂直(鉛直)に対する傾斜角度の設定量を管理する手段として送りネジ機構にその回転数を検出するエンコーダを備えたもの、送りネジを回転駆動する駆動モータにエンコーダを備えたものが知られている。
このものでは、送りネジ機構を駆動することによって、レーザ光学系を水平姿勢、垂直姿勢から傾斜させる構成となっている(例えば、特許文献1参照。)。
また、レーザ光学系をチルトセンサに対して傾斜させ、光軸傾斜装置全体を整準することによって、レーザ光学系の光軸の傾斜勾配を設定する構成のものも知られている。
特開平6−26861号公報
しかしながら、この種の従来のレーザ光学系の光軸傾斜装置では、送りネジ機構の精度によって回転レーザ測量機の角度設定精度が主として決定され、送りネジ機構のネジ部分の繰り返し駆動による累積誤差、送りネジ部分の繰り返し駆動による摩耗、経年変化よる送りネジ部分の変形等によって送り誤差が生じると角度設定に狂いが生じ、レーザ光学系の光軸の傾斜精度を確保し難いという不都合がある。
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、送りネジ部分の繰り返し駆動による累積誤差、送りネジ部分の繰り返し駆動による摩耗、経年変化よる送りネジ部分の変形等によって送り誤差が生じたとしても、レーザ光学系の光軸の水平又は垂直に対する傾斜角設定精度を確保することのできるレーザ光学系の光軸傾斜装置を提供することにある。
請求項1に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置は、レーザ光学系が内部に配置された鏡筒と、前記レーザ光学系の光軸をZ軸としてこのZ軸に直交する平面内で互いに直交する一方をX軸としかつ他方をY軸として前記X軸と前記Z軸とを含むXZ平面内と前記Y軸と前記Z軸とを含むYZ平面内との少なくとも一方の平面内で傾動可能に前記鏡筒に支承されしかも基準位置を検出するチルトセンサが設置されたチルトフレームと、前記鏡筒に固定して設けられかつ前記チルトフレームを水平面に対して傾動させる傾動機構が設置された固定フレームと、前記鏡筒を傾動可能に支承し前記チルトセンサが基準位置を検出するように前記鏡筒を傾動させて前記チルトフレームを整準させる整準機構とを備え、
前記傾動機構は、駆動モータによって回転駆動される送りネジと、該送りネジによって往復動されかつ前記チルトフレームに係合して該チルトフレームを基準位置に対して傾動させる送りコマと、該送りコマの位置を検出する位置検出装置とを備え、
該位置検出装置により検出された前記送りコマの位置に基づき基準位置に対する前記チルトフレームの傾斜角度を算出することを特徴とする。
請求項2に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置は、前記チルトフレームは、前記鏡筒にピボット軸を支点にして傾動可能に支承されていることを特徴とする。
請求項3に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置は、前記チルトフレームは、前記鏡筒にジンバル機構を介して傾動可能に支承されていることを特徴とする。
請求項4に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置は、前記位置検出装置は、照明光により照明されるアブソリュートパターンと照明光により照明されたアブソリュートパターンの投影像を受像する位置検出素子とからなり、前記アブソリュートパターンと前記位置検出素子とのいずれか一方は前記送りコマに設置され、いずれか他方は前記固定フレームに設置されていることを特徴とする。
請求項5に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置は、前記位置検出装置は、リニアセンサから構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、送りネジ部分の繰り返し駆動による累積誤差、送りネジ部分の繰り返し駆動による摩耗、経年変化よる送りネジ部分の変形等によって送り誤差が生じたとしても、レーザ光学系の光軸の水平又は垂直に対する傾斜角設定精度を確保することができる。
以下に、本発明に係わるレーザ光学系の光軸傾斜装置の発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。
図1〜図3において、1はジンバルフレーム機構、2は鏡筒である。鏡筒2の下部にレーザ光源部3が設けられ、鏡筒2の上部には例えば回転筒部4が設けられている。その鏡筒2の内部にはレーザ光源部3と回転筒部4との間に対物レンズ5が設けられている。回転筒部4の内部にはペンタプリズム(図示を略す)が設けられている。レーザ光学系はそのレーザ光源部3と対物レンズ5とによって大略構成され、符号O1はそのレーザ光学系の光軸である。この光軸O1をZ軸とする。
対物レンズ5はレーザ光源部3から出射された光束を平行光束に変換するか、有限距離に収束させる役割を果たす。回転筒部4は図示を略す回転駆動機構によって、鏡筒2に対して回転駆動される。レーザ光源部3から出射された光束はペンタプリズムによって偏向され、回転されつつ回転筒部4の窓部(図示を略す)から外部に向けて出射される。
ジンバルフレーム機構1は、図2に示すように、矩形状のジンバルフレーム7と矩形状のジンバルフレーム8とを有する。ジンバルフレーム8は図示を略す筐体に固定されている。
ジンバルフレーム8は、X軸方向に延びる一対の回動軸9、9を有する。ジンバルフレーム7はこの一対の回動軸9、9に支持され、YZ平面内で回動される。ジンバルフレーム7は、Y軸方向に延びる一対の回動軸10、10を有する。鏡筒2は一対の回動軸10、10に支持され、XZ平面内で回動される。
鏡筒2には、その下部に、送り機構フレーム11が固定されている。この送り機構フレーム11は図4に示すようにX軸方向に延びるX軸アーム部11XとY軸方向に延びるY軸アーム部11Yとを有する。
X軸アーム部11Xには、後述する機能を有するチルトフレーム12を鏡筒2に対して相対的にXZ平面内で傾動するXZ傾動機構13XZが設けられている。Y軸アーム部11Yには、チルトフレーム12を鏡筒2に対して相対的にYZ平面内で傾動するYZ傾動機構13YZが設けられている。
XZ傾動機構13XZは、送りモータ13Xと送りネジ14Xと送りコマ部材15Xと位置検出素子としてのCCD16Xと支持フレーム17Xとを有する。支持フレーム17Xは上下方向に延びる縦壁部17XPと縦壁部17XPから横方向に延びる横壁部17XQとを有する。
送りネジ14Xは横壁部17XQとX軸アーム部11Xとに回転可能に軸支されている。CCD16Xは縦壁部17XPに固定されている。送りコマ部材15Xは送りネジ14Xに螺合されている。CCD16Xはそのコマ部材15Xに臨まされている。
X軸送りモータ13XはX軸アーム部11Xに固定され、X軸送りモータ13Xの出力軸13XOには出力ギヤ13XGが設けられている。送りネジ14Xの下端には回転伝達ギヤ14XGが設けられている。回転伝達ギヤ14XGは出力ギヤ13XGに噛み合わされている。
その送りネジ14XはX軸送りモータ13Xによって回転駆動され、送りコマ部材15Xはその送りネジ14Xの回転によって上下方向に駆動される。
送りコマ部材15XにはLED18Xとアブソリュートパターン板19Xとが設けられている。LED18Xはアブソリュートパターン板19Xを照明し、CCD16Xの受像面には照明光によりアブソリュートパターン像が投影される。送りコマ部材15Xの上下方向位置は、そのCCD16Xの受像面に投影されたアブソリュートパターン像により決定される。
YZ傾動機構13YZは、送りモータ13Yと送りネジ14Yと送りコマ部材15Yと検出素子としてのCCD16Yと支持フレーム17Yとを有する。支持フレーム17Yは上下方向に延びる縦壁部17YPと縦壁部17YPから横方向に延びる横壁部17YQとを有する。
送りネジ14Yは横壁部17YQとX軸アーム部11Yとに回転可能に軸支されている。CCD16Yは縦壁部17YPに固定されている。送りコマ部材15Yは送りネジ14Yに螺合されている。CCD16Yはその送りコマ部材15Yに臨まされている。
送りモータ13YはY軸アーム部11Yに固定され、送りモータ13Yの出力軸13YOには出力ギヤ13YGが設けられている。送りネジ14Yの下端には回転伝達ギヤ14YGが設けられている。回転伝達ギヤ14YGは出力ギヤ13YGに噛み合わされている。
その送りネジ14YはY軸送りモータ13Yによって回転駆動され、送りコマ部材15Yはその送りネジ14Yの回転によって上下方向に駆動される。
送りコマ部材15YにはLED18Yとアブソリュートパターン板19Yとが設けられている。LED18Yはアブソリュートパターン板19Yを照明し、CCD16Yの受像面には照明光によりアブソリュートパターン像が投影される。コマ部材15Yの上下方向位置は、そのCCD16Yの受像面に投影されたアブソリュートパターン像により決定される。
チルトフレーム12は互いに直交するX軸アーム部12XとY軸アーム部12Yとを有する。そのX軸アーム部12XにはX軸チルトセンサ12XSが設けられ、そのY軸アーム部12YにはY軸チルトセンサ12YSが設けられている。そのX軸アーム部12XにはX方向に延びる係合棒12XRが設けられ、そのY軸アーム部12YにはY方向に延びる係合棒12YRが設けられている。
送りコマ部材15Xには一対の係合爪15XN、15XNが上下方向に間隔を開けて設けられ、送りコマ部材15Yには一対の係合爪15YN、15YNが上下方向に間隔を開けて設けられている。一対の係合爪15XN、15XNには係合棒12XRが係合され、一対の係合爪15YN、15YNには係合棒12YRが係合されている。
鏡筒2にはX軸アーム部12XとY軸アーム部との交差部12Pに向かって延びるアーム部2Pが設けられ、このアーム部2Pには、上下方向に延びるピボット軸20が形成されている。チルトフレーム12にはその交差部12Pに円錐形状のテーパ凹処12P’が形成され、ピボット軸20は、そのテーパ凹処12P’に係合されている。
チルトフレーム12は、このピボット軸20、一対の係合爪15XN、15XN、15YN、15YNによって支承され、鏡筒2に対してピボット軸20を支点にしてXZ平面内で傾動されると共に、YZ平面内で傾動されるものとされている。
X軸チルトセンサ12XS、Y軸チルトセンサ12YSは絶対水平基準が入力された水平基準位置(基準位置)を検出可能である。その検出出力は図4に示す演算部25に入力される。
ジンバルフレーム7には、図1に示すように、X軸方向に間隔を開けて軸受け部材21X、21Xが設けられている。一対の軸受け部材21X、21XにはX軸方向に延びるX軸整準スクリュー部材22Xが回転可能に支持されている。その一対の軸受け部材21X、21Xの一方にはX軸整準モータ23Xが固定されている。そのX軸整準スクリュー部材22XはX軸整準モータ23Xによって回転駆動される。そのX軸整準スクリュー部材22XにはX軸コマ部材24Xが螺合されている。このX軸コマ部材24Xは鏡筒2の周部に固定されている。
ジンバルフレーム8には、Y軸方向に間隔を開けて軸受け部材21Y、21Yが設けられている。一対の軸受け部材21Y、21YにはY軸方向に延びるY軸整準スクリュー部材22Yが回転可能に支持されている。その一対の軸受け部材21Y、21Yの一方にはY軸整準モータ23Yが固定されている。そのY軸整準スクリュー部材22YはY軸整準モータ23Yによって回転駆動される。そのY軸整準スクリュー部材22YにはY軸コマ部材24Yが螺合されている。このY軸コマ部材24Yはジンバルフレーム7に固定されている。
X軸整準モータ23Xを回転駆動すると、X軸整準スクリュー部材22Xが回転駆動され、これによって、X軸コマ部材24XがX軸方向に移送され、鏡筒2が回動軸10、10を支点にして傾動される。Y軸整準モータ23Yを回転駆動すると、Y軸整準スクリュー部材22Yが回転駆動され、これによって、Y軸コマ部材24YがY軸方向に移送され、鏡筒2が回動軸9、9を支点にして傾動される。
鏡筒2は図示を略す装置を用いて光軸O1が鉛直方向を向くように設定され、チルトフレーム12は、送りコマ部材15X、15Yを駆動することによって製造段階で各傾動機構13XZ、13YZにより水平に設定される。その製造段階での水平位置に対応するアブソリュートパターン像の検出位置が原点位置Ox、Oyとされ、その原点位置Ox、Oyに対応する原点信号が演算部25を介して記憶部26に記憶される。これによって、光軸O1とチルトフレーム12に対する垂直関係が製造段階で設定される。
この垂直関係が設定された状態で、鏡筒2はジンバル機構を介して筐体にセットされる。
レーザ光学系の光軸O1を水平面に対して所望の角度に設定する場合には、例えば、以下の設定作業を行う。
例えば、チルトフレーム12が所望の角度に設定されるように、図示を略す傾動角設定ボタンを操作し、送りモータ13X、13Yを駆動して送りコマ部材14X、14Yを移動させる。演算部25はアブソリュートパターン像の位置と記憶部26に記憶された原点位置とに基づき送りコマ部材14X、14Yの原点位置Ox、Oyからのずれ量Δx、Δyを検出する。
ピボット軸20から係合棒の先端部までのX軸方向距離をLx、ピボット軸20から係合棒の先端部までのY軸方向距離をLyとすると、XZ面内でのチルトフレームの傾動角度θx、YZ面内でのチルトフレーム12の傾動角度θyは、演算部25により下記の式を用いて算出される。
θx=tan-1(Δx/Lx)
θy=tan-1(Δy/Ly)
このチルトフレーム12の傾動角度θx、θyは、例えば、図示を略すモニタの画面に表示される。チルトフレーム12の傾動角度θx、θyが所望の角度に達するまで、傾動角設定ボタンを操作し、所望の角度に達した時点で、送りコマ部材14X、14Yの移動を停止させる。これによって、チルトフレーム12は、図5に示すように、水平面に対して傾動角度θx、θyに対応する傾斜角度に設定される。
チルトセンサ12XS、12YSは水平面に対するチルトフレーム12の傾斜角度に比例したチルト信号を演算部25に向けて出力する。演算部25は、X軸チルトセンサ12XS、Y軸チルトセンサ12YSの出力が「0」となるように、X軸整準モータ23X、Y軸整準モータ23Yを駆動する。
これによって、チルトフレーム12が水平になるように鏡筒2がXZ平面内で回動軸10、10を支点にして傾動されると共にYZ平面内で回動軸9、9を支点にして傾動される。
その結果、レーザ光学系の光軸O1は、XZ平面内でθx度、YZ平面内でθy度傾動されることになる。
すなわち、ジンバル機構1は、Z軸(光軸O1)に直交する平面内で互いに直交する一方をX軸としかつ他方をY軸としてX軸とZ軸とを含むXZ平面内とY軸とZ軸とを含むYZ平面内とで傾動可能のチルトフレーム12を整準させる(水平に位置させる)整準機構として機能する。
この発明の実施の形態によれば、チルトフレーム12を傾動させる送りコマ部材14X、14Yの実際の位置を検出するので、送りネジ部分の繰り返し駆動による累積誤差、送りネジ部分の繰り返し駆動による摩耗、経年変化よる送りネジ部分の変形等によってガタが送りネジ機構部に生じたとしても、レーザ光学系の光軸O1の水平又は垂直に対する傾斜角設定精度を確保することができる。
以上、発明の実施の形態では、位置検出素子としてCCD16X、16Yを用いてアブソリュートパターン像の位置を検出することにしたが、位置検出素子としてPSDを用いてアブソリュートパターン像の位置を検出する構成としても良い。更には、位置検出素子としてスライドボリューム等の抵抗素子(リニアセンサ)を用いて、送りコマ部材15X、15Yの位置を検出しても良い。
また、この発明の実施の形態では、送りコマ部材15X、15Yにアブソリュートパターン板19X、19Yを設け、縦壁部17XP、17YPに位置検出素子を設ける構成としたが、送りコマ部材15X、15Yに位置検出素子を設け、縦壁部17XP、17YPにLED18X、18Yとアブソリュートパターン板19X、19Yとを設ける構成としても良い。
更に、この発明の実施の形態では、チルトフレーム12をピボット軸20によって支承し、XZ平面内でピボット軸20を支点にして傾動可能にすると共にYZ平面内でピボット軸20を支点にして傾動可能な構成としたが、チルトフレーム12をXZ平面内とYZ平面内とのいずれか一方の平面内で傾動可能な構成としても良い。
更に、この発明の実施の形態では、チルトフレーム12をピボット軸20を支点にして傾動させる構成としたが、チルトフレーム12を図6、図7に示すようにジンバル機構27に支持させる構造としても良い。
例えば、このジンバル機構27はジンバルフレーム27Xとジンバルフレーム27Yとから構成される。ジンバルフレーム27Xはアーム部2Pに立設された一対の支持壁2Q、2Qに設けられた一対の回動軸28を介して鏡筒2に回動可能に支持される。
ジンバルフレーム27Yは一対の回動軸29を介して鏡筒2に回動可能に支持されると共に、チルトフレーム12の交差部12Pに固定されている。そのジンバル機構27の傾動動作はジンバル機構1の傾動動作と大略同一なので詳細な説明は省略する。
本発明に係わるレーザ光学系の光軸傾斜装置のXZ平面内での傾動機構の概要を説明するための断面図である。 本発明に係わるレーザ光学系の光軸傾斜装置のYZ平面内での傾動機構の概要を説明するための断面図である。 図1、図2に示すジンバル機構の概要を説明するための平面図である。 図1、図2に示すチルトフレームと固定フレームと鏡筒との関係を示す平面図である。 本発明に係わるレーザ光学系の光軸傾斜装置のXZ平面内での傾動作用を説明するための断面図である。 本発明に係わるレーザ光学系の光軸傾斜装置の他の実施例を説明するための平面図であって、チルトフレームをジンバル機構によって支承した状態を示す図である。 図6に示すチルトフレームとアーム部との詳細構成を示す部分拡大図であって、X軸方向から目視した図である。
符号の説明
1…ジンバル機構(整準機構)
2…鏡筒
12…チルトフレーム
12XS、12YS…チルトセンサ
13XZ、13YZ…傾動機構
14X、14Y…送りネジ
15X、15Y…送りコマ
16X、16Y…位置検出装置
O1…光軸

Claims (5)

  1. レーザ光学系が内部に配置された鏡筒と、前記レーザ光学系の光軸をZ軸としてこのZ軸に直交する平面内で互いに直交する一方をX軸としかつ他方をY軸として前記X軸と前記Z軸とを含むXZ平面内と前記Y軸と前記Z軸とを含むYZ平面内との少なくとも一方の平面内で傾動可能に前記鏡筒に支承されしかも基準位置を検出するチルトセンサが設置されたチルトフレームと、前記鏡筒に固定して設けられかつ前記チルトフレームを水平面に対して傾動させる傾動機構が設置された固定フレームと、前記鏡筒を傾動可能に支承し前記チルトセンサが基準位置を検出するように前記鏡筒を傾動させて前記チルトフレームを整準させる整準機構とを備え、
    前記傾動機構は、駆動モータによって回転駆動される送りネジと、該送りネジによって往復動されかつ前記チルトフレームに係合して該チルトフレームを基準位置に対して傾動させる送りコマと、該送りコマの位置を検出する位置検出装置とを備え、
    該位置検出装置により検出された前記送りコマの位置に基づき前記チルトフレームの傾斜角度を算出することを特徴とするレーザ光学系の光軸傾斜装置。
  2. 前記チルトフレームは、前記鏡筒にピボット軸を支点にして傾動可能に支承されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置。
  3. 前記チルトフレームは、前記鏡筒にジンバル機構を介して傾動可能に支承されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置。
  4. 前記位置検出装置は、照明光により照明されるアブソリュートパターンと照明光により照明されたアブソリュートパターンの投影像を受像する位置検出素子とからなり、前記アブソリュートパターンと前記位置検出素子とのいずれか一方は前記送りコマに設置され、いずれか他方は前記固定フレームに設置されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置。
  5. 前記位置検出装置は、リニアセンサから構成されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光学系の光軸傾斜装置。
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