JP2008069375A - 真空成膜方法および真空成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の真空成膜方法は、真空槽16内の基板ホルダ10に樹脂製の基板10aを配置し、真空槽16内の材料ホルダ11に、鉛フリー半田を配置し、その後、真空槽16内を減圧し、鉛フリー半田からなるアイランド状の合金膜を基板10aに形成する際に、合金膜の反射特性を合金膜の膜厚に基づき調整する方法である。
【選択図】図1
Description
<鉛フリー半田合金膜の表面性および反射特性と、半田材料組成との間の相関性>
次に、基板に蒸着させた鉛フリー半田合金膜の表面性および反射特性と、当該鉛フリー半田合金膜の材料組成との間の相関性を検証した結果を、図面を参照しながら説明する。
<鉛フリー半田合金膜の表面性および反射特性とその膜厚との間の相関性>
次に、鉛フリー半田合金膜の表面性および反射特性と、当該鉛フリー半田合金膜の膜厚との間の相関性を検証した結果を、図面を参照しながら説明する。
(変形例1)
ここまで、鉛フリー半田合金膜を、樹脂製ドアミラーの反射膜に用いる例を述べたが、その変形例として、鉛フリー半田合金膜に、ドアミラー表面のくもり止め機能を兼用させても良い。例えば、適宜の電源(不図示)を用いて導電性の鉛フリー半田合金膜に電流を流すことにより、この通電のエネルギーに基づいて鉛フリー半田合金膜が加熱され、その結果、ドアミラーの結露を気化させてドアミラーのくもりを適切に解消できる。但しこの場合、鉛フリー半田合金膜の略全域に亘り通電可能なように、鉛フリー半田合金膜の膜厚を厚めにする方が好ましい。
(変形例2)
ガラス製や樹脂製の基板に、銀(Ag)をコートした既存の銀ミラーでは、Ag層とガラス基板との間の密着性が劣ることから、両者の間に、Ag層剥がれ防止用下地膜として、クロム膜が多用されている。
10a 基板
11 ハース
11a 半田
12 シャッタ部材
13 膜厚計
14 ヒータ
15 真空ポンプ
16 真空槽
16a 排気孔
17 電子銃
17a 電子ビーム
100 真空蒸着装置(真空成膜装置)
Claims (9)
- 真空槽内の基板ホルダに樹脂製の基板を配置し、
前記真空槽内の材料ホルダに鉛フリー半田を配置し、
その後、前記真空槽内を減圧し、
前記鉛フリー半田からなるアイランド状の合金膜を前記基板に形成する際に、前記合金膜の反射特性を前記合金膜の膜厚に基づき調整する、真空成膜方法。 - 前記反射特性は、前記合金膜により反射される反射光の反射率である請求項1記載の真空成膜方法。
- 平面視した前記合金膜のアイランドのサイズを、前記合金膜の膜厚により調整する、請求項1記載の真空成膜方法。
- 前記鉛フリー半田は、錫−銀−ビスマス−銅系半田である請求項1記載の真空成膜方法。
- 内部を減圧可能な真空槽と、
前記真空槽内において、樹脂製の基板を保持する基板ホルダと、
前記真空槽内において、鉛フリー半田を配置する材料ホルダと、
前記鉛フリー半田を放出させる放出手段と、を備え、
前記放出された前記鉛フリー半田からなるアイランド状の合金膜が前記基板に形成される際に、前記合金膜の反射特性が前記合金膜の膜厚に基づき調整される、真空成膜装置。 - 前記材料ホルダは、前記鉛フリー半田を溜めるハースであり、前記放出手段は、前記ハース内の前記鉛フリー半田を加熱および蒸発させる電子ビームを放出する電子銃を備える請求項5記載の真空成膜装置。
- 前記反射特性は、前記合金膜により反射される反射光の反射率である請求項5記載の真空成膜装置。
- 平面視した前記合金膜のアイランドのサイズが、前記合金膜の膜厚により調整される、請求項5記載の真空成膜装置。
- 前記鉛フリー半田は、錫−銀−ビスマス−銅系半田である請求項5記載の真空成膜装置。
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