JP2008069372A - 硬質炭素被膜を有する部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の部材は、基材上にアルミニウムと炭素とを含有した中間層を有し、中間層上に硬質炭素被膜を有するものでって、中間層に含有するアルミニウムの含有量が、基材から硬質炭素被膜に向かうにつれて徐々に減少し、中間層に含有する炭素の含有量が、基材から硬質炭素被膜に向かうにつれて徐々に増加すると共に、アルミニウムと炭素とが、モル比で4:3に結合したAl4C3が、中間層の中央より基材側に形成され、硬質炭素被膜には、アルミニウムが0.5〜4.5at%含有されていることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
0.5〜4.5at%含有されていることを特徴とする。
Al4C3が、中間層の中央より基材側に形成されることを特徴とする。
(均一膜)を形成し、硬さとヤング率とを測定した。
Claims (12)
- アルミニウム,マグネシウム、又はチタンを主成分とする合金からなる基材上にアルミニウムと炭素とを含有した厚さが0.7〜1.5μmの中間層を有し、前記中間層上に厚さが1.0〜2.5μmの硬質炭素被膜を有する部材であって、
前記中間層に含有するアルミニウムの含有量が、前記基材から前記硬質炭素被膜に向かうにつれて徐々に減少し、前記中間層に含有する炭素の含有量が、前記基材から前記硬質炭素被膜に向かうにつれて徐々に増加する、と共に、アルミニウムと炭素とが、モル比で4:3に結合したAl4C3が、前記中間層の中央より前記基材側に形成され、
前記硬質炭素被膜には、アルミニウムが0.5〜4.5at%含有されていることを特徴とする部材。 - 基材上にアルミニウムと炭素とを含有した中間層を有し、前記中間層上に硬質炭素被膜を有する部材であって、
前記中間層に含有するアルミニウムの含有量が、前記基材から前記硬質炭素被膜に向かうにつれて徐々に減少し、その減少率が、前記硬質炭素被膜側の方が前記基材側の方より緩やかであることを特徴とする部材。 - 前記硬質炭素被膜には、アルミニウムが0.5〜4.5at%含有されていることを特徴とする請求項2に記載の部材。
- 前記中間層に含有する炭素の含有量が、前記基材から前記硬質炭素被膜に向かうにつれて徐々に増加し、その増加率が、前記硬質炭素被膜側の方が前記基材側の方より緩やかであることを特徴とする請求項2に記載の部材。
- 前記基材が、アルミニウムと1.0〜2.0at%銅との合金であることを特徴とする請求項2に記載の部材。
- 前記基材が、アルミニウム,マグネシウム若しくはチタンを主成分とする合金、アルミニウム,マグネシウム、又はチタンであることを特徴とする請求項2に記載の部材。
- 前記硬質炭素被膜がダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする請求項2記載の部材。
- 前記硬質炭素被膜の厚さが、1.0〜2.5μmであることを特徴とする請求項2記載の部材。
- 前記中間層の厚さが、0.7〜1.5μmであることを特徴とする請求項2記載の部材。
- 基材上にアルミニウムと炭素とを含有した中間層を有し、前記中間層上に硬質炭素被膜を有する部材であって、
前記中間層に形成されるAl4C3が、前記中間層の中央より前記基材側に形成されることを特徴とする部材。 - 前記基材と前記中間層との境界部に、炭素を含まないアルミニウム又はアルミニウムを主成分とする合金を形成したことを特徴とする請求項2に記載の部材。
- 前記中間層は、物理蒸着法によって形成されることを特徴とする請求項2に記載の部材。
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