JP2008069058A - LiNbO3エピタキシャル膜の形成方法 - Google Patents
LiNbO3エピタキシャル膜の形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】主表面がC面とされてこの主表面を清浄化したAl2O3単結晶基板101の上に非晶質のニオブ酸リチウム(Li1-xNbO3)からなる非晶質層112をスパッタ法により形成し、次に、非晶質層112を10-5Pa台の高真空とした処理室内で600〜700℃程度に加熱することで結晶化させ、この後、結晶化層102の上にスパッタ法によりLiNbO3を結晶成長させてLiNbO3結晶膜103を形成する。
【選択図】 図1
Description
Claims (4)
- 主表面がC面とされたAl2O3の単結晶からなる基板の上に、スパッタ法によりニオブ酸リチウムを堆積することで、前記主表面に接して非晶質状態のニオブ酸リチウムからなる非晶質層が形成された状態とする第1工程と、
前記非晶質層を加熱して結晶化させることで、前記基板の主表面に接して結晶化層が形成された状態とする第2工程と、
前記結晶化層の上にスパッタ法によりニオブ酸リチウムを堆積することで、前記結晶化層の上に接してニオブ酸リチウムの単結晶からなる結晶膜が形成された状態とする第3工程と
を少なくとも備え、
前記第3工程では、前記結晶化層の上に堆積するニオブ酸リチウムが結晶化する温度に、前記基板を加熱する
ことを特徴とするLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法。 - 請求項1記載のLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法において、
前記第1工程では、前記非晶質層におけるLiの含有量がNbの含有量を超えない範囲となる条件のスパッタ法により、前記非晶質層を形成する
ことを特徴とするLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法。 - 請求項2記載のLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法において、
前記第1工程では、LiNbO3からなるターゲットを用いたECRプラズマスパッタ法により、前記非晶質層を形成する
ことを特徴とするLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法において、
前記第3工程では、LiNbO3からなるターゲットによるスパッタとLiO2からなるターゲットによるスパッタとを同時に行うことで、前記結晶膜が形成された状態とする
ことを特徴とするLiNbO3エピタキシャル膜の形成方法。
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JP2006250513A JP2008069058A (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | LiNbO3エピタキシャル膜の形成方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2762756C1 (ru) * | 2021-04-19 | 2021-12-22 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" | Способ получения на подложке тонких пленок ниобата лития |
CN116425538A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-07-14 | 北京航空航天大学 | 一种掺杂铌酸锂靶材及其制备方法和应用 |
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2006
- 2006-09-15 JP JP2006250513A patent/JP2008069058A/ja active Pending
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