JP2008064880A - 変調コントラスト顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口板6の部分開口6aは、その面積変動を小さくしつつ、透過光量を抑制する形状に形成してある。図中、黒は、透過率0%、白は、透過率100%であり、開口板6の部分開口6aは、その矩形の4個の角部を直線状に削除して、略八角形に形成してある。
【選択図】図2
Description
前記後側焦点位置と共役な照明光学系内の位置に該照明光学系の光束の一部を透過する開口を有する開口板を設けた変調コントラスト顕微鏡において、
前記開口の形状は、所定の方向の幅より該所定の方向に直交する方向の幅が広い形状であり、かつ前記所定の方向の開口の幅を前記所定の方向に直交する方向に異なるようにしたことを特徴とする。
観察光学系の対物レンズの後側焦点位置または該後側焦点と共役な位置に配置され、所定の半径方向へ異なる透過率領域に分割して成る変調器と、
前記後側焦点位置と共役な照明光学系内の位置に該照明光学系の光束の一部を透過する開口を有する開口板を設けた変調コントラスト顕微鏡において、
前記変調器の前記異なる透過率領域の各々の形状は、所定の方向の幅より該所定の方向に直交する方向の幅が広い形状であり、かつ前記所定の方向の開口の幅を前記所定の方向に直交する方向に異なるようにしたことを特徴とする。
前記後側焦点位置と共役な照明光学系内の位置に絞りを設けた変調コントラスト顕微鏡において、
前記変調器は透過率が光軸を中心にした所定の半径方向に連続的に変化するNDフィルターより成ることを特徴とする。
Claims (4)
- 観察光学系の対物レンズの後側焦点位置または該後側焦点位置と共役な位置に配置され所定の半径方向へ異なる透過率領域に分割して成る変調器と、
前記後側焦点位置と共役な照明光学系内の位置に該照明光学系の光束の一部を透過する開口を有する開口板を設けた変調コントラスト顕微鏡において、
前記開口の形状は、所定の方向の幅より該所定の方向に直交する方向の幅が広い形状であり、かつ前記所定の方向の開口の幅を前記所定の方向に直交する方向に異なるようにしたことを特徴とする変調コントラスト顕微鏡。 - 前記開口は、矩形の四個角を削除して、ほぼ八角形に形成してあることを特徴とする請求項1に記載の変調コントラスト顕微鏡。
- 観察光学系の対物レンズの後側焦点位置または該後側焦点と共役な位置に配置され、所定の半径方向へ異なる透過率領域に分割して成る変調器と、
前記後側焦点位置と共役な、照明光学系内の位置に該照明光学系の光束の一部を透過する開口を有する開口板を設けた変調コントラスト顕微鏡において、
前記変調器の前記異なる透過率領域の各々の形状は、所定の方向の幅より該所定の方向に直交する方向の幅が広い形状であり、かつ前記所定の方向の開口の幅を前記所定の方向に直交する方向に異なるようにしたことを特徴とする変調コントラスト顕微鏡。 - 観察光学系の対物レンズの後側焦点位置または該後側焦点と共役な位置に配置された変調器と、
前記後側焦点位置と共役な、照明光学系内の位置に絞りを設けた変調コントラスト顕微鏡において、
前記変調器は透過率が光軸を中心にした所定の半径方向に連続的に変化するNDフィルターより成ることを特徴とする変調コントラスト顕微鏡。
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