JP2008058910A - 顕微鏡システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】乾燥系対物レンズ3,4により基板10を観察する観察系Aと、基板10上の浸液40と接する液浸系対物レンズ7により基板10を観察する観察系Bと、液浸系対物レンズ7で観察した後の基板10の浸液40を蒸発させる蒸発機構とを備える。蒸発機構は、照明光を発生する光源1と、その照明光を基板10へ導く対物レンズ4とを有する。
【選択図】図1
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載の顕微鏡システムにおいて、蒸発機構は、浸液を蒸発させるための蒸発用照明光を発生する蒸発用光源を備え、蒸発用照明光を乾燥系対物レンズを介して被検体に照射して、浸液を蒸発させるようにしたものである。
請求項3の発明は、請求項2に記載の顕微鏡システムにおいて、第1の観察系の観察用照明光を発生する観察用光源を蒸発用光源に兼用して使用し、浸液を蒸発させる時は観察時よりも照明光の強度を大きく設定するようにしたものである。
請求項4の発明は、請求項3に記載の顕微鏡システムにおいて、観察用光源を備える照明系は落射照明系を構成し、観察用光源からの照明光を被検体へと反射するハーフミラーの反射率を変えることで、浸液を蒸発させる時の照明光強度を観察時の照明光強度よりも大きく設定するようにしたものである。
請求項5の発明は、請求項4に記載の顕微鏡システムにおいて、浸液を蒸発させる時のハーフミラーの反射率を約90%に設定することを特徴とする。
Claims (5)
- 乾燥系対物レンズにより被検体を観察する第1の観察系と、
被検体上の浸液と接する液浸系対物レンズにより前記被検体を観察する第2の観察系と、
前記液浸系対物レンズで観察した後の前記被検体上の浸液を蒸発させる蒸発機構とを備えたことを特徴とする顕微鏡システム。 - 請求項1に記載の顕微鏡システムにおいて、
前記蒸発機構は、前記浸液を蒸発させるための蒸発用照明光を発生する蒸発用光源を備え、
前記蒸発用照明光を前記乾燥系対物レンズを介して前記被検体に照射して、前記浸液を蒸発させることを特徴とする顕微鏡システム。 - 請求項2に記載の顕微鏡システムにおいて、
前記第1の観察系の観察用照明光を発生する観察用光源を前記蒸発用光源に兼用して使用し、前記浸液を蒸発させる時は観察時よりも照明光の強度を大きく設定することを特徴とする顕微鏡システム。 - 請求項3に記載の顕微鏡システムにおいて、
前記観察用光源を備える照明系は落射照明系を構成し、
前記観察用光源からの照明光を前記被検体へと反射するハーフミラーの反射率を変えることで、前記浸液を蒸発させる時の照明光強度を観察時の照明光強度よりも大きく設定するようにしたことを特徴とする顕微鏡システム。 - 請求項4に記載の顕微鏡システムにおいて、
前記浸液を蒸発させる時の前記ハーフミラーの反射率を約90%に設定することを特徴とする顕微鏡システム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013044825A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Tokai Hit:Kk | 顕微鏡観察用加温装置 |
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-
2006
- 2006-09-04 JP JP2006238981A patent/JP2008058910A/ja active Pending
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