JP2008056499A - 窒化物半導体薄膜を有するSi基板の製造方法。 - Google Patents
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Abstract
【課題】Si単結晶基板上に、結晶性や配向性が良好で、電気的特性や光学的特性等に優れたGaN薄膜を、低コストで効率良く製造することが可能なSi基板の製造方法を提供する。
【解決手段】化学気相成長法によりSi基板12上にSiC層及びAlN層を順次形成した後に、AlN層上にGaN結晶を成長させる際に、加熱したメッシュ状タングステン触媒14にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、AlN層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることにより窒化物半導体薄膜を有するSi基板12を製造する。
【選択図】図1
【解決手段】化学気相成長法によりSi基板12上にSiC層及びAlN層を順次形成した後に、AlN層上にGaN結晶を成長させる際に、加熱したメッシュ状タングステン触媒14にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、AlN層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることにより窒化物半導体薄膜を有するSi基板12を製造する。
【選択図】図1
Description
本発明は、加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを高密度に生成し、基板上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることにより窒化物半導体薄膜を形成する技術に関する。
窒化ガリウム(GaN)は、高い融点、化学安定性、高い絶縁破壊電圧や大きい飽和ドリフト速度等の特徴を持つワイドギャップ半導体であり、次世代のハードエレクトロニクス用材料として期待されている。GaN系デバイスには、従来有機金属化学気相成長(MOCVD)法によりサファイヤ基板上に成長させた六方晶窒化ガリウム(h−GaN)が利用されている。しかしながら、サファイヤは絶縁体でありまたへき開性が悪いために、デバイス作製に適した基板とは言えない。
一方、本発明者等は、これまでガリウム砒素(GaAs)基板上にホットワイヤを用いたCVD法によりGaNバッファ層を形成し、該バッファ層上にGaNをエピタキシャル成長させる方法や(特許文献1参照)、シリコン(Si)基板上に炭化ケイ素(SiC)バッファー層を形成し、該バッファ層上にGaN膜をホットメッシュCVD法により成長させる技術を提案した(非特許文献1参照)。
特開2004−103745号公報
2005年電子情報通信学会信越支部大会講演論文集、第297−298頁
GaN膜を形成する原料となるアンモニアガスは難分解性であることから、通常のMOCVD法ではGa源に対して10000倍以上の窒素源であるアンモニアガスを供給することが必要であり、省資源化の観点と毒性のある未反応アンモニアガスの処理に多額の費用を必要とすることから改善が求められていた。また、安価で、大面積化、電気伝導性や熱伝導性等の点で優れたSi単結晶基板上へ、低コストで効率良くGaN膜を形成する技術が求められていた。
したがって、本発明はSi単結晶基板上に、結晶性や配向性が良好で、電気的特性や光学的特性等に優れたGaN薄膜を、低コストで効率良く製造する技術を提供することを目的とする。
本発明者等は鋭意検討した結果、CVD法によりSi基板上にSiC層及び窒化アルミニウム(AlN)層をバッファー層として形成した後に、加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、前記AlN層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることによって上記課題が解決されることを発見し、本発明を完成した。
すなわち、本発明では次の1〜7の構成を採用するものである。
1.化学気相成長法によりSi基板上にSiC層及びAlN層を順次形成した後に、前記AlN層上にGaN結晶を成長させる際に、加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、前記AlN層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることを特徴とする窒化物半導体薄膜を有するSi基板の製造方法。
2.GaN結晶を成長させる際に、メッシュ状タングステン触媒を1100〜1300℃に加熱することを特徴とする1に記載のSi基板の製造方法。
3.GaN結晶を成長させる際に、基板温度を600℃から1000℃に昇温させながら結晶を成長させることを特徴とする1又は2に記載のSi基板の製造方法。
4.基板温度を600℃、800℃及び1000℃の三段階で昇温させることを特徴とする3に記載のSi基板の製造方法。なお、ここでの基板温度600℃、800℃及び1000℃はそれぞれ目安とする温度であり、当該温度±50℃程度の範囲であればよいものとする。
5.メッシュ状タングステン触媒とSi基板間の距離を20mm以下とすることを特徴とする1〜4のいずれかに記載のSi基板の製造方法。
6.SiC層上にAlN層を形成する際に、基板温度900〜1100℃でメッシュ状タングステン触媒を加熱せずにSiC層上でアンモニアガスとアルミニウム化合物を1〜10分間反応させることを特徴とする1〜5のいずれかに記載のSi基板の製造方法。
1.化学気相成長法によりSi基板上にSiC層及びAlN層を順次形成した後に、前記AlN層上にGaN結晶を成長させる際に、加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、前記AlN層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることを特徴とする窒化物半導体薄膜を有するSi基板の製造方法。
2.GaN結晶を成長させる際に、メッシュ状タングステン触媒を1100〜1300℃に加熱することを特徴とする1に記載のSi基板の製造方法。
3.GaN結晶を成長させる際に、基板温度を600℃から1000℃に昇温させながら結晶を成長させることを特徴とする1又は2に記載のSi基板の製造方法。
4.基板温度を600℃、800℃及び1000℃の三段階で昇温させることを特徴とする3に記載のSi基板の製造方法。なお、ここでの基板温度600℃、800℃及び1000℃はそれぞれ目安とする温度であり、当該温度±50℃程度の範囲であればよいものとする。
5.メッシュ状タングステン触媒とSi基板間の距離を20mm以下とすることを特徴とする1〜4のいずれかに記載のSi基板の製造方法。
6.SiC層上にAlN層を形成する際に、基板温度900〜1100℃でメッシュ状タングステン触媒を加熱せずにSiC層上でアンモニアガスとアルミニウム化合物を1〜10分間反応させることを特徴とする1〜5のいずれかに記載のSi基板の製造方法。
本発明によれば、安価で大面積化が可能であり、電気導電性や熱伝導性等の優れた単結晶Si基板上に、低コストで効率良くGaN薄膜を形成することができる。本発明により得られるGaN薄膜を有すSi基板は、薄膜の結晶性や配向性が良好で、しかも電気的特性や光学的特性にも優れるために、次世代のハードエレクトロニクス材料として有用である。
つぎに、図面を参照しながら本発明の好適な形態について説明するが、以下の具体例は本発明を限定するものではない。
図1は、本発明でSi基板上にGaN結晶からなる窒化物半導体薄膜を形成するのに使用する、ホットメッシュCVD装置の構成の1例を示す模式図である。このCVD装置1は、原料ガス供給部S、膜生成部G及び排気部Vにより構成される。
図1は、本発明でSi基板上にGaN結晶からなる窒化物半導体薄膜を形成するのに使用する、ホットメッシュCVD装置の構成の1例を示す模式図である。このCVD装置1は、原料ガス供給部S、膜生成部G及び排気部Vにより構成される。
原料ガス供給部Sは、それぞれバルブを備えた水素ガス供給源2、アルミニウム化合物供給源3、ガリウム化合物供給源4、アンモニアガス供給源5及びプロパンガス供給源6を具備する。水素ガス供給源2、アルミニウム化合物供給源3及びガリウム化合物供給源4は、配管7により反応室11内の基板12上に各原料ガスを供給する。アンモニアガス供給源5は、配管8によりメッシュ状タングステン触媒14にアンモニアガスを供給する。そして、プロパンガス供給源6は配管9により、反応室11内の基板12上にSiCバッファー層を形成するためのプロパンガスを供給する。
膜生成部Gは、反応室11及び該反応室11内に設置された基板12を載置する加熱装置を備えた基板ホルダー13、基板12に対向する位置に配置されたメッシュ状タングステン触媒14により構成される。
また、排気部Vは、反応室11に接続された排気管21、バルブを備えた拡散ポンプ22及び回転ポンプ23により構成される。
本発明によれば、例えば図1のホットメッシュCVD装置を使用して、つぎの工程により窒化物半導体薄膜を有するSi基板を製造することができる。
(1)Si基板を有機溶媒等で前処理する。
(2)プロパンガスを使用してSi基板上にSiCバッファ層を形成する。
(3)SiCバッファ層上でアンモニアガスとアルミニウム化合物を反応させてAlNバッファ層を形成する。
(4)加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、AlNバッファ層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させる。
(1)Si基板を有機溶媒等で前処理する。
(2)プロパンガスを使用してSi基板上にSiCバッファ層を形成する。
(3)SiCバッファ層上でアンモニアガスとアルミニウム化合物を反応させてAlNバッファ層を形成する。
(4)加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、AlNバッファ層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させる。
上記の工程(1)において使用するSi基板としては、安価で大面積基板が入手可能なSi単結晶基板を使用することができ、例えばSi(111)基板が好適に用いられる。
このSi基板は、必要に応じて有機溶媒により脱脂、有機物除去、或いは酸洗いによる酸化物除去等を行った後に、図1のCVD装置の基板ホルダー13に配置する。基板12とメッシュ状タングステン触媒14を対向させ、その距離を20mm以下(5〜20mm程度)とする。ついで、CVD装置内に水素ガスを導入し反応室11内の圧力が1×10−4Pa程度に達した後に、水素雰囲気下で1000〜1100℃程度の温度で10分間程度サーマルクリーニングを行ない、基板表面の自然酸化膜を除去する。
このSi基板は、必要に応じて有機溶媒により脱脂、有機物除去、或いは酸洗いによる酸化物除去等を行った後に、図1のCVD装置の基板ホルダー13に配置する。基板12とメッシュ状タングステン触媒14を対向させ、その距離を20mm以下(5〜20mm程度)とする。ついで、CVD装置内に水素ガスを導入し反応室11内の圧力が1×10−4Pa程度に達した後に、水素雰囲気下で1000〜1100℃程度の温度で10分間程度サーマルクリーニングを行ない、基板表面の自然酸化膜を除去する。
つぎに、基板温度を900〜1100℃程度、好ましくは約1000℃に設定し、例えばプロパンガスを0.3sccm程度供給し、1時間程度SiCバッファ層の形成を行う。反応室内の圧力は、プロパンガスの供給と真空ポンプとの間のバルブの開閉により、反応室内の圧力が0.1Pa〜10Pa程度になるようにする。[工程(2)]
その後、反応室11内にAl源としてトリメチルアルミニウム(TMA)、N源としてアンモニアガス及び水素ガスを導入し、SiCバッファ層上にAlNバッファ層を形成する。その際に、Si基板の温度は900〜1100℃程度、好ましくは約1000℃に設定し、メッシュ状タングステン触媒は加熱せず室温程度に維持することが好ましい。
また、各ガスの導入量は例えばTMA0.3sccm、NH320sccm、H230sccmとし、TMAとNH3の比を1:100程度以下とすることでAlNバッファ層を形成することができる。そして、反応室11内の圧力は270Pa程度とし、AlNバッファ層を1〜10分間程度で形成することが好ましい。[工程(3)]
上記の工程(2)及び(3)のタイムチャートの1例を図2に示す。
また、各ガスの導入量は例えばTMA0.3sccm、NH320sccm、H230sccmとし、TMAとNH3の比を1:100程度以下とすることでAlNバッファ層を形成することができる。そして、反応室11内の圧力は270Pa程度とし、AlNバッファ層を1〜10分間程度で形成することが好ましい。[工程(3)]
上記の工程(2)及び(3)のタイムチャートの1例を図2に示す。
つぎに、メッシュ状タングステン触媒を1100〜1300℃程度、好ましくは約1200℃に加熱する。反応室内にアンモニアガス、Ga源としてトリメチルガリウム(TMG)、及びキャリアガスとして水素ガスを導入し、メッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカル(主としてNH2ラジカル)を高密度に生成させ、TMGと反応させることによりAlNバッファ層上にGaN結晶を成長させる。
Si基板の温度は、600℃から1000℃に10〜100℃/min程度で徐々に昇温させながら2〜3時間程度GaN結晶を成長させることができる。また、基板温度を約600℃、約800℃、約1000℃の三段階で昇温させ、各温度でそれぞれ1時間程度反応させるようにしてもよい。
Si基板の温度は、600℃から1000℃に10〜100℃/min程度で徐々に昇温させながら2〜3時間程度GaN結晶を成長させることができる。また、基板温度を約600℃、約800℃、約1000℃の三段階で昇温させ、各温度でそれぞれ1時間程度反応させるようにしてもよい。
SiCとGaNの間には、3.5%の格子定数差があるのに対し、AlNとGaNの間では2.5%である。また、AlNはc軸配向の六方晶が成長し易く、GaNの成長の下地層にはより適していると思われる。したがって、本発明において、Si基板上にSiCバッファ層及びAlNバッファ層を順次形成し、該AlNバッファ層上にGaN結晶を成長させることによって、結晶性や光学特性等の優れたGaN薄膜を効率良く製造することができる。
これに対して、Si基板上にSiCバッファ層を形成し、該SiCバッファ層上にGaNを成長させた場合には、窒素系ラジカルがSiと反応して非晶質であるSiNが形成され、エピタキシャル関係が乱される。
これに対して、Si基板上にSiCバッファ層を形成し、該SiCバッファ層上にGaNを成長させた場合には、窒素系ラジカルがSiと反応して非晶質であるSiNが形成され、エピタキシャル関係が乱される。
つぎに、実施例により本発明をさらに説明するが、以下の具体例は本発明を限定するものではない。以下の例では、図1のホットメッシュCVD装置を使用して、Si基板上にGaN薄膜を形成した。
(実施例1)
Si(111)ウエハーを5mm×15mmの短冊状に切り出して基板として使用した。この基板12を純水、メタノール、アセトン、フッ酸中で超音波洗浄をうことによって脱脂、有機物除去及び酸化膜除去を行った後に、反応室11内の基板ホルダー13に装着した。基板12とメッシュ状タングステン触媒14を対向させ、その距離を20mmとして、CVD装置内に水素ガスを導入し反応室11内の圧力が1×10−4Pa程度に達した後に、水素雰囲気下で約1100℃で10分間程度サーマルクリーニングを行ない、基板表面の自然酸化膜を除去した。
Si(111)ウエハーを5mm×15mmの短冊状に切り出して基板として使用した。この基板12を純水、メタノール、アセトン、フッ酸中で超音波洗浄をうことによって脱脂、有機物除去及び酸化膜除去を行った後に、反応室11内の基板ホルダー13に装着した。基板12とメッシュ状タングステン触媒14を対向させ、その距離を20mmとして、CVD装置内に水素ガスを導入し反応室11内の圧力が1×10−4Pa程度に達した後に、水素雰囲気下で約1100℃で10分間程度サーマルクリーニングを行ない、基板表面の自然酸化膜を除去した。
つぎに、基板温度を約1000℃に設定し、メッシュ状タングステン触媒を加熱せず室温程度に維持して、プロパンガスを0.3sccm供給し、1時間SiCバッファ層の形成を行った。反応室内の圧力は、プロパンガスの供給と同時に真空ポンプとの間のバルブの開閉により反応室内圧力が0.1Pa〜10Pa程度となるようにした。
ついで、反応室11内にAl源としてトリメチルアルミニウム(TMA)0.3sccm、N源としてアンモニアガス20sccm及び水素ガス30sccmを導入し、TMAとNH3の比を1:80として、SiCバッファ層上にAlNバッファ層を形成した。その際に、Si基板の温度は約1000℃に設定し、メッシュ状タングステン触媒は加熱せず室温程度に維持した。また、反応室11内の圧力は270Pa程度とし、AlNバッファ層を約1時間で形成した。
つぎに、メッシュ状タングステン触媒を約1200℃に加熱して、反応室内にアンモニアガス20sccm、Ga源としてトリメチルガリウム(TMG)0.3sccm 、及びキャリアガスとして水素ガス30sccmを導入し、メッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを高密度に生成させ、TMGと反応させることによりAlNバッファ層上にGaN結晶を成長させた(膜厚:3μm)。その際に、基板温度を約600℃、約800℃、約1000℃の三段階で昇温させ、各温度でそれぞれ1時間程度反応させた。メッシュ状タングステン触媒は、いずれの段階においても1200℃に加熱した。
比較のために、基板温度を三段階に昇温させてGaN結晶を成長させる際に、基板温度約600℃ではメッシュ状タングステン触媒を加熱せず室温程度に維持し、基板温度約800℃及び約1000℃では、メッシュ状タングステン触媒を約1200℃に加熱して結晶を成長させた。(膜厚:3μm)
得られた2つのGaN膜のXRDスペクトルを図3に示す。図3において、FWHMは半値幅を、またR.T.は室温を意味する。
図3によれば、低温GaN層成長時にメッシュ状タングステン触媒を加熱し、活性なラジカル種を供給することで、大幅な結晶性の改善がみられた。
図3によれば、低温GaN層成長時にメッシュ状タングステン触媒を加熱し、活性なラジカル種を供給することで、大幅な結晶性の改善がみられた。
これらのGaN膜の配向性を、ωロッキングカーブで評価した結果を図4に示す。2つの膜ともにブロードなピークであることから、配向性が良好であるとは言えないが、Si基板からの結晶構造を引き継いでいることが判明した。SiC/Si基板上にメッシュを加熱せずに600℃でGaN膜を成長させた場合、配向性が殆どみられなかったのに対し、600℃からの成長においてメッシュ加熱下で成長させるとGaN膜の配向性が改善されることが判明した。
これらの膜について、室温でのPL(Photo Luminescence)スペクトルを測定した結果を図5に示す。PL測定の結果からは光学特性に明確な差異は認められなかったが、メッシュ状タングステン触媒を加熱して成長させた膜では、若干yellow luminescenceが弱くなった。
これらの膜について、室温でのPL(Photo Luminescence)スペクトルを測定した結果を図5に示す。PL測定の結果からは光学特性に明確な差異は認められなかったが、メッシュ状タングステン触媒を加熱して成長させた膜では、若干yellow luminescenceが弱くなった。
(実施例2)
実施例1において、AlNバッファ層の形成時間を10分間とした以外は、実施例1と同様にしてGaN膜を成長させた。(膜厚:3μm)
実施例1において、AlNバッファ層の形成時間を10分間とした以外は、実施例1と同様にしてGaN膜を成長させた。(膜厚:3μm)
(実施例3)
実施例2において、AlNバッファ層上にGaN結晶を成長させる際に基板温度を三段階で昇温させるかわりに、基板温度を1000℃として3時間GaN膜を成長させた以外は、実施例2と同様にしてGaN膜を成長させた。(膜厚:3μm)
実施例2において、AlNバッファ層上にGaN結晶を成長させる際に基板温度を三段階で昇温させるかわりに、基板温度を1000℃として3時間GaN膜を成長させた以外は、実施例2と同様にしてGaN膜を成長させた。(膜厚:3μm)
実施例2及び3で得られたGaN膜のXRDスペクトルを図6に、またωロッキングカーブを図7に示す。これらの図によれば、三段階成長を行った膜の方が結晶性及び配向性ともによい結果となった。
これらの膜について、室温でのPLスペクトルを測定した結果を図8に示す。1000℃での一段階成長の膜では、三段階成長の膜に比較して膜厚が約3倍であり、GaN結晶が高速で堆積されることから、欠陥を多く含む膜ができ、結晶性及び配向性が低下するものと考えられる。また、膜中に多くの欠陥が生成されyellow luminescenceが増加し、near-band-edge emmissionのピークが低下したものと思われる。
これらの膜について、室温でのPLスペクトルを測定した結果を図8に示す。1000℃での一段階成長の膜では、三段階成長の膜に比較して膜厚が約3倍であり、GaN結晶が高速で堆積されることから、欠陥を多く含む膜ができ、結晶性及び配向性が低下するものと考えられる。また、膜中に多くの欠陥が生成されyellow luminescenceが増加し、near-band-edge emmissionのピークが低下したものと思われる。
(比較例1)
実施例2において、SiCバッファ層上にAlNバッファ層を形成せずに、実施例2と同様にして三段階でGaN膜を成長させた。(膜厚:3μm)
得られたGaN膜のXRDスペクトルを、実施例2と対比して図9に示す。
実施例2において、SiCバッファ層上にAlNバッファ層を形成せずに、実施例2と同様にして三段階でGaN膜を成長させた。(膜厚:3μm)
得られたGaN膜のXRDスペクトルを、実施例2と対比して図9に示す。
図9によれば、実施例2ではSiCバッファ層上にAlNバッファ層を形成することによって、(0002)回折ピーク強度が比較例の200倍となった。また、比較例のAlNバッファ層を設けない膜に見られたGaN(10−11)のピークが消失し、GaN(0002)ピークのみが現れた。
1 CVD装置
2 水素ガス供給源
3 アルミニウム化合物供給源
4 ガリウム化合物供給源
5 アンモニアガス供給源
6 プロパンガス供給源
7,8,9 配管
11 反応室
12 基板
13 基板ホルダー
14 メッシュ状タングステン触媒
21 排気管
22 拡散ポンプ
23 回転ポンプ
2 水素ガス供給源
3 アルミニウム化合物供給源
4 ガリウム化合物供給源
5 アンモニアガス供給源
6 プロパンガス供給源
7,8,9 配管
11 反応室
12 基板
13 基板ホルダー
14 メッシュ状タングステン触媒
21 排気管
22 拡散ポンプ
23 回転ポンプ
Claims (6)
- 化学気相成長法によりSi基板上にSiC層及びAlN層を順次形成した後に、前記AlN層上にGaN結晶を成長させる際に、加熱したメッシュ状タングステン触媒にアンモニアガスを吹付けて窒素系ラジカルを生成させ、前記AlN層上で有機ガリウム化合物と反応させてGaN結晶を成長させることを特徴とする窒化物半導体薄膜を有するSi基板の製造方法。
- GaN結晶を成長させる際に、メッシュ状タングステン触媒を1100〜1300℃に加熱することを特徴とする請求項1に記載のSi基板の製造方法。
- GaN結晶を成長させる際に、基板温度を600℃から1000℃に昇温させながら結晶を成長させることを特徴とする請求項1又は2に記載のSi基板の製造方法。
- 基板温度を600℃、800℃及び1000℃の三段階で昇温させることを特徴とする請求項3に記載のSi基板の製造方法。
- メッシュ状タングステン触媒とSi基板間の距離を20mm以下とすることを特徴とする請求項1〜4いずれかに記載のSi基板の製造方法。
- SiC層上にAlN層を形成する際に、基板温度900〜1100℃でメッシュ状タングステン触媒を加熱せずにSiC層上でアンモニアガスとアルミニウム化合物を1〜10分間反応させることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のSi基板の製造方法。
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