JP2008049408A - 電子部品装置 - Google Patents
電子部品装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008049408A JP2008049408A JP2006225195A JP2006225195A JP2008049408A JP 2008049408 A JP2008049408 A JP 2008049408A JP 2006225195 A JP2006225195 A JP 2006225195A JP 2006225195 A JP2006225195 A JP 2006225195A JP 2008049408 A JP2008049408 A JP 2008049408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- variable
- variable capacitance
- capacitance
- electric field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】形状可変構造体1は、その変位に応じて容量が変化する可動構造体10を備え、構造変位検出ユニット2aは、可動構造体10に電界を発生させる可変電界発生部26と、電界発生の基となる誘導信号Sdを出力する誘導信号生成部22と、電界の発生によって可動構造体10から出力される容量信号Scapから、可動構造体10の容量を表す情報信号Siを抽出する容量情報抽出部23と、可動構造体10の容量から容量信号Scapへの変換率を調整する調整信号Sctlを出力する感度調整部27とを備え、可変電界発生部26は、調整信号Sctlに応じて電界の強度を変化させる。
【選択図】 図1
Description
図23は、可動構造体10と電界発生部20との接続関係及びこれらに生じる容量を示す図である。前述のように、可動構造体10は、可動部材12と第1の検出電極15とから構成され、電界発生部20は、第2の検出電極25から構成される。
電界誘導部221は、所定の電圧を出力する誘導電圧発生回路222と、誘導開始信号発生部220からの誘導開始信号Ssの出力に応じて閉状態となる制御スイッチ223とから構成される。制御スイッチ223の制御端子は誘導開始信号発生部220の出力端子に接続され、制御スイッチ223の入力端子は誘導電圧発生回路222の出力端子に接続され、制御スイッチ223の出力端子(誘導信号生成部22の出力端子)は電界発生部20の入力端子に接続されている。
電位比較部231は、容量信号Scapと電位比較基準信号Svrefとを比較して、容量信号Scapと電位比較基準信号Svrefとの電位差を増幅した検出信号Seを出力する。位相比較部232は、検出信号Seと誘導開始信号Ssの位相を比較して、検出信号Seと誘導開始信号Ssとの位相差を情報信号Siとして抽出する。
このとき、誘導信号Sdは、図25(B)に示すように次第に上昇して、一定の誘導電位(誘導電圧発生回路222の出力電位)に落ち着く。この誘導電位は、第1の共通電位(例えば接地電位)と第2の共通電位(例えば電源電位)との中間の電位に設定される。
容量情報抽出部23の電位比較部231は、容量信号Scapと電位比較基準信号Svrefとの電位差を増幅した矩形波状の検出信号Seを出力する(図26(B))。したがって、容量Csによる容量信号Scapの変化は、検出信号Seが遷移する時刻(図26(B)の例では検出信号Seがローレベルからハイレベルに立ち上がる時刻)の変化に変換され、容量Csが大きいほど検出信号Seが遷移するまでの時間が長くなる。
出力調整部24の時間−電圧変換回路240は、情報信号Siのパルス幅tsをアナログ電圧Sanに変換する。A/D変換回路241は、時間−電圧変換回路240から出力されたアナログ電圧Sanをディジタル信号に変換し、出力信号Soとして出力する。こうして、可動構造体10の容量Csに相関した出力信号Soが得られる。
F=εV2/(2d2) ・・・(1)
式(1)において、εは空間の誘電率である。
以上のように、従来の電子部品装置では、可動構造体10の容量Csが制御電極に印加する電圧に対して急激に変化する場合に、構造変位検出ユニット2(構造変位検出回路114)の容量検出の感度が不十分となり、形状可変構造体1(ミラー102)の姿勢制御が困難になるという問題点があった。
また、本発明の電子部品装置の1構成例において、前記誘導信号生成部は、前記電界の発生開始を指示する誘導開始信号を出力する誘導開始信号発生部と、前記誘導開始信号に応じて前記誘導信号を出力する電界誘導部とから構成され、前記電界誘導部は、所定の電圧を出力する誘導電圧発生回路と、制御端子が前記誘導開始信号発生部の出力端子に接続され、入力端子が前記誘導電圧発生回路の出力端子に接続され、出力端子が前記電界発生部の入力端子に接続され、前記誘導開始信号の出力に応じて閉状態となる制御スイッチとから構成され、前記容量情報抽出部は、所定の電位の電位比較基準信号を発生する電位比較基準信号発生部と、前記容量信号と前記電位比較基準信号との電位差を増幅して検出信号として出力する電位比較部と、前記検出信号と前記誘導開始信号との位相差を前記情報信号として抽出する位相比較部とから構成され、前記出力調整部は、前記情報信号のパルス幅が有する時間の情報をアナログ電圧に変換する時間−電圧変換回路と、前記アナログ電圧をディジタル信号に変換するA/D変換回路とから構成され、前記可動構造体は、前記形状可変構造体の可動部材と、この可動部材と対向して設置された第1の検出電極とから構成されるものである。
また、本発明の電子部品装置の1構成例において、前記可変電界発生部は、前記第1の検出電極と対向して設置された第2の検出電極と、可変容量回路とから構成され、前記可変容量回路の第1の端子は前記第2の検出電極に接続され、前記可変容量回路の第2の端子は前記第1の検出電極に接続され、前記可変容量回路の制御端子に前記調整信号が入力されるものである。
また、本発明の電子部品装置の1構成例において、前記可変電界発生部は、前記第1の検出電極と対向して設置された第2の検出電極と、可変容量回路とから構成され、前記可変容量回路は、前記第1の検出電極と前記第2の検出電極との間の領域に配置され、前記可変容量回路の制御端子に前記調整信号が入力されるものである。
また、本発明の電子部品装置の1構成例において、前記可変容量回路は、容量が連続的に変化するアナログ可変容量で構成され、前記アナログ可変容量の第1の端子は前記可変容量回路の第1の端子に接続され、前記アナログ可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されるものである。
また、本発明の電子部品装置の1構成例において、前記可変容量回路は、容量が離散的に変化するディジタル可変容量で構成され、前記ディジタル可変容量の第1の端子は前記第2の検出電極に接続され、前記ディジタル可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されるものである。
また、本発明の電子部品装置の1構成例において、前記可変容量回路は、容量が連続的に変化するアナログ可変容量で構成され、前記アナログ可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されるものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る電子部品装置の構成を示すブロック図であり、図21と同一の構成には同一の符号を付してある。
本実施の形態の電子部品装置は、構造変位検出ユニット2a内の構造変位検出回路21aに感度調整部27を備え、また電界発生部20の代わりに可変電界発生部26を備える点が図21に示した従来の電子部品装置と異なる。構造変位検出回路21a内の誘導信号生成部22、容量情報抽出部23及び出力調整部24の構成は図24に示したとおりである。
構造変位検出回路21aの感度調整部27は、可動構造体10の容量Csを容量信号Scapに変換する際の変換率、すなわち検出感度を制御する調整信号Sctlを可変電界発生部26に出力する。可変電界発生部26は、可動構造体10に発生させる電界の強度を調整信号Sctlに応じて変化させる。
一方、可変電界発生部26は、第1の検出電極15と対向するように基板11中に配置された第2の検出電極25と、可変容量回路28とから構成される。可変容量回路28は、第1の端子が第2の検出電極25に接続され、第2の端子が第1の共通電位(接地電位)に接続され、制御端子が感度調整部27の出力端子に接続されたディジタル可変容量Cvを備える。可変容量Cvは、調整信号Sctlにより制御される。
Istd={Cstd・Cs/(Cstd+Cs)}・(dVstd/dt)
・・・(2)
Ip=(Cp+Cv)・(dVstd/dt) ・・・(3)
第1の検出電極15の電位をVsとすると、容量Cstdと可動構造体10の容量Csとは直列に接続されているため、電荷保存則から下記の式が成り立つ。
CsVs=Cstd(Vstd−Vs) ・・・(4)
Iid=Istd+Ip ・・・(5)
誘導信号生成部22から出力される誘導開始信号Ssがローレベルからハイレベルに遷移する時刻から、第1の検出電極15の電位Vsが電位比較基準信号Svrefの電位Vthとなるまでの時刻をtsとすると(図26を参照)、式(2)〜式(5)より、下記の式が成り立つ。
ts=(Vth/Iid)・[{1+(Cp+Cv)/Cstd}・Cs+Cp]
・・・(6)
S∝1+(Cp+Cv)/Cstd ・・・(7)
式(7)から、検出感度Sは寄生容量Cpおよび可変容量Cvに比例することが分かる。したがって、可変容量Cvを寄生容量Cpと並列接続となるように、第2の検出電極25と接地電位との間に接続することで、検出感度Sを増加させて調節することができる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図6は、本発明の第2の実施の形態に係る電子部品装置における可変電界発生部26の可変容量回路28の具体例を示す回路図である。本実施の形態は、第1の実施の形態の可変容量回路28の別の例を示すものであり、可変容量回路28は、容量素子282と、感度調整部27からの調整信号Sctlの出力に応じて閉状態となる制御スイッチ283とから構成される。制御スイッチ283の第1の端子は第2の検出電極25に接続され、第2の端子は容量素子282の一端に接続され、制御端子は感度調整部27の出力端子に接続されている。容量素子282の他端は接地電位に接続されている。容量素子282の具体例としては、MOS容量、MIM容量、PIP容量、MOSダイオード、PNダイオードなどがある。
第2の実施の形態では、容量素子282と制御スイッチ283を1つずつ設けているが、これらを図7に示すようにそれぞれ複数設けてもよい。本実施の形態の場合、可変容量回路28は、n個(nは2以上の自然数)の容量素子282と、n個の制御スイッチ283と、調整信号Sctlに応じてn個の制御スイッチ283を個別に制御するスイッチ制御回路284とから構成される。すなわち、容量素子282と制御スイッチ283とが直列に接続された構成がn個並列に接続されており、各制御スイッチ283はスイッチ制御回路284により個別に制御される。
本実施の形態によれば、n個の制御スイッチ283を個別にオンオフ制御することにより、可変容量回路28の可変容量Cvの値を必要に応じて細かく調整できることになり、構造変位検出ユニット2aによる容量Csの検出感度Sを細かく調整することができる。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。図8は、本発明の第4の実施の形態に係る電子部品装置における可変電界発生部26の可変容量回路28の具体例を示す回路図である。本実施の形態は、第1の実施の形態の可変容量回路28の別の例を示すものであり、可変容量回路28は、第1の端子が第2の検出電極25に接続され、第2の端子が第1の共通電位(接地電位)に接続され、制御端子が感度調整部27の出力端子に接続されたアナログ可変容量素子285から構成される。アナログ可変容量素子285の可変容量Cvは、感度調整部27から出力される調整信号Sctlにより制御される。本実施の形態では、調整信号Sctlの電位を連続的に変化させることで可変容量Cvを変化させ、容量Csの検出感度Sを調整する。
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。図10は、本発明の第5の実施の形態に係る電子部品装置における可変電界発生部26の可変容量回路28の具体例を示す回路図である。本実施の形態は、第1の実施の形態の可変容量回路28の別の例を示すものであり、可変容量回路28は、第1の端子が第2の検出電極25に接続され、第2の端子(制御端子)が感度調整部27の出力端子に接続されたアナログ可変容量素子286から構成される。本実施の形態は、第4の実施の形態とはアナログ可変容量素子286の端子数および接続が異なる。本実施の形態では、第4の実施の形態と同様に、感度調整部27から出力する調整信号Sctlの電位を連続的に変化させることで可変容量Cvを変化させ、容量Csの検出感度Sを調整する。
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。図12は、本発明の第6の実施の形態に係る電子部品装置の可変電界発生部26の具体例を示す図である。本実施の形態は、第1の実施の形態の可変電界発生部26の別の例を示すものであり、可変電界発生部26は、第1の検出電極15と対向するように基板11中に配置された第2の検出電極25と、可変容量回路29とから構成される。
S∝1+{Cp/(Cstd+Cv)} ・・・(8)
第6の実施の形態では、可変容量回路29として、第2、第3の実施の形態で示した可変容量回路28と同様の構成を用いたが、第4の実施の形態で示した可変容量回路28と同様の構成を用いてもよい。第4の実施の形態の可変容量回路28では、アナログ可変容量素子285の一端を接地電位に接続しているが、接地電位に接続する代わりに、第2の検出電極25に接続してやればよい。
次に、本発明の第8の実施の形態について説明する。図14は、本発明の第8の実施の形態に係る電子部品装置の可変電界発生部26の具体例を示す図である。本実施の形態は、第1の実施の形態の可変電界発生部26の別の例を示すものであり、可変電界発生部26は、第1の検出電極15と対向するように基板11中に配置された第2の検出電極25と、可変容量回路30とから構成される。
S∝1+(Cp/Cstd) ・・・(9)
したがって、式(9)から、可変容量Cstdを増加させると、検出感度Sが減少することが分かる。
第8の実施の形態では、可変容量用電極300と制御スイッチ301を1つずつ設けているが、これらを図17に示すようにそれぞれ複数設けてもよい。本実施の形態の場合、可変容量回路30は、n個(nは2以上の自然数)の可変容量用電極300と、n個の制御スイッチ301と、調整信号Sctlに応じてn個の制御スイッチ301を個別に制御するスイッチ制御回路302とから構成される。各可変容量用電極300は、個別に制御スイッチ301を通して第2の検出電極25に接続される。これらの可変容量用電極300は、図22に示した基板11中に互いに離間して形成される。
本実施の形態によれば、n個の制御スイッチ301を個別にオンオフ制御することにより、可変容量回路30の可変容量Cstdの値を必要に応じて細かく調整できることになり、構造変位検出ユニット2aによる容量Csの検出感度Sを細かく調整することができる。
第8、第9の実施の形態では、可変容量回路30の可変容量Cstdの値を離散的に変化させたが、可変容量回路30にアナログ可変容量を用いることにより、可変容量Cstdの値を連続的に変化させることも可能である。
本実施の形態の可変容量回路30の具体例を図18に示す。可変容量回路30は、図22に示した基板11上に形成された感度調整制御電極303を有する。第1〜第9の実施の形態では第1の検出電極15と第2の検出電極25間の距離が不変であるのに対して、本実施の形態では第1の検出電極15と第2の検出電極25間の距離が可変な点が第1〜第9の実施の形態と異なる。
また、第1〜第10の実施の形態では、MEMS構造の形状を変化させて光の経路を制御する光スイッチ(マイクロミラー)を電子部品装置の例として挙げたが、MEMS構造の形状を変化させて容量を制御する可変容量素子に本発明を適用してもよい。
Claims (9)
- 入力された制御信号または検出すべき物理量に応じて変位する形状可変構造体と、この形状可変構造体の変位を表す容量を検出する構造変位検出ユニットとを有する電子部品装置において、
前記形状可変構造体は、その変位に応じて容量が変化する可動構造体を備え、
前記構造変位検出ユニットは、前記可動構造体に電界を発生させる可変電界発生部と、前記電界発生の基となる誘導信号を前記可変電界発生部に出力する誘導信号生成部と、前記電界の発生によって前記可動構造体の出力端子から出力される容量信号から、前記可動構造体の容量を表す情報信号を抽出する容量情報抽出部と、前記可動構造体の容量から前記容量信号への変換率を調整する調整信号を前記可変電界発生部に出力する感度調整部とを備え、
前記可変電界発生部は、前記調整信号に応じて前記電界の強度を変化させることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項1に記載の電子部品装置において、
前記誘導信号生成部は、前記電界の発生開始を指示する誘導開始信号を出力する誘導開始信号発生部と、前記誘導開始信号に応じて前記誘導信号を出力する電界誘導部とから構成され、
前記電界誘導部は、所定の電圧を出力する誘導電圧発生回路と、制御端子が前記誘導開始信号発生部の出力端子に接続され、入力端子が前記誘導電圧発生回路の出力端子に接続され、出力端子が前記電界発生部の入力端子に接続され、前記誘導開始信号の出力に応じて閉状態となる制御スイッチとから構成され、
前記容量情報抽出部は、所定の電位の電位比較基準信号を発生する電位比較基準信号発生部と、前記容量信号と前記電位比較基準信号との電位差を増幅して検出信号として出力する電位比較部と、前記検出信号と前記誘導開始信号との位相差を前記情報信号として抽出する位相比較部とから構成され、
前記出力調整部は、前記情報信号のパルス幅が有する時間の情報をアナログ電圧に変換する時間−電圧変換回路と、前記アナログ電圧をディジタル信号に変換するA/D変換回路とから構成され、
前記可動構造体は、前記形状可変構造体の可動部材と、この可動部材と対向して設置された第1の検出電極とから構成されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項1または2に記載の電子部品装置において、
前記可変電界発生部は、前記第1の検出電極と対向して設置された第2の検出電極と、可変容量回路とから構成され、
前記可変容量回路の第1の端子は前記第2の検出電極に接続され、前記可変容量回路の第2の端子は第1の共通電位に接続され、前記可変容量回路の制御端子に前記調整信号が入力されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項1または2に記載の電子部品装置において、
前記可変電界発生部は、前記第1の検出電極と対向して設置された第2の検出電極と、可変容量回路とから構成され、
前記可変容量回路の第1の端子は前記第2の検出電極に接続され、前記可変容量回路の第2の端子は前記第1の検出電極に接続され、前記可変容量回路の制御端子に前記調整信号が入力されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項1または2に記載の電子部品装置において、
前記可変電界発生部は、前記第1の検出電極と対向して設置された第2の検出電極と、可変容量回路とから構成され、
前記可変容量回路は、前記第1の検出電極と前記第2の検出電極との間の領域に配置され、前記可変容量回路の制御端子に前記調整信号が入力されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項3または4に記載の電子部品装置において、
前記可変容量回路は、容量が離散的に変化するディジタル可変容量で構成され、前記ディジタル可変容量の第1の端子は前記可変容量回路の第1の端子に接続され、前記ディジタル可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項3または4に記載の電子部品装置において、
前記可変容量回路は、容量が連続的に変化するアナログ可変容量で構成され、前記アナログ可変容量の第1の端子は前記可変容量回路の第1の端子に接続され、前記アナログ可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項5に記載の電子部品装置において、
前記可変容量回路は、容量が離散的に変化するディジタル可変容量で構成され、前記ディジタル可変容量の第1の端子は前記第2の検出電極に接続され、前記ディジタル可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されることを特徴とする電子部品装置。 - 請求項5に記載の電子部品装置において、
前記可変容量回路は、容量が連続的に変化するアナログ可変容量で構成され、前記アナログ可変容量の制御端子は前記可変容量回路の制御端子に接続されることを特徴とする電子部品装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006225195A JP4787106B2 (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 電子部品装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006225195A JP4787106B2 (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 電子部品装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008049408A true JP2008049408A (ja) | 2008-03-06 |
JP4787106B2 JP4787106B2 (ja) | 2011-10-05 |
Family
ID=39233925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006225195A Expired - Fee Related JP4787106B2 (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 電子部品装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4787106B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010147239A3 (en) * | 2009-06-19 | 2011-03-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and method for detecting sensitivity variation of electromechanical transducer |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004130507A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2005246498A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2005318236A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2005315694A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2006123110A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Foundation For The Promotion Of Industrial Science | 静電マイクロアクチュエータ、静電マイクロアクチュエータ装置、及び静電マイクロアクチュエータの駆動方法 |
-
2006
- 2006-08-22 JP JP2006225195A patent/JP4787106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004130507A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2005246498A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2005318236A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2005315694A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子部品装置 |
JP2006123110A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Foundation For The Promotion Of Industrial Science | 静電マイクロアクチュエータ、静電マイクロアクチュエータ装置、及び静電マイクロアクチュエータの駆動方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010147239A3 (en) * | 2009-06-19 | 2011-03-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and method for detecting sensitivity variation of electromechanical transducer |
CN102458693A (zh) * | 2009-06-19 | 2012-05-16 | 佳能株式会社 | 机电变换器和用于检测机电变换器的灵敏度变化的方法 |
US9321080B2 (en) | 2009-06-19 | 2016-04-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and method for detecting sensitivity variation of electromechanical transducer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4787106B2 (ja) | 2011-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10630875B2 (en) | Control circuit of liquid lens, camera module and method of controlling liquid lens | |
KR102095475B1 (ko) | 가속도계 | |
US8363381B2 (en) | Variable capacitive element, variable capacitive device, and method for driving the variable capacitive element | |
US8564170B2 (en) | Vibration power generator, vibration power generation apparatus, and electric device and communication device with vibration power generation apparatus mounted thereon | |
US7284432B2 (en) | Acceleration sensitive switch | |
US6744338B2 (en) | Resonant operation of MEMS switch | |
JP4528815B2 (ja) | 半導体装置、及び静電アクチュエータの制御方法 | |
JP4787106B2 (ja) | 電子部品装置 | |
JP5591629B2 (ja) | 半導体装置、及び静電アクチュエータの駆動方法 | |
US8102637B2 (en) | Control techniques for electrostatic microelectromechanical (MEM) structure | |
JP4499447B2 (ja) | 電子部品装置 | |
JP6424479B2 (ja) | アクチュエータ及びアクチュエータの制御方法 | |
JP4287324B2 (ja) | 電子部品装置 | |
JP4365264B2 (ja) | 電子部品装置 | |
JP2013016730A (ja) | 可変容量装置 | |
JP7217507B2 (ja) | 発電装置、エネルギーハーベストデバイス | |
Van Spengen et al. | The MEMSamp: using (RF-) MEMS switches for the micromechanical amplification of electronic signals | |
JP2735416B2 (ja) | センサの出力信号特性調整装置と方法および出力信号の調整装置 | |
JP5688757B2 (ja) | 回路装置 | |
US20030201891A1 (en) | Shock sensor by variable capacitor | |
JP3837355B2 (ja) | 傾斜検出装置 | |
JP6213133B2 (ja) | Mems構造体、角速度センサ及びバネ定数調整方法 | |
JP6038362B2 (ja) | 静電アクチュエーターおよび可変容量デバイス | |
JP2022173851A (ja) | センサ | |
JP2015190764A (ja) | キャパシタセンサー、センサー装置、及び外力検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110714 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |