JP2008041795A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置1を、互いに周波数の異なる高周波電力を供給する複数の高周波電源21、31と、前記複数の高周波電源21、31から各々供給された高周波電力を重畳し、同一の高周波電極6に給電する共通の給電ライン35と、前記給電ライン35で給電される高周波電力から所定の周波数の高周波電力を抽出する高周波電力抽出手段41、45と、前記高周波電力抽出手段41、45により抽出した前記所定の周波数の高周波電力の電圧を測定する高周波電圧検出器42、46と、を有するように構成する。
【選択図】図1
Description
前記複数の高周波電源から各々供給された高周波電力を同一の高周波電極に給電する共通の給電ラインと、前記給電ラインで給電される高周波電力から所定の周波数の高周波電力を抽出する高周波電力抽出手段と、前記高周波電力抽出手段により抽出した前記所定の周波数の高周波電力の電圧、電流及び位相のうちの少なくとも1つ以上を測定する高周波検出器と、を有することを特徴とする、プラズマ処理装置が提供される。
2 処理容器
5 上部電極
6 下部電極
10 ガス供給経路
11 ガス排気経路
15、20、30 整合器
16、21、31 高周波電源
25 給電点
35 給電ライン
40 測定点
41 ローパスフィルタ
42、46 高周波電圧検出器
45 ハイパスフィルタ
50 計算機
60 ディスプレイ
61 記録装置
62 上位システム
66 直流電圧検出器
70 高周波電力分解手段
A1 絶縁体
A2 壁部
K 処理空間
V1、V2 各高周波電力の電圧
V10、V20 補正された各高周波電力の電圧
Vdc 直流バイアス電圧
Vpp ピーク−ピーク間電圧
W 基板
Claims (12)
- 処理容器内に上下に対向する高周波電極を有し、それらの高周波電極の少なくともいずれかの高周波電極に高周波電力を供給して処理容器内にプラズマを生成し、基板を処理するプラズマ処理装置であって、
互いに周波数の異なる高周波電力を供給する複数の高周波電源と、
前記複数の高周波電源から各々供給された高周波電力を同一の高周波電極に給電する共通の給電ラインと、
前記給電ラインで給電される高周波電力から所定の周波数の高周波電力を抽出する高周波電力抽出手段と、
前記高周波電力抽出手段により抽出した前記所定の周波数の高周波電力の電圧、電流及び位相のうちの少なくとも1つ以上を測定する高周波検出器と、を有することを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 前記高周波検出器は、前記所定の周波数の高周波電力の電圧を測定する高周波電圧検出器であることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記所定の周波数は、前記複数の高周波電源が各々供給する高周波電力の周波数であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力抽出手段は、前記所定の周波数の高周波電力だけを通過させるバンドパスフィルタ、ローパスフィルタ又はハイパスフィルタの少なくともいずれかを有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力抽出手段は、前記給電ラインで給電される高周波電力を前記所定の周波数の高周波電力に分解する高周波電力分解手段を有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記複数の高周波電源は、前記給電ラインとの間に各々整合器を有することを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記給電ラインで給電される高周波電力から直流電圧を抽出する直流電圧抽出手段と、
前記直流電圧抽出手段により抽出した直流電圧を測定する直流電圧検出器と、を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ処理装置。 - 前記高周波電圧検出器で測定された前記所定の周波数の高周波電力の電圧を、予め保持するか又は取得したインピーダンス情報に基づいて補正し、前記高周波電極における前記所定の周波数の高周波電力の電圧を算出する計算機を有することを特徴とする、請求項2〜7のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 処理容器内に設けた上下に対向する高周波電極の少なくともいずれかの高周波電極に高周波電力を供給して処理容器内にプラズマを生成し、基板を処理するプラズマ処理方法であって、
互いに周波数の異なる複数の高周波電力を共通の給電ラインを用いて同一の高周波電極に給電し、
前記給電ラインで給電される高周波電力から前記周波数のいずれかである所定の周波数の高周波電力を抽出してその電圧を測定し、
前記測定した電圧を所定のインピーダンス情報を用いて補正し、前記同一の高周波電極における前記所定の周波数の高周波電力の電圧を算出することを特徴とする、プラズマ処理方法。 - 前記所定の高周波電力を抽出する際に、前記所定の周波数の高周波電力だけを通過させるバンドパスフィルタ、ローパスフィルタ又はハイパスフィルタの少なくともいずれかを用いて抽出することを特徴とする、請求項9に記載のプラズマ処理方法。
- 前記所定の高周波電力を抽出する際に、前記給電ラインで給電される高周波電力を前記所定の周波数の高周波電力に分解して抽出することを特徴とする、請求項9又は10に記載のプラズマ処理方法。
- 前記給電ラインで給電される高周波電力から直流電圧を抽出してその電圧を測定することを特徴とする、請求項9〜11のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
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