JP2008041733A - Electronic component mounting apparatus, and substrate heating method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置および基板加熱方法に関するものである。 The present invention relates to an electronic component mounting apparatus and a substrate heating method for mounting electronic components on a substrate.
電子部品の実装効率の向上を目的として、複数の実装系統を備えた電子部品実装装置が知られている。例えば、特許文献1に示された電子部品実装装置では、複数の電子部品が配列された1つのウェハシートに対して2つの実装ヘッドが設けられており、各実装ヘッドでピックアップした電子部品を各実装ヘッドに対応して配置された複数の基板に並行して実装する構成となっている。基板には、電子部品を接合するための樹脂接着剤が予め施されているため、基板に外部から熱を加えることで樹脂接着剤が接着力を発揮できる状態を維持できるようにしている。
樹脂接着剤には長時間の加熱により変質して接着力が低下するという性質があるため、基板への加熱を開始してから長時間経過後に実装を行うと、所望の接着力が発揮されずに実装品質が低下するという問題がある。特に、特許文献1に示された電子部品実装装置においては、1つの実装ヘッドで複数の基板に対して実装を行うため、ある基板に対して実装を行っているときには他の基板は実装を待機した状態にあり、待機時間が長くなるにつれ加熱される時間が長くなっていた。
Resin adhesives have the property of deteriorating due to long-time heating and lowering the adhesive force, so if mounting is performed after a long time has elapsed since the start of heating to the substrate, the desired adhesive force will not be demonstrated. However, there is a problem that the mounting quality is deteriorated. In particular, in the electronic component mounting apparatus disclosed in
そこで本発明は、基板の過剰加熱を防止する電子部品実装装置および基板加熱方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and a substrate heating method that prevent overheating of the substrate.
請求項1に記載の電子部品実装装置は、電子部品を収納する部品収納部と、基板を保持する基板保持部と、前記部品収納部からピックアップした電子部品を前記基板保持部に保持された基板に実装する実装ヘッドと、前記基板保持部に保持された基板を加熱する基板加熱部と、前記基板加熱部による基板の加熱動作を制御する加熱動作制御部と、前記基板保持部に保持された基板に電子部品を実装する実装動作において行われる動作のうち特定の動作を予め登録する特定動作登録部と、前記特定動作登録部に登録された動作の開始を検知する特定動作検知部と、を備え、前記加熱動作制御部が、前記特定動作検知部により前記特定動作登録部に登録された動作の開始が検知されてから所定時間経過した時点で基板の加熱を中断する制御を行う。
The electronic component mounting apparatus according to
請求項2に記載の電子部品実装装置は、請求項1に記載の電子部品実装装置において、前記特定動作登録部に、前記実装動作中に発生するエラー停止が登録されている。 An electronic component mounting apparatus according to a second aspect is the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, wherein an error stop that occurs during the mounting operation is registered in the specific operation registration unit.
請求項3に記載の基板加熱方法は、請求項1に記載の電子部品実装装置における基板加熱方法であって、前記基板保持部に保持された基板を加熱しているときに前記特定動作登録部に登録された動作の開始が検知されると、所定時間経過した時点で基板の加熱を中断する。
The substrate heating method according to
請求項4に記載の基板加熱方法は、請求項2に記載の電子部品実装装置における基板加熱方法であって、前記基板保持部に保持された基板を加熱しているときにエラー停止が発
生すると、所定時間経過した時点で基板の加熱を中断する。
The substrate heating method according to
本発明によれば、加熱中の基板を待機させる特定動作が開始されてから所定時間経過後に加熱を中断して基板の過剰加熱を抑制するので、実装品質および生産効率の低下を防止することができる。 According to the present invention, since the heating is interrupted after a predetermined time has elapsed since the start of the specific operation for waiting the substrate being heated to suppress excessive heating of the substrate, it is possible to prevent a reduction in mounting quality and production efficiency. it can.
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図2は本発明の実施の形態の電子部品実装装置の側面図、図3は本発明の実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成図、図4は本発明の実施の形態の電子部品実装装置の基板加熱動作を時系列で示すグラフである。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a graph showing the substrate heating operation of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention in time series.
最初に電子部品実装装置の構成について図1および図2を参照して説明する。電子部品実装装置1は、2つの独立した実装ヘッドを備え、それぞれの実装ヘッドに対応して複数の基板を配置したデュアルヘッド型実装装置である。電子部品実装装置1の一端側には、基板2の搬送と保持を行う搬送レール3、4が一方向に延設されている。搬送レール3、4による搬送経路の途中には、基板の搬送方向(矢印A参照)に対して下流側で基板2を保持する第1の基板保持箇所3a、4aと、上流側で基板2を保持する第2の基板保持箇所3b、4bが設けられている。搬送レール3、4は、基板2を搬送するだけでなく、第1の基板保持箇所3a、4aと第2の基板保持箇所3b、4bにて基板2を保持する基板保持部としても機能し、電子部品実装装置1に搬入された基板2は、基板ストッパ5により各基板保持箇所3a、3b、4a、4bにて一旦停止し、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bにて保持されて電子部品が実装された後、電子部品実装装置1から搬出される。基板ストッパ5は、基板2の搬送を許容する位置と制限する位置とに移動可能であり、制限する位置にあるときに基板2を各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに停止させる。
First, the configuration of the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. 1 and FIG. The electronic
各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに対応して基板センサ6が配設されており、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに保持された基板2を検知する。また、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに対応して基板加熱部が配設されており、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに保持された基板2を加熱する。基板加熱部は、シースヒータやセラミックヒータ等の発熱部を備えた基板加熱ステージ7と、基板加熱ステージ昇降機構8とで構成され、基板加熱ステージ7を基板保持箇所3a、3b、4a、4bにある基板2の下方で昇降させることにより基板2の下面に接離させる。基板2の下面に基板加熱ステージ7を当接させることで基板2の加熱が開始され、基板2の下面から基板加熱ステージ7を離反させることで基板2の加熱が中断もしくは停止される。基板2を下面側から加熱することで、基板2の上面に施された樹脂接着剤が加熱され、電子部品を接合するための接着力を発揮する接着状態に維持される。
A
電子部品実装装置1の他端側は部品収納部となっており、搬送レール3、4と離隔してウェハシート9が配設されている。ウェハシート9の上面には複数の電子部品10が貼着され、規則的に配列された状態で収納されている。ウェハシート9は、搬送レール3、4の延設方向と同方向において往復移動可能なウェハシート保持テーブル11にセットされている(矢印B参照)。ウェハシート9の下面側にはエジェクタ12が配設されている。エジェクタ12は、上方に突没するエジェクタヘッド12aを備え、ウェハシート保持テーブル11の移動と同期して移動可能であるととともに、任意の電子部品10の下方に移動可能になっている。電子部品10をピックアップする際には、任意の電子部品10の下方でエジェクタヘッド12aを突出させ、ウェハシート9側から電子部品10を突き上げることで、ウェハシート9の上面に貼着された電子部品10の剥離を促進する。
The other end side of the electronic
なお、電子部品実装装置1では、予め用意された複数のウェハシート9を交換しながらウェハシート保持テーブル11にセットできるようになっている。所望の品種の電子部品10を収納した複数のウェハシート9を図示しないウェハシート保持部に収納し、図示しないウェハシート交換手段により、ウェハシート保持テーブル11にセットされているウェハシート9をウェハシート収納部に一旦返却し、代わりに所望の品種の電子部品10を収納したウェハシート9をウェハシート保持テーブル11にセットする。これにより、電子部品実装装置1は、品種の電子部品を基板2に実装することでできるとともに、部品切れとなったウェハシート9を新たなウェハシート9にスムーズに交換することができる。
The electronic
電子部品実装装置1には、第1の実装ヘッド13と第2の実装ヘッド14の2つの実装ヘッドが備えられている。第1の実装ヘッド13は、第1の直交ロボット15に搭載されており、部品収納部と第1の基板保持箇所3a、4aにて保持された2つの基板2の上方で水平移動可能になっている。また、第2の実装ヘッド14は、第2の直交ロボット16に搭載されており、部品収納部と第2の基板保持箇所3b、4bにて保持された2つの基板2bの上方で水平移動可能になっている。部品収納部に配設されたウェハシート9は、2つの実装ヘッド13、14に対して1つのみであるので、ピックアップの際には、何れかの実装ヘッド13、14に近接する位置に移動する。第1の実装ヘッド13と第2の実装ヘッド14には、ウェハシート9から電子部品10をピックアップする複数のノズル17、18が設けられている。
The electronic
電子部品実装装置1には、予め定められた対象物を撮像する複数のカメラが備えられている。それぞれのカメラにより撮像された対象物の画像を解析し、対象物の正確な位置を認識することで実装精度を高めている。第1の基板認識カメラ19と第2の基板認識カメラ20は、それぞれ第1の直交ロボット15と第2の直交ロボット16に搭載され、第1の実装ヘッド13または第2の実装ヘッド14と一体となって水平移動可能になっている。第1の基板認識カメラ19と第2の基板認識カメラ20は、各基板2に予め設定されている複数の実装箇所の位置認識マーク(図示せず)の撮像を行う。これにより、各ノズル17、18に吸着された電子部品を各実装箇所に正確に位置決めして実装することができる。
The electronic
第1の部品認識カメラ21は、ウェハシート9の移動経路の上方となる位置に配設されている。第1の部品認識カメラ21は、部品認識カメラ移動テーブル22に搭載され、ウェハシート9の移動方向(矢印B参照)と直交する方向(矢印C参照)に水平移動可能になっている。この互いに直交するウェハシート9の移動と第1の部品認識カメラ21の移動を組み合わせることで、ウェハシート9の上面に貼着された全ての電子部品10を第1の部品認識カメラ21により撮像する。これにより、各ノズル17、18を任意の電子部品10に正確に位置合わせして吸着することができる。
The first
第2の部品認識カメラ23は、ウェハシート9から電子部品10をピックアップした第1の実装ヘッド13が基板2に移動する際の移動経路の途中に配設されている。第2の部品認識カメラ23は、電子部品実装装置1に対して固定されており、その上方を通過する第1の実装ヘッド13にピックアップされた電子部品10を下方から撮像する。これにより、各ノズル17、18の中心軸に対する電子部品10の位置ずれ量が認識される。この認識された位置ずれ量は、電子部品10を基板2の実装箇所に実装する際に補正される。また、第3の部品認識カメラ24は、第2の実装ヘッド14の移動経路の途中に配設されており、第2の部品認識カメラ23と同様の機能を備えている。
The second
次に、電子部品実装装置における加熱動作に関する制御系の構成について、図3を参照して説明する。基板センサ6は、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに対応して設け
られており、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに保持された基板を検知し、検知信号を加熱動作制御部30に送信する。基板加熱ステージ7は、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに対応して設けられており、加熱動作制御部30により発熱状態もしくは非発熱状態の何れかの状態に維持される。基板加熱ステージ昇降機構8は、各基板加熱ステージ7に対応して設けられており、加熱動作制御部30から加熱開始指令を受信すると、基板加熱ステージ7を上昇させて基板2の下面に接触させる。加熱動作制御部30から加熱中断もしくは停止指令を受信するか、予め設定された加熱時間を経過すると、基板加熱ステージ7を下降させて基板2の下面から離反させる。なお、基板加熱ステージ7は発熱の開始から一定の温度に到達するまで時間を要するので、電子部品実装装置1の稼働中は常時発熱状態に維持されている。
Next, the configuration of the control system related to the heating operation in the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. The
同図において、加熱モード記憶部31は、加熱動作における加熱開始のタイミングに関する複数の加熱モードを記憶する。このうち第1の加熱モードは、電子部品実装装置1に搬入された基板2が各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに保持された時点から加熱を開始する加熱モードであり、加熱動作制御部30は、基板センサ6から検知信号を受信すると、間断なく基板加熱ステージ昇降機構8に基板加熱指令を送信する。第2の加熱モードは、電子部品実装装置1に搬入された基板2が、各基板保持箇所3a、3b、4a、4bに保持された後、電子部品を実装する時点から加熱を開始する加熱モードである。第2の加熱モードでは、加熱動作制御部30は、基板センサ6から検知信号を受信しても基板加熱ステージ昇降機構8に基板加熱指令を送信することはなく、例えば、第1の実装ヘッド13による実装対象が第1の基板保持箇所4aに保持された基板2から第1の基板保持箇所3aに移行したとき、すなわち、次の実装対象となる基板2に電子部品10を実装する前段階での動作がおこなわれたときに基板加熱指令を送信する。なお、電子部品実装装置1における実装動作は、実装動作制御部24により制御され、電子部品実装装置1に設けられた各駆動部の動作信号や電子部品実装装置1において発生したエラー停止信号は、実装動作制御部24から加熱動作制御部30に送信される。
In the same figure, the heating mode memory | storage part 31 memorize | stores the some heating mode regarding the timing of the heating start in heating operation. Among these, the first heating mode is a heating mode in which heating is started from the time when the
加熱動作における加熱モードは、加熱モード変更部32により第1の加熱モードまたは第2の加熱モードの何れかを選択することが可能である。第1の加熱モードを選択すると、基板2が基板保持箇所3a、3b、4a、4bに保持された時点から加熱が開始されるので、いつでも電子部品10を実装できる接着状態が維持される。従って、電子部品10を基板2に実装するために要する時間は、実装ヘッド13、14がウェハシート9から電子部品10をピックアップして基板2に実装する動作を繰り返すために必要な時間のみによって確定され、樹脂接着剤を接着状態にするための時間を考慮する必要がなくなる。これにより、単位時間当たりの電子部品の実装数が増加し、生産効率の向上を図ることができる。
As the heating mode in the heating operation, the heating mode changing unit 32 can select either the first heating mode or the second heating mode. When the first heating mode is selected, heating is started from the time when the
一方、第2の加熱モードを選択すると、電子部品10を実装する前段階での動作が行われてから加熱を開始するので、実装ヘッド13、14の動作のタイミングによっては樹脂接着剤が接着状態となるまでの待機時間が発生する場合がある。しかしながら、樹脂接着剤は、必要以上に加熱すると変質して接着力が低下するという性質があるため、加熱を開始してから長時間を経過した基板2に電子部品10を実装すると、所望の接着力が発揮されずに実装品質が低下するという問題がある。特に、電子部品実装装置1のように、1つの実装ヘッド13、14で複数の基板2に対して実装を行う装置の場合、1つの基板2に対して実装を行っているときには他の基板2は実装を待機した状態にあるため、待機時間が長くなるにつれ加熱時間が長くなってしまう。このような場合に、第2の実装モードであれば、ある基板2に実装を行う前段階で初めて加熱を開始するので、基板2の過剰な加熱を抑制することができ、実装品質の低下を防止することができる。
On the other hand, when the second heating mode is selected, the heating is started after the operation in the previous stage of mounting the
電子部品実装装置1においては、電子部品10の実装に関する純粋な生産動作の他に、
メンテナンスや部品交換動作、カメラキャリブレーション動作、実装荷重確認動作、エラー解決動作等が行われることがある。これらの純粋な生産動作以外の動作が行われると実装動作を一時的に中断させることになる。従って、実装動作を中断させる要因となる動作を予め特定動作として特定動作登録部33に登録し、電子部品実装装置1において特定動作が行われると、基板2の加熱を中断する制御を行うことで、実装動作中断の際の過剰な加熱を抑制することができる。
In the electronic
Maintenance, parts replacement operation, camera calibration operation, mounting load confirmation operation, error solution operation, etc. may be performed. When operations other than these pure production operations are performed, the mounting operation is temporarily interrupted. Therefore, the operation that causes the mounting operation to be interrupted is registered in advance in the specific operation registering unit 33 as the specific operation, and when the specific operation is performed in the electronic
例えば、部品切れや品種交換の際のウェハシート9の交換を行うときは、実装ヘッド13、14の動作を停止させる必要があるので、生産が一時的に停止する。従って、基板2の加熱中に特定動作登録部33に登録されたウェハシート交換動作が行われると、特定動作検知部34から特定動作検知信号が加熱動作制御部30に送信され、特定動作検知部34から特定動作検知信号を受信した加熱動作制御部30は、基板加熱ステージ昇降機構8に基板加熱中断指令を送信する。基板加熱中断指令を受信した基板加熱ステージ昇降機構8は、基板加熱ステージ7を下降させ、基板2の下面から離反させる。ウェハシート交換動作が終了すると、基板加熱ステージ7を上昇させ、基板2の加熱を再開する。これにより、ウェハシート9の交換動作等の特定動作が行われている間は、基板2の加熱が中断されるので、基板2の過剰な加熱が抑制され、実装品質の低下を防止することができる。
For example, when exchanging the
特定動作継続時間測定部35は、特定動作登録部33に登録された特定動作が開始された時点からの経過時間を計測する。特定動作継続許容時間記憶部36には、特定動作登録部33に登録された特定動作毎に許容する継続時間を予め記憶させている。特定動作継続時間測定部35による継続時間測定値は、加熱動作制御部30に送信され、特定動作継続許容時間記憶部36に記憶された許容時間と比較される。継続時間測定値が許容時間を超えると、加熱動作制御部30から基板加熱ステージ昇降機構8に基板加熱中断指令を送信し、基板2の加熱を中断する。
The specific operation duration measuring unit 35 measures the elapsed time from the time when the specific operation registered in the specific operation registration unit 33 is started. The specific operation continuation allowable time storage unit 36 stores a continuation time allowed for each specific operation registered in the specific operation registration unit 33 in advance. The measured duration value by the specific operation duration measurement unit 35 is transmitted to the heating
許容時間をゼロに設定した場合、特定動作検知部34から特定動作検知信号を受信した時点で、加熱動作制御部30は基板加熱ステージ昇降機構8に基板加熱中断指令を送信する。また、設定した許容時間に到達しないまま特定動作が終了すると、加熱動作制御部30からは基板加熱中断指令が送信されず、基板2の加熱は中断されないことになる。実装品質の低下を防止する観点からは、許容時間をゼロに近い値に設定することが望ましいが、反面、加熱動作の中断が頻発することになり生産効率の観点からは好ましくない。逆に、許容時間を長めに設定すると、加熱が中断される回数は減少するが、過剰加熱となる問題が発生する。従って、電子部品実装装置1において想定される特定動作の発生率や特定動作継続時間等を勘案し、生産に求められる品質と効率のバランスの観点から、望ましくは特定動作毎に、任意の許容時間を設定する。
When the allowable time is set to zero, the heating
例えば、電子部品電子部品実装装置1は複数の駆動部により構成されているため、各駆動部の動作不良によるエラー停止が発生することも想定されるが、エラーの内容によっては即時に解決できるものもある。従って、解決に時間を要するエラー停止の場合にのみ加熱を中断し、その他のエラー停止に関しては加熱を中断しないように許容時間を設定することで、品質と効率のバランスを保つようにしてもよい。
For example, since the electronic component electronic
次に、電子部品実装装置における基板加熱動作について、図4を参照して説明する。同図は、基板保持箇所に保持された基板に対する加熱状況を時系列で表したグラフである。時間t1において、基板が基板保持箇所に保持される。第1の加熱モードを選択している場合には、時間t1において基板が基板保持箇所に保持された時点から加熱が開始されるが、第2の加熱モードを選択している場合には、実装動作が開始する時間t2から加熱動作が開始される(図4は第2の加熱モードを選択している場合の加熱状況を示している)。加熱開始後、時間t3においてウェハシートの交換が行われると、ウェハシート交換動
作は特定動作として登録されているので、交換中は基板の加熱が中断される。なお、ウェハシート交換に関する許容時間はゼロに設定されているので、交換が開始した時点から基板の加熱が中断されている。時間t4においてウェハシートの交換を終えると、基板の加熱が再開される。時間t5から時間t6の間でエラーが発生しているが、エラー停止時間T1が許容時間T3を超えていないため、加熱の中断は行われない。一方、時間t7から時間t9の間で発生したエラーにおいては、エラー停止時間T2が許容時間T3を超えているので、時間t8において許容時間T3を経過した時点からエラーが解決した時間t9まで加熱が中断される。
Next, the substrate heating operation in the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. This figure is a graph showing the heating status of the substrate held at the substrate holding location in time series. At time t1, the substrate is held at the substrate holding location. When the first heating mode is selected, heating is started from the time when the substrate is held at the substrate holding position at time t1, but when the second heating mode is selected, mounting is performed. The heating operation is started from time t2 when the operation starts (FIG. 4 shows a heating state when the second heating mode is selected). When the wafer sheet is exchanged at time t3 after the start of heating, since the wafer sheet exchange operation is registered as a specific operation, heating of the substrate is interrupted during the exchange. Since the allowable time for wafer sheet exchange is set to zero, the heating of the substrate is interrupted from the time when the exchange is started. When the exchange of the wafer sheet is completed at time t4, the heating of the substrate is resumed. Although an error has occurred between time t5 and time t6, since the error stop time T1 does not exceed the allowable time T3, the heating is not interrupted. On the other hand, in the case of an error that occurred between time t7 and time t9, the error stop time T2 exceeds the allowable time T3. Interrupted.
このように、電子部品実装装置における基板の加熱動作を制御し、状況に応じて中断させることで、基板の過剰な加熱が抑制され、実装品質の低下を防止することができる。加熱動作を中断するタイミング等の条件は、生産に求められる品質と効率のバランスの観点から任意に設定することができる。 As described above, by controlling the heating operation of the substrate in the electronic component mounting apparatus and interrupting the operation according to the situation, excessive heating of the substrate can be suppressed and deterioration of the mounting quality can be prevented. Conditions such as timing for interrupting the heating operation can be arbitrarily set from the viewpoint of the balance between quality and efficiency required for production.
本発明によれば、加熱中の基板を待機させる特定動作が開始されてから所定時間経過後に加熱を中断して基板の過剰加熱を抑制するという利点があるので、電子部品をピックアップして基板に実装する電子部品実装分野において有用である。 According to the present invention, there is an advantage in that heating is interrupted after a predetermined time has elapsed since the start of a specific operation for waiting the substrate being heated, and excessive heating of the substrate is suppressed. This is useful in the field of electronic component mounting.
1 電子部品実装装置
2 基板
3、4 搬送レール
7 基板加熱ステージ
9 ウェハシート
10 電子部品
13 第1の実装ヘッド
14 第2の実装ヘッド
30 加熱動作制御部
32 加熱モード変更部
33 特定動作登録部
34 特定動作検知部
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記加熱動作制御部が、前記特定動作検知部により前記特定動作登録部に登録された動作の開始が検知されてから所定時間経過した時点で基板の加熱を中断する制御を行う電子部品実装装置。 A component storage unit that stores electronic components, a substrate holding unit that holds a substrate, a mounting head that mounts an electronic component picked up from the component storage unit on a substrate held by the substrate holding unit, and a substrate holding unit It is performed in a mounting operation for mounting an electronic component on a substrate held by the substrate holding unit that heats the held substrate, a heating operation control unit that controls the heating operation of the substrate by the substrate heating unit, and the substrate holding unit. A specific operation registration unit that pre-registers a specific operation among the operations, and a specific operation detection unit that detects the start of the operation registered in the specific operation registration unit,
An electronic component mounting apparatus that performs control for interrupting heating of a substrate when a predetermined time has elapsed after the heating operation control unit detects the start of an operation registered in the specific operation registration unit by the specific operation detection unit.
前記基板保持部に保持された基板を加熱しているときに前記特定動作登録部に登録された動作の開始が検知されると、所定時間経過した時点で基板の加熱を中断する基板加熱方法。 A method for heating a substrate in the electronic component mounting apparatus according to claim 1,
A substrate heating method in which heating of a substrate is interrupted when a predetermined time elapses when the start of an operation registered in the specific operation registration unit is detected while heating the substrate held by the substrate holding unit.
前記基板保持部に保持された基板を加熱しているときにエラー停止が発生すると、所定時間経過した時点で基板の加熱を中断する基板加熱方法。 A substrate heating method in the electronic component mounting apparatus according to claim 2,
A substrate heating method in which heating of a substrate is interrupted when a predetermined time elapses when an error stop occurs when the substrate held by the substrate holding unit is heated.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11024619B2 (en) | 2018-03-20 | 2021-06-01 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60125733A (en) * | 1983-12-13 | 1985-07-05 | Toshiba Corp | Turbine protecting apparatus |
JPS63192242A (en) * | 1987-02-05 | 1988-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | Wire bonder |
JPH0294530A (en) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Nec Yamagata Ltd | Positioning method of semiconductor part |
JPH03102842A (en) * | 1989-09-14 | 1991-04-30 | Nec Corp | Semiconductor wire bonding device |
JPH1154569A (en) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method for forming bump on tape-like board |
-
2006
- 2006-08-02 JP JP2006210614A patent/JP2008041733A/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60125733A (en) * | 1983-12-13 | 1985-07-05 | Toshiba Corp | Turbine protecting apparatus |
JPS63192242A (en) * | 1987-02-05 | 1988-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | Wire bonder |
JPH0294530A (en) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Nec Yamagata Ltd | Positioning method of semiconductor part |
JPH03102842A (en) * | 1989-09-14 | 1991-04-30 | Nec Corp | Semiconductor wire bonding device |
JPH1154569A (en) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method for forming bump on tape-like board |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11024619B2 (en) | 2018-03-20 | 2021-06-01 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus |
US11749667B2 (en) | 2018-03-20 | 2023-09-05 | Kioxia Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus |
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